非接触式激光料位检测系统的设计
共聚焦激光扫描显微系统光学设计

共聚焦激光扫描显微系统光学设计作者:肖海东吴永前来源:《光学仪器》2018年第06期文章编号: 1005-5630(2018)06-0065-10摘要:为了实现非接触式、快速高精度的光学检测,设计了一种共聚焦激光扫描显微光学系统。
在保证设计指标的前提下,简化了各光组的结构,采用7片球面透镜并以K9玻璃作为透镜材料。
使用Zemax软件对光学系统进行了设计和仿真。
结果表明:物镜的数值孔径为0.49;系统的径向和轴向光学分辨率分别为0.400 μm和0.772 μm;显微聚焦系统聚焦弥散斑直径小于2 μm;照明系统聚焦弥散斑直径小于10 μm;探测系统的聚焦光斑直径小于20 μm;根据仿真结果确定了针孔1和针孔2的尺寸均为20 μm,且厚度不超过0.1 mm;各子系统的MTF曲线均接近衍射极限,具有很高的光学传输效率。
关键词:光学设计; Zemax; 激光共聚焦; 显微物镜; 照明系统; 探测系统中图分类号: O 439; TH 742文献标志码: Adoi: 10.3969/j.issn.1005-5630.2018.06.011引言与普通光学显微镜不同,共聚焦激光扫描显微镜(confocal laser scanning microscope,CLSM)以激光为照明光源,通过独特的针孔滤波技术和共轭成像原理,抑制了显微物镜焦点之外的物点信息的光信号,进而提高了光学分辨率,同时采用相应的扫描技术,又可以弥补CLSM系统视场小的缺点[1-4]。
因此在理想情况下,CLSM能够实现点对点成像。
与普通光学显微镜相比,CLSM系统在获得更高的横向分辨率的同时,还具有较高的纵向分辨率。
利用这种特性,可以实现对样品的三维结构重建和测量分析,为研究透明物体的内部结构提供了参考[5]。
1基本原理CLSM的本质是物像共轭,具体表现为:照明光源和探测器所处的位置分别与显微物镜焦点位置共轭,CLSM利用这种共轭关系抑制了光束离焦量和系统杂散光对光学分辨率和精度的影响,其基本原理如图1所示[6]。
非接触式位移测量技术及应用研究

精品合同,仅供参考,需要可下载使用!电子科技大学毕业设计(论文)非接触式位移测量技术及应用研究学院名称学院名称专业名称自动化专业学生学号学生学号学生姓名学生姓名指导教师教授姓名助理指导老师老师姓名202X年X月第一章1.1位移传感器简介位移传感器是人类发展的产物,它可以帮助人们了解更多的信息。
在生活生产中,需要的得到位移变化量来进行机械的操作等。
根据位移的变化量我们可以采用不用的测量技术。
比如本课题需要得到制动盘内摩擦块的位移量,可以选用电涡流传感器、磁致伸缩位移传感器。
这类都是高精度的位移传感器。
根据物体不同的运动方式有以下两种测量技术。
直线位移测量技术可以更具滑动变阻器在滑片在不同位置的不同电阻的原理设计,滑片移动的距离与滑动变阻器两端电压有着真比关系,假如滑片位移了一个很大的距离,则两端的电压也跟着变大。
只要用电压表,电流表得出变阻器两段电压,电流值,便可得出电阻值,就可得出滑片的位移量,待测物体与滑片相连,便可得出被测物体的位移量。
角度位移传感器在折弯机里作用非常大,可以使人们得到想要角度,用于工业生产中。
1.2位移传感器的国内外研究现状及发展趋势随着科技的迅速发展,对位移传感器的特性日益严格,而且需求量也不断增加。
对现有的位移传感器精心改良,使用最新研发的材料,并增加新的技术,可以使她们在不同场合和环境内稳定的工作,并且这些传感器的价格可以让大众接受。
使时代进步的新技术有:在中国前几年一直利致于LVDT式位移传感器的改进,随着OEM技术的成熟,我国逐渐了解并掌握这一新技术,并应用在位移传感器内,使得传感器技术有着巨大的变化,逐渐走向集成化,一体化,自动化,和智能化。
在的我国LVDT的技术也是在世界的前沿的,我国的LVDT式位移传感器最高精度可到0.05%,绝对误差小于1um。
我国LVDT式位移传感技术做的好的公司有很多,比如我们家那的硕锋电子科技有限公司,他家主要做机电自动化产品,智能机器人。
kla overlay tis原理

