TRACK安装调试培训资料
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本次调试的设备是B5 TRACK 9号线，名称：SK-2200G，编号： 750G25076A
创新进取 正道经营 追求卓越
一、CLEANER安装调整
CLEANER单元包括：入口CV、过渡CV、UV前CV、UV（UV属于其他厂商 调试）、RB+AAJET、A/K、NEUTRAL CV以及出口CV。 1、CLEANER调试前准备
创新进取 正道经营 追求卓越
14、UV调整 UV属于其他厂商调试，我们只需要调整Guide roller即可。
15、RB安装与TEACHING 共四个RB，分为前后两组，GOT面板上标记为：前上、前下、后上及
后下（根据B5的工艺要求，前上RB及后上RB不需要安装）。 1 首先安装前下RB和后下RB。 2 前下RB原点复位：用直尺测量操作侧和反操作侧的前下RB到基板的
1 确认所有供给阀门处于关闭状态； 2 确认所有控制柜处于OFF状态，开始投入电源（与DNS及客户）； 3 盖板类、AAJET、追加roller等拆除。 2、川幅调整（初调） 1 将入口CV和出口CV的整列关闭，中间各个UNIT Guide roller调到 最外侧。
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2 调整入口CV操作侧第一个Guide roller，使其到侧板内侧距离为 50mm，调整出口CV操作侧最后一个Guide roller，使其到侧板内侧距离 为20mm，（这两个距离为经验值，视实际情况而定），用这两个Guide roller拉线作为基准线，再调整操作侧所有Guide roller，操作侧Guide roller与基准线距离为0mm。反操作侧的基准线做法与操作侧相同，反操 作侧Guide roller与基准线距离分为两种：a、整列roller与基准线距离 为0.5mm；b、 单个Guide roller基准线距离为2mm。所用基板为 2500mm*2200mm*0.5mm 注意 此时的川幅调整是初调，目的是传片，为DB、LC、SB、INTERFACE
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以及HB robot Teaching做准备。最终的川幅调整以COATER基台为基准。 3、川幅调整（终调）
LC robot Teaching完成后（Teaching基准为COATER基台），用 robot将基板放入出口CV中，以此基板的两侧边为基准，首先调好两侧整 列roller，再由两侧整列roller为基准拉线，最后调整CLEANER所有 Guide roller。具体调整做法与川幅调整（初调）的相同。 再将Guide roller顶部到基板上表面的距离调整至4mm。
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8、同步带张力调整 用张力计依次将同步带的张力调整到标准值（标准值参照《各部分
标准张力表），具体做法：首先用张力计测量同步带当前张力，再与标 准值比较，最后用扳手调节涨紧轮的松紧状态，使得同步带的张力在标 准范围内。
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9、追加ROLLER安装与调整 将先前拆下来的追加roller重新安装上，然后用0.2mm的塞尺测量上
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4 调整立替部气缸升降速度，升降时间相同： 5.0±0.3s； 5 确认基板缺口Sensor高度：5.0±1.0mm。 6 确认基板检查Sensor高度：10.0±1.0mm。 12、过渡CV调整 1 确认ManualSW动作是否正常； 2 确认基板检查Sensor高度：10.0±1.0mm。 13、UV前CV调整 1 确认ManualSW动作是否正常； 2 确认基板检查Sensor高度：10.0±1.0mm。
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出口CV终调
川幅调整基准线
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4、搬送ROLLER拧紧确认 用随机携带的扳手将CLEANER所有搬送roller拧紧。
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5、摇摆SENSOR调整 在Sensor旁边的搬送roller上放置一块厚度为2mm的PVC板，放一直
7、上下流平面度调整 CLEANER除了入口CV与出口CV有立替部，其他unit都处于倾斜状态，
整体平面度需要调整。a、粗调，将两块基板分别放入贴合的两个unit 中，观察两块基板的高度差，然后调节unit四个角的双头螺栓，使得两 基板趋于同一平面；b、细调，将一块基板置于两个unit交界处，调节 C-roller，方法同A/K调整中的C-roller调整。
尺于板上，扫动直尺， 调整Sensor固定螺丝直到直尺稍微低于Sensor后 锁紧螺丝。 Sensor的高度允许误差为（0，+0.5）， Sensor敏感度为小 于0～5°时ON状态， 5°～10°时OFF状态。
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6、侧板固定螺钉拧紧 将操作侧及反操作侧所有固定螺钉拧紧。
下搬送roller间的距离，允许误差为± 0.1mm。 10、搬送ROLLER中心变化确认
在搬送roller旋转过程中，目测滚轴与中心固定架圆孔的同轴情况， 如有偏离，调节固定架高度。
11、入口CV调整 1 确认ManualSW动作是否正常； 2 确认整列气缸动作是否流畅，有无异常声音； 3 调整整列气缸开闭速度，开闭时间相同：2.0±0.3s；
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TRACK安装调试培训资料
张先锋
2014.08.06
培训内容：
一、CLEANER安装调试 二、SB/HB/DB安装调试 三、DEVELOPER安装调试
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TRACK线平面图：
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
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流片方向
流 片 方 向
流片方向
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所有设备SET UP完成之后，我们开始进入TRACK线，各个单元并 不是按照流片的先后顺序来调试的，很多时候是几个单元同时作业， 而为了培训的方便，我们还是按照流片的顺序依次讲解各个单元。从 整条TRACK线来说，分为INDEXER、CLEANER、DB、LC、SB、INTERFACE 、EXP、TITLER、DEVELOPER、HB以及AOI，共11个单元，我们需要调 试的是其中的5个单元： CLEANER、DB、 SB、DEVELOPER及HB。
