金属氧化物半导体纳米气敏材料研究进展

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《Au负载金属氧化物纳米结构的制备、调控及其气敏性能研究》

一、引言近年来，纳米科学和技术在多个领域展现出了显著的潜力，其中就包括在材料科学领域的气敏性能研究。本文关注于一种具有特殊性质的结构——Au负载金属氧化物纳米结构，它通过纳米尺度下的精准制备和调控，能展现出优异的化学和物理性质。特别地，该结构在气体传感器应用中表现出极高的敏感性和选择性，具有重要的研究价值和应用前景。本文旨在研究Au负载金属氧化物纳米结构的制备方法、结构调控以及其气敏性能。二、Au负载金属氧化物纳米结构的制备制备Au负载金属氧化物纳米结构的方法有多种，其中最常用的是溶胶-凝胶法、化学气相沉积法和水热法等。本文采用溶胶-凝胶法制备Au负载金属氧化物纳米结构。首先，将金属盐溶液与含有金离子的溶液混合，形成均匀的溶胶；然后通过控制反应条件，如温度、pH值等，使溶胶形成稳定的金属氧化物前驱体；最后在特定的气氛和温度下进行热处理，得到Au负载金属氧化物纳米结构。三、结构调控结构调控是决定材料性能的关键因素。对于Au负载金属氧化物纳米结构而言，调控手段包括控制金属离子的配比、调整热处理温度和时间等。通过改变这些参数，可以实现对材料形貌、尺寸和晶体结构的精确控制。例如，增加金的负载量可以提高材料的导电性；调整热处理温度可以控制晶粒的尺寸和形貌；通过优化溶胶-凝胶过程的参数，可以调控纳米结构的孔径和比表面积等。这些结构参数的调控将直接影响到材料的气敏性能。四、气敏性能研究本部分重点研究了Au负载金属氧化物纳米结构对不同气体的敏感性能。首先，我们通过测量材料在不同气体环境下的电阻变化来评估其气敏性能。实验结果表明，该材料对某些气体（如H2S）表现出较高的敏感性和选择性。通过对比不同条件下制备的样品，我们发现适当的金负载量和特定的晶体结构有助于提高材料的气敏性能。此外，我们还探讨了不同结构参数对气敏性能的影响机制，发现材料的比表面积、孔径大小和导电性等因素均对气敏性能产生重要影响。五、结论本文研究了Au负载金属氧化物纳米结构的制备、调控及其气敏性能。通过采用溶胶-凝胶法制备该材料，并通过对金属离子配比、热处理温度和时间等参数的调控，实现了对材料形貌、尺寸和晶体结构的精确控制。实验结果表明，适当的金负载量和特定的晶体结构有助于提高材料的气敏性能。此外，我们还发现材料的比表面积、孔径大小和导电性等因素均对气敏性能产生重要影响。本文的研究为Au负载金属氧化物纳米结构在气体传感器领域的应用提供了重要的理论依据和实验支持。然而，该领域仍存在许多值得进一步研究和探讨的问题，如不同气体敏感机理的深入研究、其他类型金属氧化物的探索以及制备工艺的优化等。未来我们将继续致力于该领域的研究，以期为气体传感器的实际应用提供更多有价值的成果。六、实验与结果分析 6.1 制备方法在本文中，我们采用溶胶-凝胶法来制备Au负载金属氧化物纳米结构。具体步骤如下：首先，按照预定的金属离子配比，将相应的前驱体溶液混合并搅拌，形成均匀的溶液。随后，通过控制热处理温度和时间，使溶液进行凝胶化过程，形成金属氧化物的前驱体凝胶。最后，将凝胶进行热处理，得到Au负载的金属氧化物纳米结构。 6.2 形貌与结构调控在制备过程中，我们通过调整金属离子配比、热处理温度和时间等参数，实现了对材料形貌、尺寸和晶体结构的精确控制。通过扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）观察样品的形貌和结构，我们发现适当的金负载量和特定的晶体结构有助于提高材料的气敏性能。 6.3 气敏性能测试我们通过测量气体环境下的电阻变化来评估材料的气敏性能。实验中，我们将样品置于不同浓度的H2S气体环境中，并记录电阻随时间的变化情况。实验结果表明，该材料对H2S等气体表现出较高的敏感性和选择性。 6.4 结果分析通过对实验结果的分析，我们发现材料的比表面积、孔径大小和导电性等因素均对气敏性能产生重要影响。比表面积大的材料可以提供更多的活性位点，从而增强与气体的相互作用；孔径大小则影响气体分子的扩散和吸附；而导电性则直接影响电阻的变化。此外，我们还发现适当的金负载量可以改善材料的电子传输性能，从而提高其气敏性能。七、气敏性能影响机制探讨 7.1 气体吸附与解吸过程在气体环境下，材料表面的活性位点会吸附气体分子，导致电阻发生变化。当气体分子被吸附后，会改变材料的电子结构和能带结构，进而影响材料的导电性能。而当气体分子从材料表面解吸时，电阻会恢复到初始状态。 7.2 金负载的作用适当的金负载可以改善材料的电子传输性能。金作为一种良好的导体，可以提供更多的电子传输通道，降低电子传输的阻力。此外，金还可以作为催化剂，促进气体分子的吸附和解吸过程，从而提高材料的气敏性能。 