镀膜行业产品应用技术交流2014
光学镀膜技术的应用
光学镀膜技术的应用光学镀膜技术是一种利用光学薄膜的干涉与反射性质对光线进行处理的技术。
其应用广泛，包括光电器件、液晶显示器、摄像头镜片、激光光束等等。
下面，我们一起来分步骤阐述光学镀膜技术的应用。
1.光电器件光电器件是光学镀膜技术的重要应用领域之一。
光电器件中的光学镀膜通常是多层光学膜的堆积。
在光学镀膜过程中，需要根据器件需要，选择合适的光学薄膜材料进行镀膜，以达到器件的设计要求。
例如，太阳能电池板为了提高吸收光线的效率会采用內膜式结构进行反射光的利用。
2.液晶显示器现代液晶显示器中的各种反射、散射板、吸收体等都需要采用光学镀膜技术。
光学镀膜技术主要应用于其背光源中的反射或衰减材料，以及显示屏幕上的抗反射材料。
经过光学镀膜处理的液晶显示器，不仅能够保证其高清晰度和色彩还原度，还能有效减少其反光和眩光等负面影响。
3.摄像头镜片摄像头镜片上的光学镀膜主要应用于反射板上。
通过搭配反光板材料，利用光学干涉等原理，可以大大提高镜片的成像质量。
在镀膜过程中，需要根据实际需求选择合适的材料，进行特定的反光率、吸收率和透射率等处理。
4.激光激光技术中的光学镀膜主要应用于光学元件的薄膜增透或反射，以提高激光的利用效率。
例如，在某些激光器中，通过在管壳内部镀上透镜、反射镜等光学薄膜，可以调整激光器的光束发散角；在激光器的输出窗口上镀上透镜膜等材料，可以提高激光能量的输出。
总之，光学镀膜技术已经广泛应用于日常生活的各个领域中。
在实际应用中，镀膜材料的选择、光学膜的生产过程以及成品产品的检测等都是非常重要的环节。
人们应当加强理论研究，不断改进技术工艺，进一步完善各类光学器件的性能和质量，为新的科技研究和产业应用提供可靠的基础和支撑。
真空镀膜行业分析
真空镀膜行业分析真空镀膜行业是指利用真空镀膜技术对物体进行表面涂覆的一种行业。
该行业主要应用于光学、电子、汽车、建筑等领域，有着广泛的市场需求。
以下是对真空镀膜行业的分析：首先，真空镀膜行业具有较大的市场潜力。
随着科技的进步和工业的发展，真空镀膜技术有着越来越广泛的应用领域。
比如在光学领域，人们对镀膜材料的要求越来越高，需要更高的光学性能和更好的耐用性。
此外，在电子和汽车等行业，对材料的电磁屏蔽性能和耐腐蚀性能的要求也不断提高。
因此，真空镀膜行业有着良好的市场前景。
其次，真空镀膜技术具有一定的竞争优势。
真空镀膜技术可以有效地提高物体的表面硬度、耐磨性和耐腐蚀性，同时还可以增加物体的光学性能和装饰性能。
相比传统的涂覆方法，真空镀膜技术具有高效、环保和成本低等优点。
因此，真空镀膜技术在一些高端产品中已经得到了广泛应用。
再次，真空镀膜行业仍面临一些挑战。
首先，技术研发方面面临一定的难题。
真空镀膜技术的发展需要不断推动新材料的研发和推广应用，需要不断提高设备的性能和稳定性。
其次，行业竞争激烈，市场份额有限。
目前，真空镀膜行业的市场竞争很激烈，许多大型企业已经具备了一定的研发实力和生产能力，进入该行业的门槛也较高。
此外，真空镀膜行业的供应链也需要通过持续的技术创新和市场拓展来提升竞争力。
最后，真空镀膜行业在发展中面临一些机遇。
随着电子、汽车、光学等行业的快速发展，对材料的特殊性能需求不断增加，这为真空镀膜行业提供了更多的机会。
此外，随着消费者对产品质量和外观要求的提高，真空镀膜技术在产品表面处理中的应用也会更广泛。
同时，政府对环保产业的支持力度也在不断增加，这将给真空镀膜行业带来更多发展机遇。
综上所述，真空镀膜行业具有较大的市场潜力和竞争优势，但同时也面临着一些挑战。
