9真空测量与控制
真空科学与技术
真空科学与技术真空科学与技术是一门研究真空环境下物质性质及其应用的学科。
真空是指在一定的空间内气体的压力非常低，因此几乎没有分子或原子的存在，这种状态下的物质行为与常规环境下的物质有着显著差异。
真空科学与技术在多个领域有着重要的应用，包括材料科学、电子学、光学、航天等。
本文将重点介绍真空科学与技术的基础原理、主要应用及未来发展趋势。
一、真空科学与技术的基础原理1.1 真空的定义与分类真空是指气体稀薄到可以忽略其分子或原子相互作用的程度。
根据气体压力的大小，真空可以分为高真空、超高真空和极高真空。
高真空一般指气体压力在10^-3至10^-6Pascal(Pa)范围内，超高真空是指气体压力在10^-6至10^-9Pa之间，而极高真空则指气体压力低于10^-9Pa。
1.2 真空的制备与测量实现真空环境需要通过真空系统进行气体的抽减。
一般使用真空泵将气体抽出，常用的真空泵包括机械泵、扩散泵和离子泵等。
而真空的测量通常使用真空计来进行，如毛细管真空计、热阴极离子化真空计和质谱仪等。
1.3 增强材料特性在真空环境下，材料的性质与在常压下有一定差异。
由于真空中几乎没有气体分子的碰撞，材料表面易发生脱气反应，因此可以得到更洁净的表面。
此外，真空还可以改变材料表面的结构，例如通过热蒸发或物理气相沉积方法制备薄膜。
二、真空科学与技术的主要应用2.1 材料科学与加工真空科学与技术在材料科学领域有着广泛应用。
在真空环境下，材料的表面洁净度和致密度得到显著提高，可以制备高纯度的金属、合金和非晶态材料。
此外，真空冶金技术可以用于制备特殊材料，如钨合金、钛合金等。
2.2 电子学与半导体器件由于真空中没有气体分子的干扰，真空技术在电子学和半导体器件制造中发挥着重要作用。
例如，真空封装可以提高真空电子器件的性能和可靠性；超高真空条件下的分子束外延技术可以制备高质量的半导体薄膜。
2.3 光学与激光技术真空环境对于光学和激光技术具有重要意义。
真空计常见类型
真空计常见类型真空计简介真空计，又叫真空表，是测量真空度或气压的仪器。
一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。
在科研和工业生产中广泛使用。
真空计种类繁多，为了研究和使用方便，合理分类是很重要的。
角度不同，分类方法也不同，在这里笔者介绍两种常用的分类法。
1、按真空计刻度方法分类（1）绝对真空计：直接读取气体压力，其压力响应（刻度）可通过自身几何尺寸计算出来或由测力计确定。
绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关。
属于绝对真空计的有U 型管压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。
（2）相对真空计：由一些与气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单的计算进行刻度，必须进行校准才能刻度。
相对真空计一般由作为传感器的真空计规管和用于控制、指示的测量器组成，读数与气体种类有关。
相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。
2、按真空计测量原理分类按真空计测量原理分类，可以分成直接测量真空计和间接测量真空计。
直接测量真空计系直接测量单位面积上的力，属于这类真空计的有：（1）静态液位真空计。
利用U型管两端液面差来测量压力。
（2）弹性元件真空计。
利用与真空相连的容器表面上受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。
压力为10-1 Pa时，作用在1cm2表面上的力只有10-5 N，显然测量这样小的力是困难的，但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。
属于间接测量真空计的有：（1）压缩式真空计。
其原理是在 U 型管的基础上再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增大，以便用 U 型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。
（2）热传导真空计。
利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。
常用的有电阻真空计和热偶真空计。
（3）热辐射真空计。
利用低压下气体热辐射与压力有关的原理。
（4）电离真空计。
利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随压力变化的原理。
真空系统的组成.
