高纯气体的配管及材质
输送易燃易爆气体管道要求
输送易燃易爆气体管道要求引言气体是生产、生活中必不可少的物质，其中易燃易爆气体在高温、高压、刺激等因素的作用下，将会引起爆炸，造成严重后果。
因此，输送易燃易爆气体的管道要求十分严格，下面我们将详细探讨以下相关内容。
管道材质输送易燃易爆气体的管道必须使用高强度、耐热、耐腐蚀、密封良好、防震、防火的材料，如优质不锈钢、合金钢、铜合金等。
管道设计气体管道设计的目的是确保气体输送过程平稳、可靠、安全。
设计时应考虑以下因素：•确定管道直径：管道的内径必须适当，以保证气体流量合理，防止因管道过大或过小引起的管道阻力和泄漏的风险。
•管道布局：要确保将易燃易爆气体管道设立在其它设备或机器极少干扰的地方。
•安装方式：气体管道可以采用焊接或是铸造，管道之间连接要很好地密封，以避免气体泄漏。
•阀门安装：为了方便检修和应急处理，需要在管道上配置阀门。
日常管理日常管理是保证气体管道运行安全的重要手段。
进行管道管理时，需要遵循以下要求：•遵守操作规程：对于管道操作，要遵守严格规定的操作规程，严格按照规程进行操作。
•定期检查：定期对输送管道进行检查以发现管道内的异常状态，防止管道泄漏或爆炸事故。
•管道维护：在发现管道出现漏气时，必须及时进行维修，保证管道的稳定和可靠性。
管道防护气体管道防护措施可以帮助提高管道的安全性能和防止事故的发生。
具体措施如下：•防护措施：在气体管道周围应设置防护措施，例如防护墙或护栏等。
•温度控制：在输送液化气体时，应根据气体的物理特性以及周围环境的温度情况，控制气体的温度，以减少管道的爆炸风险。
•管道插销：液化气体输送管道应装有压力插销，以防止管道出现高压现象。
•防止火花：如遇到有可能引起火花的地方，必须采取抑制火花的措施。
总结为了确保输送易燃易爆气体管道的安全运行，需要考虑管道材质、设计、日常管理以及管道防护等因素。
在日常操作中需要严格遵守操作规程和安全方法，方可确保大面积灾害的预防。
易燃易爆气体通风管道材质
易燃易爆气体通风管道材质 一、引言 通风管道材质的选择一直是建筑工程中的一个重要环节。在不同的场景下，材质的要求也不尽相同。易燃易爆气体通风管道则需要材质的选择更加谨慎，以确保通风管道比较安全。
本文将介绍易燃易爆气体通风管道材质的选择以及相关的技术标准。 二、易燃易爆气体通风管道材质的选择 易燃易爆气体通风管道，最主要的特点就是其容易发生爆炸和着火。因此，在选择通风管道材质时，需要非常谨慎，以保证管道在运行和使用过程中不会造成危险。
在中国，通常将通风管道的材质分为以下几类： 1. 热镀锌钢板 热镀锌钢板是一种比较常见的通风管道材质，它具有良好的耐腐蚀性和抗氧化性。但是，钢板的强度较低，其易燃性也较高，不利于易燃易爆气体的通风使用。
2. 高温漆钢板 高温漆钢板则是一种更加优质的通风管道材质，它具有很高的抗氧化性和耐腐蚀性，该材质也比较坚固，不易变形。但是其易燃性能与热镀锌钢板相仿，也不十分适合易燃易爆气体通风使用。
3. 铝镁合金板 铝镁合金板是一种高强度，高硬度的材质，同时也具备良好的耐腐蚀性和抗氧化性能，比其它两种材质更为优秀。不过，铝镁合金板加工难度大，成本相对较高。
综合上述原则，通风管道中最好选择铝镁合金板进行制造，虽然成本高，但是在产品性能方面和易燃性方面有较大的优势，保证了易燃易爆气体通风管道材质的安全性。
三、相关标准 为保证易燃易爆气体通风管道材质的安全性，中国制定了以下标准： 1. GB50075-98《建筑工程易燃易爆场所设计规范》 该标准规定了设计非矿山、烟花爆竹、金属冶炼等领域内易燃易爆建筑物的建筑、构造、装饰装修材料、设备、灭火救援装备及布置、消防联动控制等方面的要求，为设计易燃易爆场所建筑物、场地及安全控制设施提供了依据。
2. GB 8017-87《阻燃材料火灾性能试验方法》 该标准规定了阻燃材料在火灾情况下的抗火性能检测方法，对于可以使用在易燃易爆气体通风管道上的材料进行鉴定和选择。
医用气体设计示例
手术部医用气体设计示例1. 概况洁净手术部除手术室外通常还包括预麻室、麻醉恢复及ICU(重症监护）等功能用房。
手术室设置8种医用气体系统：氧气、真空吸引、压缩空气、氧化亚氮（俗称笑气)、氮气、二氧化碳、氢气和麻醉废气排放系统。
预麻室设置氧气、压缩空气、真空吸引和氧化亚氮4种医用气体.麻醉恢复和ICU设置氧气、真空吸引和压缩空气3种医用气体。
2. 系统说明2.1 洁净手术部所用氧气由医院集中氧气站单独供给。
要求供气压力0.6MPa,经手术层的二级减压箱减压至0.45MPa，再送往手术室及其他功能用房。
2。
2 洁净手术部所用真空吸引由医院集中吸引站单独供给，要求供气压力—0.03~—0。
07MPa.2.3 洁净手术部所用压缩空气由医院集中压缩空气站单独供给.要求供气压力0.60MPa，经手术层的二级减压箱减压至0。
45MPa，再送往手术室及其他功能用房。
2。
4 笑气采用2＊2瓶组自动切换汇流排供气。
笑气减压至0.45MPa,送往手术室及其他功能用房.2.5 氮气采用5＊2瓶组自动切换汇流排供气。