kla overlay tis原理KLA Overlay TIS原理解析什么是KLA Overlay TIS?KLA Overlay TIS(Total Inspection System)是一种用于制造和半导体工业中的高精度设备,能够实现纳米级别的测量和检查。
该系统是一种非接触式的光学测量工具,被广泛应用于晶圆制造过程中的杂质和形貌的检测。
KLA Overlay TIS的原理KLA Overlay TIS基于光学原理,通过投射特殊的光源和检测目标上的反射光来进行测量。
它使用两个或多个不同波长的激光来照射待测材料,然后通过检测反射光的强度和相位信息来获取样品的表面形貌和特征。
1. 激光照射KLA Overlay TIS使用激光器产生具有不同波长的激光束。
通过控制激光束的路径和方向,确保激光光束准确照射到待测材料表面。
不同波长的激光能够提供更多的信息用于测量和分析。
2. 反射光检测待测材料表面受到激光照射后,产生的反射光经由光学系统进行收集和聚焦。
光学系统会将收集到的反射光准确地引导至检测器上进行强度和相位的测量。
这些测量值将用于计算出样品的表面形貌和特征。
3. 数据处理和分析KLA Overlay TIS利用复杂的算法和信号处理技术来分析从检测器中获得的数据。
通过比较测量值和参考值,系统可以获得反射光的强度和相位变化,并进一步计算出样品的特征参数和表面形貌。
这些数据可以用于评估制造过程中的品质和特定区域的偏差。
KLA Overlay TIS的应用KLA Overlay TIS广泛应用于半导体工业中的制造和质量控制过程。
它对生产线中的晶圆、薄膜沉积、图案边缘对准等方面进行高精度测量和检查,有助于提高生产效率和产品质量。
•晶圆对准:KLA Overlay TIS可用于检测晶圆上不同层之间的对准精度,确保各层之间的光刻图案对准准确无误。
•薄膜厚度测量:通过KLA Overlay TIS的测量,可以获取薄膜沉积过程中的厚度分布,有助于调整和控制薄膜沉积的均匀性。
非接触式原煤仓料位计的测量方法及应用

非接触式原煤仓料位计的测量方法及应用原煤仓料位测量的正确性和可靠性直接影响到选煤厂的正常生产和工作,准确测量仓内料位在现代化选煤厂生产自动化过程中具有重要的作用。
由于煤仓内部粉尘浓度高、易黏着,仓内环境恶劣等特点,因此仓内料位测量有很高的要求。
传统的人工拉绳测量方法是最可靠、稳定的,但是随着选煤厂的自动化发展以及互联网技术的日新月异,为了有效提高选煤厂的生产效率和质量,对生产技术要求不断提高,并且现场操作环境复杂,人工测量方式已经不适用于生产现场。
近年来,随着科技的进步和经济的发展,中国选煤行业逐渐趋向于自动化和智能化发展,对仪表检测要求也越来越高,各种煤位测量料位计也高速发展,主要分为接触式和非接触式2类。
非接触式料位计包括超声波料位计、雷达料位计、放射性料位计、图像处理和激光技术等。
非接触式料位计概述如下。
1、超声波料位计超声波是一种特殊的声波,反射能力强。
郎永平提出了一种超声波料位计。
工作原理是发射信号遇到障碍物反射回波被接收,计算出从发射到接收的时间,待测结果和所耗时间成正比,从而得出了要监测的料位高度,超声波料位计的量程在0~60m。
超声波对测量环境有着较高的要求,当煤仓中粉尘浓度较高时,超声波会被吸收,导致测量信号衰减,并且温度对于声速的影响较大。
因此在使用超声波料位计时,要消除这些因素的影响,提高测量结果的准确性。
2、雷达料位计雷达波是一种特殊形式的电磁波,传播速度与光速相当,差别在于它们各自的频率和波长不同。
雷达料位计的测量原理就是向料面通过发射天线发射信号,返回的信号被发射天线接收,经过信号处理器处理后,通过计算发射与接收信号之间的时间差,因电磁波以光速传播,从而换算得到煤仓中物料的高度。
雷达料位计测量信号不受空气波动影响,穿透能力强,适合在煤仓等粉尘浓度较大的环境下使用。
3、激光料位计激光料位计的测量方法为激光脉冲飞行方式。
工作原理类似于超声波和雷达测距,向仓内物料表面发射连续或高速脉冲束阻挡后被反射回来,被处理器接收,激光脉冲的运动时间与探头到物体表面的距离成正比,时间越长,距离越大,经过信号处理,得出料位的高度。
Vic-3D_非接触全场应变测量系统