随着科技的进步和市场需求的增加，真空镀膜行业有望迎来更好的发展机遇。
薄膜光学与镀膜技术
眼镜和隐形眼镜
镀膜技术可以提高眼镜和隐形眼镜的抗反射性能，提高视觉清晰度。 镀膜技术可以增强眼镜和隐形眼镜的抗紫外线能力，保护眼睛不受紫外线伤害。 镀膜技术可以提高隐形眼镜的湿润性和舒适度，减少眼部干燥和不适感。 镀膜技术可以增强眼镜和隐形眼镜的抗污能力和清洁度，保持镜片持久清晰。
反射和透射的物理机 制：反射和透射的物 理机制与光的波动性 和干涉有关，薄膜的 厚度和折射率等因素 会影响光在薄膜中的 波前和相位，从而影 响反射和透射的光强 和光谱特性。
光学常数与薄膜性质的关系
光学常数定义： 描述光与物质相 互作用性质的物 理量
光学常数与薄膜性 质的关系：光学常 数是薄膜材料和镀 膜工艺的重要参数， 对薄膜的光学性能、 物理性能和化学性 能产生影响
未来发展方向与趋势
新型材料的应用： 探索和开发具有 优异光学性能和 稳定性的新型材 料，以满足不断 增长的技术需求。
创新镀膜技术的 研发：研究和发 展新型镀膜技术， 以提高薄膜的光 学性能和稳定性， 降低制造成本。
跨学科融合：将 薄膜光学与镀膜 技术与其他领域 （如纳米技术、 生物医学等）相 结合，开拓新的 应用领域和市场。
镀膜技术的发展趋势
纳米镀膜技术：利用纳米材料和纳米技术提高镀膜的性能和稳定性，满足高精度、高 性能的应用需求。
多层镀膜技术：通过多层叠加的方式，实现更复杂的光学和力学性能，提高产品的附 加值。
智能镀膜技术：结合人工智能和机器学习技术，实现镀膜过程的自动化和智能化，提 高生产效率和产品质量。
镀膜应用场景
镀膜应用场景随着科技的发展，镀膜技术在各个领域得到了广泛的应用。
不仅能够提升产品的外观质感，还能增加产品的耐用性和功能性。
下面，我将为大家介绍一些常见的镀膜应用场景。
1. 电子产品领域：在手机、平板电脑和电视等电子产品中，镀膜技术起到了防刮、防指纹和增强屏幕清晰度的作用。
通过在屏幕表面进行抗蓝光镀膜，可以有效减少蓝光对眼睛的伤害，保护视力健康。
2. 汽车工业：在汽车制造中，使用镀膜技术可以增强汽车表面的耐久性和防腐蚀性。
例如，采用镀膜技术可以在汽车外观上形成一层保护膜，有效防止车身被酸雨、紫外线和腐蚀性化学物质侵蚀，延长汽车使用寿命。
3. 建筑行业：在建筑材料上应用镀膜技术可以改善建筑物的外观和性能。
例如，使用镀膜技术可以提高玻璃的透光性、耐热性和隔热性能，使建筑物更加节能环保。
4. 医疗器械：医疗器械的表面常常需要具备抗菌、防腐蚀和生物相容性等特性。
通过在医疗器械表面进行镀膜处理，可以增加其抗菌性能，降低感染风险；同时还可以提高材料的耐腐蚀性，延长使用寿命。
5. 光学领域：在光学器件上应用镀膜技术可以提高光学透射率和抗反射性能。
通过在镜片表面进行镀膜处理，可以减少光线的反射和散射，提高光学设备的成像质量。
6. 化工行业：在化工生产中，使用镀膜技术可以提高设备的耐腐蚀性和耐高温性能。
通过在设备表面形成一层耐腐蚀的保护膜，可以有效防止化学物质对设备的腐蚀，延长设备的使用寿命。
7. 食品包装：在食品包装行业中，镀膜技术可以提高包装材料的防潮性、防氧化性和阻隔性。
通过在包装材料表面进行镀膜处理，可以有效保护食品的新鲜度和品质。
总的来说，镀膜技术的应用场景非常广泛，涵盖了电子产品、汽车、建筑、医疗、光学、化工和食品等多个领域。
通过在不同材料的表面形成一层保护膜，镀膜技术可以提升产品的外观质感、增加产品的耐用性和功能性，为人们的生活带来更多便利和舒适。
镀膜玻璃应用技术标准