氮气减压至0.95MPa，送往手术室及其他功能用房.2。
6 二氧化碳采用2*2瓶组自动切换汇流排供气.二氧化碳减压至0。
4MPa，送往手术室及其他功能用房.2。
7 氢气采用2x2瓶组自动切换汇流排供气。
氢气减压至0。
40MPa，送往手术室及其他功能用房。
2。
8 麻醉废气排放采用射流原理（或气环泵），射流原理以压缩空气作动力源，通过射流技术的废气终端收集气体，管道汇总后排至室外安全处（气环泵抽吸收集麻醉废气，排至室外安全处）。
3. 技术参数表气体终端输出压力与流量及终端数量配置表气体管道设计参数表4. 用气点末端支线管径表4.1 普通病房、门诊及治疗室等：4。
2 手术室、重症监护、抢救室：5. 施工说明5.1 真空吸引干管采用热镀锌钢管或非金属管，进入室内支管采用紫铜管.5.2 紫铜管的连接除阀门附件外均采用银基钎焊，热镀锌钢管采用丝扣连接，PVC管采用专用胶粘接。
大宗气体管道系统培
Gas Yard 的气体不论是用 Tank 、 Cylinder Bundle or Trailer 供 气，均会设有气体加压系统（ Pressure Station）， 以便能提供稳定的气体压力至管 路输送系统 。
机台
tool
（P.O.U）
4B彩膜成盒厂房
主管路(Main) 支管路(Sub-main)
P1&P2包
二次连接管路 （ Hook-up ）
机台
tool
（P.O.U）
2.大宗气体与CDA系统概述
将大气经过滤、压缩、冷却(液化) 、过滤、分馏、过滤、压缩、冷 却(液化)后，可分别取得 N2， O2，Ar 等气体，此过程称之为空 气分离技术。
主管路 （Main）
支管路(Sub-main)
2.大宗气体与CDA系统概述
➢ 二次连接管路（ Hook-up piping）
在 Tools 及 P.O.C. 点之间所配置的管路称为 Hook-up，一般均采用 1/4“, 3/8＂, 1/2＂ 管
➢ 机台和使用点（P.O.U. ： Point of Use）
NH3 for CDA
TA7000RGD detecting TA7000RGD detecting TA7000RGD detecting
H2/CO for GN2
H2/CO for PN2
H2/CO for PO2
Ametek 3050AMS detecting
H2O for PAR
Teledyne 8800A detecting
Sub-main Pipe 进入各设备区域后，即根据 Tools 及预留点的需要配置 P.O.U.，并加装 Isolate Valve 。
气体管道连接接头类型
气体管道连接接头类型
气体管道连接接头类型有以下几种：
1. VCR连接：适用于高纯气体管道与阀门等附件的连接，其利用优良的金属垫和纵向压力实现紧密压紧，具有极低的泄漏率和较高的耐压能力，常用于气体杂质含量×10-9级的高纯气输送系统。
2. SWG连接：是一种密封不易泄漏的专用接头，其原理是依靠配合组件间的界面压力和表面抛光，形成压力和真空密封。
这种接头方式的耐压较低，基本上可以代替焊接的方式。
3. 卡套连接：卡套接头的原理是依靠配合组件间的界面压力和表面抛光，当卡套被推入接头本体而嵌入卡套管时，与卡套管和接头体形成压力和真空密封。
这种连接方式具有较好的密封性能，且耐压能力取决于连接的钢管的压力上限。
以上内容仅供参考，如需更多信息，建议查阅相关文献或咨询专业工程师。
纯气体输送系统中气体与管道的关系
纯气体输送系统中气体与管道的关系已有 42 次阅读2011-2-12 14:04||高纯气配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分，是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术；所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。
近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求，使高纯气体的配管技术日益受到关注和重视。
以下针对高纯气体输送从选材到施工以及验收、日常管理作个简单的概述。
常见气体的种类电子行业中常见气体的分类：普通气体，也称大宗气体（Bulk gas ）：氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（A2）等特种气体（Specialty gas ）主要有SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半导体气体分类如下：(一)、腐蚀性/ 毒性：HCl 、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 …等(二)、可燃性：H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3…等(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等半导体气体很多是对人体有害。