非接触全场应变测量系统 应用案例
材料测试
高速压缩试验 泡沫结构内置玻璃纤维 观察层离屈曲和传播过程
高速物体测量模块
高速摄像机在高速运动物体定性评定中非常有效,但该方法很难进行定量评估。标志点追踪软件解决 了这个问题,但是只能跟踪运动,并追踪数量点有限,且不能精确测量面向相机和背离相机的运动。 VIC-3D高速物体测量模块集成了3D数字图像相关系统的所有优势,其集成了高速摄影机,无论是运动还是 应变都可以在视野范围内跟踪到每个像素。由于数据是3维处理的,相机中包含了所有位移方向,所有的计算 都是通过软件快速自动地进行计算。VIC-3D HS数字图像相关系统配备高速摄像机,可广泛应用于冲击爆炸 及大应变试验,图像采集速率从每秒1000张到每秒1,000,000张。
e2应变热点
NASA战神5运载火箭一 级助推器燃料仓轻量化 设计验证
直径:8.4m 高:6.1m 燃料仓上部加载力 VIC-3D 7套系统圆周阵列
CFRP拉伸试验 应变区域可以进行结构分析
纤维断裂在视图中可见
exx=0.17%
eyy=0.14%
离面位移=0.02mm
高速压缩试验 复合层压材料冲击破坏 观察薄片膨胀和扩散 目视勉强可见冲击损伤(BVID)高达60%
标志点测量
使用VIC-Gauge系统对高密度聚乙稀进行 实时应变测量
VIC-3D提供了在3D方向上标志点跟踪测量方法,通过使用一组相机,即使靠近或背离相机的运动,
该模块也能精确跟踪,并且没有数量限制,也可以用来定位CAD模型或者FE模型。
睿拓时创
非接触全场应变测量专项模块
非接触测量
•不需要应变片,刷漆或使用栅格 •不需要为获得有效结果而进行精确定位 •试件振动也可以测量 •数分钟即可准备并测量试件
块状物料料位检测报告

块状物料料位检测报告块状物料料位检测报告报告编号:2021-001报告日期:2021年1月1日一、检测目的本次检测旨在对块状物料的料位进行检测,确保料位的准确性和合理性,以提高生产过程的效率和安全性。
二、检测方法本次检测采用非接触式检测方法,通过使用雷达技术和传感器设备,对目标物料进行扫描和反射,从而得出料位数据。
三、检测设备1. 雷达传感器:型号XXX,工作频率XGHz,测量范围X米。
2. 数据采集系统:采用高精度数据采集设备,能够实时采集和记录料位数据。
四、检测过程1. 设置检测参数:根据实际需要,对雷达传感器进行参数设置,如工作频率、测量范围等。
2. 安装传感器:将雷达传感器安装在物料存放区域的适当位置,确保传感器和目标物料之间没有障碍物。
3. 启动检测设备:将传感器连接至数据采集系统,启动设备,开始对物料料位进行检测。
4. 数据采集和记录:数据采集系统将自动记录检测到的料位数据,并实时显示在监控屏幕上。
5. 数据分析:对采集到的料位数据进行分析,判断其准确性和合理性。
6. 生成报告:根据分析结果,编制块状物料料位检测报告。
五、检测结果经过检测,得出以下结果:1. 块状物料的料位数据准确且合理,与实际情况相符。
2. 在料位检测过程中,未发现任何异常情况或故障。
六、结论与建议本次检测结果表明,块状物料的料位正常且准确。
建议在生产过程中,继续定期进行料位检测,以确保生产过程的安全性和高效性。
七、检测单位XXX检测有限公司八、备注本次检测仅对块状物料的料位进行检测,不包括其他方面的检测内容。
如需其他检测服务,请另行安排。
以上为块状物料料位检测报告,请查收。
如有疑问或需要进一步了解检测详情,请随时联系我们。
e+h射频导纳料位开关中文说明书

e+h射频导纳料位开关:让物料的控制更加精准在工业生产中,物料的控制是非常重要的一环节。
而e+h射频导纳料位开关的出现,让这一环节变得更加精准。
e+h射频导纳料位开关的中文说明书详细介绍了它的工作原理、特点以及应用场景。
本文将以此为中心,进一步阐述e+h射频导纳料位开关的优势以及未来的发展趋势。
e+h射频导纳料位开关的工作原理e+h射频导纳料位开关是一种非接触式的物料控制设备。
它利用微波信号来检测物料的存在与否,从而实现对物料的控制。
e+h射频导纳料位开关的工作原理可以简单地概括为:当微波信号遇到物料时,部分信号会被反射回来,这些反射信号会被e+h射频导纳料位开关接收并处理。