7.3 晶体结构的影响特定的晶体结构可以提供更多的活性位点，增强与气体的相互作用。此外，不同的晶体结构具有不同的能带结构和电子结构，从而影响材料的导电性能和气敏性能。八、结论与展望本文通过采用溶胶-凝胶法制备了Au负载金属氧化物纳米结构，并通过对制备参数的调控实现了对材料形貌、尺寸和晶体结构的精确控制。实验结果表明，适当的金负载量和特定的晶体结构有助于提高材料的气敏性能。此外，我们还发现材料的比表面积、孔径大小和导电性等因素均对气敏性能产生重要影响。这些研究为Au负载金属氧化物纳米结构在气体传感器领域的应用提供了重要的理论依据和实验支持。未来研究可以从以下几个方面展开：首先，深入研究不同气体的敏感机理，以进一步提高材料的选择性和灵敏度；其次，探索其他类型金属氧化物的制备和性能研究；最后，优化制备工艺，提高材料的稳定性和重复性。我们相信，随着研究的深入进行，Au负载金属氧化物纳米结构在气体传感器领域的应用将取得更加显著的成果。九、Au负载金属氧化物纳米结构的制备、调控及其气敏性能研究的深入探讨 9.1 制备方法与过程 Au负载金属氧化物纳米结构的制备通常采用溶胶-凝胶法，这是一种常用的纳米材料制备技术。在制备过程中，首先需要准备好金属盐溶液和还原剂，然后将金前驱体与金属盐溶液混合，并通过控制反应条件如温度、pH值和反应时间等，使金属离子在溶液中形成凝胶。在这个过程中，金纳米颗粒会负载在金属氧化物的前驱体上。最后，通过热处理使金属氧化物结晶，并形成具有特定形貌和尺寸的纳米结构。 9.2 制备参数的调控制备参数的调控是制备Au负载金属氧化物纳米结构的关键步骤。通过调整金属盐的浓度、金的负载量、反应温度、pH值和热处理温度等参数，可以实现对材料形貌、尺寸和晶体结构的精确控制。此外，还可以通过添加表面活性剂或使用模板等方法来进一步调控材料的结构和性能。 9.3 晶体结构与气敏性能的关系晶体结构是影响Au负载金属氧化物纳米结构气敏性能的重要因素。不同的晶体结构具有不同的能带结构和电子结构，从而影响材料的导电性能和气敏性能。因此，在制备过程中需要控制好晶体结构的形成，以获得具有优异气敏性能的材料。 9.4 比表面积与气敏性能的关系比表面积是影响Au负载金属氧化物纳米结构气敏性能的另一个重要因素。比表面积越大，材料表面能够吸附的气体分子就越多，从而增强材料的气敏性能。因此，在制备过程中需要尽可能提高材料的比表面积，以获得更好的气敏性能。 9.5 孔径大小与气敏性能的关系孔径大小也是影响Au负载金属氧化物纳米结构气敏性能的因素之一。适当的孔径大小可以有利于气体分子的扩散和传输，从而提高材料的气敏性能。因此，在制备过程中需要控制好孔径大小，以获得最佳的气敏性能。十、未来研究方向未来研究可以从以下几个方面展开：首先，可以进一步研究不同气体的敏感机理，以深入了解Au负载金属氧化物纳米结构对不同气体的响应机制，从而进一步提高材料的选择性和灵敏度。其次，可以探索其他类型金属氧化物的制备和性能研究，以寻找具有更好气敏性能的材料。此外，还可以研究不同形貌和尺寸的Au负载金属氧化物纳米结构对气敏性能的影响，以寻找最佳的制备条件。最后，可以优化制备工艺，提高材料的稳定性和重复性，以实现Au负载金属氧化物纳米结构在气体传感器领域的广泛应用。此外，还可以研究如何将Au负载金属氧化物纳米结构与其他材料相结合，以提高其综合性能和应用范围。综上所述，Au负载金属氧化物纳米结构的制备、调控及其气敏性能研究具有重要的理论意义和应用价值，未来研究将有望取得更加显著的成果。二、Au负载金属氧化物纳米结构的制备方法 Au负载金属氧化物纳米结构的制备是研究其气敏性能的重要一环。目前，制备该结构的方法多种多样，如溶胶凝胶法、共沉淀法、微乳液法等。 1. 溶胶凝胶法溶胶凝胶法是一种常用的制备纳米材料的方法，也是制备Au负载金属氧化物纳米结构的有效途径。其步骤主要包括制备金属有机化合物的前驱体溶液、干燥凝胶并去除有机组分，最后在适当条件下煅烧得到纳米结构。 2. 共沉淀法共沉淀法是一种通过在溶液中加入适当的沉淀剂，使金属离子和沉淀剂反应生成沉淀的方法。通过控制沉淀剂的种类和浓度，可以实现对Au负载金属氧化物纳米结构的制备。 3. 微乳液法微乳液法是一种通过将反应物溶于微乳液中，然后通过控制微乳液的组成和反应条件来制备纳米材料的方法。通过此方法，可以制备出尺寸均一、形貌规则的Au负载金属氧化物纳米结构。三、调控策略及其实验效果调控Au负载金属氧化物纳米结构的主要手段包括调整金属元素比例、改变载体材料、调节制备过程中的温度和压力等。这些调控手段可以有效地改变纳米结构的孔径大小、比表面积等关键参数，从而对其气敏性能产生影响。 1. 金属元素比例的调整不同金属元素的比例会影响纳米结构的电学性质和化学吸附能力，从而影响其气敏性能。通过调整金属元素的比例，可以优化材料的性能，提高其对特定气体的响应灵敏度和选择性。 2. 载体材料的改变