常用机组形式
图为有挡油阱的低真空 机组。双击水环泵和大 气喷射泵串联组成的机 组极限压力1300Pa。工 作时，先开动水环泵， 以获得大气喷射泵所需 的预压力，使大气喷射 泵的进气口与出气口之 间有压力差，大气便通 过喷射进入泵内形成高 速运动气流，将被抽气 体吸入，经扩压器被水 环泵排走。 该机组适用于真空蒸 发、真空浓缩、真空浸 渍、真空干燥、真空冷 冻等工艺过程
（3）高真空抽气机组
高真空抽气机组工作于分子流状态下，与低真空机组相比， 其特点是工作压力较低（10-2~10-6Pa）、排气量小、抽速 大、机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛 升华泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因 此需要配置与丑泵和前级泵，有些扩散泵高真空抽气机组 还配有前几维持泵或贮气罐，以防止气压波动，改善机组 性能。
油封机械泵机组抽出可凝性气体的措施
油封机械泵机组不适于抽出含有大量水蒸气的气体。水蒸 气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液， 破坏泵的抽气性能，使泵的真空度下降。 一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵那个， 并使泵的工作温度控制在75~90℃之间，以减少气镇阀负 担；在机组中安装水气分离器或油水分离装置，将混有水 的机械泵油进行处理，处理过的油再进入泵中使用；使用 各种干燥吸附剂做成补集阱吸收水蒸气；使用各种冷凝器 或冷阱，不仅能有效的吸附水蒸气，同时还可阻挡机械泵 向真空室的反流。
1、粗真空系统（工作压力大于1330Pa）；2、低真空系统（工作压 力在1330~0.13Pa）；3、高真空系统（工作压力在0.13~1.3×106Pa）；4、超高真空系统（工作压力在1.3×10-6~1.3×10-10Pa）；5、 极高真空系统（工作压力低于1.3×10-10Pa）。
皮拉尼真空计_PGD400中文说明书
PGD400
tinb14c1 (2009-07)
操作手册
内 含 : EC 一 致 性 声 明
1
产品标识
与 INFICON 公司联系时，请告知产品标牌上的信息。为便于参考， 请将产品信息记录在以下的空格中。
PGD400 Made in China
100-240V 50/60Hz 30VA
关闭PGD400真空计 电源开关拨至OFF将 PGD400真空计电源关闭 (如仪器安装在控制柜机架上, 应通过中央配电箱开关)。
在再次启动 PGD400 电源前，至少等待 10 秒钟 仪器本机初始化。
tinb14c1 (2009-07)
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4.3 运行模式
PGD400真空计工作于下列运行模式：
• 测量模式 用于显示测量值或状态信息 (→ 21)
测量模式
参数模式
单位
电源 on
>5 秒
阈值
22
tinb14c1 (2009-07)
选择参数 设置参数值
参数的名称 例如:
（单位） 按下键或至少1 秒钟后显示， 接着，显示当前有效的参数值。
按键 <1 秒: 值增大 / 减小 1； 按键 >1 秒: 值连续增大 / 减小；
保存修改的参数值；
tinb14c1 (2009-07)
必须不超过允许的 最高室温 (→ 9) 并具备良好的通风。
为降低面板上的机械应力，应在适当位置对仪器进行支撑。 将 PGD400 滑入控制柜的开口中 …
… 接着用四个 M3 或等效的螺丝进行紧固。
tinb14c1 (2009-07)
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3.2 电源连接
危险
危险： 线电压 确保产品已经安全接地，否则出现故障是十分危 险的.仅推荐使用带保护接地的 3 芯电源电缆 (3×1.5 毫米2)。 电源线插头必须插入带保护接地的插座中，不能使 用无保护接地的延伸电缆。
真空泵真空度和气量的关系_概述说明以及解释
真空泵真空度和气量的关系概述说明以及解释1. 引言1.1 概述真空技术在许多领域中起着重要的作用，包括制造业、科研领域等。
真空泵作为实现高真空度的关键设备，其真空度和气量对于确保系统运行稳定性和工艺效率至关重要。
1.2 文章结构本文将围绕真空泵的真空度和气量进行研究，探讨它们之间的关系以及影响因素，并解释真空泵的工作原理和提高真空度的方法。
同时，通过典型案例分析和实验结果解读展示了在实际应用中的应用情况和性能评估。
1.3 目的主要目标是帮助读者深入理解真空度和气量之间的关系，并且提供一些对于真空泵工作原理与性能优化有指导意义的实际案例。
通过本文，读者将能够更好地选择合适的真空设备并优化其使用方式，以满足各种真空度需求，并提高生产效率与质量。
2. 真空泵真空度与气量的关系：2.1 真空泵真空度的定义和测量方法真空度是指在一个封闭的容器或系统中，减压运行下所达到的气体分压。
通常用帕斯卡(Pa)或托(Torr)作为单位进行表示。
真空泵真空度的测量方法有多种，其中最常见的是使用压力传感器进行测量。
2.2 真空泵对真空度的影响因素真空泵对真空度的影响因素主要包括抽气速率、泄漏率和气体吸附等。
抽气速率决定了系统中气体被排出的速度，而泄漏率则与系统内部存在的不完全封闭和管道连接等问题有关。
气体吸附是指某些固体表面吸附住了系统中部分气体分子，导致真空度下降。
2.3 真空泵气量与真空度的关系真空泵气量即指单位时间内抽排出液态物质或溶解于液态物质中含有污染物的悬浮液等进入过滤室并完全绕过过滤介质而通过过滤室而负荷排出的液体量。
真空泵气量与真空度之间存在一定的关系，通常可以用来描述真空泵在单位时间内抽气的效率。