特别是其中有些气体如SiH4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；还有AsH3的剧毒性，任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。
气体的应用范围气体产品作为现代工业重要的基础原料，应用范围十分广泛，在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药医疗等部门，均使用大量的常用气体或特种气体。
特气配管材料认识及如何选料
• 3. 壓力範圍大致可分為 : * 高壓 (0~3000 psi) * 低壓 (-30”Hg~0~30 psi) (-30”Hg~0~160 psi)
• 4. 常用電源 : 24V DC , 4~20 mA DC
about Gas Filter ……. • 1. 功能: 過濾氣體中的微粒子 ( Particle )
2.選用材料依據
• 氣體種類 , 氣體特性
* 影響材料使用的等級 – AP / BA / EP / V+V / ….
• 業主需求及預算
* 有無指定廠牌或規格
• 依機台所需用量及本身接點選定料件尺寸
* 影響材料使用的尺寸 – ¼” / ¾” / 15A / …….
• 依機台所需壓力及流量不同選擇材料型式
• 5. Connecting type: VCR or SWG or Welding
* CO – 濾片材質為 PTFE
• 6.注意: 一般常用 濾片材質 (以 Mykrolis 為例) * Bulk Gas – PTFE * Specialty Gas :
毒性 / 易燃性 / 惰性 氣體 – PTFE 系列 腐蝕性 氣體 – PTFE , no SS316L for CO - PTFE type
低壓性氣體 -- 316L EP + Heater Line + Warm Cover
1/4" MENUAL VALVE
PRESSURE GAUGE
OUTSIDE TUBE 1/2"
TO VMB
SPRING
INSIDE TUBE 1/4"
1/2"*1/4" R-TEE
气体管路配管工程(二次配)招标文件(二)
光电产业化项目气体管路配管工程（一次配+外延二次配）招标文件招标单位：标书编号：招标日期：第一部分投标邀请招标单位：对气体管路配管工程（一次配+外延二次配）进行国内公开招标,现欢迎合格的投标商/制造商前来投标。
1、标书编号：2、招标内容：气体管路配管工程（一次配+外延二次配）3、交货期:4、交货地点：5、投标地点：6、标书购买：7、投标截止时间：8、凡对本次招标提出询问，请在标书发出后2日内与联系，联系方式如下：招标单位：日期：第二部分投标要求一、投标人资格要求1）投标申请人应向招标人提供充分和有效的证明材料，证明其是在中华人民共和国依照《中华人民共和国公司法》注册的、具有法人资格的、有能力提供招标货物的制造厂或授权供应商（要求提供制造厂出具的授函）。
2）具有有效的《企业法人营业执照》、《企业组织机构代码证》、《税务登记证》等，注册资金不得低于本次投标总额。
3）如投标方代表不是法定代表人，须持有《法人代表授权书》；4）具有独立订立合同的权力；5）在专业技术、设备设施、人员组织、业绩经验等方面具有设计、制造、质量控制、经营管理的相应的资格和能力；6）必须具有与招标文件要求相适应的人力、物力、财力、经验和业绩，并具有5年以上良好的运行经验，在以前的业绩中未发现重大的质量问题。
7）具有良好的银行资信和商业信誉，没有处于被责令停业,财产被接管、冻结破产态。
8）投标人在投标活动期间均应严格遵守中华人民共和国法律和法规；9）投标人应不属于本招标规定的有腐败和欺诈行为的不合格的投标人；二、投标书要求1）企业简介、相关资质证书；2）近三年行业的销售业绩；3 ) 投标单位财务状况表4）列出详细的施工进度计划表和施工组织管理方案，项目管理组织架构，明确保证工程技术措施及进度、安全措施；5）标书要对本公司所具有的施工、维护、用户培训方面的能力进行实事求是的叙述，并列出施工、验收所使用的标准；6）与本标书的偏离；7）投标单位类似工程经验表；8 ) 工程交货期；9）报价总表，应含工程量清单，综合单价、合价、总价。
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高纯气体的配管及材质
1．高纯气体管路的设计要点：
（1）对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
（2）管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。
（3）根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