纳米ZnO气敏传感器的研制

《纳米ZnO气敏传感器的研制》开题报告姓名：史雯萍班级：09环境A2 学号：00094865907指导教师：袁昊是否为毕设预备课题：□是；□不是（请打√）摘要：ZnO是具有宽带隙和优良光电，压电等性能的半导体材料，且化学稳定性高，在功能器件的研制中具有广泛的用途，因而受到人们越来越多的重视，作为气敏材料，ZnO是最早被发信的气敏材料之一。

研究结果显示：贵金属纳米晶可以显著提高单晶ZnO纳米线的灵敏度和选择性，并且能够有效降低对目标气体的检测下限（检测下限可达ppb级）。

这项研究为半导体气体传感器性能的改善提供一条全新的思路。

关键词：氧化锌；贵金属；修饰；气体传感器一、研究内容以液相法制备的单分散贵金属纳米晶为原料，对单晶ZnO纳米线进行异质自组装。

在不同的条件下，对贵金属纳米晶修饰的一维ZnO纳米材料进行气敏性能测试。

在研究该组装体系气敏性能的基础上，得到了具有高灵敏度、高选择性、高稳定性，并且具有低检测下限的性能优越的气体敏感材料。

图1 Au纳米晶的TEM图二、技术路线本实验是通过贵金属纳米晶的修饰来提高ZnO纳米线的气敏性能：经过Pd纳米晶修饰之后的ZnO对H2S气体的选择性非常良好，而且还将对H2S气体的检测下限降低至200ppb；经过Pt纳米晶修饰后的ZnO纳米线，显著提高了对酒精和甲醛气体的响应，可以检测浓度低至250ppb的酒精和1ppm的甲醛气体。

