原子力显微镜原理、仪器及应用
原子力显微镜在材料研究中的应用

原子力显微镜在材料研究中的应用引言:原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)是一种高分辨率的原子级别表面形貌分析仪器,具有高灵敏度、高分辨率的优点,能够观察到几乎所有材料中的原子、分子和纳米粒子的表面形貌和性质,因此在材料研究领域中具有广泛应用。
一、AFM原理及基本操作AFM主要基于扫描探针对样品表面进行接触力或非接触力的测量,通过扫描探针进行相对位移的量测,进而得出材料表面的拓扑结构或者相关物理性质等信息。
AFM的工作原理主要包括弹性形变、非接触物理和化学作用以及扫描成像等过程。
在基本操作中,AFM主要通过扫描探针和样品表面的相对运动来实现测量和成像。
二、材料表面形貌的表征AFM可以直接观察到任意表面的形貌,从而可以定量描述材料的表面形貌,如表面粗糙度、表面特征等。
同时,还可以通过图像处理方法进一步处理得到更加精细的表面形貌特征,如表面轮廓的高度分布、颗粒的大小、分布和形状等。
三、材料表面性质的探测AFM还可以通过使用不同的扫描模式探测材料的多种表面性质,如化学反应动力学、局域物理和电子性质等。
例如,通过利用力曲线技术,可以定量表征材料的化学反应动力学和电声耦合等独特的性质。
四、AFM在研究纳米材料中的应用AFM具有高分辨率、非接触等优点,因此在研究纳米材料中具有广泛应用。
例如,通过使用非接触扫描模式,AFM可以在不损伤纳米材料表面的情况下进行成像和测量。
此外,通过利用AFM的相干力探头技术,可以对纳米材料表面的物理化学特性进行分析,如表面能、分散力、力学性能等。
五、总结与展望由于AFM具有高分辨率、高灵敏度等优点,在材料研究中具有广泛的应用前景。
例如,通过仪器的不断升级和改进,可以实现AFM在高温、高压、高湿度和低温等复杂环境中的应用,进一步拓展了该仪器在材料研究领域中的应用范围。
物理实验技术中的原子力显微镜的使用方法

物理实验技术中的原子力显微镜的使用方法引言:原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是一种先进的纳米技术仪器,能够以原子尺度进行表面形貌的观测和测量。
它具有高分辨率、高灵敏度和非接触式测量等优点,被广泛应用于材料科学、生物学和纳米技术等领域。
本文将介绍原子力显微镜的基本原理和使用方法。
一、原子力显微镜的基本原理原子力显微镜基于扫描探针显微技术,通过探针与样品表面之间的相互作用来获取样品表面的形貌信息。
主要的相互作用力有引力力、静电力和范德华力等,其中范德华力是原子力显微镜测量的主要力。
它利用悬臂弹簧原理,通过在探针尖端附近放置一个纳米尖端,测量尖端与样品之间的相互作用力来重建样品表面的形貌。
二、原子力显微镜的使用方法1. 准备工作在进行原子力显微镜实验之前,需要对仪器进行准备工作。
首先,校准仪器的灵敏度和垂直位置,确保能够获得精确的表面形貌信息。
其次,清洁样品台和探针以保证实验的准确性和重复性。
2. 样品准备选择合适的样品进行原子力显微镜测量之前,需要对样品进行预处理。
一般情况下,样品表面应该光滑、干净且没有明显的缺陷或杂质。
如果样品存在污垢或杂质,应进行适当的清洁和处理。
3. 探针安装将合适的探针安装在仪器的扫描头上。
选择合适的探针类型和尺寸,常见的有硅探针、硅基探针和碳纳米管探针等。
确保探针固定稳定,并与样品相对应。
4. 实验参数设置在进行原子力显微镜实验之前,需要根据样品的特性和需求设置合适的实验参数。
包括扫描模式、扫描速度、扫描范围等。
根据需要,可以选择静态模式、动态模式或者谐振模式等不同的扫描模式。
5. 开始扫描设置好实验参数后,可以开始进行原子力显微镜扫描。
将样品放置在样品台上,通过调整仪器的位置和焦距,使得探针与样品表面保持一定的距离。