镀膜玻璃应用技术标准一、前言镀膜玻璃是一种经过特殊处理的玻璃制品，其表面经过涂覆特定材料形成薄膜，以提升玻璃的功能性和美观性。
本技术标准旨在规范镀膜玻璃的生产、应用和质量检验，促进镀膜玻璃行业的健康发展。
二、材料和设备要求1. 镀膜材料应选用符合国家标准的优质无机或有机化合物，具有良好的耐候性、抗腐蚀性和光学性能。
2. 镀膜设备应具备自动化控制、温度恒定和真空度可控等功能，保证膜层均匀、附着力强。
三、工艺流程1. 清洗：在镀膜前，应对玻璃表面进行彻底清洗，去除油污和杂质，以保证膜层的附着。
2. 镀膜：利用真空镀膜技术，将镀膜材料均匀地沉积在玻璃表面，形成一定厚度的薄膜。
3. 固化：经过镀膜后的玻璃需要进行固化处理，提高薄膜的硬度和耐久性。
4. 检验：对镀膜玻璃进行检验，包括膜层厚度、透光率、耐磨性等性能检测，确保产品符合标准要求。
四、应用要求1. 室内应用：镀膜玻璃可以用于室内隔断、家具、墙面装饰等方面，提供美观、防紫外线、隔热等功能。
2. 室外应用：在室外，镀膜玻璃可用于建筑幕墙、阳光房等，具有隔热、防晒、保温等功能。
3. 安装要求：镀膜玻璃的加工和安装需符合国家建筑安装规范，确保安全可靠。
五、质量标准1. 表面平整度：玻璃表面不得有凹凸、麻点等质量缺陷。
2. 薄膜附着力：膜层与玻璃基材应具有良好的附着力，不得剥离或起泡。
3. 膜层性能：膜层需具有一定的透光率、热反射率和紫外线抵抗能力。
4. 应力状态：镀膜玻璃的应力状态应符合国家标准要求，不得出现开裂或受力失稳等情况。
六、质量检验1. 可采用目测、光谱分析仪、厚度仪等设备对产品进行质量检验。
2. 对不合格品应予以退换或重新加工，确保产品质量。
七、附则1. 本标准所涉及的术语、测试方法等，参照国家相关标准和行业规范执行。
2. 本标准由国家质量监督检验检验总局负责解释和修订。
3. 本标准自颁布之日起开始执行。
结语镀膜玻璃作为一种新型材料，具有广泛的应用前景，在建筑、家居装饰等领域具有重要意义。
镀膜玻璃技术主要运用在哪些方面
镀膜玻璃技术主要运用在哪些方面当光线通过不同的介质实行传递时，就会发生不同程度的反射消耗，在光学瞄准镜中各类折射镜、反射镜以及透镜对于光线的损失可高达30%左右。
镀膜技术的问世，不仅可以减少各类反射消耗，而且多层镀膜还可以增加光线穿透率，因此这种技术现在被广泛运用于各个行业领域，得到了广泛的应用和好评。
1、装饰方面的应用随着经济的不断深入发展，人民群众的消费水平不断提高，对于生活的消费意识也逐渐改变，更多人将目光从原来的生活必需品，转移到了装饰品以及奢侈品上，更多消费者喜欢将手表、服饰以及手机屏、室内外装饰件等装饰的色彩绚丽，因此镀膜技术当下多用于装饰品方面，为人类生活增添了许多亮占。
2.金属工具方面的应用一般来说，金属工具的要求相当严格细致，因此对于金属工具的养护非常重要，在我们日常生活中经常看到的各类金黄色、黑色以及钻铜色的金属工具，这些器具都是经过了不同材质的镀膜涂层加工。
例如金黄色是因为添加了TiN、ZrN涂层,黑色是添加了TiC、CrN涂层，而钻铜色则是添加了TiALN涂层。
3.玻璃方面的应用普通玻璃一般可以实现采光和吸收太阳能双重功效，但对于室内温度的传导的作用并不理想。
例如普通玻璃虽然可以防止室内温度的部分流失，但对于被玻璃吸收的部分热能无法进行二次散热。
通过镀膜技术加工的阳光控制膜以及低辐射膜完全弥补了这方面的空白，阳光控制膜一般用于低纬度地区室内低温需求的环境，可较大程度的阻止阳光的热能传导；低辐射膜多用于高纬度地区可接受太阳辐射能量并最大限度的阻止室内温度的流失。
