微电子工艺新技术
微电子技术的创新与发展
微电子技术的创新与发展引言：微电子技术作为一门先进的技术领域，在近几十年来发展迅速。
它的创新和发展为全球电子行业带来了巨大的进步和变革。
本文将围绕微电子技术的创新与发展展开讨论，包括新材料、封装技术、集成电路设计以及应用领域的拓展等方面。
一、新材料的应用与创新微电子技术的创新离不开新材料的应用。
近年来，石墨烯等新材料的引入使得微电子器件的性能得到了极大的提升。
石墨烯具有优良的电子输运性质和热传导性能，它被广泛应用于高速、高频和低功耗的移动通信芯片中，推动了移动通信技术的快速发展。
此外，氮化镓等宽禁带半导体材料的应用也使得功耗更低、工作速度更高的集成电路成为可能。
二、封装技术的创新与推动封装技术是微电子产品中不可或缺的环节之一。
随着集成度的提高，芯片封装也在不断创新。
例如，三维封装技术使得芯片的堆叠更加紧密，减小了元件之间的距离，提高了互连效率。
此外，先进的热管理技术也为芯片的稳定运行提供了保障。
具有自修复功能的封装材料可以修复封装中出现的微裂纹和缺陷，延长了芯片的使用寿命。
三、集成电路设计的突破与创新集成电路设计是微电子领域的核心之一。
随着技术的进步，芯片的集成度不断提高，而设计的复杂性也在迅速增加。
在此背景下，创新的设计方法和工具应运而生。
通过引入先进的算法和优化方法，设计师可以在保证芯片性能的同时，减小功耗、缩短设计周期。
同时，人工智能的发展也为集成电路设计带来了新的机遇。
基于机器学习和神经网络的设计工具，能够提供更高效和准确的设计方案。
四、微电子技术的应用领域拓展微电子技术的创新与发展不仅仅局限于电子领域，它也在其他领域发挥着重要的作用。
例如，在医疗领域，微电子传感器可以实时监测患者的生命体征，用于诊断和治疗疾病。
在能源领域，微电子技术的创新使得太阳能电池、锂电池等能源设备的性能得到提升，并推动了新能源的发展。
在环保领域，微电子技术的应用使得智能监控系统可以实时感知环境信息，实现资源的高效利用。
电子工艺技术新技术
电子工艺技术新技术电子工艺技术是指在电子产品制造过程中使用的制造工艺和技术。
随着科技的不断发展，电子工艺技术也在不断创新，推出了许多新技术。
下面将介绍一些最新的电子工艺技术。
第一个新技术是3D打印。
3D打印技术通过逐层堆积材料来实现物体的制造。
在电子工艺技术领域，3D打印可以用来制造精密的电子产品，例如手机、平板电脑等。
通过3D打印，可以实现更为复杂的产品结构和更高的制造精度，提高电子产品的品质和性能。
第二个新技术是柔性显示技术。
传统的电子产品显示屏一般采用玻璃基板，而柔性显示技术使用的是可弯曲的塑料基板。
这种技术可以使显示屏更为轻薄、便携，并且可以适应更多的曲面设计。
柔性显示技术还具有耐震、抗压等特点，能够提高电子产品的可靠性和生命周期。
第三个新技术是封装技术。
电子产品的封装是保护电子元件和连接线的重要工艺。
随着电子产品的迷你化和功能的增多，封装技术也在不断创新。
最新的封装技术包括无铅焊接技术、芯片级封装技术等。
这些技术可以提高电子产品的可靠性、减小体积和重量，并且降低生产成本。
第四个新技术是SMT贴片技术。
SMT贴片技术是一种电子元件安装技术，它可以将元件直接贴片到电路板上，而不需要进行传统的插装焊接。
SMT贴片技术速度快、精度高，并且可以提高电路板的集成度和可靠性。
这种技术在电子工艺技术领域有着广泛的应用。
最后一个新技术是人工智能技术。
人工智能技术在电子工艺技术中的应用主要体现在自动化生产和质量控制方面。
通过人工智能技术，可以实现电子产品的自动化生产和检测，提高生产效率和质量。
人工智能技术还可以用于电子产品的故障预测和维修，提高售后服务的质量和效率。
以上就是一些最新的电子工艺技术。
这些技术的应用可以提高电子产品的品质和性能，降低生产成本，促进电子工业的发展。
随着科技的不断进步，相信电子工艺技术将会有更多的创新和突破。
微电子技术的发展和应用前景
