无尘室管理规定
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范一、引言无尘室是一种特殊的环境控制系统，用于保持空气中的微粒污染物浓度在一定范围内，以满足特定的生产、实验或者创造要求。
为了确保无尘室的正常运行和有效管理，制定一套管理规范是必要的。
本文将详细介绍无尘室的管理规范，包括设备维护、清洁程序、人员培训和监测等方面。
二、设备维护1. 定期检查无尘室的设备，包括空调系统、过滤器、风机等，确保其正常运行。
2. 定期更换过滤器，根据使用情况和厂商建议的更换周期进行操作。
3. 对无尘室的空调系统进行清洗和消毒，以确保空气质量符合要求。
4. 检查和维护无尘室的密封性，防止空气泄漏。
三、清洁程序1. 制定详细的清洁计划，包括清洁频率、清洁剂种类和使用方法等。
2. 使用合适的清洁剂和器具进行清洁，避免对无尘室造成污染。
3. 清洁人员应穿戴适当的防护服和手套，避免对无尘室带来污染。
4. 清洁过程中，应注意避免产生过多的灰尘和颗粒物。
四、人员培训1. 所有进入无尘室的人员，包括操作人员、维护人员和清洁人员，都应接受相关的培训。
2. 培训内容包括无尘室的工作原理、操作规程、清洁程序和安全注意事项等。
3. 培训结束后，应进行考核，确保人员掌握相关知识和技能。
五、监测1. 定期对无尘室的空气质量进行监测，包括微粒浓度、温度、湿度等参数。
2. 使用合适的监测设备，确保监测结果准确可靠。
3. 根据监测结果，及时采取措施调整无尘室的工作状态，以保持空气质量符合要求。
六、总结无尘室的管理规范对于保证无尘室的正常运行和有效管理至关重要。
通过设备维护、清洁程序、人员培训和监测等方面的规范操作，可以有效控制无尘室中的微粒污染物，确保其满足特定要求。
同时，定期的维护和监测也有助于延长无尘室的使用寿命，提高生产效率和产品质量。
因此，严格遵守无尘室的管理规范是非常必要的。
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范无尘室是一种特殊的环境控制设施，用于保持室内空气中的微尘颗粒数量控制在一定范围内。
它广泛应用于电子、光学、制药、食品等行业，以确保生产过程的质量和可靠性。
为了有效管理无尘室，以下是一些常见的管理规范，以确保其正常运行和维护。
1. 无尘室的分类和级别无尘室根据其对微尘颗粒的控制能力进行分类和级别划分。
常见的分类标准有ISO 14644和GMP等。
根据不同行业的需求，确定无尘室的级别，并确保其满足相应标准的要求。
2. 无尘室的设计和建设无尘室的设计和建设应符合相关的技术标准和规范。
其中包括室内空气流动的设计、过滤器的选择和安装、密封性能的要求等。
同时，应根据实际需要进行合理的布局和设备配置，以最大程度地减少尘埃的产生和积累。
3. 无尘室的运行和维护无尘室的运行和维护是确保其正常运行的关键。
以下是一些常见的运行和维护规范：a. 定期清洁：定期对无尘室的地面、墙壁、天花板、设备等进行清洁，以减少尘埃的积累和污染。
b. 过滤器更换：定期检查和更换无尘室中的过滤器，以确保其过滤效果和性能。
c. 空气质量监测：定期对无尘室的空气质量进行监测，包括微尘颗粒的数量和大小分布等。
如发现异常情况，及时采取措施修复。
d. 温湿度控制：根据无尘室的需求，确保室内的温湿度控制在合适的范围内，以保持生产过程的稳定性和质量。
e. 员工培训：对无尘室的操作人员进行培训，使其了解无尘室的管理规范和操作要求，提高其操作技能和意识。
f. 记录和报告：建立完善的记录和报告制度，记录无尘室的运行情况、维护记录和空气质量监测结果等，以便于追溯和分析。
4. 无尘室的安全管理无尘室的安全管理是确保人员和设备安全的重要环节。
以下是一些常见的安全管理规范：a. 人员防护：提供适当的个人防护装备，包括无尘服、手套、面具等，以保护操作人员的安全和健康。
b. 灭火设备：配备适当的灭火设备，并定期检查和维护，以应对突发火灾等紧急情况。
c. 电气安全：确保无尘室内的电气设备符合安全要求，并定期进行电气安全检查和维护。