启动仪器并开始扫描,通过监测探针的偏转来获取样品表面的形貌信息。
6. 数据分析和图像处理完成扫描后,获得的数据需要进行分析和处理。
原子力显微镜原理及使用方法

原子力显微镜原理及使用方法原子力显微镜(AFM)原理及使用方法1. 原理原子力显微镜(AFM)是将原子尺度的直接观测和测量的一种仪器,它利用了硅尖(或其它类型的纳米尖)与待测样品之间的亲和特性,使硅尖能够遵循样品的凹凸而被放大表示出来,从而可以实现对样品的尺寸、形状以及表面特性的定性和定量研究。
2. 上样工艺AFM的上样工艺要看具体的实验仪器,以水平原子力显微镜为例,这个设备通常将样品安装在试样台上,然后将一个小尺寸的硅尖放置在样品表面之上。
其技术主要是利用坐标轴控制机械部件,使尖头按照三个欧拉角X Y Z移动在Z轴垂直方向上作位移,满足特定条件后,就可完成样品的上样工艺。
3. 硅缕使用硅缕是AFM中最关键的部分,它的使用可分为两种主要的方法:一种是硅缕的精细调节,另一种是电驱动式调节。
细调节的方法利用激光器来产生激光束,然后使用尖端探测器测量激光束对硅缕对应表面起到的放大作用,使尖端保持正确的联系距离。
而电驱动式法是通过加电应力电偶来拉紧硅缕,当电偶施加的压力稳定的时候,硅尖就能够保持固定的电位,并能够实现测量样品的表面特性。
4. 测量原理样品表面的起伏改变了硅缕和样品表面的联系距离,而这种距离的变化会导致硅缕改变其表面电位,在原子力显微镜中,该变化会被检测,这种变化就称为外界力(本征力),通过分析这个力来检测样品表面的形状特征,确定表面结构的大小和精确度。
5. 测量方法AFM在测量中采用一种叫做“传输非线性格式测量”的方法,它利用微小压缩和张开作用来测量样品表面的曲率。
其中,收缩作用是对样品表面施加重力,使硅缕扭曲,这相当于一种“压力”;张开作用是将收缩表面的压力稳定,使尖端基本保持在样品表面的收缩位置,然后可以读取垂直收缩压力产生的力,可以读取出样品表面的凹凸尺寸特征。
6. 数据分析在AFM的数据分析中主要有两种方法:一种是直接分析原始图像;另一种行横向投影法。
在直接分析图像法中,首先使用原子力显微镜将表面图像存盘,然后再使用数据分析算法进行处理和分析,最后获得相应的表面特征信息,从而得到有关样品的准确信息。
原子力显微镜的原理及其在纳米技术中的应用

原子力显微镜的原理及其在纳米技术中的应用原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是一种能够对物质表面进行高分辨率成像、观察和分析的工具。
其原理是运用针尖与材料表面间的相互作用力探测表面形貌和性质。
本文将详细介绍原子力显微镜的基本原理和在纳米技术中的应用。
一、原子力显微镜的原理1.扫描震动式的设计原子力显微镜是一种通过扫描针尖对样品表面进行精准探测的显微镜。
针尖运动时产生的振动能够检测到样品表面形貌和结构。
其扫描震动式的设计基于谐振原理。
扫描针尖与样品表面之间有作用力,这种结果会导致针尖的振动。
2.针尖与样品间的相互作用力AFM的针尖必须具备反射杆和尖端,拥有较好的尺度和形状效应。
仪器通过感应针尖与样品之间的互相作用力,以机械臂与探针的相对运动来探测样品表面形貌及性质。
针尖接触样品表面后产生的万斯力会改变针尖的振动的振幅。
3.信封式皮扫描仪的使用在现代原子力显微镜中,信封式皮扫描仪被广泛应用,可以快速检测样品的形貌和特性。
信封式皮扫描仪不仅能够以很高的分辨率,而且能够在大范围内扫描样品,从而获得更准确的表面图像。
二、原子力显微镜在纳米技术中的应用1.纳米材料的研究原子力显微镜可以用于研究各种纳米材料,如量子点、金纳米粒子等。
由于其高分辨率和强大的成像优势,它可以揭示所有细节和表面特性。
原子力显微镜可以在不损伤样品的情况下进行非破坏性成像和分析,具有广泛的研究应用。
2.生物医学领域的应用原子力显微镜可以在细胞水平上对生物体进行研究,甚至可以在细胞内进行。