Au纳米晶修饰ZnO纳米线后提高了对酒精和一氧化碳的灵敏度和检测下限。

同时并采用单分散的贵金属纳米晶修饰的方法可以显著提高半导体金属氧化物的气敏性能，这将为以后提高半导体金属氧化物气敏材料的性能提供新的道路。

实验结果表明, Ru 的掺杂可提高ZnO 的气体灵敏度, 催化剂涂层的施加可改善Ru2ZnO 对汽油、乙醇、丁烷的气敏选择性。

并适当降低ZnO 的工作温度。

通过贵金属纳米晶的修饰，可以显著提高金属氧化物纳米线的气敏性能，进而开发高灵敏度、高选择性、高稳定性的优质气体传感器。

金属氧化物半导体气敏材料

金属氧化物半导体气敏材料金属氧化物半导体气敏材料，听起来好像有点高深，其实这玩意儿离我们并不远哦。

你知道吗，很多时候我们生活中用到的电子产品里，都是这些材料在“默默奉献”。

比如说，汽车里的氧气传感器、厨房里的气体泄漏报警器，甚至某些种类的智能手机，都在利用这些“金属氧化物”。

简直就是科技小能手，没它们可不行。

想象一下，金属氧化物就像是一个个小侦探，时刻在监视周围的环境。

只要空气中有一点儿“异常”，它们立马就能察觉到。

有些材料对某些气体特别敏感，比如一氧化碳、氨气、乙醇等等。

这些气体可不是普通的小家伙，它们可大有来头，有时候还可能危害我们的健康。

这时候，金属氧化物就像英雄一样，及时发出警报，让我们可以采取措施，确保安全，真是太贴心了。

说到金属氧化物，它们其实是一群“家族成员”，各有各的特点。

最常见的有氧化锡、氧化锌，还有氧化铟等。

它们可不只是在实验室待着，实际上，这些材料在气敏传感器里的表现简直让人惊艳。

比如氧化锡，它对于某些气体的灵敏度简直高得离谱，短短几秒钟就能识别出气体的浓度变化，真的是太厉害了！它们的工作原理其实也不复杂，通俗点讲，就是当气体分子跟这些材料碰撞的时候，会引起一些化学反应，进而改变材料的电阻，传感器就可以通过这个变化来判断气体的种类和浓度。

不过，金属氧化物也不是没有缺点。

它们的灵敏度和选择性有时候就像天气一样，变得让人捉摸不透。

某些情况下，它们可能会对其他无关的气体产生反应，导致误报。

这就好比你在家里煮饭，油烟冒出来，结果报警器却当成了煤气泄漏，搞得你手忙脚乱，哎，真是让人哭笑不得。

但科学家们并没有放弃，他们不断在改进这些材料，以提高它们的性能，真的是下了一番苦功。

说到研究，大家都知道，科学家们的日常可是辛苦得很。

你想想，实验室里熬夜加班，做实验、记录数据、分析结果，简直像是在拍电视剧一样，高兴迭起。

但是，为了能让我们的生活更安全，他们却义无反顾。

这种精神值得我们学习，不仅仅是为了科学，更是为了那份对生活的热爱。

半导体金属氧化物气敏材料敏感机理概述

半导体金属氧化物气敏材料敏感机理概述下载提示：该文档是本店铺精心编制而成的，希望大家下载后，能够帮助大家解决实际问题。

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半导体气敏材料的气敏特性研究

半导体气敏材料的气敏特性研究近年来，半导体气敏材料已经逐渐成为一种重要的材料，它具有卓越的光电特性和极高的灵敏度，因而被广泛应用于电子学领域，如无线通信、储能技术和传感器等。

由于半导体气敏材料的性能受到温度、湿度、光照度等外界环境因素的影响，因此，研究其气敏特性成为提升材料性能、提高设备性能和提高设备可靠性的重要前提。

一、半导体气敏材料的结构半导体气敏材料一般具有金属-杂化物-绝缘体结构，其中金属层作为导电层，可以在气体与环境的作用下发生变化，从而诱发整体电荷调节。

杂化物层是一种含有有机材料和无机材料的混合物，它与外界的气体有着较强的相容性，可以调节气体与电荷之间的相互作用。

绝缘体层能够阻止内部荷电分布的漂移而增强元件的稳定性。

二、半导体气敏材料的气敏特性1.敏特性半导体气敏材料具有良好的光敏特性。

其主要原因是，由于半导体气敏材料具有金属-杂化物-绝缘体的结构，受外界的光线照射时，光照强度会调节半导体气敏材料内部的荷电分布，从而导致电荷的变化，从而改变元件性能。