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范一、引言无尘室是一种特殊的工作环境，为了保证无尘室内的空气质量和工作效率，需要制定一套严格的管理规范。
本文将详细介绍无尘室的管理规范，包括无尘室的建设要求、操作规程、设备维护和清洁等方面的内容。
二、无尘室的建设要求1. 空气净化系统：无尘室应配备高效空气过滤器，能有效过滤空气中的微尘、细菌和有害气体。
2. 温湿度控制：无尘室内的温度和湿度应保持在合适的范围内，以确保工作环境的稳定性和舒适性。
3. 静电控制：无尘室内应采取静电消除措施，如使用防静电地板、穿防静电服等，以防止静电对工作环境和设备的影响。
4. 光照控制：无尘室内的光照应均匀、稳定，以避免光照差异对工作产生干扰。
三、无尘室操作规程1. 准入管理：进入无尘室前，工作人员应穿戴干净的工作服和鞋套，并进行适当的消毒处理。
2. 工作区域划分：根据工作需要，将无尘室划分为不同的工作区域，避免不同工作任务之间的交叉污染。
3. 操作规范：工作人员应按照操作规程进行操作，避免操作不当导致的污染和事故。
4. 物料管理：无尘室内的物料应符合相关要求，并进行适当的包装和标识，以避免污染和混乱。
5. 废弃物处理：废弃物应分类存放，定期清理和处理，以保持无尘室的整洁和卫生。
四、无尘室设备维护1. 设备巡检：定期对无尘室内的设备进行巡检，检查设备的运行状态和性能，及时发现并处理问题。
2. 设备保养：根据设备的使用说明书和维护手册，制定合理的保养计划，并按时进行设备保养工作。
3. 设备更换：对于老化或者浮现故障的设备，应及时更换或者修复，以确保设备的正常运行和工作效率。
4. 设备记录：建立设备使用和维护的记录，包括设备的使用时间、保养记录和故障处理等，以便于追溯和分析。
五、无尘室清洁1. 定期清洁：无尘室应定期进行清洁，包括地面、墙壁、天花板和设备等的清洁，以保持无尘室的整洁和卫生。
2. 清洁工具：清洁工具应专用于无尘室清洁，使用前应进行清洁和消毒处理，避免带入污染物。
无尘室管理制度及人员管理
一、前言无尘室作为一种特殊的生产环境，对生产过程中的产品质量和员工健康具有至关重要的影响。
为确保无尘室的生产环境稳定，提高产品质量，保障员工身体健康，特制定本制度。
二、无尘室管理制度1. 空气净化与净化度管理（1）无尘室应配备高效空气净化设备，确保室内空气洁净度达到规定标准。
（2）定期对空气净化设备进行维护和更换滤网，保证设备正常运行。
（3）严格控制室内温度、湿度、气流速度等参数，确保室内环境稳定。
2. 物料与设备管理（1）所有进入无尘室的物料和设备必须经过严格筛选和净化处理。
（2）建立物料和设备出入库管理制度，确保物料和设备的质量。
（3）对物料和设备进行定期检查，发现问题及时处理。
3. 人员管理（1）无尘室工作人员必须经过专业培训，了解无尘室的基本知识和操作规程。
（2）进入无尘室的人员必须穿着专用防尘服、帽子、口罩、手套等，并定期更换。
（3）严格执行人员进出管理制度，确保只有经过授权的员工才能进入无尘室。
4. 清洁与消毒管理（1）制定详细的清洁和消毒流程，定期对无尘室进行清洁和消毒。
（2）员工应按照流程进行操作，并做好记录。
（3）对清洁工具和消毒剂进行定期检查，确保其有效性和安全性。
三、人员管理1. 人员准入制度（1）无尘室工作人员必须经过健康检查，确保无传染病和其他可能影响产品质量的疾病。
（2）对特定工序的操作人员，如光刻、显影等，进行严格的身体健康审查。
2. 培训与教育（1）对所有进入无尘室的员工进行专业培训，使其了解无尘室的基本知识和操作规程。
（2）定期开展安全知识、个人卫生、工作纪律等方面的培训，提高员工的安全意识和综合素质。
3. 行为规范（1）无尘室员工应遵守规定的行为规范，如不随意走动、不大声喧哗、不吃东西、不吸烟等。
（2）严禁在无尘室内进行与生产无关的活动。
4. 工作交接班（1）交接班时，应做好详细的工作记录和信息交流。
（2）确保生产过程中的各项参数稳定，避免因交接班造成生产中断。
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范引言概述：无尘室是一种高度洁净的工作环境，广泛应用于电子、制药、生物科技等领域。