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一、CLEANER安装调整
CLEANER单元包括：入口CV、过渡CV、UV前CV、UV（UV属于其他厂商 调试）、RB+AAJET、A/K、NEUTRAL CV以及出口CV。 1、CLEANER调试前准备
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14、UV调整 UV属于其他厂商调试，我们只需要调整Guide roller即可。
15、RB安装与TEACHING 共四个RB，分为前后两组，GOT面板上标记为：前上、前下、后上及
后下（根据B5的工艺要求，前上RB及后上RB不需要安装）。 1 首先安装前下RB和后下RB。 2 前下RB原点复位：用直尺测量操作侧和反操作侧的前下RB到基板的
1 确认所有供给阀门处于关闭状态； 2 确认所有控制柜处于OFF状态，开始投入电源（与DNS及客户）； 3 盖板类、AAJET、追加roller等拆除。 2、川幅调整（初调） 1 将入口CV和出口CV的整列关闭，中间各个UNIT Guide roller调到 最外侧。
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2 调整入口CV操作侧第一个Guide roller，使其到侧板内侧距离为 50mm，调整出口CV操作侧最后一个Guide roller，使其到侧板内侧距离 为20mm，（这两个距离为经验值，视实际情况而定），用这两个Guide roller拉线作为基准线，再调整操作侧所有Guide roller，操作侧Guide roller与基准线距离为0mm。反操作侧的基准线做法与操作侧相同，反操 作侧Guide roller与基准线距离分为两种：a、整列roller与基准线距离 为0.5mm；b、 单个Guide roller基准线距离为2mm。所用基板为 2500mm*2200mm*0.5mm 注意 此时的川幅调整是初调，目的是传片，为DB、LC、SB、INTERFACE
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以及HB robot Teaching做准备。最终的川幅调整以COATER基台为基准。 3、川幅调整（终调）
LC robot Teaching完成后（Teaching基准为COATER基台），用 robot将基板放入出口CV中，以此基板的两侧边为基准，首先调好两侧整 列roller，再由两侧整列roller为基准拉线，最后调整CLEANER所有 Guide roller。具体调整做法与川幅调整（初调）的相同。 再将Guide roller顶部到基板上表面的距离调整至4mm。
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8、同步带张力调整 用张力计依次将同步带的张力调整到标准值（标准值参照《各部分
标准张力表），具体做法：首先用张力计测量同步带当前张力，再与标 准值比较，最后用扳手调节涨紧轮的松紧状态，使得同步带的张力在标 准范围内。
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9、追加ROLLER安装与调整 将先前拆下来的追加roller重新安装上，然后用0.2mm的塞尺测量上
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4 调整立替部气缸升降速度，升降时间相同： 5.0±0.3s； 5 确认基板缺口Sensor高度：5.0±1.0mm。 6 确认基板检查Sensor高度：10.0±1.0mm。 12、过渡CV调整 1 确认ManualSW动作是否正常； 2 确认基板检查Sensor高度：10.0±1.0mm。 13、UV前CV调整 1 确认ManualSW动作是否正常； 2 确认基板检查Sensor高度：10.0±1.0mm。
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川幅调整基准线
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4、搬送ROLLER拧紧确认 用随机携带的扳手将CLEANER所有搬送roller拧紧。
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5、摇摆SENSOR调整 在Sensor旁边的搬送roller上放置一块厚度为2mm的PVC板，放一直
7、上下流平面度调整 CLEANER除了入口CV与出口CV有立替部，其他unit都处于倾斜状态，
整体平面度需要调整。a、粗调，将两块基板分别放入贴合的两个unit 中，观察两块基板的高度差，然后调节unit四个角的双头螺栓，使得两 基板趋于同一平面；b、细调，将一块基板置于两个unit交界处，调节 C-roller，方法同A/K调整中的C-roller调整。
尺于板上，扫动直尺， 调整Sensor固定螺丝直到直尺稍微低于Sensor后 锁紧螺丝。 Sensor的高度允许误差为（0，+0.5）， Sensor敏感度为小 于0～5°时ON状态， 5°～10°时OFF状态。
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6、侧板固定螺钉拧紧 将操作侧及反操作侧所有固定螺钉拧紧。
下搬送roller间的距离，允许误差为± 0.1mm。 10、搬送ROLLER中心变化确认
在搬送roller旋转过程中，目测滚轴与中心固定架圆孔的同轴情况， 如有偏离，调节固定架高度。
11、入口CV调整 1 确认ManualSW动作是否正常； 2 确认整列气缸动作是否流畅，有无异常声音； 3 调整整列气缸开闭速度，开闭时间相同：2.0±0.3s；
创新进取 正道经营 追求卓越
TRACK安装调试培训资料
张先锋
2014.08.06
培训内容：
一、CLEANER安装调试 二、SB/HB/DB安装调试 三、DEVELOPER安装调试
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TRACK线平面图：
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
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流片方向
流 片 方 向
流片方向
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所有设备SET UP完成之后，我们开始进入TRACK线，各个单元并 不是按照流片的先后顺序来调试的，很多时候是几个单元同时作业， 而为了培训的方便，我们还是按照流片的顺序依次讲解各个单元。从 整条TRACK线来说，分为INDEXER、CLEANER、DB、LC、SB、INTERFACE 、EXP、TITLER、DEVELOPER、HB以及AOI，共11个单元，我们需要调 试的是其中的5个单元： CLEANER、DB、 SB、DEVELOPER及HB。