4.太阳能方面的应用很多行业都需要借助太阳能更好的发挥功效，因此在有效的利用太阳热能的同时，就要考虑如何才能更多的吸收太阳光线，并更小的降低对热辐射引起的损耗，而太阳辐射和热辐射光谱在波段上有较大的差异，想要有效地利用太阳能，就必须采用具有波长特性的吸收面。
一般用于太阳能方面的镀膜平面的可见光波段吸收率为1,红外波段为0。
镀膜玻璃应用技术标准
镀膜玻璃应用技术标准
镀膜玻璃技术标准
1. 介绍
镀膜玻璃是一种在玻璃表面涂覆薄膜的技术，用于改变玻璃的光学、导电、隔热等性能。
本文介绍了镀膜玻璃的应用技术标准。
2. 膜层厚度
镀膜玻璃的膜层厚度是影响其性能的关键因素。
根据不同的应用要求，膜层厚度需要满足一定的标准。
例如，对于隔热玻璃，膜层厚度应符合节能要求；对于导电玻璃，膜层厚度应满足导电性能的要求。
3. 光学性能
镀膜玻璃的光学性能主要包括透光性、反射性、透射性等参数。
透光性指的是膜层对可见光的透过程度，反射性指的是膜层对可见光的反射程度，透射性指的是膜层透过的光线的能量损失程度。
这些光学性能需要符合国家相关标准。
4. 化学稳定性
镀膜玻璃需要具有良好的化学稳定性，能够抵抗酸碱侵蚀和湿度等外界环境的影响。
特别是在户外应用中，镀膜玻璃需要具有较高的耐候性和耐腐蚀性。
5. 耐磨性
由于外界环境的摩擦，镀膜玻璃容易出现划痕和磨损。
因此，
镀膜玻璃的耐磨性也是评价其质量的重要指标。
耐磨膜层能够提高镀膜玻璃的使用寿命和维护成本。
6. 标准测试方法
为了确保镀膜玻璃的质量，需要制定相应的标准测试方法。
例如，透光性可以通过分光光度计测量，耐磨性可以通过模拟摩擦测试来评估。
这些测试方法需要准确、可重复，并符合国际标准。
总结：
以上提到的几个方面是镀膜玻璃应用技术标准的重要内容。
在实际应用中，还需要根据具体需求制定更详细的技术标准，以保证镀膜玻璃的质量和性能。
镀膜技术介绍范文
镀膜技术介绍范文镀膜技术是一种将薄膜材料均匀地加在物体表面的技术。
镀膜可以改变物体的外观、增强其功能或保护其表面。
随着科技的发展，镀膜技术在各个领域得到了广泛的应用，包括光学、电子、汽车、航空航天等。
在光学领域，镀膜技术被广泛应用于光学镜片、透镜、光学滤波器等光学器件的制造中。
镀膜可以增加镜片的透光率和反射率，使光线更加明亮和清晰。
在太阳能电池板的制造中，镀膜技术可以增加电池板的转换效率，提高其发电能力。
同时，镀膜还可以用于制造反射镜、分光镜等光学仪器。
在电子领域，镀膜技术被广泛应用于电子元件的制造中。
例如，电子线路板上的金属箔经过镀膜处理后，可以提高其导电性和耐腐蚀性。
另外，镀膜还可以用于制造显示屏、LED灯等电子产品。
在汽车行业，镀膜技术被广泛应用于汽车外观的保护中。
例如，使用镀膜技术可以增加汽车漆面的硬度和耐磨性，防止划痕和腐蚀。
此外，镀膜还可以使汽车漆面更加光洁和平滑。
在航空航天领域，镀膜技术被应用于航空器表面的保护中。
由于航空器在高空飞行时会受到各种不利气候条件的影响，使用镀膜技术可以提高航空器表面的耐腐蚀性和防风化能力，延长其使用寿命。
镀膜技术的基本步骤包括基体表面清洁、预处理、镀膜过程和后处理等。
首先，需要对基体表面进行清洁，去除表面的污垢和氧化物。
然后，进行预处理，包括涂覆浸润剂、激活处理等，以增强基体表面的附着能力。
接下来，进行镀膜过程，即将薄膜材料均匀地加在基体表面。
最后，进行后处理，例如退火、清洗等，以提高镀膜的稳定性和质量。
常见的镀膜材料包括金属薄膜、陶瓷薄膜、聚合物薄膜等。
金属薄膜可以提供优异的导电性和耐腐蚀性，适用于电子元件和光学器件的制造。