为了确保无尘室的正常运行和产品质量，有必要建立一套严格的管理规范。
本文将从五个方面详细阐述无尘室的管理规范。
一、无尘室的设计与建设1.1 合理的布局：无尘室应根据工艺流程和设备布置进行合理的布局，确保流线作业的顺畅和无尘室内的空气流动。
1.2 适当的面积：无尘室的面积应根据工作需求和设备数量进行合理规划，避免过度拥挤和空间浪费。
1.3 合适的高度：无尘室的高度应根据工作需求和设备高度进行设计，确保操作人员的舒适性和作业的灵活性。
二、无尘室的净化设备选型与运行2.1 过滤器选择：根据无尘室的净化级别和工艺要求，选择适合的过滤器，如初效、中效、高效过滤器等，确保室内空气质量达到要求。
2.2 净化设备运行：定期检查和维护净化设备，确保其正常运行和过滤效果。
定期更换过滤器，避免过度堵塞影响净化效果。
2.3 温湿度控制：根据工艺要求和产品特性，合理控制无尘室内的温度和湿度，避免对产品质量产生不良影响。
三、无尘室的清洁与消毒3.1 定期清洁：无尘室应定期进行清洁，包括地面、墙壁、天花板、设备等，确保无尘室内的灰尘和杂质得到有效清除。
3.2 清洁工具选择：选择适合的清洁工具，如无尘布、吸尘器等，避免使用会产生静电或杂质的清洁工具。
3.3 消毒措施：根据工艺要求和产品特性，采取适当的消毒措施，确保无尘室内的微生物污染得到有效控制。
四、无尘室的人员培训与管理4.1 培训计划：制定无尘室人员的培训计划，包括无尘室操作规程、卫生要求、安全知识等内容，确保操作人员具备必要的知识和技能。
4.2 培训内容：培训内容应包括无尘室的工作原理、操作规程、紧急情况处理等，帮助操作人员全面了解无尘室的管理要求。
4.3 管理监督：建立有效的管理监督机制，对无尘室的操作人员进行定期考核和评估，确保他们能够按照规范进行操作和管理。
五、无尘室的记录与文件管理5.1 记录要求：无尘室应建立完善的记录体系，包括日志、报表、检测记录等，记录无尘室的运行情况和产品质量数据。
无尘室管理规范介绍
无尘室管理规范介绍
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第四章 人员出无尘室流程
无尘室管理规范介绍
14/25ຫໍສະໝຸດ 第五章 无尘室相关规范---无尘服吊挂及摆放要求
无尘室管理规范介绍
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第五章 无尘室相关规范---无尘服吊挂及摆放要求
无尘室管理规范介绍
整 体 穿 着
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第五章 无尘室相关规范---无尘服领用、清洗规范
无尘室管理规范介绍
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第五章 无尘室相关规范---无尘室作业查核与稽核
包括稽核室、品保处或工程安全部定期稽核作业的展开，需要事先知 会管理部门。若为特殊需要所做之突击性稽核，在执行前亦需通知管
理单位主管到场作陪。
进行一般查核或稽核，可视范围需要进入作业区域或接近机台，都不 得妨碍生产作业的进行或影响生产品质。
无尘室管理规范
无尘室管理规范介绍
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第一章 名词定义
无尘室 指将一空间范围内空气中微尘粒子、有害空气、细
菌等污染物排除, 并将室内温湿度、洁净度、室内压力、 气流速度与气流分布、噪音震动、照明控制在某一个 范围而给予尤其设计空间或工作区域。 无尘服
进入无尘室时必须穿着无尘室专用衣服/鞋子/帽子, 以预防Particle及污染产生。 更衣室
禁止穿易产生静电衣物，如: 高领衫、毛织衫、丝质衣 物、 丝袜
禁止穿裙子，短露出肩膀裤长度不可短于膝盖，短袖不可 露出肩膀。 指甲长度不可超出指头端指肉。 人员进入无尘室须穿棉袜 。 禁止戴装饰品。
无尘室管理规范介绍
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第五章 无尘室相关规范---人员纪律规范
