加速度传感器研究现状
微加速度计的技术现状和发展趋势
微加速度计的技术现状和发展趋势微加速度计是一种用于测量微小加速度的仪器。
它通常由一个微加速度传感器和一个信号处理单元组成。
微加速度计可以广泛应用于工业、航天、医疗等领域，在这些领域中具有重要的应用价值。
下面将重点介绍微加速度计的技术现状和发展趋势。
技术现状：1.传感器技术：传感器是微加速度计的核心部件，直接影响着仪器的性能。
目前，常用的微加速度传感器技术有压电、电容、激光干涉等。
其中，压电传感器具有体积小、灵敏度高、稳定性好等优点，广泛应用于微加速度计中。
2.信号处理技术：微加速度计产生的信号较小，需要经过放大、滤波等处理才能得到可靠的结果。
目前，常用的信号处理技术包括模拟信号处理和数字信号处理。
模拟信号处理一般采用放大器、滤波器等电路来处理信号，而数字信号处理则通过模数转换、滤波、数字滤波器等算法来实现。
3.精度和灵敏度：微加速度计要求具有高精度和高灵敏度的特点。
目前，微加速度计的精度一般能达到0.001g，灵敏度可达到0.0001g。
但是，随着科技的不断发展，人们对微加速度计的精度和灵敏度的要求也越来越高。
4.非线性和温度稳定性：微加速度计的非线性和温度稳定性也是技术现状中需要解决的问题。
非线性误差一般用百分比来表示，目前常用的微加速度计的非线性误差在1%以内。
而温度稳定性是指在不同温度下测量精度是否得到保证，目前主要解决方案是采用温度补偿技术，使得微加速度计在不同温度下仍能保持较好的性能。
发展趋势：1.小型化：随着科技的不断发展，人们对微加速度计的需求越来越高。
在航天、医疗等领域，对微加速度计的要求是体积小、重量轻。
因此，微加速度计的小型化将是未来的发展趋势。
2.高精度：微加速度计的精度一直是人们关注的焦点。
未来的发展方向是通过改进传感器的设计、提高信号处理的技术水平，使得微加速度计的精度进一步提高。
3.多功能化：随着应用领域的不断扩大，微加速度计的需求也在不断增加。
未来的发展方向是通过增加传感器的功能，实现多种物理量的测量。
微加速度计的技术现状和发展趋势
微加速度计的技术现状和发展趋势微加速度计（MEMS Accelerometer）是一种利用微机电系统（MEMS）技术制造的加速度计。
它采用微小尺寸的结构和集成电路技术，具有体积小、功耗低、成本低廉等特点，因此在许多领域得到了广泛应用。
本文将详细介绍微加速度计的技术现状以及未来的发展趋势。
一、技术现状1.工作原理2.制造工艺制造微加速度计所使用的主要工艺是MEMS技术，该技术能够制造微小尺寸的结构。
通常的制造过程包括晶圆制备、光刻、薄膜沉积、刻蚀等步骤。
光刻技术用于制作微结构的图案，薄膜沉积技术主要用于制作压电材料或者电容层，刻蚀技术用于去除多余的材料。
3.主要应用领域微加速度计在许多领域得到了广泛应用。
其中最为常见的应用是运动传感器，例如智能手机、平板电脑等设备中的屏幕旋转、晃动检测等功能。
此外，微加速度计还广泛应用于汽车电子、导航系统、工业自动化、医疗设备等领域。
二、发展趋势1.功耗和敏感度的改进随着技术的不断发展，微加速度计的功耗和敏感度得到了显著的改进。
当前的微加速度计功耗已经非常低，可以非常适用于移动设备等对电池寿命要求较高的场景。
同时，新的材料和制造工艺的发展使得微加速度计的敏感度得到了提升，可以更加精确地测量加速度的变化。
2.结构的优化微加速度计的结构优化是提高其性能的关键。
当前的结构设计主要考虑到尺寸和功耗的要求，但是也存在一些局限性。
未来的发展趋势是进一步优化结构，增加输入力的量程，提高对高加速度和低加速度的响应能力，并降低温度的影响。
3.多功能集成随着对微加速度计应用场景的需求不断增加，多功能集成的趋势也逐渐明显。
未来的微加速度计可能会集成陀螺仪、磁场传感器等其他传感器，以实现更全面的运动检测和姿态跟踪功能。
此外，还可能加入无线通信模块，实现无线数据传输。
4.高温工作能力目前，微加速度计的工作温度通常在-40°C到85°C之间。
然而，在一些特殊应用场景中，例如汽车发动机的振动监测，需要更高的工作温度。
光纤加速度传感器的研究进展
的质量块 ， 此 时 光 栅 与 悬 臂 梁 的 中 性 层所 成 的 角 度 为９． ６ 。 。 加 速 度 的 变 化 会 引起 光
