真空退火炉工安全技术操作规程
真空退火炉操作规程
真空退火炉操作规程一、开炉前准备1．将物料放进炉内，并关好炉门。
2．检查各部电路线头是否有松脱现象，若有，先修复紧固。
3．打开气动三联件前的压缩空气总阀。
4．开启水分配器前的供水总阀，并适当调整各分阀，保证各部回水管均有出水，同时检查接头处是否有漏水现象，若有应先处理好。
二、开炉及停炉1．合上电控拒上的总断路器及柜内各分断器器。
2．按下“仪表电源”和“PLC电源”按钮，将“自动/手动”转换开头调到“自动”档。
3．将触摸屏画面切换到“操作状态”，按“操作模式”，选择“手动”，再按“返回”，回到“操作状态”画面。
4．按“滑阀泵”、“确认”，滑阀泵启动，开始时管道抽真空，1-2分钟后，按“真空阀”、“确认”，真空阀开，连能管首和炉体。
5．关注真空测量仪上的真空度变化情况，当面板上的“J1 ”指示灯亮后，按“罗茨泵”、“确认”，启动罗茨泵。
6．当真空仪面板上的“J2”指示灯亮后，表示已达到打开预抽阀的真空度，按“预抽阀”、“确认”，预抽阀打开，随后按“扩散泵”、“确认”，扩散泵开始加热，记下开始加热的时间。
7．根据工艺要求，在退控仪上设定好升温曲线。
8．当扩散泵加热时间达到1.5小时，且真空仪面板上的“J4 ”指示灯亮后，按“真空阀”、“确认”，关闭真空阀，再按“扩散泵阀”、“确认”。
扩散泵阀开启后，对炉内抽取高真空。
9．当真空仪面板上的“J3”指示灯亮后，按“加热”、“确认”，主回路得电，操作退控仪，炉体将按设定好的升温曲线开始升温。
10．升温结束后，进入冷却阶段，是否采用快冷依工艺而定，快冷程度如下：⑴按工艺要求调整充气压力表的上、下限，调整风机控制压力表的上、下限，在无纸记录仪上调好风机启动温度。
⑵按步骤关闭各真空泵、阀。
扩散泵阀→扩散泵→预抽阀→真空阀→罗茨泵→滑阀泵⑶按“充气阀”、“确定”，充气阀打开，向炉内充入高纯的N2 或Ar (纯度≥99.999%)当炉内压力接近充气压力上限时，关“充气阀”，打开“微充阀”，直到充气上限为止。
真空退火炉安全操作规程
真空退火炉安全操作规程1. 引言本文档旨在确保真空退火炉的安全操作，避免事故发生并保护人员和设备的安全。
所有使用真空退火炉的人员都应读懂并遵守本规程。
2. 设备概述真空退火炉是一种在无氧或低氧环境中进行材料退火的设备。
其主要组成部分包括炉体、真空系统、加热系统、控制系统等。
在操作真空退火炉之前，应对设备的各个组成部分及其功能进行了解。
3. 操作前准备在操作真空退火炉之前，必须确保以下准备工作已完成：3.1 设备检查检查设备是否完好，包括炉体、真空系统、加热系统、控制系统等。
如发现任何损坏或异常，应立即报告维修人员。
3.2 通风排气确保真空退火炉处于良好通风的环境中，并检查排气系统是否正常工作。
3.3 个人防护装备穿戴适当的个人防护装备，包括防护眼镜、耳塞、防护手套、防护服等。
3.4 原料准备准备好需要进行退火处理的材料，并按照相关操作规程将其放置在退火炉内。
4. 操作步骤4.1 打开真空系统在操作真空退火炉之前，首先打开真空系统并排气至所需真空度。
确保真空系统正常工作并达到所需真空度。
4.2 启动加热系统在确保真空系统正常工作的情况下，启动加热系统将退火炉升温至所需温度。
需要注意的是，加热速度应适中，以避免材料受过快的热膨胀而导致损坏。
4.3 维持退火温度当退火炉达到所需温度后，应将加热功率适当调整以维持温度的稳定。
可通过控制系统监测退火温度，并根据需要进行调整。
4.4 保持真空度在整个退火过程中，应定期检查真空度，并根据需要进行排气操作以维持所需真空度。
如遇到真空系统故障或真空度异常下降，应立即停机检修。
4.5 退火结束在完成退火过程后，应先关闭加热系统，并将退火炉冷却至安全温度后方可打开炉门。
注意在打开炉门前，确保炉内压力与外界接触时温度已降至安全范围内。
5. 安全注意事项5.1 爆炸危险任何时候都不要在真空退火炉中处理易燃或可爆炸的物质。
如有必要进行此类物质的退火处理，应采取专门的防爆措施。
真空退火炉工安全技术操作规程范文
真空退火炉工安全技术操作规程范文第一章总则第一条为了保证真空退火炉的安全使用，预防事故的发生，保护工作人员的人身安全和设备的正常运行，制定本操作规程。