✓ 喝酒或身上有酒味者, 禁止进入无尘室。 ✓ 抽烟、做完激烈运动流汗后, 需经半个小时后才能够进入。 ✓ 进入管制口及无尘室内禁止大声讲话, 跑步或追逐, 面向机台时禁止较大肢体动作, 以控
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范一、引言无尘室是一种特殊的环境控制系统，用于在生产和实验过程中，减少或消除空气中的微尘、细菌和其他污染物。
无尘室的管理规范对于确保生产和实验的质量和安全至关重要。
本文将详细介绍无尘室的管理规范，包括无尘室的建设、维护、操作和监测等方面。
二、无尘室的建设1. 设计和选址无尘室的设计应符合相关的行业标准和规范，确保其满足生产和实验的要求。
选址时应考虑周围环境的影响，避免有害气体、尘埃和震动等干扰因素。
2. 材料选择无尘室的墙壁、地板、天花板和门窗等材料应具备防尘、易清洁和抗腐蚀的特性。
应选择符合相关标准的材料，确保其质量和可靠性。
3. 空调系统无尘室的空调系统应具备过滤、循环和控温等功能。
应选用高效过滤器，确保空气中的微尘和细菌能够被有效去除。
空调系统的设计和安装应符合相关的规范，确保其正常运行和稳定性。
4. 照明系统无尘室的照明系统应选择符合相关标准的灯具，确保光线均匀、稳定且无眩光。
应定期检查和维护照明设备，确保其正常工作。
三、无尘室的维护1. 定期清洁无尘室应定期进行清洁，包括地面、墙壁、天花板、设备和工作台等。
清洁工作应使用合适的清洁剂和工具，确保彻底清除尘埃和污染物。
2. 设备维护无尘室内的设备应定期进行维护和保养，确保其正常运行和可靠性。
维护工作应由专业人员进行，并记录维护情况和维护时间。
3. 过滤器更换无尘室的空调系统中的过滤器应定期更换，确保其过滤效果良好。
更换过滤器的频率应根据实际情况确定，并记录更换时间和过滤器型号。
四、无尘室的操作1. 人员培训所有进入无尘室的人员应接受相关培训，了解无尘室的管理规范和操作流程。
培训内容包括无尘室的洁净度要求、个人卫生要求和操作规程等。
2. 人员着装进入无尘室的人员应穿戴符合要求的洁净服、帽子、手套和鞋套等防护用品。
应定期更换洁净服，并保持个人卫生。
3. 物料管理进入无尘室的物料应经过严格的检查和清洁，确保其不带入尘埃和污染物。
物料的存放应符合要求，避免交叉污染和混乱。
无尘室管理规定
无尘室管理规定无尘室是一种特殊的工作环境，为了确保无尘室的正常运营和保持房间内的洁净度，必须制定严格的管理规定。
下面是无尘室管理规定的内容：1. 进入无尘室人员必须进行严格的培训，了解无尘室的使用规定和操作流程，并签署了解规定的文件。
2. 进入无尘室前必须穿戴适当的防护服，并进行适当的消毒处理，如洗手、穿戴手套等。
3. 进入无尘室的物品必须经过清洁和消毒处理，禁止携带灰尘、细菌等污染物进入无尘室。
4. 进入无尘室的人员不得携带金属物品，如钥匙、手机等有可能产生静电的物品。
5. 运输和存放无尘室所需的材料必须进行严格的包装和标示，以防止材料在运输和存放过程中受到污染。
6. 在无尘室中进行工作时，必须按照规定的工作程序进行，禁止随意更改操作流程。
7. 进行无尘室工作时，必须使用清洁剂和器具进行清洁和维护，及时清除产生的灰尘和污垢。
8. 禁止在无尘室中食用食物和饮用水，以防止食物和液体的进入给无尘室带来污染。
9. 在无尘室中必须禁止吸烟，以免烟雾、灰尘和烟灰污染无尘室空气。
10. 在无尘室工作结束后必须及时清理工作区域，保持无尘室的整洁和清洁。
11. 定期对无尘室内的空气质量进行检测，以确保无尘室的洁净度符合标准。
12. 对于无尘室中出现的污染物或故障，必须及时进行处理和修复，防止污染物和故障传播和扩大。
13. 进行无尘室工作的人员必须按照规定的工时进行工作，不得随意加班或擅自进入无尘室。
14. 无尘室管理部门必须定期进行培训和考核，确保员工对无尘室管理规定的了解和遵守。
以上是无尘室管理规定的一些基本内容，通过制定、执行和监督这些规定，可以保证无尘室的正常运营，并提高工作效率和产品质量。
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范一、引言无尘室是一种特殊的环境控制设施，用于保持高度洁净的空气质量，以满足特定的生产需求。