它使用非破坏性的方式扫描样品表面,具有非常高的分辨率,能够揭示生物样品的分子结构、表面形貌和纳米尺度下的物理和化学特性等,对于研究分子的运动、受体结构、细胞和组织的结构等方面具有重要的科学和生物医学意义。
3.纳米加工和表面处理原子力显微镜提供了一种便捷而强大的方式,可以实现在纳米尺度下进行样品加工和表面处理。
它可以通过控制扫描针尖与样品表面间的距离和采取不同的物理或化学手段,在表面上进行制造、刻蚀和表面修饰,从而生成微小的纳米结构或复杂纳米体系。
原子力显微镜的原理及应用

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等信息。
接触热力学探头等,获得更多的表面物
理性质信息。
3
数据图像处理
通过对采集的数据和图像进行处理和分 析,实现对样品表面形貌、力学性质等 信息的定量研究。
原子力显微镜的优势和局限性
优势
高分辨率、高精度、高灵敏度的观测和表征能 力。
局限性
不能直接观测样品三维结构,对样品表面有要 求,无法观测活体生物样品。
原子力显微镜在材料科学中的应用
材料表征
原子力显微镜可以对各种材料进行表征研究,例如 纳米粒子、原子层材料、碳纳米管等。
材料力学性质
原子力显微镜可以实现对材料力学性质的高精度测 试,如硬度、弹性、塑性等。
原子力显微镜在生物科学中的应用
1
生物样品表征
原子力显微镜可以对生物细胞、蛋白质、分子等进行表征和成像,为生物学中的 结构研究提供了高分辨率的手段。
原子力显微镜的原理及应 用
原子力显微镜,是一种基于扫描探针显微技术的高分辨率显微镜。它是现代 科学领域中不可或缺的工具之一,被广泛应用于材料科学、生物科学和纳米 技术领域。
原子力显微镜的基本原理
原子结构
原子力显微镜是基于原子结构的探测原理,通过探 测力的作用,实现对样品进行微观的表面观测和分 析。
2
材料学和生物学的融合
利用原子力显微镜的高分辨率和灵敏度,可以实现生物和材料科学的融合,如生 物医学材料的研究和开发等。
原子力显微镜在纳米技术中的应用
纳米材料成像
原子力显微镜可以实现对纳米粒 子、溶胶凝胶等纳米材料的表征 和成像。
纳米器件制造
利用原子力显微镜的纳米级控制 能力,可以实现各种纳米器件的 制造和加工,如纳米电路、存储 器等。
原子力显微镜在表面分析中的应用

原子力显微镜在表面分析中的应用原子力显微镜(Atomic Force Microscope,简称AFM)是一种重要的纳米分析技术。
它能够以原子或分子级别的分辨率探测物质表面的形貌和物理性质,具有在材料科学、化学、生物学等领域广泛应用的潜力。
本文将阐述原子力显微镜在表面分析中的应用。
一、原子力显微镜基本原理AFM是一种针尖扫描的表面分析仪器。
它通过针尖与样品表面之间的相互作用力实现成像,常见的相互作用力包括静电力、万有引力、磁力、弹性力等。
AFM能够连续扫描样品表面,生成表面形貌图像、力曲线等信息,具有高分辨率、高灵敏度和非破坏性等特点。
二、表面形貌分析在材料科学和工程领域,AFM主要用于表面形貌分析。
通过针尖与样品表面的相互作用力,AFM能够获取样品表面的形貌和纳米级别的表面特征。
与传统的表面形貌分析方法相比,如扫描电子显微镜(SEM)、激光共聚焦显微镜(CLSM)等,AFM具有更高的分辨率和更好的表面纳米特征探测能力。
常见的表面形貌分析包括表面刻蚀、疲劳、磨损、腐蚀等等。
三、物理性质分析AFM能够探测物质表面的物理性质,如电学性质、磁学性质、力学性质等。
它可以根据针尖和样品表面的相互作用力,来探测物质的表面力学性质,如弹性模量、硬度、粘性等。
此外,AFM 还可以采用时间分辨的方式,研究样品表面的动态性质和反应行为。
四、表面化学分析AFM可以与扫描隧道显微镜(STM)相结合,实现原位纳米级别的表面化学分析。