微电子技术的发展和应用前景随着计算机的不断普及，人们对微电子技术的需求也越来越高。
微电子技术是目前最先进和应用最广泛的一种电子技术。
它的应用范围涵盖了电子信息、半导体、集成电路等多个领域，为人们的生活带来了极大的方便和进步。
本文将从三个方面探讨微电子技术的发展和应用前景。
一、微电子技术的发展历程微电子技术已经存在了几十年，并由此不断发展。
20世纪60年代至70年代末，大规模集成电路（LSI）技术得到迅猛发展。
80年代，计算机技术应用于社会生产和科学研究，精密型、高速型LIS逐渐发展出来。
90年代末至21世纪初，随着纳米技术、超大规模集成电路和直接砷化镓（GaAs）材料的发展，微电子技术得到了前所未有的提高。
二、微电子技术的应用前景1. 5G通信技术5G通信技术是现代化通信技术的重要标志。
5G技术运用有机半导体、量子点电荷输运效应、光纤通信、高效低功耗芯片技术等微电子技术，具有更高的传输速度、更快的响应时间和更低的功耗。
未来，基于5G通信技术的智能家居、自动驾驶、智慧医疗等应用将会成为人们工作和生活中的常态。
2. 物联网技术物联网技术是将人、物、事互相连接，进行智能综合管控和服务的技术，是微电子技术最为重要的一种应用。
物联网技术运用了计算机技术、通信技术、数据采集与处理技术，可以实现各种设备之间的联网，进行数据通信以及信息传输。
未来，物联网技术将应用于智慧城市、智能制造、智能医疗、智能家居等更多领域。
3. 人工智能技术人工智能技术是目前最受瞩目的技术之一。
人工智能技术运用了微电子技术的高精度芯片和高速计算能力，在图像、语音、自然语言处理、大数据分析等方面取得了不错的成绩。
未来，人工智能技术将应用于医疗保健、金融、安全等多个领域，为人们的生活带来更多便利和改变。
三、微电子技术的未来发展趋势随着物联网、5G、人工智能等新技术的不断发展，微电子技术的应用前景将更加广阔。
下一个五年，芯片技术将突破50纳米的晶体管制作工艺，集成度将达到数千万级别。
微电子技术的发展趋势与应用场景
微电子技术的发展趋势与应用场景随着科技的不断进步和发展，微电子技术也得到了极大的发展和应用。
微电子技术是指利用微小的半导体器件来实现某种功能，是半导体技术的重要分支之一。
目前，微电子技术已经应用于各种各样的领域，例如计算机、通讯、医疗、军事等等，对许多领域都产生了深远的影响。
本文将从微电子技术的发展趋势和应用场景两个方面进行阐述。
一、微电子技术的发展趋势1. 微电子器件的尺寸不断缩小随着现代半导体工艺的不断改进，微电子器件的尺寸也越来越小。
在过去的几十年里，集成电路芯片的晶体管数量每隔18个月就会翻一倍，这是由于微电子器件尺寸的不断缩小所导致的。
在未来，微电子器件的尺寸还会进一步缩小，这将有助于提高半导体器件的性能，从而开发出更加高效的微电子设备。
2. 系统集成的发展随着微电子技术的发展，人们对微电子设备的要求愈发苛刻。
尽管性能，如功耗和集成度得到不断提高，但除此之外，人们还在寻求更加高效的设备，以及不断增加的功能。
因此，系统集成依然是微电子技术发展的重要方向。
3. 无源元件趋于完美无源元件的发展也是微电子技术发展的重要方向之一。
微电子器件大部分都属于无源元件，例如晶体管、电容、电感等等。
无源元件越来越趋于完美，这将会为微电子技术的进一步发展打下坚实的基础。
二、微电子技术的应用场景1. 智能家居随着物联网技术的不断发展和成熟，智能家居已经成为当今人们日常生活中的不可或缺。
智能家居通过收集各种生活数据，来实现对家庭能源的管理和家电的自动化控制，以及需要根据生活条件来自动调整气氛、温度和湿度等等。
微电子技术的发展使得物联网设备的集成度不断提高，从而可以为智能家居提供更加便利的功能和服务。
2. 医疗健康微电子技术的应用还涉及到医疗健康领域。
微电子技术可以被用于制造各种医疗设备，例如人工耳蜗、心脏起搏器、生命体征监测器等等。