第二条本操作规程适用于所有使用真空退火炉进行退火处理的工作人员。
第三条使用真空退火炉进行工作时，必须参考本操作规程，并按照规定进行操作。
第四条具体设备的使用细节和特殊要求应按照设备说明书进行操作。
第五条真空退火炉应有完整的安全设备和安全标志，并定期检查和保养。
第二章安全操作第六条在进行真空退火炉工作之前，必须确保一下安全措施的完善：（一）检查真空退火炉的安全装置是否完好可用，如真空度、温度、时间等。
（二）检查电气设备是否正常工作，接地是否可靠，线路是否正常。
（三）检查真空退火炉附属设备（如防喷淋设备、冷却设备等）是否配备完好。
（四）检查工作区域的环境是否安全，是否有易燃、易爆等物质存在，是否有危险隐患。
第七条在真空退火炉工作中，必须严格遵守以下操作规程：（一）操作前检查真空退火炉是否处于正常状态，各个安全设备是否齐全，是否有损坏和泄漏。
（二）操作人员必须穿戴劳动防护用品，如防热手套、防护面具、防滑鞋等。
（三）操作人员必须熟悉真空退火炉操作程序，操作前必须进行安全交底。
（四）操作人员在操作真空退火炉时，不得随意触摸设备的表面，以免烫伤。
（五）操作过程中发现异常情况，如设备异常、温度或压力超过安全范围等，必须立即停止操作，并向上级报告。
（六）操作人员在操作过程中，不得私自修改设定参数，如温度、真空度等，必须经过主管人员同意后才可修改。
第三章废弃物处理第八条在退火过程中产生的废弃物必须按照规定进行处理：（一）退火后的废弃物必须通过安全通道，专门收集到指定的储存区域。
（二）废弃物应相应分类，如金属、非金属、有毒废物等。
（三）废弃物储存区域必须进行标识，禁止无关人员进入。
（四）废弃物必须交由专业处理单位进行处理，并开具相应的废物处置证明。
第四章灭火和急救措施第九条在真空退火炉工作过程中，如发生火灾或事故，必须立即采取以下措施：（一）迅速切断电源，并向上级报告。
真空退火炉工安全技术操作规程（3篇）
真空退火炉工安全技术操作规程1、引言真空退火炉是用于对金属材料进行退火处理的设备，具有高温、真空环境和高风险特点。
为了保证操作人员的安全，进行科学的操作，特制定本规程。
2、安全管理责任2.1、企业安全负责人应负总安全责任，对真空退火炉的安全管理负主要责任，任命专人负责真空退火炉的日常安全管理工作。
2.2、真空设备所在部门的主要负责人应负部门安全管理责任，建立健全真空退火设备的安全管理制度。
2.3、真空设备的操作人员应按规定操作，保证设备和人员的安全。
3、操作前准备3.1、操作人员应经过培训合格并取得相关操作证书方可操作真空退火炉。
3.2、操作人员应掌握真空退火炉的结构、原理和操作方法，并了解常见故障和应急处理方法。
3.3、操作人员应佩戴防护装备，包括耐高温手套、防护眼镜、耳塞等。
4、操作流程4.1、操作人员应首先检查真空退火炉的各个部件是否正常，检查设备是否有漏电、漏油等现象。
4.2、操作人员应按要求接通电源，并调节温度控制器，将温度升至设定值。
4.3、操作人员应将待处理的金属材料放入真空退火炉内，并确保材料之间不会发生碰撞和短路。
4.4、操作人员应根据工艺要求设定保持时间，待退火结束后，关闭电源，等待真空退火炉冷却。
5、安全注意事项5.1、操作人员应严格按照操作规程操作真空退火炉，不得随意更改操作步骤。
5.2、操作人员在操作真空退火炉时要保持专心，不得分心处理其他事务。
5.3、操作人员在操作真空退火炉时要佩戴防护装备，严禁穿着松散的衣物。
5.4、操作人员在操作真空退火炉时要注意避免高温物体和设备接触，以免烫伤。
5.5、操作人员应定期对真空退火炉进行检查和维护，如发现故障应立即停机，并通知相关人员进行处理。
6、应急措施6.1、发生火灾时，操作人员应立即拉闸断电，并使用灭火器进行扑灭。
6.2、发生漏气现象时，操作人员应立即切断真空退火炉的气源，并迅速撤离现场。
7、操作后清理7.1、操作人员在操作真空退火炉后应将材料取出，清理退火炉内的残留物。
真空退火炉工安全技术操作规程模版
真空退火炉工安全技术操作规程模版第一章总则第一条为保障真空退火炉工作的安全、有效进行，制定本规程。