为了确保无尘室的有效运行和维护，制定一套管理规范是必要的。
本文将介绍无尘室的管理规范，包括无尘室的分类、操作流程、设备维护、人员培训等方面的要求。
二、无尘室的分类根据洁净度要求的不同，无尘室可分为多个等级，常见的有ISO 14644标准中的等级1至等级9。
无尘室的等级越高，对空气中微粒的要求越严格。
根据生产需求，确定无尘室的等级，并确保其符合相应的标准。
三、无尘室的操作流程1. 准备工作在进入无尘室之前，工作人员应穿戴符合要求的洁净服、鞋套、帽子等防护装备，并进行洁手操作。
同时，准备好所需的工具、设备和物料，确保其洁净度符合要求。
2. 进入无尘室进入无尘室前，工作人员应先进入空气淋浴室进行淋浴，以去除身上的尘埃和杂质。
然后，按照规定的通道和门禁系统进入无尘室内部。
3. 操作要求在无尘室内，工作人员应严格按照操作规程进行操作，避免产生粉尘和污染物。
同时，避免过度移动和碰触无关物品，以减少空气搅动和微粒的产生。
4. 出室操作完成工作后，工作人员应按照规定的程序进行出室操作。
先进入空气淋浴室进行淋浴，然后更换洁净服和其他防护装备，最后离开无尘室。
四、无尘室的设备维护1. 定期检查无尘室的设备应定期进行检查和维护，以确保其正常运行和洁净度的维持。
检查内容包括风机、过滤器、空调系统等，发现问题及时修复或更换。
2. 过滤器更换过滤器是无尘室中最重要的组成部分，定期更换过滤器是保持洁净度的关键。
根据过滤器的使用寿命和使用情况，制定更换计划，并确保更换过程符合相关的操作规程。
3. 清洁和消毒无尘室的地面、墙壁、天花板等表面应定期进行清洁和消毒，以去除积尘和细菌等污染物。
清洁和消毒的方法和频率应符合相关的标准和规定。
五、无尘室的人员培训1. 培训内容无尘室的工作人员应接受相关的培训，包括无尘室的基本原理、操作流程、设备维护、洁净服的佩戴和更换等方面的知识和技能。
无尘室管理规定样本
1 目加强无尘车间管理规范，以提高产品合格率，为产品质量所需生产环境提供保障。
2 合用范畴公司无尘车间及所有进出无尘车间人员。
3 职责3.1 品保部：3.1.1 负责对无尘车间温度、湿度及气压差进行判断及不定期监控；3.1.2 对环境浮现异常状态时，对与否继续生产做出有关决定，并对环境改进效果进行确认。
3.2 维修部：对无尘室设备维修保养,生产浮现异常时，负责对其发生异常因素进行分析，并制定相应之应急办法以及长期改进办法。
3.3 生产部:3.3.1 对环境、湿度及压差进行寻常定期监控并记录。
3.3.2 无尘室管理及维护无尘室内干净度，保证无尘室人员按照该规定执行。
3.4 行政部：无尘服、无尘帽、无尘鞋外送清洗。
4 定义4.1 无尘室：温度、湿度、压力都可以加以调节，且空气中灰尘、臭氧已予排除作业区域；4.2 无尘车间级别原则阐明:ISO 14644 依照悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分干净室（区）及有关受控环境中空气干净度级别，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范畴内呈累积分布粒子群。
依照粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
空气干净度分级原则： ISO14644-1 （国际原则）5 参照文献无。
6 人员管理6.1 进入人员规定6.1.1 无尘室作业人员必要通过本管理规定培训，考核合格者方可进入无尘室6.1.2 凡进入无尘车间员工必要遵守并执行本规定；6.1.3 必要时，协助设备某些析并改进环境异常。