这些器械都是采用微电子技术制造的，它们可以实时对人体的健康状况进行检测和管理，大大提高了医疗保障的效率。
微电子技术能否彻底颠覆传统制造业？
微电子技术能否彻底颠覆传统制造业？在当今科技飞速发展的时代，微电子技术无疑是一颗璀璨的明星。
它以惊人的速度改变着我们的生活，从智能手机到智能家居，从医疗设备到交通工具，微电子技术的应用无处不在。
然而，一个备受关注的问题也随之而来：微电子技术能否彻底颠覆传统制造业？要探讨这个问题，首先我们得明白什么是微电子技术。
简单来说，微电子技术是随着集成电路，尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新技术，其核心在于通过微细加工工艺在半导体材料上制造微型化的电子元器件和电路。
传统制造业，是指那些依靠大规模生产、标准化流程和人力密集型劳动来制造产品的行业。
它涵盖了从汽车制造到服装生产，从机械加工到建筑材料等众多领域。
微电子技术给传统制造业带来了显著的影响。
一方面，它极大地提高了生产效率。
在传统制造业中，自动化生产设备的核心往往依赖于微电子技术。
通过嵌入智能芯片和传感器，生产设备能够实现更精确的控制和更高效的运行，减少了人为误差和停机时间。
例如，在汽车制造厂里，机器人手臂能够精准地完成焊接、喷漆等工作，这不仅提高了生产速度，还保证了产品的质量一致性。
另一方面，微电子技术推动了产品的创新和升级。
以家电为例，过去的普通家电功能单一，而如今的智能家电借助微电子技术实现了智能化控制和远程操作。
用户可以通过手机 APP 随时随地控制家电的运行状态，这为人们的生活带来了极大的便利。
然而，要说微电子技术能彻底颠覆传统制造业，或许还为时尚早。
传统制造业有着其深厚的根基和不可替代的优势。
首先，在某些领域，传统制造工艺的精度和可靠性仍然是微电子技术难以企及的。
比如，在高精度机械加工方面，传统的机床和工艺经过长期的发展和积累，能够达到微米甚至纳米级的精度，这对于一些关键零部件的制造至关重要。
其次，传统制造业在大规模生产方面具有成熟的经验和完善的供应链体系。
虽然微电子技术能够提高生产效率，但要在短时间内取代传统制造业庞大的生产规模和成熟的生产流程并非易事。
微电子技术的新进展及其应用前景
微电子技术的新进展及其应用前景随着科技的不断发展，微电子技术也在不断创新和发展。
从最初的集成电路到现在的微型芯片，微电子技术在电子产品中扮演着越来越重要的角色。
在这篇文章中，我们将探讨微电子技术的新进展以及它的应用前景。
一、新进展微电子技术的兴起，主要归功于半导体技术的进步。
当前，新的微电子技术主要以两种形式出现：一种是利用先进的材料和工艺制造芯片，如超级晶体管技术(SET)、纳米线阵列和全息存储器；另一种是利用新的器件结构和结汇设计，实现不同的电路功能，如钙钛矿材料太阳能电池和柔性传感器等。
例如，硅基光调制器和光纤收发器在高速通讯中扮演着重要角色。
为了提高其性能，目前已经研制了基于硅之外的新型光学材料。
例如，硒化铟(InSe)这种用来制造透明的2D(二维)材料，可以用来制造高品质的硅基微处理器的基材，从而提高其性能。
此外，纳米线光子晶体可以实现大规模的量子通信和量子计算。
有了这些新型材料，微电子器件的内部结构也将得到全面升级。
还有一种新进展是机器学习和人工智能的崛起，这为微电子技术带来了新的机遇。
例如，通过在芯片上集成神经网络，可以实现深度学习，从而实现更快的图像识别、语音识别和自然语言处理等。
二、应用前景微电子技术在日常生活中广泛应用，如智能手机、平板电脑、计算机和各种电子设备等。
未来，随着技术的不断发展和应用的不断扩大，微电子技术将在各个领域展现更大的应用前景。
1.无人驾驶随着人工智能的发展，未来的汽车将会变得越来越智能化。
通过集成微电子器件，以及使用传感器和高分辨率相机等技术，汽车可以实现自主导航、自动泊车和自适应巡航等功能。
2.医学设备微电子技术还可以被应用在医疗领域，例如制造人工器官和体内传感器等。