陶瓷薄膜具有优异的耐磨性和耐高温性，适用于汽车外观的保护和航空航天器表面的防护。
聚合物薄膜具有良好的柔韧性和耐候性，适用于建筑领域的防水和防紫外线处理等。
总而言之，镀膜技术是一种重要的表面处理技术，可以改变物体的外观、增强其功能或保护其表面。
镀膜工作总结
镀膜工作总结在过去的一段时间里，我在镀膜工作中经历了许多挑战，也取得了不少成果。
在此，我想对这段时间的镀膜工作进行一个全面的总结。
镀膜是一项非常精细且复杂的工艺，它对于提升产品的性能和质量起着至关重要的作用。
在工作之初，我对镀膜的原理和流程仅有初步的了解，但随着实际操作经验的不断积累，我对这一领域的认识也逐渐深入。
镀膜工作的第一步是准备工作。
这包括对设备的检查和调试，确保设备处于良好的运行状态。
同时，还需要对原材料进行严格的筛选和检测，以保证镀膜的质量。
在这个环节中，我学会了如何仔细地检查设备的各个部件，如喷枪、真空系统、加热装置等，及时发现并解决可能存在的问题。
对于原材料，我也掌握了一些检测的方法和技巧，能够准确判断其质量是否符合要求。
在镀膜的实际操作过程中，工艺参数的控制是关键。
镀膜的厚度、均匀度、硬度等指标都与工艺参数密切相关。
例如，镀膜的温度和时间如果控制不当，就会导致镀膜层的质量不稳定。
为了掌握好这些参数，我通过不断地试验和摸索，总结出了一套适合不同产品的镀膜工艺方案。
同时，我也学会了根据产品的特性和要求，灵活调整工艺参数，以达到最佳的镀膜效果。
在质量控制方面，我们采用了多种检测手段。
比如，使用显微镜观察镀膜层的表面形貌，通过硬度测试仪器检测镀膜层的硬度，利用厚度测量仪测量镀膜的厚度等。
这些检测手段帮助我们及时发现镀膜过程中存在的问题，并采取相应的措施进行改进。
在工作中，我深刻体会到质量控制的重要性，只有严格把控质量关，才能生产出符合要求的产品。
除了技术方面的工作，团队协作在镀膜工作中也起着不可或缺的作用。
在镀膜过程中，需要不同岗位的人员密切配合，如操作人员、检测人员、设备维护人员等。
我们通过定期的会议和交流，及时沟通工作中的问题和经验，共同解决遇到的难题。
这种团队协作的氛围不仅提高了工作效率，也让我们在面对复杂的任务时更有信心和勇气。
在镀膜工作中，也遇到了一些问题和困难。
例如，有时候设备会出现突发故障，影响生产进度。
镀膜玻璃应用技术标准
镀膜玻璃应用技术标准一、引言镀膜玻璃是一种通过在玻璃表面涂覆一层薄膜来提高其性能和功能的技术。
镀膜玻璃广泛应用于建筑、汽车、电子产品等领域，为各行业提供了更优质、更安全的玻璃产品。
鉴于镀膜玻璃的特殊性和广泛应用，制定相关的应用技术标准对于规范行业发展、提高产品质量和安全水平具有重要意义。
二、标准适用范围本标准适用于建筑玻璃、汽车玻璃、电子产品玻璃等领域的镀膜玻璃应用技术，涉及镀膜玻璃的制造、安装、使用和维护等方面。
三、镀膜玻璃制造技术标准1. 材料选用：镀膜玻璃应选用优质的基础玻璃和高品质的镀膜材料。
基础玻璃要具有良好的透光性和强度，镀膜材料要有良好的附着力和耐久性。
2. 镀膜工艺：制造镀膜玻璃的工艺应符合国家标准和行业规范，包括玻璃清洁、镀膜材料喷涂、固化等环节，确保镀膜均匀、牢固。
3. 质量检验：对于生产出的镀膜玻璃，应进行严格的质量检验，包括外观质量、光学性能、机械性能等项目的检测，保证产品达到国家标准要求。
四、镀膜玻璃安装技术标准1. 安全规范：在安装镀膜玻璃时，安装人员应遵守相关的安全规范，佩戴好安全防护用具，并遵守施工现场的安全管理制度。
