单向流和混合流洁净室装修设计概括
洁净室空气流组织方式
洁净室空气流组织方式
1.水平流（horizontalflow）：水平流是指洁净室内的空气流动方向与地面平行。
空气从洁净室的一侧进入，通过过滤设
备进一步净化，然后以相对均匀的速度横向流动，最后从洁净
室的另一侧排出。
水平流的特点是空气速度较低，净化效果相
对较好，适用于对空气质量要求较高的场所，如微电子制造、
生物制药等领域。
2.垂直流（verticalflow）：垂直流是指洁净室内的空气流
动方向与地面垂直。
空气从洁净室的顶部进入，通过过滤设备
净化后，以相对较高的速度下沉，然后经过地面的回收系统进
行回收循环，形成垂直循环流动。
垂直流的特点是空气速度较高，能够有效控制微尘、颗粒物的悬浮和沉降，适用于对气溶
胶粒子要求严格的场所，如电子组装、手术室等。
3.混合流（mixedflow）：混合流是指洁净室内的空气流动
方式综合了水平流和垂直流的特点。
空气从洁净室的一侧进入，经过过滤设备净化后，以一定速度沿着墙壁流动，然后再向上
或向下循环流动，形成混合流动。
混合流的特点是空气速度较高，且具有较强的湿度均匀性和控制能力，适用于对温度、湿
度要求较高的场所，如制药、实验室等。
单一方向流无尘室
一般使用塑膠簾或玻璃 ¾ 提供製程區域最高品質的空氣 ¾ 其餘區域可減少一些送風量
¾
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公共通道設計之單一方向流無塵室
z 提供大量的層流 空氣至操作人員 從機器上取下矽 晶 圓 的 區 域 ISO Class 3等級處 z 機器維修之公共 通道區域僅提供 較 少 風 量 ， ISO Class 6等級處
水平層流無塵室
z 水平層流無塵 室之典型設計 z 造價成本及運 轉成本比垂直 層流式的低 z 可能有污染源 的發生機會
6-10
水平層流污染源發生
z 垂直層流與水平層 流在無塵室中的污 染散佈情形 z 在垂直層流無塵室 所產生的污染將被 穿過此工作區域的 氣流帶走，而且較 不會污染下游端的 製程工作。
6-16
z 對於空氣清淨等級要求並不高，此可藉由空白天花 板（或盲板）以減少天花板過濾網之覆蓋率來達成 z 將天花板的濾網平均分佈 （50％覆蓋率） z 使用過濾網覆蓋率為100﹪，且減少整體的氣流速度
6-17
無塵室之等級氣流速度與換氣次數數
（IEST-RP-CC012）
6-18
z 無塵室的設計是使用空氣艙供風，則未經 過濾的氣艙壓力將高於無塵室 z 未經過濾的空氣將經由不良地密封、未密 封處及結構接頭處等地方洩漏進入無塵室 z 藉由個別利用風管將空氣送到過濾網箱體 處，或使用風扇濾網機組（fan-filter unit, FFU）來達成天花板之壓力低於無塵室內之 壓力
¾
6-5
氣流速度對無塵室的影響
z 氣流速度可從 0.1 m/s （ 20 ft/min ）變到 0.6 m/s（120 ft/min） z 在流速為0.3 m/s（60 ft/min）時，此單一方 向性氣流可有效降低微粒子及細菌濃度。 z 氣流速度到達0.6 m/s（120 ft/min）時，可 降低空氣中微粒子數，但其降低污染的效 果已明顯變少 z 氣流速度為 0.3 m/s 將提供最佳的投資報酬 率，機器或人員密集時應提高。
洁净室的装修与设计要求
洁净室的装修与设计要求洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系，净化空调系统既要服从建筑总体布局，建筑布局也要符合净化空调系统的原则，才能充分发挥相关功能的作用。
净化空调的设计者不仅要了解建筑布局以考虑系统的布置，而且要给建筑布局提出要求，使其符合洁净室原理。
一、洁净室的平面布局洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。
洁净室的平面布置可以有以下几种方式：外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖。
外窗必须是双层密封窗。
内廊式：洁净室设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和洁净室同级。
两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。
核心式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为核心，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对洁净区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。