较高的真空度可通过提高真空泵的气量来实现。
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3. 解释真空泵工作原理与真空度提升方法：3.1 真空泵工作原理概述：真空泵是一种用于排除容器内气体，从而形成真空环境的设备。
真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度-最新国标
真空技术真空计皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度1 范围本文件给出了皮拉尼真空计的参数，描述了其校准步骤，规定了使用这些真空计时要考虑的测量不确定度。
本文件适用于工作压力范围为 0.01 Pa ~150 kPa 的皮拉尼真空计。
当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准时，本文件是对GB/T 34873 和 ISO 27893的补充。
另外，本文件描述了皮拉尼真空计响应时间和迟滞的表征方法。
2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。
其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 34873-2017 真空计与标准真空计直接比较校准（ISO 3567:2011，IDT）ISO 27893 真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定（Vacuum technology —Vacuum gauges —Evaluation of the uncertainties of results of calibrations by direct comparison with a reference gauge）注：G B/T 34876-2017 真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定（ISO 27893:2011，IDT）ISO/IEC 17025 检测和校准实验室能力的通用要求（General requirements for the competence of testing and calibration laboratories）注：G B/T 27025－2019 检测和校准实验室能力的通用要求（ISO/IEC 17025：2017，IDT）3 术语和定义下列术语和定义适用于本文件。
部组件定义3.1.1热传导真空计 thermal conductivity gauge通过测量保持不同温度的两个固定元件表面间的热量传递来确定压力的一种真空计。
数字真空开关和压力开关说明书
3
3D 图可到网站v u o t o t e c n i c a .n e t 上查阅
该真空开关和压力开关安装在坚固的ABS壳体内，结构紧凑，重量极轻。
这些特征允许将其安装在自动化设备上以及其他工作部位上使用。
这些设备具有精确校准和温度补偿等性能，能够提供非常精确的测量值。
测量值显示在显示屏上，因此无需使用真空表。
控制面板上设有两个LED灯，一个红色和一个绿色，指示两个数字输出信号的切换状态。
两个切换输出完全独立。
在量程内的切换点，以及迟滞值均可通过控制面板的按钮进行轻松设定。
此外，也可设定其他附加功能，如两个值之间的对比、常开和常闭触点、计量单位的选择、数值和程序功能的锁定等。
可通过一个G 1/8”内螺纹接头建立真空或压力连接，电气连接则由自带的四芯电缆进行连接。
迷你数字真空开关和压力开关适用于测量与控制干燥的空气和非腐蚀性气体。
建议用在达到最大值和最小值需要得到信号的场合，以进行安全保护、启动周期性工作和控制吸盘抓取等。
此外，借助迟滞功能可管理真空发生器的压缩空气供给，从而大大节约了能源。
3.17电路图。
真空技术(vacuum technique)教材
真空系统
真空系统概念
• 真空系统是由真空泵、真空计、真空阀门、冷阱及真空 管道等组合而成的，是具有所需抽气功能的装置。
真空系统
真空系统应满足下列基本要求：
• 1、应能达到一定的极限真空和工作真空。 极限真空是指系统无漏气时所能达到的最低压强，它是 真空系统的一个重要性能指标。一般说来，极限压强越 低的真空系统越好。工作真空是进行某种工艺过程时所 能维持的真空。在工艺处理过程中，往往要放出大量的 气体，因此工作真空低于系统的极限真空。
真空系统
真空系统应满足下列基本要求：
• 2、有较大的有效抽速 • 3、具有适宜的气氛 • 4、此外，真空系统还要求结构简单、牢靠、操作维修方 便、价格便宜等。
真空系统
真空系统的材料
• 真空系统所用的材料，大致可分为结构材料和辅助材料 两类。结构材料是构成真空系统主体的材料，它将真空 与大气隔开，承受着大气的压力，一般是金属和玻璃。 辅助材料通常是指弹性体、绝缘体和真空油脂等。
真空系统
真空阀门
• 真空阀门是一种用来改变气流方向或控制流量大小的部 件，在真空系统中起着重要作用。
真空系统
真空阱
• 真空阱可分为机械阱、吸附阱和液氮冷阱，在低真空、 高真空系统中都可应用。在低真空系统中主要用来阻挡 和吸附来自机械泵的油蒸汽，防止油蒸汽污染真空系统； 在高真空和超高真空系统常将真空阱置于扩散泵入口的 上方用来吸附和阻挡扩散泵的油蒸汽返流到真空容器， 同时也吸附真空系统中的水和其它物质的蒸汽，以获得 所需要的清洁真空。冷阱是利用低温壁来捕集油蒸汽和 其它蒸汽，其效果取决于冷阱结构和冷剂的温度，温度 越低效果越好。
真空系统
操作注意事项