第二条本规程适用于真空退火炉操作人员。
第三条真空退火炉操作人员应严格遵守本规程。
第四条真空退火炉操作人员有权拒绝执行违章指挥，如发现隐患有权停止作业，并向上级报告。
第五条真空退火炉操作人员应履行以下职责：（一）按照规定的程序操作真空退火炉；（二）接受安全生产教育和培训，掌握操作技能和安全知识；（三）熟悉真空退火炉的使用、维护和故障处理等；（四）积极参与安全检查、隐患排查等工作。
第二章设备安全第六条真空退火炉操作人员应熟悉真空退火炉的结构、工作原理和技术要求。
第七条真空退火炉应符合以下安全性能要求：（一）具有可靠的真空度监测装置和报警装置；（二）配有安全操作控制系统，可以保护操作人员和设备的安全；（三）具备防爆措施，防止发生爆炸事故；（四）设备应定期检查、维护和保养，确保正常运转。
第八条真空退火炉设备操作前，应检查以下内容：（一）检查真空系统是否正常工作；（二）检查温控系统是否正常工作；（三）检查相关仪器设备是否完好。
第九条真空退火炉操作人员应定期维护和保养设备，确保设备正常工作。
第三章作业安全第十条真空退火炉操作人员应按照制定的工艺流程进行作业。
严禁超负荷操作，防止设备过热和安全事故的发生。
第十一条真空退火炉操作人员应定期清理设备，防止杂物堆积引发火灾。
第十二条真空退火炉操作人员应进行安全检查，确保设备正常运行。
如发现问题应及时报修。
第十三条真空退火炉操作人员应定义勤务制度，确保值班人员能及时响应各种设备故障。
第十四条真空退火炉操作人员应定期进行安全演练，提高应急处理能力。
第四章防火安全第十五条真空退火炉操作过程中，严禁使用易燃、易爆物品。
第十六条真空退火炉周围应设有灭火器，供应电气及配电装置应设置可用的灭火设备。
第十七条真空退火炉操作人员应熟悉各类灭火器的使用方法，并定期参与火灾应急演练。
第十八条真空退火炉操作人员应定期检查灭火器的有效性，确保其正常使用。
真空退火炉工安全技术操作规程范文（二篇）
真空退火炉工安全技术操作规程范文一、前言本文是针对真空退火炉工作场所的安全操作规程，旨在规范操作人员的行为，保障工作场所的安全。
本规程适用于所有工作人员，包括操作人员、管理人员和维护人员。
二、安全操作准则1. 穿戴防护装备操作人员在进入真空退火炉工作区域前，必须穿戴符合要求的防护装备，包括耐高温手套、护目镜、防护服和安全帽等。
确保身体的各个部位得到充分的防护，并防止身体与高温设备直接接触。
2. 确认真空度在启动真空退火炉前，操作人员必须通过监测仪器确认工作区域的真空度达到要求。
如果真空度不满足要求，必须先进行修理和维护，直到真空度满足要求为止。
3. 检查锁定设备在每次进入真空退火炉工作区域前，操作人员必须检查所有锁定设备是否齐全并正常工作。
确保操作人员在进入工作区域时，所有相关设备都处于安全状态，避免发生意外。
4. 防止杂质污染操作人员在操作真空退火炉时，必须保持工作区域的清洁，并防止杂质进入炉内。
在维护真空退火炉时，必须使用干净的工具，避免杂质污染。
5. 防范炉内气体在真空退火炉工作期间，操作人员必须定期检查炉内气体的质量，并及时进行处理。
如果发现异常气体，必须停止工作并采取相应的应急措施，确保操作人员的安全。
6. 控制温度和时间操作人员在操作真空退火炉时，必须确保温度和时间控制在规定范围内。
严禁超过设定的温度和时间，避免炉内物品过热或烧毁，导致危险事故的发生。
7. 注意氧气含量操作人员在真空退火炉工作期间必须时刻关注炉内氧气含量，并定期检查氧气浓度。
如果发现氧气含量低于安全标准，必须采取相应的措施，如增加通风或补充氧气。
8. 避免超负荷工作操作人员在操作真空退火炉时，必须遵守规定的工作时间和工作间隔，避免连续超负荷工作。
每次工作后，必须对设备进行检查和维护，确保设备的正常运行。
9. 紧急情况处理在发生紧急情况时，操作人员必须立即停止工作，按照紧急情况处理程序进行应急处置，确保自身和他人的安全。
真空管式退火炉安全操作及保养规程
真空管式退火炉安全操作及保养规程前言真空管式退火炉是一种高温烘烤设备，主要应用于制造工业中对材料进行高温退火处理的工序。
在使用过程中，需要格外注意安全事项，以避免事故的发生。