通过将针尖作为电子源,探测样品表面的电子结构,从而确定样品的表面成分和微观结构。
通过AFM-STM技术,可实现原位实时监测表面化学反应动力学及表面光电性质的变化。
五、应用领域AFM的应用领域非常广泛,包括材料科学和工程、化学、生物学等领域。
在材料科学和工程中,AFM通常用于评价材料表面粗糙度、腐蚀、磨损等表面特性;在化学中,AFM可用于探测化学反应物和催化剂表面的结构和性质;在生物学中,AFM通常用于研究生物大分子的结构和功能,并在蛋白质成像、细胞成像、病毒成像等领域有广泛应用。
化学物质的原子力显微镜

化学物质的原子力显微镜原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是一种能够获得材料表面拓扑结构信息的先进纳米分析仪器。
利用其高分辨率的成像能力,我们可以观察和研究化学物质的微观结构和性质。
本文将介绍原子力显微镜的工作原理、应用领域以及未来的发展趋势。
一、工作原理原子力显微镜是一种基于在原子尺度上感知力的技术。
其工作原理可以简单概括为通过探针与样品表面之间的相互作用来获取样品表面形貌信息。
其关键部件是一个高精度的微悬臂,类似一个弹簧,其尖端装配有一个纳米级的探针。
当探针靠近样品表面时,通过悬臂的微弯变化,可以感知到与样品表面的相互作用力。
通过记录探针与样品的相对位置变化,就可以重构出样品的表面形貌。
二、应用领域1. 材料科学研究:原子力显微镜可以帮助我们观察材料的晶格结构、表面形貌和纳米尺度下的力学性质。
这对于材料研究和新材料的开发具有重要意义。
2. 纳米电子学:原子力显微镜可以在纳米尺度上探测和调控器件的结构和性能。
这对于纳米电子器件的设计和制备具有重要的参考价值。
3. 生物医学领域:原子力显微镜可用于研究生物材料的表面形貌、细胞力学性质和蛋白质折叠状态。
这对于生物医学研究、药物开发和疾病诊断具有重要作用。
三、未来发展趋势1. 高速成像:目前,原子力显微镜的成像速度相对较慢,通常需要几分钟到几小时来获得一张高质量的成像图像。
未来的发展方向是提高成像速度,实现快速、实时的成像。
2. 多模式集成:当前的原子力显微镜通常只能提供一种成像模式,如接触模式或非接触模式。
未来的发展方向是实现多模式集成,使得同一台仪器能够提供多种不同的成像模式。
3. 原位测量:原子力显微镜通常是在大气环境下进行成像,而在许多应用领域,如材料科学和生物医学,所研究的样品往往需要在真空、高温或湿润等特殊环境下进行测量。
未来的发展方向是实现原位测量,使得原子力显微镜能够适应更多的实际应用需求。
结语原子力显微镜作为一种强大的纳米级成像工具,已经在许多领域展现出巨大的潜力。
原子力显微镜在材料科学领域的表面分析应用

原子力显微镜在材料科学领域的表面分析应用原子力显微镜(Atomic Force Microscope,简称AFM)是一种利用原子间相互作用进行表面成像和测量的仪器。
它具有高分辨率、高灵敏度和广泛的适用性,因此在材料科学领域的表面分析应用中扮演着重要角色。
本文将详细介绍原子力显微镜的原理和在材料科学中的四个主要应用方面。
首先,原子力显微镜在材料表面形貌观察和表征方面起到了重要作用。
传统的光学显微镜由于衍射的光线限制,无法提供高于光波长的空间分辨率,而原子力显微镜利用纳米级探针与样品表面的相互作用,可以实现纳米级甚至原子级的表面成像。
通过测量探针的位移,可以绘制出样品表面的形貌图像,并能够显示出表面上的微观结构和纳米级甚至原子级的凹凸特征。
其次,原子力显微镜在力学性能研究中的应用也非常重要。
材料的力学性能受到多种因素的影响,如表面的粗糙度、材料的硬度和弹性模量等。
原子力显微镜可以通过探针与样品表面的相互作用力来测量其硬度和弹性模量。
通过在不同位置测量硬度的变化,可以对材料的力学特性进行定量分析。
此外,原子力显微镜还可用于评估材料的磨损和疲劳行为,对材料的力学性能进行全面的研究。