2. 安装工艺：镀膜玻璃的安装应符合专业标准，包括固定方式、连接件选用、结构设计等方面的要求，确保安装牢固、稳定。
3. 保护措施：在安装过程中，要确保镀膜表面不受到划伤、碰撞等损坏，采取必要的保护措施。
五、镀膜玻璃使用和维护技术标准1. 使用规范：在使用镀膜玻璃时，应注意避免过分重压、撞击或者长时间暴露在极端温度环境下，以防损坏镀膜层。
2. 日常维护：定期对镀膜玻璃进行清洁、保养，选择适当的清洁工具和清洁剂，避免使用腐蚀性强的化学品。
3. 损坏修复：对于镀膜玻璃的轻微损坏，可以采取相应的修复措施，但对于严重破坏或老化的镀膜层需要更换。
六、结论镀膜玻璃作为一种重要的功能玻璃产品，在建筑、汽车、电子等多个领域发挥着重要作用，制定镀膜玻璃应用技术标准有利于提高产品质量、规范行业发展，保障使用者的安全和权益。
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晶体膜厚控制仪
CYGNUS IC/6 主要用于OLED及光学镀膜 当前市场最高端的晶体膜厚控制仪
晶体膜厚控制仪
• •
XTC/3M、 XTC/3S 中端产品
SQC310C、SQC310 低端高性价比产品
RQCM: Research Microbalance
石英晶体微天平
可三通道测量 频率测量范围: 3.8 to 6 MHz or 5.1-10 MHz 质量分辨率: < 0.4 ng/cm2
• 真空锁：复合规 PCG550) • 真空开关：压力开关（VSA150）
VCC500 压强控制仪
VCC500 压强控制仪
• • • • • • 两种工作方式 1 压强控制方式 ---- 控制真空系统压力稳定在设定的压强附近 ---- 控制精度5% ---- 两种工作及连接方式（控制气体注入量，控制泵有效抽速） ---- 需连接测量规管
石英晶体微天平应用
• 电化学工作站 – 测量反应速度 生物、生命科学 – DNA and RNA反应检测 – – – – • • 病毒检测 蛋白质、细胞等粘附检测 表面生物 生物膜
•
表面科学 超净间污染检测
晶体膜厚监测仪
SQM160 Q-Pod 监测膜厚与速度，可控制挡板 通过软件监测膜厚与速度
三种单位可选
各种气体分量趋势图
水蒸汽谱峰 当前运行的工艺菜单 重的碳氢化合物污染
质谱图
推荐型号---MPH
产品应用---镀膜行业
* 真空计 * 连接件 * 压强控制仪
镀膜机原理图
前级规管：皮拉尼规 (PSG500)
前级规管：皮拉尼规 (PSG500)
• 测量范围：5x10-2Pa----1x10+5 Pa • 精度：1x10-1pa---1x10+4 Pa ±15% • 信号输出：对数0-10V P=101.286(U-C)
系统总压强2.0X10-5 Torr
系统抽气一小时 任意选择多种被测气体
RGA 应用
三种单位可选
各种气体分量趋势图
0~100 AMU 全量程扫描 (在0~100之间可选任意范围) 水蒸汽谱峰
质谱图
系统总压强5.86X10-6 Torr
系统抽气八小时 任意选择多种被测气体
RGA 应用
水蒸汽分压强下降至7.2X10-10 Torr
电子束
到光学检测系统 蒸发气流
Guardian光学测量原理
Guardian应用
原子状态蒸镀的材料（如大多数金属） 系统 • MBE • 连续镀膜线 • 卷绕镀膜机
MBE system
Metallization
Solar Panels
CI-100 坩埚转位器 微型步进电机
直接驱动 160 oz-in. 扭矩 20种速度选择 可通过面板, PC, or I/O 控制 可控8位坩埚