这些微电子器件可以监测人体内的各种指标，如心率、呼吸和血压等。
此外，微电子技术还可以用于制造仿生肢体，为残障人士带来更为舒适和自由的生活。
3.智能家居智能家居需要微电子器件来实现自动化和可编程的功能。
微电子行业集成电路技术取得新成果
微电子行业集成电路技术取得新成果近年来，随着科技的快速发展，微电子行业正迎来一系列突破性的成果。
其中，集成电路技术作为微电子行业的核心领域，在新一轮技术革命中取得了重要进展。
本文将对微电子行业集成电路技术取得的新成果进行介绍和分析。
一、背景和概述集成电路技术是微电子行业的重要组成部分，它将大量的电子元器件集成在单个芯片上。
这些电子元器件包括晶体管、电容、电阻等，通过精密的制程技术进行设计、制造和测试。
通过集成电路技术，可以使电子设备更小巧、更高效，从而推动了信息技术和通信产业的飞速发展。
二、新成果及其应用在集成电路技术的发展中，最新的成果主要体现在以下几个方面：1.超大规模集成电路（VLSI）：VLSI技术是集成电路设计与制造的核心技术之一。
它将数百万甚至上亿个晶体管集成到单个芯片上，实现了更高的集成度和性能。
当前，VLSI技术已广泛应用于计算机、通信、汽车等领域，极大地推动了现代科技的进步。
2.三维集成电路（3DIC）：传统的集成电路在平面上布置电子元器件，而3DIC技术则将其延伸到垂直方向。
通过多层堆叠，可以在相同面积上实现更高的集成度，提高电路性能和功耗控制能力。
3DIC技术在高性能计算、人工智能等领域具有广阔的应用前景。
3.低功耗集成电路（Low Power IC）：在移动设备蓬勃发展的背景下，低功耗集成电路成为一个重要的研究方向。
通过优化电路设计、降低工作电压和改进制程工艺，低功耗集成电路能够实现更长的电池寿命和更低的能耗指标。
这种技术广泛应用于智能手机、智能穿戴设备等移动终端产品。
4.新材料和新工艺：随着微电子行业的发展，越来越多的新材料和新工艺被引入到集成电路制造过程中。
例如，氮化镓材料在高功率应用中具有优势，新一代工艺技术如极紫外光刻（EUV）等也逐渐成为行业的研究热点。
这些新材料和新工艺的引入，为集成电路的性能提升和功能拓展提供了新的可能性。
三、影响和前景微电子行业集成电路技术取得的新成果，对整个社会和经济有着积极的影响和巨大的潜力。
微电子器件的设计与工艺技术
微电子器件的设计与工艺技术微电子器件指的是已经制造好的微型电子元件，它们是我们现代电子技术不可或缺的组成部分。
微电子器件的种类繁多，设计与工艺技术水平的高低直接影响了整个电子行业的发展。
本文将从微电子器件的设计和制造工艺等角度，探讨微电子器件的设计与工艺技术。
一、微电子器件的分类微电子器件可以分为二极管、三极管、场效应管、集成电路等多种类型。
其中，集成电路是现代电子技术的重要代表，因其集成性强、功能多样而受到广泛应用。
在微电子器件的制造工艺中，集成电路也是占据主导地位的。
二、微电子器件的设计微电子器件的设计与制造技术紧密相关。
设计属于前期工作，设计好的电路才能够被制造出来。
现代电子电路的复杂性越来越高，实现一些特殊功能所需要的原件也越来越多。
因此，微电子器件的设计必须满足以下几个方面的要求：（1）功能性电路设计的首要目标是要满足电路所要实现的功能要求。
为了在实现特定功能时不影响电路的稳定性，微电子器件的设计需要考虑使用合适的器件、合理的芯片布局等等因素。
（2）稳定性设计好的微电子器件应该在长时间的使用过程中能够保持稳定性。
为此，需要设计出能够对外部环境变化产生较好的适应性的器件，并采用合适的芯片布局避免器件之间的相互影响。
（3）可靠性微电子器件应该有良好的可靠性，以尽量减少电路故障的可能性。
设计时需要考虑到电路的负载、放电等方面因素，以确保器件的可靠性。
（4）兼容性现代电子设备越来越能够相互兼容，因此微电子器件的设计也需要考虑到与其他器件的兼容，以达到更好的功能实现。