（4）管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。
（5）对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
（6）为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。
（7）在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器
2．高纯气体配管及附件材质的选择
（1）选择标准
●选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料：
目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管，高纯气体使用管材的特点及要求如下表所示：
制作过程
冷延→热处理→冷拉→光亮热处理→脱脂→一般水洗→纯水水洗
（10000级洁净环境）→纯氮吹扫（1000级洁净环境）→检查→包
装（压帽氮封及双层聚乙烯外包装充纯氮保护）
冷延→热处理
洗→电解抛光
酸浸渍→水洗
热纯水水洗
（100/1000级
及双层聚乙
内表面粗糙度Rmax 3.0～4.5μm
表面硬度（HRB）<90
公差要求项目管外径、管壁厚、管长、管道垂直度管外径注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用
的反应气体，则选用高级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参
与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃爆炸，有剧毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使
用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的
主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内
管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的
设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压
设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检
知泄漏状态。
●内表面处理：通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，
目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
●阀门的选用：高纯气体对系统所用阀门的严密性有十分严格的要求，目前国内洁净
厂房的高纯气体管道的阀门基本都采用SS304或SS316L不锈钢材质，阀门型式有隔
膜阀、波纹管阀和球阀。
波纹管阀的严密性比球阀好，在气体流过阀门时没有与外
环境接触的填料，所以没有渗漏现象：隔膜阀除了严密性与波纹管阀相当以外，还
具有阀体死体积小，易吹除且污染少，所以适用于对气体纯度和生产工艺要求极严
格或者危险性大的气体。
●管道连接：①高纯气体一般采用手工氩弧焊接和自动氩弧焊接，焊接型式通常采用
承插焊和对焊，承
插焊的好处在于施
焊时管道的对中，
方便焊接，但缺点
是由于管道与承插
口之间有间隙，会
存在“死空间’不
易将杂质吹除，影
响高纯气体质量。
因此对于要求极为
严格的高纯气体来
说，应采用对接焊
连接并要求内表面
无焊缝，即在施工
时不得使用不锈钢
焊丝，利用母材的
本身融化填满焊缝。
②为确保输送至用气设备的气体质量，高纯气体管道与用气设备之间应用不锈钢金属软管连接，不宜采用非金属软管。
③高纯气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专用接头予以
连接，常用的接头方式有两种：分别为VCR（Vacuum Coupling Retainer）
和SWG（Swaglok），VCR采用优良的金属垫，利用纵向压力压紧，因此
泄漏率极低，约为10～9A cc/s，且耐压较高，常用于气体杂质含量
1.0×10－9级的高纯气输送系统，而SWG则不如VCR，耐压较低，基本
上这两种接头方式的安全性足可代替焊接的方式。
“VCR”连接件构造示意图如下：1－压盖螺帽；2－密封压盖；3－垫片；
4－接头；
用在腐蚀性气体上，v+v的EP管,腐蚀性气体可否列一下:
自燃，毒性气体, sih4 10%ph3/He 0.7%AsH3 1%PH3/H2 , Si2H6 SiH2CL2 NH3 WF6 HCL BCL3 HBr F2/Kr/Ne(腐蚀性）华虹用过TEOS, CLF3
近些年，KEE在磷烷和氯气上使用V+V的管材，其他的气体上未曾使用。