Division A 16%
英福康
Division C 37%
24%
英福康中国维修经理-于录
产品应用---镀膜行业
* * * * * 膜厚仪 残余气体分析仪 真空测量及连接件 压强控制仪 检漏仪
产品应用---膜厚仪
* 晶体膜厚控制仪 * 光学膜厚控制仪 * 晶体膜厚监测仪
晶体测量原理
石英晶体的频率飘移与附加上的质量的 关系： 附加上的质量增加，振荡频率降 低 质量 = 密度 X 面积 X 厚度
高真空规：冷电离- 皮拉尼复合规
复合规型号： MPG400（潘宁规+皮拉尼）
3
真空规管 真空规管
• 复合规 (MPG 400） • 测量范围：5x10-7Pa----1x10+5 Pa • 精度：1x10-6pa---1x10+5Pa ±30% 读值 • 信号输出：对数0-10V
真空规在镀膜机上的其它应用
• * 镀膜工艺研究开发 • 各种工艺气体的相对比例对工艺/产品的影响
RGA 应用实例1 – 正常真空系统本底谱图
RGA 应用实例2 – 酒精和丙酮残余
RGA 应用实例3 – 真空系统泄漏
RGA 应用实例4 – 某客户新镀膜机调试
• 抽气一小时真空不能达标,怀疑有漏,用氦 质谱检漏,无结果. • 用RGA探测发现:水汽分量高,系统内水管内 漏. • 处理后继续抽气并烘烤. • 抽气八小时后,真空达标,水汽亦下降.但发 现有油蒸汽污染.
产品应用---镀膜行业
你是否有下面这样的问题： 你是否有下面这样的问题： 1）真空抽不上，又找不到漏点 1）真空抽不上，又找不到漏点 2）工作参数不变，出来的产品品质却变差了 2）工作参数不变，出来的产品品质却变差了 3）研究出一个工艺， 3）研究出一个工艺， 实际应用却重复性不合格 实际应用却重复性不合格
1
晶体膜厚控制仪
SQM242、IQM233 插板式膜厚控制仪， 需要软件及PC机
1
光学膜厚控制仪 Guardian EIES 技术
镀膜材料穿过探头测量 – 无晶振片-使用寿命长 可同时测量控制8中材料 工作压力: <5x10-4 Torr
EIES 技术
• • • • • • • 蒸发材料流进入传感器 热灯丝发射电子与材料碰撞 碰撞提高了材料的电子的能量状态 电子恢复低能量状态发射一定波长 的光谱 波长与蒸发材料有关 发射强度与镀膜速度成正比 仅工作于原子状态或部分分子状态
• * 检漏 • - 真空系统泄漏(内漏,外漏)
• • 可设置报警点,实现报警功能 可用任何气体
RGA 应用(主要用途)
• 真空系统本底状态鉴定 • 在系统达到极限真空时测定残余气体的种 类和量值 • 真空系统污染监测和控制
RGA 应用(主要用途)
• * 真空工艺监控 • - 在线监控:实时反映工艺异常或偏差
产品应用---镀膜行业
你需要一台RGA
什么是RGA？
- * Residual Gas Analyzer - * 残余气体分析器 - * 一种用来确定残余气体成分和数量的仪器
什么是RGA？
RGA 应用(主要用途)
• * 检漏 • * 真空设备本底状况鉴定 • * 在线工艺气体监测分析
RGA 应用(主要用途)
• • •
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流量调节方式 ---- 通过控制膜片开关位置间接控制流量，不能直接测量流量 ---- 出厂设定是：压差1个标准气压，室温，空气。
控制阀 VDM005-X
控制阀 VDE016-X
真空连接件
检漏仪
检漏仪应用
ห้องสมุดไป่ตู้
校准的 测试漏孔
粗抽泵
检漏仪
21
检漏仪