2.度敏感度半导体气敏材料的温度敏感度主要取决于材料的结构和组成，温度越高，元件的响应特性就越强。

这是由于温度升高会改变杂化物层中有机物分子的振动方式和分子动力学性质，从而导致电荷的变化，在低温下，气敏元件的性能会受到更大的影响。

3.度敏感度半导体气敏材料具有良好的湿度敏感度，因为湿度变化会影响元件的荷电分布，在潮湿环境下，荷电会发生变化，从而改变元件的性能。

三、半导体气敏材料的应用半导体气敏材料的灵敏度高，因此可以用于制造传感器，如温度传感器、湿度传感器和气味传感器等。

此外，它还可以用于物联网的节点，用于检测外界环境因素，为数据传输、资源释放等提供便利。

四、结论半导体气敏材料是一种具有金属-杂化物-绝缘体结构的材料，具有较高的灵敏度和光电特性，可以在光照、温度和湿度等环境条件下发生变化，因此可以用于制造传感器，是物联网的重要组成部分。

通过研究半导体气敏材料的气敏特性，我们可以更好地提高设备的可靠性和性能。

WO3纳米材料气敏性能研究进展!-重庆师范大学学报

!"#$"年$月重庆师范大学学报（自然科学版）%&’("#$"第")卷第$期%*+,’&-*./0*’123’14*,5&-6’378,93:;（4&:+,&-<=38’=8）>*-(")4*($?@A：/4BA：C#D$$EC F4("#$"#$$C($G#)(#$H I@H纳米材料气敏性能研究进展!张学忠，杨晓红，胡亚萍，邓!泉（重庆师范大学物理与电子工程学院，重庆J###JK）摘要：作为’型半导体的I@H 是一种优良的气敏材料，对4@!、L"<、L"、/LJ、/"LC@L、/@、4LH等气体都有良好的敏感性。

目前I@H 气敏材料已经基本满足社会应用的要求，但有些指标还有待改善。

本文综述了I@H纳米材料气敏性能的研究进展，介绍了’型半导体I@H纳米材料的气敏传感机制，以及通过形貌控制等手段提高气敏性能、掺杂I@H 纳米材料气敏性能及其复合气敏材料气敏性能的研究进展情况。

作者认为I@H纳米材料在提高灵敏度、降低工作温度，特别是提高选择性和稳定性上还有很大的研究空间，并且还需克服制备的高成本，探索简易而且重复性强的制备工艺，以便更早地应用于商业化生产，为社会生产生活服务。

关键词：I@H；纳米材料；气敏；掺杂；进展中图分类号：@JK$文献标志码：M!!!文章编号：$EK"D EE)H（"#$"）#$D##K$D#E !!人类的日常生活与周边环境气体的关系极为密切。

为了保护和改善人类的生态居住环境以及环保和安全法规的实施，人们迫切需要采用更有效的气敏传感器对有毒、有害、易燃、易爆的气体进行探测、检验，以便于及时采取应对措施。

所以气敏传感器在生产生活中发挥着极为重要的作用，成为当今研究的热点。

整个传感器中最关键部分是对气体敏感的材料。

纳米复合金属氧化物的制备和气敏性能的研究的开题报告

纳米复合金属氧化物的制备和气敏性能的研究的开题报告
一、题目：纳米复合金属氧化物的制备和气敏性能的研究
二、研究背景和意义：
气敏材料是一种具有灵敏度、选择性和响应速度等特点的功能材料，可以广泛应用于环境监测、安全监测和生物标记等领域。