• 操作中需要尽可能避免或减少油蒸汽的污染，使真空系 统经常处于清洁、良好的状态，严格操作规程，防止故 障发生。 • （1）泵工作液的选择 • （2）设计机构的考虑 • （3）定期维护吸附阱 • （4）控制预抽压强减少机械泵油蒸汽的返流 • （5）气体净化 • （6）供给冷阱液时呀把气阀打开，放出温度较高的气体 以防冷阱温升，释放出已吸附的蒸汽物质。 • （7）定期检查机械泵油的油位，防止油量不足而降低泵 的性能 。 • （8）停机后要对机械泵放气，防止回油。
真空计分类及选用时的注意事项
真空计分类及选用时的注意事项托里拆利制作的一端封闭充满水银的细长玻璃管就是最初的真空计。
根据测量的真空度范围和使用环境，现在最常使用的真空计有电容式隔膜真空计、热电偶真空计、热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计。
这几种真空计利用了不同的物理现象，其中电容式隔膜真空计利用的是力，热电偶真空计利用的是热传导，电离真空计利用的是真空放电。
选用真空计时应该注意以下事项：(1)在设备要求的压强范围内，真空计是否有足够的测量精度；(2)被测气体是否会对真空计造成损伤；(3)真空计是否会对被测真空环境造成影响；(4)真空计所测压强是全压还是分压，是否已校准，是否与气体种类有关；(5)真空计能否实现连续测量，数值指示及反应时间如何；(6)真空计的稳定性、可靠性、寿命。
下图为电容式隔膜真空计:根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管(又称为电容式压力传感器)和测量仪器两部分组成。
根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。
零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。
目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。
图20 零位法薄膜真空计的结构原理图图20示出了零位法电容式薄膜真空计的结构原理图。
它由电容式薄膜规管、测量电桥电路、直流补偿电源、低频振荡器、低频放大器、相敏检波器和指示仪表等组成。
电容式薄膜规管的中间装着一张金属弹性膜片，在膜片的一侧装有一个固定电极，当膜片两侧的压差为零时，固定电极与膜片形成一个静态电容C0，它与电容C1串联后作为测量电桥的一条桥臂，电容C2、C3和C4与C5的串联电容组成其它三条桥臂。
金属弹性膜片将薄膜真空规管隔离成两个室，分别为接被测真空系统的测量室和接高真空系统(p b<10-3Pa)的参考压力室。
在这两个室的连通管道上设置一个高真空阀门7。
测量时，先将阀门7打开，用高真空抽气系统将规管内膜片两侧的空间抽至参考压力p b。
皮拉尼真空规
皮拉尼真空规介绍皮拉尼真空规（Pirani Gauge）是温度敏感的真空压力测量器，常用于高、中真空范围（0.1-10^-3 torr）的气体压力测量。
该工作原理基于皮拉尼原理，即通过测量在真空环境下一定长度的金属丝的电阻变化来推算压力值。
皮拉尼真空规具有结构简单、价格相对低廉、精度高等优点，被广泛应用于真空技术领域。
工作原理皮拉尼真空规的原理基于金属线阻值随环境气压的变化而变化。
在实验室环境下，皮拉尼真空规内部放置有金属丝，一般采用钨丝或铂铑丝制成，丝的直径一般在100-300微米之间。
当真空室内的气体分压减小时，气体分子的数密度减小，与金属丝相碰的分子的数目也相应减小，金属丝的散热率降低，导致其温度升高，阻值减小。
反之，当气体分压增加时，对金属丝的热量流失增加，从而导致其温度降低，阻值增加。
皮拉尼真空规的输出信号便是阻值变化所引起的电阻信号，通常输出为电压值，再经过标定和调整可以获得相应的压力值。
优点与不足相较于其他真空规，皮拉尼真空规具有以下优点：1.结构简单，易于制造；2.易于维护，没有不易磨损的部件；3.所需电功率较小，使用较为方便；4.对多种气体都有良好的灵敏度；5.可以达到比大部分其他真空规更高的真空范围。
然而，皮拉尼真空规也存在以下不足：1.对于含氧气体、湿气等气体灵敏度较低；2.在测量较高气压范围内时，有可能因过热损坏金属丝。
应用皮拉尼真空规在真空技术领域中有着广泛的应用。
常用于高真空环境下的气压测量，如气体分子泵前的低压区域、增压器前的气渣室、真空干燥瓶内空气压力测量等。
此外，皮拉尼真空规也可以用于真空泵、真空密封件等真空系统的监控和控制。
通过对真空中的气压进行动态测量和控制，实现精准的环境控制。
总结皮拉尼真空规作为一种温度敏感的真空压力测量器，具有广泛的应用场景和优点。
在实际应用中，应根据具体需要来选择合适的真空规。
除皮拉尼真空规之外，其他真空规如热阴极离子化规、毛细管真空规等也有各自的优缺点，需要根据实际情况进行选择。
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列 BOURDBOONUVRACD膜OA片NV式A真CD空CIAV规AC DV 10手00持式真电空容规薄膜线真性空真变空热送计传器D导CI/真DT冷RU空系阴系变极列送真热器空阴T变T极R送真系IO器空列NPI变VTAR送C压系器力列IMIT开R5关系4压0P列力S开1关1膜3P片AS式1压15力调节器MR
真空测量 与控制
莱宝真空
莱宝公司全系列产品样本
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总述
真空规的应用
规 空 真