通过处理后,e+h射频导纳料位开关可以判断物料的存在与否,从而实现对物料的控制。
e+h射频导纳料位开关的特点e+h射频导纳料位开关具有以下特点:1.非接触式控制:e+h射频导纳料位开关不需要与物料接触,从而避免了物料对设备的损坏以及污染。
2.精准控制:e+h射频导纳料位开关可以对物料进行精准的控制,从而提高了生产效率。
3.安全可靠:e+h射频导纳料位开关采用微波信号进行控制,不会对人体造成伤害,同时也可以避免因接触式控制而引起的安全隐患。
4.高度可定制化:e+h射频导纳料位开关可以根据不同的应用场景进行定制化设计,从而满足不同的需求。
e+h射频导纳料位开关的应用场景e+h射频导纳料位开关在工业生产中有着广泛的应用场景。
例如,在化工、食品、医药等行业中,e+h射频导纳料位开关可以用于对液体、粉末、颗粒等物料的控制。
在石油、天然气等行业中,e+h射频导纳料位开关也可以用于对油气的控制。
e+h射频导纳料位开关在各个行业中都有着广泛的应用。
未来的发展趋势随着工业生产的不断发展,e+h射频导纳料位开关也在不断地发展和改进。
未来,e+h射频导纳料位开关将会有以下发展趋势:1.智能化:e+h射频导纳料位开关将会越来越智能化,可以通过互联网进行远程控制和监测。
新型物位测量与控制实验系统开发

第 4期
实验科 学与技术
Ex e i n c e c n e h oo y pr me tS i n e a d T c n l g
Vo . o 4 19 N .
Aug s. 01 ut2 1
2 1 年 8月 01
新 型 物 位 测 量 与 控 制 实 验 系统 开发
般都使用差压法测量液位。而物位测量从工作方式
上已经从传统的接触式测量向非接触式测量方 向发 展 ,因而传统的实验系统就显得过时。由于被测量 为液位 ,系统的组成必须有水箱 ,导致实验系统很 笨重 ,同时维护费用也相对较高。
本 文介 绍 了一 种新 型物 位测 量控 制实 验教 学 系 统 。本 实验 系统 的被控 对象 为 圆柱体 的位 置 ,采 用
Ke r s lv lc nr l x rme tls se y wo d : e e o t ;e p i n a y t m;fu d t n fed b s o e o n a i l u o i
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
2 O世纪 9 0年代 以来 ,自动化技术飞速发展 已
成为国家高科技 的重要分支 。过程控制技术是 自动
义。
超声波非接触式物位测量仪表测量圆柱体位置。由 FI / 转换器 ,变频器来 实现离心式鼓 风机 的风速控 制 ,最终实现圆柱体的固定位置的控制 ,使学生可 以更加深入地了解先进的物位测量仪表和现场总线
控 制技 术 。
l 新型物位 测量与控 制实验 系统
过程控制中主要 的控制参数有温度 、流量、压 力 、物位等。在用于提高学生动手能力和加深学生
化技术 的重要组成部分 。在现代工业生产过程 自动
化 中 ,过程 控制 技 术正 在 为实 现各 种最 优技 术 经济
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表4数据统计结果均 值标准差变异系数I p(kA)121170116113%t1(μs)211401063219%最大值,t1为第一半波时间长度。
实验表明,随着放电能量的加大,PPT放电电流变大,放电时间增加。
无论是峰值电流还是半波时间等波形参数,其变异系数都≤±3%,这说明该测量系统状态稳定,重复性好。
5 结论针对PPT放电电流的特点,设计了一种Ro2 gowski线圈测量系统,该系统能准确采集PPT工作过程中产生的脉冲电流信号波形,具有良好的测量特性。
对电流最大值和时间参数的测量,准确性和重复性都能较好地满足测量要求,波形失真较小,为PPT放电电流的测量提供了一种可靠的手段。