第三,原子力显微镜在纳米尺度下的电学性能研究中也发挥着重要作用。
材料的电学性能对许多电子器件的性能和稳定性具有重要影响。
原子力显微镜可以通过探针的引入和控制,在纳米尺度下测量材料的电导率、电荷分布和电势分布等电学性能参数。
由于材料的电性质与其表面结构和化学组成之间密切相关,因此原子力显微镜在研究和优化纳米器件的电学性能方面具有独特优势。
最后,原子力显微镜在材料表面化学分析研究中的应用也不可忽视。
材料的化学成分与其性质和性能密切相关。
原子力显微镜通过在探针上引入化学敏感分子,可以实现对样品表面化学成分的高分辨率定量分析。
通过检测探针与样品表面的相互作用力的变化,可以获得表面化学成分的信息。
这对于研究材料的催化性能、吸附性能和化学反应动力学等方面非常有价值。
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图1、原子与原子之间的交互作用力因为彼 此之间的距离的不同而有所不同,其之间 的能量表示也会不同。
能量的角度
若以能量的角度来看,这种原子与原子之间的距离与彼此之间 能量的大小也可从Lennard –Jones的公式中到另一种印证。
为原子的直径 为原子之间的距离
从公式中知道,当r降低到某一程度时其能量为+E,也代表了在空 间中两个原子是相当接近且能量为正值,若假设r增加到某一程度时,其 能量就会为-E;同时也说明了空间中两个原子之间距离相当远的且能量 为负值。不管从空间上去看两个原子之间的距离与其所导致的吸引力和 斥力或是从当中能量的关系来看,原子力显微镜就是利用原子之间那奇 妙的关系来把原子样子给呈现出来,让微观的世界不再神秘。
激光落在基片 上,纸条上出 现光斑;大范 围左右移动激 光器,光斑无 变化,没有衍 射条纹出现;
AFM探针
材质:硅、氮化硅; 悬臂形状:矩形或三角形;
镀层:背面镀铝、镀金、镀铂等;
尺寸参数:长度、宽度、厚度; 力参数:力常数、共振频率; 针尖参数:针尖尺寸、高度、锥角;
AFM探针
针尖的种类
测试样品台解析
2
结构简图
AFM利用一个对微弱力极敏感的、在其一端带有一微小针尖的微悬臂,来代替STM隧道针 尖,通过探测针尖与样品之间的相互作用力来实现表面成像的(右上图)。
3
基本原理
原子力显微镜(Atomic Force Microscopy, AFM)是由IBM公司的Binnig与史丹佛大学 的Quate于一九八五年所发明的,其目的是为了使非导体也可以采用扫描探针显微镜( SPM)进行观测。
6
原子力显微镜的硬件架构
在原子力显微镜的系统 中,可分成三个部分:
力检测部分 位置检测部分 反馈系统
图2、原子力显微镜(AFM)系统结构
7
各部分介绍
2.1 力检测部分: 在原子力显微镜(AFM)的系统中,所要检测的力是原子与原子之间的范德 华力。所以在本系统中是使用微小悬臂(cantilever)来检测原子之间力的变 化量。这微小悬臂有一定的规格,例如:长度、宽度、弹性系数以及针尖的形 状,而这些规格的选择是依照样品的特性,以及操作模式的不同,而选择不同 类型的探针。 2.2 位置检测部分: 在原子力显微镜(AFM)的系统中,当针尖与样品之间有了交互作用之后, 会使得悬臂cantilever摆动,所以当激光照射在cantilever的末端时,其反射光 的位置也会因为cantilever摆动而有所改变,这就造成偏移量的产生。在整个 系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号,以供 SPM控制器作信号处理。
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安装探针
注意事项:
弹片要用两个手指均匀用力
不可以将弹片提起太高,以免弹片 变形
光路的判断
必须确定激光已落在针尖的背面,才能进针进行扫描!