6.2 进入出尘室体质规定6.2.1 各种严重皮肤病，如湿疹、皮肤受重伤等；6.2.2 对于化学物有过敏体质者；6.2.3 对于无尘车间里使用材料有过敏体质者；6.2.4 与普通人相比有异常，如皮肤诸多脱皮、头屑和头发容易掉，多汗者；6.2.5 性格焦急不适呆在密闭环境工作者；6.2.6 化妆（特别是擦粉）和擦指甲油者（基本性化装除外）；6.3 无尘室人员管控6.3.1 外来人员及我司无尘室以外人员，需进入无尘车间者需先申请，待批准后进入；6.3.2 外来人员申请进入无尘室，签至副总，并由我方人员陪伴在场按规定穿戴好无尘服，在风淋室门外册子上做好记录并戴好出入证后，才干进入；6.3.3 我司无尘室以外人员，无权限者需签至经理，按规定穿戴好无尘服，在风淋室门外册子上做好记录并戴好出入证后，才干进入；6.3.4 有无尘室进入权限之人员，（例如品质部、工程技术人员等）进入无尘车间需按规定穿戴好无尘服进入；6.3.5 无尘车间风淋室同步进入人数（流动人数）不得超过2人。
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目录1.0 无尘车间管理的目的2.0 无尘车间管理的原则3.0 适用范围4.0 术语5.0 管理程序5．1 无尘室施工管理制度5．2 无尘室洁净度定期检测制度/测量标准5．3 无尘室人员管理制度5．4 无尘室洁净服管理制度5．5 无尘室物流/洁净室内设备及工器具管理制度5．6 无尘室清洁、清扫和灭菌管理5．7 无尘室洁净室安全管理6.0 版本更改记录1．0 无尘车间管理的目的半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。
2．0 无尘车间管理的原则2.1 进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。
2.2 操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。
2.3 严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。
以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。
2.4 清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。
2.5 洁净室环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。
3．0 适用范围半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。
4．0 术语洁净生产区是洁净厂房的主要部分，对洁净级别有明确规定的区域。
洁净辅助间是洁净厂房不可缺少的必备房间。
洁净辅助间对洁净厂房的平面关系密切，对洁净厂房的建造带来影响和投产后能否满足产品生产的需要以及能否可靠地防止生产过程的污染或交叉污染至关重要。
管理区是洁净厂房内的产品生产过程的生产管理、技术管理用房和必要的操作人员的休息、福利用房。
设备区即净化空调系统、公用动力系统等用房，是洁净厂房的重要组成部分。
5．0 管理程序5．1 无尘车间洁净室施工管理制度5．1．1 背景5．1．1．1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。
本文件列出了这些规则和程序的概要。
为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必须遵守。
5．1．1．2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。
这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。
5．1．1．3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。
5．1．2 责任与义务5．1．2．1 所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序，并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。
被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。
5．1．2．2 承包商负责执行洁净室草案。
他将每天对洁净建设区域进行检查，并填写检查清单。