带 宽 与 加 速 度 大 小 成 线性 关 系 ， 且 灵 敏 度
需 求 促 进 了加 速 度 传 感 器 的 不 断 发 展 ， 从 导 致 激 光 偏 振 态 的 改 变 。 从 另外 一 端 输 出 上 的 硅微 反射 镜 形 成一 个 Ｆ — Ｐ 谐振 腔 。 在Ｖ 的偏 振 光 经过 检 偏 器 后 通 过 光 电二 极 管 来 形 槽 与 光 纤 固 定 支 架 之 间 装 有 一 个 ＰＺ Ｔ， 检测 ， 不 同 的 加 速 度 大 小 对 应 不 同 的 偏 振 通 过 施 加 音 频 信 号 对 腔 长 生 成 相 位 载 波 （ Ｐ ＧＣ） 调制 ， 腔 长 的 变化 与光 纤轴 向方 向 的
Ｆ Ｐ ｅ ｎ ｇ 等人 于２ Ｏ １ ２ 年 设计 了一种 紧凑 温 度 不 敏 感 型 加 速 度 传 感 的 目 的 。 ｗ － Ｊ
１ 光纤 光学加速 度传感器
１ ． １强 度调 制型 强度 调 制 型加 速 度 传 感器 是 指 通 过 调 制 光 纤 中 传输 光 的 强 度从 而 达 到 测 量 加 速 度 的 目的 ， 主 要 包 含 有透 射 式 、 反射式 、 偏 解调 、 成 本 相对 低 廉 ， 缺 点是 精 度 不高 。 （ １ ） 透 射式 光纤 加 速 度传 感器 。
种 类 繁 多 的 加 速 度 传 感 器结 构 ， 而 光 纤 加 态 ， 即 不 同 的 接收 光 强 ［ 】 １ 。 速 度 传 感 器 相 比 于 硅 微 电 子 式加 速 度传 感 １ ． ２相位 调 制型 器来说 ， 高精度 、 不受电磁干扰 、 能 在 恶 劣
传感器技术的发展现状与未来趋势分析
传感器技术的发展现状与未来趋势分析近年来，传感器技术在各个领域迅猛发展，并对我们的生活和产业产生了巨大影响。
传感器作为一种能够感知环境信息并将其转化为可读信号的设备，广泛应用于智能手机、智能家居、工业自动化等领域。
本文将探讨传感器技术的发展现状以及未来的趋势。
随着物联网技术的飞速发展，传感器技术也得到了极大的推动。
传感器的应用范围越来越广泛，从环境监测到医疗诊断，从智能交通到农业种植，传感器已经成为现代社会不可或缺的一部分。
例如，智能手机上的加速度传感器和陀螺仪可以实现屏幕自动旋转和手势控制功能，改善了用户的操作体验。
在汽车领域，各类传感器的应用大大增强了车辆的智能化和安全性能，如倒车雷达、自动刹车系统等。
此外，在工业领域，传感器的应用也发挥着举足轻重的作用，实现了工厂自动化生产和远程监控。
传感器技术的发展正在朝着高精度、小型化和多功能化的方向发展。
首先，高精度是目前传感器技术发展的主要趋势之一。
随着消费者对于产品性能的要求越来越高，在各个领域都需要更加精确的传感器来提供准确的数据和指导。
其次，小型化是传感器技术的另一个重要趋势。
随着电子技术的不断进步，传感器的尺寸越来越小，从而能够更好地适应各种环境和应用场景。
最后，多功能化是传感器技术未来的发展方向之一。
未来的传感器将不仅仅具备单一的感应功能，还可以通过整合其他技术实现更加复杂的功能，如图像识别、声音识别等。
在未来，传感器技术将继续对智能化、自动化和智慧城市等领域产生重要影响。
随着人工智能技术的发展，传感器将与智能算法相结合，实现更加智能化的应用。
例如，在智慧城市中，基于传感器网络和大数据分析的智能交通系统可以实现交通拥堵预测和智能导航功能，提高交通效率。
此外，传感器技术还可以在环境保护、健康监测和农业领域发挥重要作用。
例如，利用传感器技术可以实现对环境中各种污染物的实时监测，对健康状况进行远程监测，并优化农业生产过程。
然而，随着传感器技术的发展，也面临着一些挑战和问题。
微加速度计的研究现状及发展趋势
微加速度计的研究现状及发展趋势（中国科学技术大学电子科学技术系）摘要：微加速度计相对于普通加速度计有许多优点，在众多领域得到了广泛的应 用。
按检测方式的不同，可将其分为电容式，压阻式，压电式，谐振式以及光学 式等。
本文详细论述了这些微加速度计的原理及最新进展，此外也列举了一些新 式的微加速度计，最后对微加速度计的市场应用和发展趋势作了探讨。