激光落在悬臂后 部,左右移动激 光器可以看到水 平的衍射条纹; 向前移动激光器 则没有垂直的衍 射条纹;
激光落在悬臂边 缘,此时可以看 到十字或倾斜的 衍射条纹;9来自原子力显微镜10
工作过程
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集中工作模式
微悬臂探针紧压样品表面,检测时与样品保持接触,作用力(斥力)通过微 悬臂的变形进行测量。
接触模式 轻敲模式
针尖与样品表面相接触,分辨率高,但成像时针尖对样品的作用力较大,适 合表面结构稳定的样品。 用处于共振状态、上下振荡的微悬臂探针对样品表面进行扫描,样品表面起伏 使微悬臂探针的振幅产生相应变化,从而得到样品的表面形貌。 该模式下,扫描成像时针尖对样品进行“敲击”,两者间只有瞬间接触,能有 效克服接触模式下因针尖的作用力,尤其是横向力引起的样品损伤,适合于柔 软或吸附样品的检测。
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各部分介绍
2.3 反馈系统: 在原子力显微镜(AFM)的系统中,将信号经由激光检测器取入之后,在 反馈系统中会将此信号当作反馈信号,作为内部的调整信号,并驱使通常由 压电陶瓷管制作的扫描器做适当的移动,以保持样品与针尖保持合适的作用 力。 原子力显微镜(AFM)便是结合以上三个部分来将样品的表面特性呈现出 来的:在原子力显微镜(AFM)的系统中,使用微小悬臂(cantilever)来感 测针尖与样品之间的交互作用,这作用力会使cantilever摆动,再利用激光将 光照射在cantilever的末端,当摆动形成时,会使反射光的位置改变而造成偏 移量,此时激光检测器会记录此偏移量,也会把此时的信号给反馈系统,以 利于系统做适当的调整,最后再将样品的表面特性以影像的方式给呈现出来。
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原理
原子力显微镜(AFM)与扫描隧道显微镜 (STM)最大的差别在于并非利用电子隧道效 应,而是利用原子之间的范德华力(Van Der Waals Force)作用来呈现样品的表面特性。假 设两个原子中,一个是在悬臂(cantilever)的 探针尖端,另一个是在样本的表面,它们之间 的作用力会随距离的改变而变化,其作用力与 距离的关系如“图1”所示,当原子与原子很接 近时,彼此电子云斥力的作用大于原子核与电 子云之间的吸引力作用,所以整个合力表现为 斥力的作用,反之若两原子分开有一定距离时 ,其电子云斥力的作用小于彼此原子核与电子 云之间的吸引力作用,故整个合力表现为引力 的作用。
原子力显微镜原理、 仪器及应用
汇报人:XXX
起源
LOOK AT THIS
AFM全称Atomic Force Microscope 即原子力显微镜,它是继扫描隧 道显微镜(Scanning Tunneling Microscope)之后发明的一种具 有原子级高分辨的新型仪器,可 以在大气和液体环境下对各种材 料和样品进行纳米区域的物理性 质包括形貌进行探测,或者直接 进行纳米操纵。
AFM针尖
AFM样品测试台
样品台
AFM图像
软件
SPM Console在线控制软件 Imager图像处理及分析软件
AFM的应用
利用AFM可以对样品进行表面原子搬运,原子蚀刻, 从而制造纳米器件。
还可用于表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度 解析、突起与凹坑的统计处理、成膜条件评价、保护层 的尺寸台阶测定、层间绝缘膜的平整度评价、VCD涂 层评价、定向薄膜的摩擦处理过程的评价、缺陷分析等。
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集中工作模式
相位移模式
作为轻敲模式的一项重要扩展技术 ,相移模式(相位移模式)通过检测驱 动微悬臂探针振动的信号源的相位角 与微悬臂探针实际振动的相位角之差 (即两者的相移)的变化来成像。 引起该相移的因素很多,如样品的 组分、硬度等。因此利用相移模式( 相位移模式),可以在纳米尺度上获 得样品表面局域性质的丰富信息。迄 今相移模式(相位移模式)已成为原子 力显微镜的一种重要检测技术。
原子力显微镜的基本原理是:将一个对微弱力极敏感的微悬臂 一端固定,另一端有一微小的针尖,针尖与样品表面轻轻接触, 由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力,通过 在扫描时控制这种力的恒定,带有针尖的微悬臂将对应于针尖与 样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏 运动。利用光学检测法或隧道电流检测法,可测得微悬臂对应于 扫描各点的位置变化,从而可以获得样品表面形貌的信息。