三、微电子器件的制造工艺微电子器件制造是一个非常复杂的工艺过程，其包括材料制备、器件的加工和装配等多个环节。
其中，材料制备是制造工艺的基础。
（1）材料制备微电子器件的材料一般采用半导体材料，在制造过程中需要严格控制材料的性质，以确保电路的稳定性和可靠性。
材料制备的关键在于半导体材料的质量、晶格结构和纯度等方面的控制。
（2）器件的加工和装配加工和装配是整个工艺流程最为重要的环节之一。
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微电子工艺新技术发展
陈绮文
单位：电科112，信息与电子工程学院，山东工商学院，264005
摘要：21世纪微电子技术发展需要新技术，才能真正快速发展。
集成技术要求硅晶圆片的尺寸越来越大，光刻加工线条（特征尺寸）越来越细。
系统集成芯片（SOC），SOC进一步发展，可以将各种敏感器和执行器与信息处理系统集成在一起，从而完成从信息获取、处理、存储、传输到执行的系统功能，这是一个更广义上的系统集成芯片。
微机电系统技术（MEMS）把信息获取、处理和执行一体化地集成在一起，使其成为真正的系统。
纳米技术的发展以及成熟将是系统集成芯片技术的核心之一，碳纳米材料代替硅纳米材料，具有更好的集成性，推动微电子技术继续向前发展。
关键词：集成技术SOC技术MEMS技术纳米电子技术
21世纪微电子技术建立在以Si基材料为基础、CMOS器件为主流的半导体集成电路技术。
随着IC设计与工艺水平的不断提高，系统集成芯片将成为发展的重点，MEMS技术是微电子技术新的增长点。
同时，纳米电子技术是微电子领域的新亮点。
1.微电子集成技术
现今的主流工艺，硅基CMOS电路。
硅基技术的越来成熟，硅基CMOS芯片应用的逐渐扩大，硅平面的加工工艺技术作为高新技术基础的高新加工技术也将继续下去。
硅半导体集成电路的发展，一方面是硅晶圆片的尺寸越来越大，另一方面是光刻加工线条（特征尺寸）越来越细。
1（从硅片尺寸来看，从最初的2英寸，经过3、4、6英寸发展到当今主流的8英寸。
近几年来又出现12英寸的硅晶片，直径达300mm，它的面积为8英寸片（200mm）的2.25倍。
尺寸变大，可以降低生产成本，增加产能，提高成品率。
）而在光刻加工线条（特征尺寸）方面，在0.25um技术之后，已有0.18um、0.15um以至0.13um技术连续开发出来并投入使用。
现今主流产品的特征尺寸已缩小到0.18~0.13um。
据国际权威机构预测，到2014年，微电子芯片加工技术将达到400mm硅片、50nm特征
尺寸，到2016年，器件的最小特征尺寸应在13nm。
然而，硅基CMOS的发展随着特征尺寸的缩小，即将达到器件结构的诸多物理限制，不可能一直按摩尔定律揭示的规律长期的发展下去。
未来必会采用新材料使CMOS进一步发展起来，高K材料和新型的栅电极，采用非经典的FET器件结构和新工艺技术等。
2 SOC技术——正在成长的系统集成芯片
系统集成芯片，System on Chi（SOC）技术，由芯片发展到系统芯片（SOC），是改善芯片集成技术的新举措。
微电子器件的特征尺寸很难按摩尔定律无限的缩小下去，在芯片上增加集成器件是集成技术发展的另一方向。
与从分立晶体管到集成芯片（IC）一样，系统芯片（SOC）将是微电子技术领域中又一场新的革命。
2（从1990年后，集成芯片系统（SOC）讯速发展起来，它是以硅基CMOS 为基础技术，将整个电子系统和子系统整个集成在一个芯片上或几个芯片上，它是集软件和硬件于一身的产物，SOC的设计是通过嵌入模拟电路、数字电路等IP的结合体，可以具有更大的灵活性。
）一个典型的SOC可能包含应用处理器模块、数字信号处理器模块、存储器单元模块、控制器模块、外设接口模块等等多种模块。
微电子技术从IC向SOC转变是一种突破，也是信息技术发展的必然结果。
集成系统的发展是以应用为驱动的，随着社会信息化的进程，它将越来越重要。