关键字：微加速度计最新进展市场应用发展趋势Abstract: Comparing with general accelerometers, microaccelerometer has many advantages and has been widely used in lots of fields. Microaccelerometer can be divided into several types according to different detection methods, including capacitive type, piezoresistive type, piezoelectric type, resonant type, optical types, etc. This letter investigates principle and the latest development of above-mentioned microaccelerometers and lists some novel types. Finally, the discussion about market applications and development trend for microaccelerometer are shown.Keywords:microaccelerometer; latest development; market applications; development trend引言MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)，微机电系统，是由集成电路技术发展而来，起始于上世纪80 年代，历经三十多年的发展已成为时下的高新技术产业，是一项关系到国家科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
基于MEMS的微型加速度传感器研究
基于MEMS的微型加速度传感器研究在当今科技飞速发展的时代，传感器作为获取信息的关键器件，在众多领域发挥着至关重要的作用。
其中，基于 MEMS（微机电系统）技术的微型加速度传感器凭借其体积小、重量轻、功耗低、集成度高等显著优势，成为了研究的热点。
MEMS 技术的出现为微型加速度传感器的发展带来了革命性的变化。
传统的加速度传感器通常体积较大、成本较高，限制了其在一些对空间和成本敏感的应用中的使用。
而 MEMS 技术通过微加工工艺，能够在微小的硅片上制造出复杂的机械结构和电子线路，从而实现传感器的微型化。
微型加速度传感器的工作原理主要基于惯性原理。
当物体发生加速度运动时，质量块会受到惯性力的作用，从而产生位移或应力的变化。
通过检测这些变化，并经过一系列的信号处理和转换，就能够得到加速度的数值。
常见的检测方式有电容式、压阻式和压电式等。
电容式微型加速度传感器是利用电容的变化来检测质量块的位移。
在这种传感器中，通常有两个平行的极板，其中一个是固定的，另一个与质量块相连。
当加速度作用时，质量块的位移会导致电容值发生变化，通过测量电容的变化就可以得到加速度的信息。
压阻式微型加速度传感器则是基于半导体材料的压阻效应。
当质量块产生位移时，会引起电阻值的变化，通过测量电阻的变化来计算加速度。
压电式微型加速度传感器利用压电材料的压电效应来检测加速度。
当受到应力作用时，压电材料会产生电荷，通过测量电荷的变化来获取加速度的大小。
在 MEMS 微型加速度传感器的设计中，需要考虑众多因素。
首先是结构设计，要确保传感器具有足够的灵敏度和测量范围，同时还要考虑其稳定性和可靠性。
材料的选择也至关重要，需要具备良好的机械性能和电学性能。
此外，制造工艺的精度和一致性对传感器的性能有着直接的影响。
MEMS 微型加速度传感器在众多领域都有着广泛的应用。
在汽车工业中，它们被用于汽车安全系统，如碰撞检测和气囊触发。
在消费电子领域，如智能手机、平板电脑等设备中，用于自动旋转屏幕、运动检测等功能。
加速度传感器产业深度调查及投资机会评估报告
加速度传感器产业深度调查及投资机会评估报告随着人们对智能物联网的需求不断提高，加速度传感器逐渐成为物联网重要的组成部分。
加速度传感器是一种用于测量物体加速度的装置，主要应用于工业自动化、汽车电子、医疗设备、无人机等领域。
