激光干涉仪对光操作指南讲解

激光干涉仪对光操作指南

6.1 使用前的工作

6.1.1 为什么要对光？

对光的目的是为了让检测的光线能准确返回激光干涉仪上，让激光干涉仪得到最强的反

馈信息，以便计算实际的行程数值。

6.1.2 影像线性测量精度的因素包括哪些？

①、死程误差

死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，这时已采用 EC10 自动补偿功能。在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改

变。

路径 L2的激光测量死程误差与两个光学元件间的距离有关，此时系统定标为 L1，请参阅图 1。若干涉镜及反射镜之间没有动作，且激光束四周的环境状况有所改变，整个路径(L I + L2)的波长（空气中）都会改变，但激光测量系统只会对 L2距离进行补偿。因此，死程测量误差会由于光束路径 L1没有获得补偿而产生。

图 1 - 死程误差

不过，若当设定定标时固定和移动镜组彼此邻接，死程误差就可忽略不计。如下图 2 所示。