参考文献[1]华中工学院、上海交大合编1高电压试验技术[M]1北京:水利电力出版社,1983:303~305[2]J1Wey,D1Eckenfels,C1G authier,et al1High Accuracy Measure2ments on Railguns[J]1IEEE Trans on Magnetics11995,31(1): 764~769[3]谭北华1一种同轴脉冲等离子体微推力器的研制与测试[D]1中国科学院研究生院,2003[4]J1D1Ramboz1Machinable Rogowski Coil,Design,and Calibration[J]1IEEE Trans on Instrumentation11996,45(2):511~515 [5]张红岭,王海明,郑绳楦1Rogowski线圈的结构与电磁参数的研究[J]1高电压技术12006,32(6)[6]黄浩,陆继明,毛承雄,李维波1Rogowski线圈结构参数仿真研究[J]1电力系统及其自动化学报12004(3)[7]Donald G1Pellinen1Rogowski Coil for Measuring Fast,High-lev2el Pulsed Currents[J]1Review of Scientific Instruments11980,51(11):1535~1540[8]G B/T168961-20051高电压冲击测量仪器和软件———第1部分:对仪器的要求[S][9]IEC61000-4-51Electromagnetic compatibility(EMC)-Part4-5:Testing and measurement techniques-Surge immunity test [S]非接触式激光料位检测系统的设计常凤筠1 崔旭东2(11辽宁科技大学电子与信息学院,鞍山114044;21鞍山师范学院计算中心,鞍山114005)摘 要 目前采用传统接触式方法检测料位存在各种问题,开发一种非侵入式的料位检测方法具有重要的实用价值。
研究了基于激光料位的检测系统原理,该系统由单片机通过串口控制两个激光传感器同时发射激光,激光到达物料位置后反射回激光传感器,通过单片机计算出料位。
该系统结构简单、性能可靠,测量精度较高,弥补了传统测量方法存在的问题。
关键词 激光;测距;料位;料仓0 引言在物位测量中,接触式测量是过去测量物位的主要手段,由于测量时仪表和物料是接触的,在使用过程中往往会出现各种问题,如电容的挂料,音叉的堵料等。
非接触式的物位测量始于上世纪90年代,除了雷达式传感器、超声波传感器外,另外一种非接触式测量技术是激光测距传感器。
激光测距传感器可用于危险场所非接触物位测量,可以测量所有液体和固体的物位,测量精度高,传感器与物料不直接接触,安装维护方便,价格便宜,激光不受光线、物料的影响。
激光测距广泛用于测量腐蚀性和侵蚀性及性质易变的物位。
利用激光测距原理简单,通过测量激光往返目标所需时间来确定目标距离,使它成为距离检测的主要手段。
1 料位测距系统111 料位测距系统组成激光料位测距系统的组成如图1所示。
该系统选用了由瑞士莱卡公司生产的DL S-A15型激光测 测量与设备 计量技术20081No3・13 ・距传感器。
DL S -A 激光测距传感器是新一代的测距设备,该设备拥有许多卓越的性能,是一种当前最为先进的经济型在线位置检测系统,具有惊人的测试精度和极高的稳定性。
由于是通过发射激光束至目标物体,利用反射光束精确计算距离,因此在不加反射靶的情况下,也可达到很远的检测距离,而且对目标物体的尺寸面积比超声波要求的面积小得多,使得对远距离的小尺寸物体位置检测成为可能。
DL S -A15型激光测距传感器可广泛应用于工业液位、料位、生产线料坯传送定位,其位置数据还可传送到远程监控终端,是工业自动化和生产智能管理的理想仪器,测量精度达±115mm ,单次测距输入指令为g <trm >,返回数据成功为311106+xxxxxxxx <trm >。
图1 激光料位测距系统的组成框图硬件主要采用W77E58单片机,通过自身的两个串行通信口同时发测距命令,利用激光测距传感器DL S -A15进行料位实际距离的测量。
其它的功能运算、数据处理等均由软件程序完成。