承包商负责提供洁净室所需物品，例如：鞋套，毛巾，垫子和工装。
他也负责提供每日执行洁净规则和程序的人员和设备。
5．1．2．3 承包商建造区域入口并对其进行管理。
他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。
他将对在洁净区域工作的人员进行培训，并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。
5．1．2．4 开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员（除非半导体公司在该入口处安排有人员）以确保本规则和程序的执行。
5．1．2．5重复违反规则和程序的人员将被开除。
没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。
5．1．3 草案细则洁净室草案分为三部分，每一部分对应施工的一个过程。
施工接近完工阶段，不允许从外面或洁净区域的施工场地带入脏物。
5．1．3．1第一部分"第一部分主要针对直到主要施工完成后。
包括屋顶，覆层，门和窗户。
所有工人必须从图纸上标明的通道进出施工现场。
每个入口将会有清洗店。
所有工人进入必须保持鞋子干净。
不允许穿奇特的服装，工人的衣服应该保持适当的干净。
现场安全规则必须时刻遵守。
所有设备和材料必须从一个入口进入施工现场，并且保持干净，不允许有碎片掉下。
"施工现场内不允许吃东西，吸烟，喝酒。
""每班结束时，必须清走所有垃圾和废旧物品。
总之，整个施工现场每天必须保持干净。
5．1．3．2第二部分"第二部分主要针对直到gridline B西边洁净区域的内墙完成。
此时，只允许承包商雇佣的工人在洁净区域。
其他供应商如果要进入洁净区域，必须提前向承包商提出申请，得到允许后方可进入。
工人、设备和材料的入口是经过威世半导体(西安)有限公司管理人员同意的。
gridlines 1和2之间的通向成品仓库的外门。
⌝gridlines 15和16之间的通向原料仓库的外门。
⌝"其它入口必须经过洁净工程承包商的书面批准。
两个入口旁边将会为很可能造成污染的材料准备或拆包预留区域。
进如洁净区域之前，材料和设备不允许有脏物或由掉下，并且应该用干净的干布擦拭干净。
"任何可能会造成污染的活动必须必须提前经过洁净工程承包商的批准。
这包括砂纸打磨，碾，开凿，演练，焊接，切割和任何用水或喷淋工作。
承包商要用任何可能的方法预防污染。
装好的地板必须用PVC板包装保护。
"第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必须的。
"第二部分草案执行期间，洁净区域必须每天吸尘。
"5．1．3．3 第三部分第三部分主要针对直到生产车间全部建成。
气体鼓风机将持续运行以维护房间的压力要求。
""进入的工人穿鞋套和工作服。
所有进入洁净区域的材料，工具和设备要用IPA和水的混合物擦拭。
""在第三部分草案执行期间，洁净区域每天要用有过滤装置的洗尘设备吸尘。
5．1．4 洁净安装必须采取洁净措施保持安装洁净。
""各类部件如节气闸，扩散体在进入施工现场时应洁净并且拆掉包装。
内部表面应该用IPA和水的混合物擦拭。
"洁净安装过程中，必须密切关注所采取的洁净措施的可靠程度，对于隔离围护设施一定要作到及时发现、立即纠正。
5．1．5 最后洁净"洁净区域的所有安装完成后，要进行最后洁净。
洁净要用IPA和水的混合物擦拭。
先洁净天花板，然后是墙壁，墙壁应从上到下，最后是地面。
"最后洁净完成后，gridline B东边通过的区域将是唯一进入洁净室的通道。
以前的原料成品仓库入口将被保护。
"最后洁净完成后，任何进入的人都必须通过威世半导体(西安)有限公司现场经理的批准。
5.1.6 设备、物品进入洁净室规定5．2 无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准5.2.1 为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求，必须定期对洁净室内的洁净度进行检测。