本文将详细说明真空管式退火炉的操作注意事项和保养规程，旨在提升用户安全意识和维护设备正常使用。
安全操作规程一、设备检查在使用真空管式退火炉之前，请确保以下几点：1.检查电气装置是否正常，如有异常请维修或更换设备。
2.检查温控仪的显示值是否准确，及设备是否已经连接供电线路并正常工作。
二、操作与维护1.使用操作手柄时请勿手插手，不要用湿手触摸开关，特别是避免涉及操控主电源的部位。
2.切勿：借助其他物品跨过炉内的障碍物；在烤炉正常温度下更改炉内的设备位置或更换温区设备。
3.对于加热管，不要在使用状态下触摸或清洁，以免射出高温。
4.操作时不要急躁，需逐步加温，在高温下停留的时间应不超过设定的上限。
5.严禁烧烤高温不可承受的材质，不要将危险品或易燃品放置在真空管式退火炉旁。
6.对于炉内有污垢的情况，请在将炉体开启后使用无擦污液清洗干净材质，但是不可将任何化学药品等特殊液体泼入炉内进行清洗。
三、紧急措施在紧急情况下，应急按钮或主电源开关可胜任关闭真空管式退火炉的任务，如果出现炉壁破裂、漏电、或者遭受其他物理冲击，应及时切断电源，确保安全。
保养规程一、清洁在使用过程中，应每次将烤盘除尘和彻底清洗，防止杂质或沉淀物的累积影响设备温控能力。
使用软布擦拭或用无擦污液进行清洁，清洗后需用清水彻底冲洗干净。
二、定期检查定期检查真空管式退火炉的加热管、温控仪、电源等相关设备是否正常工作，并及时替换烘炉内的永久磁铁、断路器、集成钢构件等易于损坏的耗材，保障设备正常使用。
三、防止炉身进水真空管式退火炉应处于干燥环境中，不要解体烤炉进行二次安装防止毁坏防潮环。
结论通过本文的详细说明和阐述，我们可知在使用真空管式退火炉时需要做好安全注意事项，保证设备安全使用同时，做好清洁与检查工作，维护设备的正常使用，延长设备的使用寿命，以实现安全高效的烘烤作用。
真空退火炉工安全技术操作规程模版
真空退火炉工安全技术操作规程模版1.引言真空退火炉是一种重要的热处理设备，用于改善材料的性能。
为了保证操作人员的安全，预防事故的发生，制定本《真空退火炉工安全技术操作规程》，对真空退火炉的操作进行规范。
2.安全准备2.1 工作人员应具备相关的操作证件，并经过专业培训。
2.2 在操作之前，应检查真空退火炉的各个部位是否完好，保证设备正常运行。
2.3 在操作区域内设置明显的警示标志，提示周围人员注意安全。
3.操作规范3.1 工作人员应穿戴必要的个人防护装备，包括防热手套、防护眼镜、防护服等。
3.2 在操作前，应清理炉腔内的杂物和余烟，保持炉腔干净。
3.3 打开炉门时，应先确保内部温度降至安全范围，避免热风吹向操作人员。
4.真空泵操作规范4.1 操作人员在操作真空泵之前，应检查真空泵的密封性以及管路是否正常。
4.2 操作人员应按照说明书操作，正确启动和停止真空泵，避免过载或者操作失误。
4.3 在操作真空泵时，应注意排气管口的方向，避免向人体喷射或者伤害。
5.真空度检测规范5.1 在操作真空退火炉之前，应使用专业仪器检测真空度，确保真空度符合要求。
5.2 在操作过程中，应不断监测真空度，并根据需要进行调整。
5.3 如发现真空度异常，应立即停止操作，检查设备并修复故障。
6.温度控制规范6.1 在操作真空退火炉时，应按照工艺要求设置炉温，并严格控制温度升降速度。
6.2 操作人员应在控制台监测温度变化，并根据需要调整控制参数。
6.3 如发现温度超出设定范围，应立即停止操作，检查设备并修复故障。
7.紧急情况处理7.1 在操作过程中如发生紧急情况，如火灾、爆炸等，应立即切断电源，并通知相关人员。
7.2 在紧急情况发生时，应按照紧急处理预案进行应急处置。
7.3 在紧急情况解决后，应对设备进行检查，确保其完好无损。
8.清理和维护8.1 操作人员在使用完真空退火炉后，应清理炉腔内的残留物，并保持设备的清洁。
8.2 定期对真空退火炉进行检查和维护，确保设备正常运行。
真空退火炉操作规程
真空退火炉操作规程真空退火炉操作规程1.安全操作规程1.1 操作人员必须穿戴个人防护装备，如防火服、耐高温手套、安全帽等。
1.2 确保周围环境无易燃、易爆等危险物质存在，保持通风良好。