112 料位测距系统原理激光测距应用于高达20m 、直径达10m 的大型储料桶(如水泥厂、矿厂的储料桶)的料位测定,利用激光的非合作目标相位测距法,采用多点测量,每点测量多次,用其平均值作为计算物料量的参数,从而测出料位距桶顶的距离。
该系统容易安装维护、效率高,所采用的探测介质对人体和环境无害,是一种理想的料位检测方法。
用单片机控制两个激光测距传感器,从而构成物位测量系统,能够测量一次距离和多次距离,以及进行时间和料位距离显示。
在料仓的料位测量中,两个激光测距传感器分别安装在料仓上方的不同位置,图2为实际料仓料位进行测量的示意图。
应用激光测距传感器在空气中的定向传播和固体反射特性计算传播距离,从而得到测量系统到物料的距离。
图2中,d 为料仓的总高度,两个激光测距传感器测出的距离分别为h 1、h 2,由单片机求出平均值h ,即为物料与料仓口的距离,从而可以得出料位的高度H 。
H =d -h图2 料仓料位测量示意图本设计主要是利用W77E58单片机和RS232C串行通讯通过按键分别向两个激光测距传感器(DL S -A15)同时发测距命令(“g \n ”),传感器接收此命令并对被测料仓物体发射一束光信号,经反射回的光信号在传感器内部被转换为一序列号码,若成功返回代码为311106+xxxxxxxx ,然后再经RS232C 串行通讯将返回的数据发送到W77E58。
W77E58将串行口传来的数据求平均值即为料仓的料位,并通过MAX7219芯片驱动L ED 显示器实时显示被测料仓的料位。
2 通讯电路设计过程通讯电路主要完成电平的转换与信息的传递。
本系统的通讯电路为单片机与激光测距传感器之间的通信,而单片机与传感器之间的通信主要是依靠单片机的串行通信功能得以实现。
DL S -A 激光传感器的接口为D 型接口,本系统选用RS232作为与单片机相连的接口,连接图如图3所示。
W77E58单片机的片内串行口是两个全双工的异步串行通信接口,可以同时发送和接收数据,串行 测量与设备 ・14 ・计量技术20081No 3图3 DL S -A 激光传感器与单片机连接图口的接收和发送都是通过对特殊功能寄存器SBU F 的访问实现。
CPU 对SBU F 执行写操作即可发送数据,CPU 对SBU F 执行读操作即可接收数据。
本设计通过单片机向传感器发送测距命令“g/n ”来完成发送数据,即单片机通过判断测距命令字符数组“g/n ”中的字符是否等于‘/n ’来确定发送是否结束,如两个字符相等则发送测距命令完成,并将送到图4 发送子程序流程图数据缓冲器SBU F 中通过串行口的TXD 给激光测距传感器的RXD 接收。
接收方案通过判断串行通信控制器SCON 的接收中断结束标志RI 来实现对返回数据的接收。
即本系统通过判断接收是否超时,如超时则重新发测距命令;不超时则接收数据并判断第一个接收的是否是3,如是3则先让出6个标志位“311106”,再接收8位数据位,但是本系统中最大距离是m 且精确到1/10mm ,所以有效数是从第2位至第6位,通过程序将其分离出来后的5位数(10m 、m 、dm 、cm 、mm )为测得的距离值。
3 测距程序设计思想此部分程序主要完成测距功能,并把单片机所测得的距离求平均值,进行数码显示。
发送子程序流程图及测实际距离getlength ()程序流程图如图4、5所示。
图5 测实际距离getlength ()程序流程图4 结论基于激光的料位检测系统,通过与单片机相配合的电路设计实现对料位的测量,由软件实现对测量距离的计算,并由液晶屏显示出结果。
该系统具有测量精度高,运行可靠等特点。
参考文献[1]Dimetix A G 公司上海服务中心1Distance Laser Sensor TechnicalReference Manual[DB/OL ]1http ://www 1dimetix 1com 1cn/prod 2ucts/solutions 1htm ,2005-05-09[2]马忠梅,籍顺心,张凯,马岩1单片机的C 语言应用程序设计[M ]1北京:北京航空航天大学出版社,2001[3]高稚允,高岳1光电检测技术[M ]1北京:国防工业出版社,1997[4]张承铨1国外军用激光仪器手册[M ]1北京:兵器工业出版社,1989 测量与设备 计量技术20081No 3・15 ・。