其中，纳米复合金属氧化物作为新型气敏材料，在气体传感方面表现出了优异的性能。

因此，深入研究其制备和气敏性能具有重要的理论和应用价值。

三、研究内容和方法：
本研究的内容为纳米复合金属氧化物的制备和气敏性能的研究。

研究方法主要包括以下几个方面：
1. 制备纳米复合金属氧化物材料：采用溶胶-凝胶合成法、水相沉淀法等制备方式，并对其粒径大小、形貌等进行表征。

2. 气敏性能测试：采用静态检测法、动态检测法等对制备的材料在氨气、甲醛等有害气体中的气敏性能进行测试。

并分析实验结果和机理。

3. 结构和性质分析：依据制备和测试结果，对纳米复合金属氧化物材料的结构和性质进行分析，探讨其气敏机理。

四、研究预期成果和应用：
本研究预期可以制备出具有良好气敏性能的纳米复合金属氧化物材料，并对其气敏机理进行深入研究，从而完善气敏材料研究体系，对于环境监测、安全监测和生物标记等领域的应用具有重要的意义。

半导体气敏材料的研究现状与发展趋势

备受关注。开发具有优异性能的半导体纳米结构气敏材料正成为当前研究的热点。本文简单介绍了纳米结构半导体气敏材料的
研究现状与发展趋势。
关键词：气敏传感器半导体石墨烯纳米结构
中图分类号：O484
文献标识码：A
文章编号：1674-098X(2017 技术领域扮演着非常重要的角色，在医疗诊断、工农业生产、环境监控与保护等领域有着广泛需求和应用。半导体气敏传感器具有价格低、高灵敏度、操作简单、适宜小型化（便携化）等特点而备受关注。目前半导体气敏传感器研究主要集中在对现有气敏材料从骨架尺寸、孔隙结构、化学组成到表面性质的改善、设计和合成新型气敏材料以及气敏元件构型的设计和相关工艺改进。 [1-4]
参考文献 [1] ID Ki m,A Roths ch i ld,HL Tu l ler. Advanc e s and
new d i re ctions i n gas-s ensi ng dev ic e s [J].Act a Mater ial ia,2013,61(3):974-1000. [2] F Yavari,N Koratkar. Graphene-based chemical sensors[J].Jour nal of Physical Chemistry Let ters,2012,3(13):1746-1753. [3] D Br a d l e y. Gr a p h e n e g a s s e n s o r:C a r b o n [J]. Mater ials Today,2012,15(6):233. [4] L M We i,DW S h i,PY Ye,e t a l.Hol e d op i n g and surface functionalization of singlewalled carbon nanotube chemiresistive sensors for ultrasensitive and highly selective organophosphor vapor detection[J]. Nanotechno