1.3 操作前检查设备是否正常运行，如发现异常情况，应立即报告维修人员。
1.4 禁止将易燃、易爆物品带入操作区域。
1.5 禁止在退火炉处堆放杂物，保持周围干净整洁。
2.设备操作规程2.1 打开真空退火炉主电源，确认电源指示灯亮起，表明设备供电正常。
2.2 打开炉门，将待处理的物料放入炉腔，并关闭炉门。
2.3 打开设备控制面板，设置合适的温度、真空度、保持时间等参数，并启动真空泵，通过泵将炉腔内的气体抽除。
2.4 等到真空度达到设定值后，关闭泵，启动加热系统，对物料进行退火。
2.5 在退火过程中，定期检查炉腔内部温度和真空度的稳定性，并记录相关数据。
2.6 当退火时间达到设定值后，关闭加热系统，开启气体通道，将气体注入炉腔，以恢复大气压。
2.7 打开炉门，取出退火后的物料，放置在合适的位置，注意防止烫伤。
2.8 关闭主电源，将设备彻底断电，关闭气体通道。
3.定期维护规程3.1 每天开机前清洁操作区域，确保设备周围无杂物积存。
3.2 每月对真空退火炉进行全面检查，检查加热系统、真空泵、控制系统等设备的工作状态和性能，如有异常及时维修或更换。
3.3 每季度对炉腔进行清洗，去除积碳物，保持炉腔内部清洁。
3.4 定期校准设备的温度和真空度显示，确保显示准确可靠。
3.5 对设备运行记录进行归档存储，以备后续参考和分析。
4.应急处理规程4.1 在设备操作过程中如遇突发事故或异常情况，应立即切断电源，采取紧急措施进行救援，并向相关人员报告。
4.2 如发生火灾，应立即通知消防部门，进行灭火，并采取逃生和疏散措施。
4.3 如发现设备漏气或泄漏，应立即停止操作，启动应急扑救措施，并通知相关人员进行处理。
以上为真空退火炉操作规程，希望对您有所帮助。
真空退火炉工安全技术操作规程
真空退火炉工人安全技术操作规程1.先送水源,检查水源是否畅通,水压р﹥0.lMPa,否则不准开炉。
2.合上总电源,再次打开操作电源。
1.打打开机械泵,分别打开1号、2号闸门。
2.打开真空计的主电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为128A)测量真空度。
电流为22mA当真空度为10-1Torr(13.3Pa);电流为84mA当真空度为10-2Torr(1.33Pa);电流为98mA当真空度为10-3Torr(0.133Pa)；电流为10OmA当真空度为10-4Torr(0.0133Pa)。
5.真空度高于1.33Pa以后,打开3号真空阀,使扩散泵中的真空度达到1.33Pa以上。
6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后打开高真空阀。
7.真空度高于0.133Pa后关闭“热电偶电源”,打开“电离计电源”,用电离仪测量真空度。
8.将电子电位计的固定指针调整到所需的温度值,把“PID”调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%～150%,积分时间为6～2.5min,微分时间为5～4min)9.把电路电源“手动给定”将旋钮转动到最小值,开关打到“自动”位置,把“PID”调节器的“手动”调到最小,开关打到“手动”位置,并接通“PID”电源。
10.电炉送电,调整“PID”的“手动”,使三相电流表的输出指示基本平衡30～70A。
11.当炉膛温度接近给定值时,把“PID”的炉温控制从“手动”打到“自动”以便进行自动控制。
12.保温时间达到要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。
如工艺要求控制冷却,即把“PID”由“自动”打到“手动”,靠“手动”调节冷却。
13.350℃不允许关闭上述水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。
14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源。
15.炉温高于150℃时,不要放气并打开炉盖。
16.工作期间必须严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。