机械工程 汽车工业； 制动系统和空调系统加注 真空搬运 真空包装 真空绝热 化工 气体混合物的绝对压强测量 干燥与脱气工艺 溶剂回收 中央真空系统 电气/电子/光学 蒸发镀膜系统 溅射系统监控 半导体技术（CVD（化学气相淀积）、等离子蚀刻等等） 离子注入 照明行业 分析仪器与表面物理学 ESCA（化学分析用电子光谱学）、SIMS（二次离子质谱）、 AES（俄歇电子能谱仪）、XPS（X射线光电子光谱） 电子显微镜 晶体生长 气体分析系统、质谱仪 研发 测量超高真空系统极限压强 MBE（分子束外延）系统 加速器 束流系统、回旋加速器 核聚变系统 空间环境模拟 系统控制/压强控制 真空泵和真空系统的真空度测量 真空系统的安全监测， 插板阀的保护 电离真空规的控制 高真空泵系统的压强测量， 如，扩散泵、TMP（涡轮分子泵）、低温泵系统 系统破空 阀门控制、压强相关系统控制 简单的压强控制 真空校准 真空规和质谱仪的校准 气体物理特性判定 低压的精密测量 其它 真空退火炉、熔炉、钎焊炉和硬化炉 制冷行业 电子束焊 冶金
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真空测量与控制
总述 真空规的应用 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 真空计量基本术语 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 选择适合您应用的真空测量设备 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 小法兰的连接附件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 产品 机械真空规 布兰登真空规 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 膨胀盒真空规 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 膜片真空规DIVAC DV 1000 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 手持式电容薄膜真空规DIAVAC E . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 手持式真空规 THERMOVAC TM 101 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14 真空变送器 CERAVAC真空变送器CTR 100 N和CTR 101 N . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 THERMOVAC真空变送器TTR 91 N(S) / TTR 96 N SC / TTR 911 N (S/C/SC) /TTR 916N SC . . . . . . . . . 20 THERMOVAC真空变送器TTR 101 N(S) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 进样室专用真空变送器TTR 200 N / PTR 200 N . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .30 PENNINGVAC真空变送器PTR 90 N . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .34 PENNINGVAC真空变送器PTR 225 N/PTR 237 N . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38 IONIVAC真空变送器ITR 90 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42 IONIVAC真空变送器ITR 200 S . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .46 螺旋管... .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50 真空变送器的连接电缆 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52 真空变送器的控制器 DISPLAY ONE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54 DISPLAY TWO / THREE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .56 GRAPHIX ONE / TWO / THREE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58 真空传感器和真空传感器的控制器 COMBIVAC CM 51, CM 52 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60 THERMOVAC真空传感器TR 211, TR 211 NPT, TR 212/TR 216 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .64 PENNINGVAC真空传感器PR 25 至 PR 28 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .66 IONIVAC IE 414和IE 514超高真空传感器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68 其他真空规 线性真空计DI / DU 200、DI / DU 201、DI / DU 2000、DI / DU 2001、DI / DU 2001REL . . . . . . . . . . .70 为老款控制器保留的真空传感器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74