21世纪仅仅是SOC发展的开始，它将进入空间、进入人体、进入家庭，它将进入需要所有需要掌握信息处理的信息空间和时间。
3 MEMS技术是微电子技术新的增长点
MEMS，Micro Electro Mechanical Systems——微机电系统。
微机电系统技术是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。
它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。
这种微机电系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令进行操作。
它的目标是把信息获取、处理和执行一体化地集成在一起，使其成为真正的系统，也可以说是更广泛的SOC概念。
MEMS不仅为传统的机械尺寸领域打开了新的大门，也真正实现了机电一体化。
用微电子技术和微加工技术相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。
微机电系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技
术，该技术将对未来人类生活产生极大性影响。
它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。
因此，它被认为是微电子技术的又一次革命，对21世纪的科学技术、生产方式、人类生活都有深远影响。
4 纳米电子技术
随着硅基CMOS发展的特征尺寸缩小，即将达到器件结构的诸多物理限制，不可能一直按摩尔定律揭示的规律长期的发展下去。
为克服越来越困难的半导体Si工艺技术，科学家们开始从材料方面下手，试图寻找到能代替Si的材料，此时的半导体纳米材料就开始成为研究对象。
纳米材料集中体现了小尺寸、复杂构型、高集成度和强相互作用以及高比表面积等现代科学技术发展的特点。
在纳米技术的发展中，碳纳米管为代表的纳米结构及相关技术的研究受到了广泛重视。
它可应用于微电子组件、平面显示器、无线通信、燃料电池及锂离子电池。
碳纳米管可分为半导体型及金属型两种，而只有半导体型碳纳米管方可用来制作晶体管。
采用一种称之谓“建设性毁灭”的技术促使新晶体管诞生。
主要方法是以一电子冲击波来摧毁掉金属型碳纳米管，只留下半导体型碳纳米管用来制作晶体管。
3（而在近期最新的突破，IBM利用碳纳米管做出电压反向器，即非门（NOT Gate）。
这是世界上第一个分子内（或称单分子）逻辑电路。
大家知道，计算机核心处理器基本上是由非门以及与门（AND Gate）及或门（OR Gate）三种逻辑组件构成的庞大的复杂电路。
在这种新纳米管电路中，输出信号比输入的更强，表明有增益，其增益值为1.6。
)如果碳纳米管的放大作用能达到现今Si晶体管那样大小时，它将拥有与Si一样的功能。
由此推论，当Si无法再变得更小时，比Si还小的碳纳米管可继续维持摩尔定律，从而推动微电子技术继续向前发展。
目前，半导体纳米材料与器件的研究仍处于探索、开发阶段，但它们在多个领域的应用，如新型高效太阳能电池、纳米级电子器件、纳米发光器件、激光技术、波导、化学及生物传感器、化学催化剂等已呈现出诱人的前景。
结论：21世纪人类将全面进入信息化社会，对微电子信息技术将不断提出更高的发展要求，微电子技术仍将继续是21世纪若干年代中最为重要的和最有活力的高科技领域之一。
为了能够更好地适应社会的需要，微电子技术必须出现新
技术来发展。
所以，集成技术，SOC技术，MEMS技术和纳米电子技术将会是未来发展的趋势。
当然，新技术是需要不断探究的，相信将来，作为支撑信息产业的微电子技术，会以突飞猛进的速度发展起来。
参考文献: 1杨依忠;IP核及其集成技术的研究[D];合肥工业大学;2004年
2 余修武;微电子技术与新技术革命[J];2003年
2 林鸿溢;后硅器时代——纳米科学技术进展[J];纳米科技;2005年01期。