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真空退火炉工安全技术操作规程
6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。
7.真空度高于0.133Pa后关闭热电偶电源,打开电离计电源,用电离计测量真空度。
8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把PID调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%～150%,积分时间为6～2.5min,微分时间为5～4min)
9.把电路电源手动给定旋钮调到最小,开关打到自动位置,把PID 调节器的手动调到最小,开关打到手动位置,并接通PID电源。
10.电炉送电,调整PID的手动,使三相电流表的输出指示基本均衡在30～70A。
11.待炉温接近给定值时,把PID的炉温控制从手动打到自动以便进行自动控制。
12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。
如工艺要求控制冷却,即把PID由自动打到手动,靠手动调节冷却。
13.350℃以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。
14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源。
15.炉温高于150℃时,不准放气和打开炉盖。
16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。
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真空镀膜岗位安全操作规程
1、员工着穿整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），上衣下摆不能敞开，不得穿拖鞋、高跟鞋。
2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示38020V。
3、检查各螺钉处连接是否牢固，电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好；所有电器的开关置在零或者关的位置上。
4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况。
5、检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象。
6、设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行。
7、设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行。
8、设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵。
9、扩散泵加热时，避免人身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤。
10、工件旋转时，禁止一切作业；应待工件完全停止转动后，才可进行上下滚筒作业。
11、镀膜作业完成后，需要打开门时，应有作业人员扶住拉手，缓慢的将门打开，并将插销插入固定孔中。
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12、操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业，注意设备本身及设备运行中的安全，特别要重视安全装置的检查与使用。
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行业资料
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