二、人身净化路线为了在操作中尽量减少人活动产生的污染，人员在进入洁净区之前，必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。
这些措施即“人身净化”简称“人净”。
人净用房中更换洁净服的房间应予送风，并对入口侧等其他房间保持正压，对厕所、淋浴保持少许正压，而厕所、淋浴应保持负压。
三、物料净化路线各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理，简称“物净”。
物料净化路线与人净路线应分开，如果物料与人员只能在同一处进入洁净室，也必须分门而入，物料并先经过粗净化处理。
对于生产流水线不强的场合在物料路线中间可设中间库。
如果生产流水线很强，则采用直通式物料路线，有时还需要在直通路线中间设多次净化、传递设施。
在系统设计上，物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒，所以相对洁净区应保持负压或零压，如果污染危险性大则对入口方向也要保持负压。
四、管线组织洁净室的管线非常复杂，所以对这些管线均采用隐蔽组织方式。
具体隐蔽组织方式有以下几种。
1．术夹层（1）顶部技术夹层。
在这种夹层内一般因送、回风管的断面最大，故作为夹层内首先考虑的对象。
单向流洁净室气流特点
单向流洁净室气流特点
单向流洁净室气流特点，主要包括气流方向、气流速度、气流压力、气流纯度等几个方面。
单向流洁净室的气流方向是从洁净区域向非洁净区域单向流动的。
这种气流方向的特点是防止洁净区域受到非洁净区域的污染。
通过控制气流的流向，可以有效地防止污染物进入洁净区域，保证洁净室内的环境干净。
单向流洁净室的气流速度较高。
气流速度是指气流通过洁净室时的流动速度。
在单向流洁净室中，气流速度一般控制在0.35-0.5m/s，有时甚至可以达到1.0m/s以上。
较高的气流速度可以将空气中的微粒迅速带离洁净室，减少微粒在空气中的停留时间，降低微粒对洁净室环境的污染。
单向流洁净室的气流压力较高。
气流压力是指气流在洁净室中的压力差。
在单向流洁净室中，气流压力通常较高，一般控制在10-50Pa。
较高的气流压力可以使洁净室形成良好的气流场，保持洁净区域内的气流稳定，防止外界空气进入洁净区域。
单向流洁净室的气流纯度较高。
气流纯度是指洁净室内的气流中不含有污染物的程度。
在单向流洁净室中，通过过滤器等设备对空气进行净化处理，可以将空气中的微粒、细菌、病毒等污染物去除或减少到较低的水平，从而提高洁净室内的气流纯度。
单向流洁净室的气流特点主要包括气流方向、气流速度、气流压力和气流纯度等几个方面。
通过控制气流的流向、速度、压力和纯度，单向流洁净室可以有效地防止洁净区域受到污染，保证洁净室内的环境干净、纯净。
洁净室设计手册
洁净室设计手册洁净室是一种具有高度净化环境的特殊房间，广泛应用于医药、电子、生物工程、航空航天等领域。
设计一个有效的洁净室对维护产品质量和保障生产过程中的安全性至关重要。
本手册旨在总结洁净室设计的基本要点，包括净化级别、通风系统、洁净室布局等，并提供实用的设计建议和注意事项。
一、净化级别1. 根据需求确定净化级别：洁净室的净化级别通常根据工艺需求确定，如ISO14644-1标准将洁净室分为多个级别，从1级到9级不等。
在设计洁净室时，必须首先确定所需的净化级别，以此为基础确定后续的设计参数。
2. 通风系统设计：通风系统在洁净室中起到关键作用，可以有效控制空气中的颗粒物，保持空气的清洁度。
通风系统设计应根据净化级别和洁净室的大小等因素进行合理配置，确保系统运行稳定可靠。
二、通风系统1. 空气流向设计：通常情况下，洁净室的空气流向应为单向流，这可以有效减少污染物的扩散。
设计时应确保各个区域的空气流速和方向符合要求，以避免死角和混合区的产生。
2. 进出风口位置：进出风口的位置设置应当考虑到洁净室内的气流分布，避免形成回流或混合区域。
在进出风口处应设置有效的过滤设备，以确保空气的净化效果。
三、洁净室布局1. 区域划分：洁净室中通常要划分成不同的区域，包括生产区、缓冲区、辅助区等。
不同区域的要求和功能各异，因此在设计时需要合理划分，并确定各个区域的净化级别和设施配置。
2. 设备布置：洁净室中的设备布置应当考虑到通风系统的影响，避免设备对气流产生干扰。
同时还应考虑设备的维护和清洁，确保设备的正常运行和洁净室的净化效果。
四、实用设计建议1. 考虑设备维护：在洁净室设计中，应考虑设备的维护和更换，包括过滤器、风机等设备的维护通道和更换方式，以便保持通风系统的正常运行。
2. 注意材料选择：洁净室内部装修材料的选择应当符合洁净要求，具有良好的封闭性和耐腐蚀性，避免产生颗粒物和异味。
3. 合理利用空间：在设计洁净室布局时，应充分考虑空间的合理利用，避免死角、堆积区的产生，确保洁净室的净化效果和作业的便利性。
单向流洁净室气流特点