5.2.2 检测测试设备：激光粒子记数器5.2.3 检测周期：每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测5.2.4 检测条件：静态洁净度测试5.2.5 数据收集整理：将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存，并在每个季度末（或下季度初）给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。
5.2.6 各洁净区域洁净级别标准：按照《半导体公司能源管理标准》要求执行。
区域、系统名称洁净等级标准相当于ISO级别等效于GB级别K-1系统划片区域静态1万级K-1系统改造前为静态10万级 CLASS 7CLASS 8 CLASS 7CLASS 8K-2系统包封区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3K-3系统搪锡区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3K-4系统测试区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3K-8系统电镀区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3现有其他空调系统舒适性空调系统，无洁净要求 Not Applicable Not Applicable5.2.7 洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等（包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等）执行威世半导体(西安)有限公司厂务部相关SOP文件。
5.2.8 参考文件FSD-SOP-01 《供电操作指导书及规范制度》"FSD-SOP-4-1 《AHU系统操作指导书》"FSD-SOP-4-2 《洗气塔操作指导书》"FSD-SOP-4-3 《锅炉操作指导书》"" FSD-SOP-4-4 《制冷机操作指导书》FSD-SOP-06 《厂务部安全操作规程》"" FSD-SOP-07 《设备维护保养流程》FSD-SOP-08 《消防系统操作指导书》"" FSD-SOP-12 《厂务部运行管理制度》FSD-SOP-13 《市政动力能源中断紧急应变计划》"" FSD-SOP-20 《厂务核心机组应急切换操作指导书》ATD1210C 《能源管理标准》""JVP1301C 《公共设施管理规定》5．3 洁净室人员管理制度5．3．1 洁净室的人员管理包括：制定专职管理人员的职责、洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。
5．3．2 人员净化与进入5.3.2.1 在洁净厂房内众多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人员在洁净环境中的活动，会明显地增加洁净环境的污染程度。
5.3.2.2 对于高级别洁净区域，应严格控制进入人员数量，并规范进行二次更衣。
5.3.2.3 要获得生产环境所需要的空气洁净度等级或延长空气过滤器的使用寿命，对进入洁净室的人员、物料进行净化十分必要。
5.3.2.4 为保持洁净室空气洁净度，应尽量减少进入洁净室人员带入的污染物。
所有进人洁净室的人员必须严格地按规定程序进行人身净化。
5.3.2.5 个人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妆，换上指定的服装，按空气洁净度等级相应的脱衣顺序脱衣，放在规定的衣柜内。
5.3.2.6 进入脱衣室，在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内，禁止不脱鞋直接跨越更衣凳而进入更衣室。
5.3.2.7 若公司后期发展需要更高洁净级别要求的洁净区域（指高于ISO Class7级别）进入前，需要设置盟洗室用洗手器洗手（先用洁净洗涤剂洗涤，再用洁净水冲洗。