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由金属氧化物半导体材料做成的气敏传感器可用于多个领域，包括农业、工业、医药、汽车、矿山、气体排放＼泄漏、火灾等，并且其社会需求紧迫。这类材料的气敏性机理是基于待测气体的吸附和紧随着的表面氧化还原反应所引起的电阻变化。比表面积相对大些的材料更能凸显它的表面特性，所以气敏材料的尺寸一般要做到纳米级别。作
丙酮气体。此外，研究者们还发现具有特定结构的多元复合金属氧化物有着良好的气敏性能。Ｂｄｄ等人用溶胶凝ｏａｅ
胶法制备的钙钛矿结构的ＬｃＭ。Ｎ０多元复合金属氧ａｏｎｉ。
化物，在对ｌＯｐ的ＨｓＯｐｍ，气体的响应时间仅为５。ｓ
对金属氧化物半导体纳米材料进行贵金属或金属氧化
物的掺杂是开发和研究新型气敏材料的重要方法；扩展气
敏材料体系，寻找多元金属氧化物半导体气敏材料也是当前研究的热点。２材料的形貌和尺寸
为金属氧化物半导体纳米气敏材料在影响其气敏性能方面
ＺＨＡＮＧｅｚｎＸｕ．ｈｏｇ
（ｓｉｔｆｈｓｃｎｌｃｒｎｃＥｇｎｅｉｇＣｏｇｉｇＮｏｍａｉｅｓｙＣｏｇｉｇ４０４）ＩｔｕｅｙｉｓｄＥｅｔｏｉｎｉｅｒ，ｈｎｑｎｒｌｖｒｉ，ｈｎｑｎ００７ｎｔｏＰａｎＵｎｔ
主要包括：材料元素的组成、材料的形貌与尺寸、材料的制备方法等因素。ｌ材料元素的组成作为研究历史较长的气敏材料如：ＳＯ、ＺＯ０、ｎ，ｎ、Ｗ
同种材料由于不同的形貌和尺寸而表现出迥异的气敏
性能。同样是ＣＯ杂ＳＯ料，尺寸为１ｃ的厚膜在ｕ掺ｎ，材２ｍ２０２ｌＯｐ的ｓ０＊对Ｏｐｍ（气体灵敏度为７５０；而２ｎ的空心． ×１５ｍ球在３＊对ｌｐｍ２体的灵敏度就达到５６。５（Ｏｐ的ＨＳ２气．１。Ｘ０
ＡｂｔａｔＡｓｔｅｍａｓｖｅｄｙｔｏｉｔ．ｎｍｅａｘｄｅｃｎｕｔｒｇｓｓｎｉａｅｉｌｂｃｍｅｔｅｒｓａｃｓｒｃ：ｈｓｉｅｎｅｓｂｈｅｓｃｅｙｎａｏ．ｔｌｉｅｓｍｉｏｄｃｏａｅｓｎｇｍｔｒａｓｅｏｈｅｅｒｈｏｈｔｐｔＴｈｓｐｐｒｒｖｅｄｔｅｇｓｓｎｉｖｔｆｎｎ．ｅａｘｄｅｃｎｕｔｒｇｓｓｎｓｔｅｍａｅｉｌｉｈｗａｏｓｏ．ｉａｅｅｉｗｅｈａｅｓｔｉｏａｏｍｔｌｏｉｅｓｍｉｏｄｃｏａｅｉｉｔｒａｓｗｈｃｓｉｙ：ｖｉｒｖｄｂｈｌｍｅｔｈａｅｉｌｏｐｓｔｏ，ｒｈｏｏｙａｄｓｚｏｔｏ，ｎｒｐｒｔｎｍｅｈｓｍｐｏｅｙｔｅｅｅｎｓｉｔｅｍｔｒａｍｏｉｎｍｏｐｌｇｎｉｅｃｎｒｌａｄｐｅａａｉｔｏｄ．ｎｃｉｏＫｅｏｄ：ｉｅＳｅｃｎｄｔｒＧａｅｉｉｅｍａｅｉｌ；ｒｇｅｓｙｗｒｓ０ｘｄｍｉｏｕｃｏ；ｓｓｎｓｔｔｒａｓＰｏｒｓｖ
因为随着材料粒径的减小，表面原子数增多，也就产
生含有大量不饱和键、表面悬挂键和氧空位的特殊表面结构而造成很高的表面能。这样的金属氧化物纳米材料更容易吸附气体并与之进行反应。因此研究者倾向于制备比表面积大的纳米材料如：零维的纳米颗粒、一维纳米管、纳米线、纳米带、纳米棒等，来提高材料单位体积对气体的吸附量，进而提高材料对气体的灵敏度、响应时间等气敏指标。Ｌｅｅ等人用水热法制备的ｗ心纳米微球对Ｏ空ｌｐＮ灵敏度比ｗ。心纳米微球提高了２２，达到ｐｍ０的０实．倍
Ｆ是单种金属氧化物。Ｋｍ人用静电纺织的方法ｅ等０ｉ等
制备了Ｓ０纳米纤维，晶粒大小为５１ｎ，能够响应ｎ～５ｍ１０ｐ的Ｎ。ａｋ５ｐｂＯ。Ｐｒ等人用ＭＣＤＯＶ的方法制备了ＺＯｎ纳米棒
张学忠
（庆师范大学物理与电子工程学院，重庆４０４）重００７
摘
要：由于社会需求紧迫，金属氧化物半导体纳米气敏材料成为当今研究的热点。本文综述了从材料元素的组成、形
貌及尺寸的控制以及制备方法等方面来提高金属氧化物半导体纳米材料气敏性能的研究进展。关键词：氧化物半导体；气敏材料；进展
ＤＩＩ．９９ｊｓ．６１６９．０．２０５Ｏ：５６／．ｓ１７ — ５６２５．０Ｏｉｎ１１
ＴｈｓａｃｒＩｒｓｆＮａｏｍｅａｉｅＳｅｉｏｄｔｒＧａｅｓｔｖａｅｉｌｅＲｅｅｒｈＰｏｇｅｓｏｎ．ｔｌＯｘｄｍｃｎｕｃｏｓＳｎｉｅＭｔｒａｓｉ