单向流洁净室气流特点单向流洁净室气流特点主要包括以下几个方面：1. 单向流：单向流是指洁净室内的空气流动方向是单向的，通常从洁净区域的高洁净度区域流向低洁净度区域。
这种单向流的设计可以有效地将污染物排除到洁净室外，保持洁净室内的空气质量。
2. 垂直流：单向流洁净室的气流通常采用垂直流方式，即洁净室内的空气从天花板向地板方向流动。
这种垂直流的设计可以有效地减少地面扬尘和颗粒物的悬浮，提高洁净室的洁净度。
3. 均匀流速：单向流洁净室的气流通常具有均匀的流速分布。
通过合理设计和布置送风口和排风口，可以使洁净室内的气流在整个空间内保持均匀流动，避免死角和漩涡区域的产生，从而确保洁净室内的空气质量均匀。
4. 低湍流：单向流洁净室的气流通常具有较低的湍流强度。
湍流是指气流在流动过程中产生的涡流和不规则的流动状态。
在洁净室中，湍流会带来无法控制的颗粒物和微生物的扩散，降低洁净室的洁净度。
通过优化送风口和排风口的设计，可以减少气流的湍流强度，提高洁净室的洁净度。
5. 高风速：单向流洁净室的气流通常具有较高的风速。
较高的风速可以有效地控制洁净室内的颗粒物和微生物的扩散，防止其沉积在工作区域和产品上。
同时，高风速还可以提高洁净室内的气流排出能力，加快污染物的排除速度。
6. 多层过滤：单向流洁净室通常采用多层过滤系统来净化空气。
在洁净室的送风口处设置初效过滤器，用于过滤大颗粒物和粗颗粒物；在送风口和排风口之间设置中效过滤器，用于过滤中等大小的颗粒物和微生物；在排风口处设置高效过滤器，用于过滤微小颗粒物和微生物。
通过多层过滤系统的组合使用，可以有效地净化洁净室内的空气，保持洁净室的洁净度。
7. 闭合性：单向流洁净室通常具有较好的闭合性能。
洁净室的墙壁、天花板和地板等各个部位都应该采用密封材料，以防止外界污染物的进入。
同时，洁净室的门、窗等出入口也需要采取相应的密封措施，确保洁净室内的空气质量不受外界影响。
单向流洁净室的气流具有单向、垂直、均匀、低湍流、高风速、多层过滤和闭合性等特点。
洁净室空间气流组织设计方案
洁净室空间气流组织设计方案洁净室是一种具有特殊环境要求的生产和实验场所，其主要目的是通过控制环境中的颗粒物、微生物和化学污染物的浓度，以确保产品的质量和安全性。
空气流动是洁净室内部环境控制的重要因素之一，合理的空气流动组织设计可以有效地控制颗粒物和微生物的传播，保持洁净室内的净化水平。
在设计洁净室空气流动组织方案时，通常需要考虑以下几个关键因素：1.空气流动方向：洁净室的空气流动方向主要有垂直流和水平流两种。
垂直流指的是从天花板向地面的垂直气流，适用于对物体表面清洁要求较高的场所；水平流指的是水平方向的气流，适用于人员操作区域较大的场所。
根据洁净室的具体需求和工艺要求，选择合适的空气流动方向。
2.空气流速：空气流速是指空气在洁净室内的运动速度，通常以立方米/小时为单位表示。
根据洁净室的净化等级要求，选择适当的空气流速可以有效地控制颗粒物的扩散和沉积。
一般情况下，洁净室内装置设备和人员操作区域的空气流速应该不低于0.3m/s。
3.排风设计：洁净室内的排风系统是保持空气流动的重要组成部分。
通过合理的排风设计，可以有效地去除洁净室内产生的污染物和热量，保持较好的空气质量和温湿度条件。
排风系统应具备足够的风量和恰当的排气口位置，以实现洁净室内部的负压和恒定的空气流动。
4.过滤系统：洁净室内空气质量的控制主要依靠过滤系统。
过滤系统主要由初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器组成，可以有效地去除空气中的颗粒物和微生物。
根据洁净室的净化要求和空气流动特点，合理选择过滤器的等级和数量。
5.空气循环方式：洁净室内的空气循环方式通常有两种，一种是单向流动，即空气从一个方向进入和排出，保持流线型的空气流动；另一种是混合循环，即空气从多个方向进入和排出，形成交叉和混合的空气流动。
根据洁净室的工艺要求和空间布局，选择合适的空气循环方式。
综上所述，洁净室空气流动组织设计方案需要综合考虑空气流动方向、空气流速、排风设计、过滤系统和空气循环方式等因素，以实现对洁净室内环境的有效控制和净化。
洁净室乱流、单向流原理、三大特点
洁净室乱流、单向流原理、三大特点乱流洁净室的主要特点是从来流到出流（从送风口到回风口）之间气流的流通截面是变化的，洁净室截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。
所以，送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角，曲率半径很小，气流在室内不可能以单一方向流动，将会彼此撞击，将有回流、旋涡产生。
这就决定乱流洁净室的流态实质是：突变流；非均匀流。
这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更全面。
紊流主要决定于雷诺数，也就是主要受流速的影响，但是如果采用一个高效过滤器顶送的送风形式，则即使流速极低，也要产生上述各种结果，这就因为它是一个突变流和非均匀流。
因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混，而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。
所以，概括地说，乱流洁净室的作用原理是：当一股干净气流从送风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合，同时把差不多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室内污染的空气，把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了，一直达到平衡。
所以气流扩散得越快，越均匀，稀释的技果就越好。
单向流洁净室原理在单向流洁净室内，从送风口到回风口，气流流经途中的断面几乎没有什么变化，加上进风静压箱和高效过滤器的均压均流作用，全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。
这也就是单向流洁净室的三大特点。
这里的流线单向平行，是指时均流线彼此平行，方向单一，并且干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。
所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。
干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个“气缸”，向前（下）推进，而使尘粒只能前（下）进，没有返回，把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。
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单向流和混合流洁净室装修设计概括
单向流洁净室装修设计的气流是从室内的送风一侧平稳地流向与其相对回风的一侧．因此，单向流洁净室的主要特点表现为：将污染源散发出的尘菌污染物未向室内扩散之前就被挤压到室外，洁净空气对污染源起到隔离作用．此形式适用于洁净室等级需求较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100单向流洁净室又可分为垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室，下面主要介绍垂直单向流洁净室。
垂直单向流是高级别洁净室应用最广泛的一种气流流型。
在洁净室内高效空气过滤器(或超高效空气过滤器)布置在顶棚或侧面，从送风口到回风口，气流流经途中的断面几乎没有什么变化，加上送风静压箱和高效过滤器的均压作用，使得全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。
干净的气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠参混稀释作用，而是靠推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，从而达到净化室内空气的目的空气经架空地板回至循环风机，从而形成上送下回的垂直单向流流型。
单向流洁净室能够保证室内达到严格的洁净度要求，在医药生产，医院，电子，大规模集成电路等工程中已得到日益广泛的应用，特别是某些关键场合或工序或设备，如医院的手术室；大规模集成电路的光刻工序；注射药品生产的灌装设备等，此类洁净室管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响；但单向流洁净室的缺点在于换气次数非常高，因此它的造价和运行费用要远高于非单向流洁净室，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
混合流洁净室装修设计
混合流洁净室是将非单向流流型和单向流流型在同一洁净室内组合使用．单向流的设备费用和运行费用都很高，但在某些实际洁净室工程中往往只是部分区域有严格的洁净度要求．而不是整个洁净室．混合流洁净室的特点是在需要空气洁净度严格的部位采用单向流流型，其他则为非单向流流型．这样既满足了使用要求，也节省了设备投资和运行．混合流洁净室的一般形式为室整个洁净室为非单向流洁净是，但需要空气洁净度严格的区域上方采用单向流流型的洁净措施，使该区域得到满足要求的单向流流型洁净区，以防止周围相对较差的空气环境影响局部的高洁净度．。