本文将对加速度传感器产业进行深度调查，并对投资机会进行评估。
一、市场规模加速度传感器市场的规模正在迅速扩张，预计到2027年，全球市场规模将达到230亿美元。
其中，工业自动化应用占据了市场份额的三分之一以上，而汽车电子、医疗设备和消费电子等领域也将会保持良好的增长势头。
二、市场驱动力1. 智能手机和穿戴设备的普及：随着智能手机和穿戴设备的热销，加速度传感器得到了迅速普及。
它们可以测量我们走路的步数、我们打球时的击打强度等等。
2. 工业自动化进程的推动：工业自动化领域的不断推进也推动了加速度传感器市场的发展。
它们能够测量机器人的加速度和方向，从而帮助控制机器人的精度和速度。
3. 智能交通领域的爆发：随着无人驾驶汽车的出现，加速度传感器也成为了这个行业中非常重要的一个组成部分。
它们能够检测车辆的倾斜和转弯，从而控制车辆的转弯和速度。
三、行业发展趋势1. 小型化和高精度：随着物联网和可穿戴设备的发展，加速度传感器需要更加小型化和高精度，以适应更加多样化的应用需求。
2. 低功耗：在低功耗的需求下，加速度传感器需要能够提供更高的能效比，从而能够通过更长时间的使用规格来确定更好的性能表现。
3. 高性能/低成本：高性能传感器的价格高昂，但近年来市场出现了一些理性的价格差异，致使更多的客户能够购买高精度的传感器。
四、投资机会根据以上市场趋势和发展预测，加速度传感器产业具备非常良好的投资机会和潜在利润。
投资者可以注意以下几个点：1. 重点关注工业自动化市场，这是加速度传感器的一个非常重要的领域，未来发展潜力不容小觑。
2. 注意小型化和高精度的发展趋势，这可以帮助投资者把握市场前景，并根据市场需求调整投资策略。
基于MEMS技术的加速度传感器研究
基于MEMS技术的加速度传感器研究近年来，随着科技的发展，MEMS（微机电系统）技术在各个领域的应用越来越广泛。
其中，基于MEMS技术的加速度传感器在运动测量、姿态控制、安全监测等方面具有重要的应用价值。
本文将探讨基于MEMS技术的加速度传感器的原理、制备技术以及应用案例。
加速度传感器是一种能够测量物体加速度或者重力的传感器。
MEMS技术结合了微电子技术和微机械技术，使得传感器的尺寸变得非常小，并且能够批量生产。
基于MEMS技术的加速度传感器通常由微机械加速度传感器和集成电路两部分组成。
微机械加速度传感器通常采用质量悬浮结构，当受到外力作用时，质量将发生位移，由此测量加速度。
制备基于MEMS技术的加速度传感器需要经历多个步骤。
首先，通过光刻技术在硅衬底上形成质量悬浮结构。
然后，将金属电极沉积在衬底上，形成电容结构。
接着，通过刻蚀等工艺，雕刻出质量悬浮结构和电容结构。
最后，借助封装技术和集成电路，将传感器制作完整。
基于MEMS技术的加速度传感器具有许多优势。
首先，尺寸小，可以实现微型化和集成化，方便嵌入各类设备。
其次，价格相对较低，适用于大规模应用。
此外，基于MEMS技术制备的加速度传感器具有很高的灵敏度和稳定性，能够精确测量加速度和重力。
基于MEMS技术的加速度传感器在多个领域有广泛的应用。
在运动测量方面，加速度传感器可以用于测量运动物体的加速度和速度，应用于运动跟踪、步数统计等场景。
在姿态控制方面，加速度传感器可以用于测量物体的倾斜角度和旋转角度，应用于飞行器、机器人等设备的姿态控制。
另外，在安全监测方面，加速度传感器可以用于检测物体的碰撞、震动等，应用于汽车碰撞预警、地震预警等领域。
综上所述，基于MEMS技术的加速度传感器具有广泛的应用前景。
由于其尺寸小、灵敏度高和稳定性好等特点，使得加速度传感器在运动测量、姿态控制和安全监测等方面取得了重要的突破。
未来，随着MEMS技术的不断进步和创新，相信基于MEMS技术的加速度传感器将在更多领域发挥重要作用，为人们的生活带来更多便利和安全。
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加速度传感器研究现状 【摘要】加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。介绍了加速度传感器的产生，加速度传感器的应用和原理和加速度传感器的未来发展趋势。随着传感器的发展加速度传感器加速度传感器未来发展态势喜人，加速度传感器的应用也越来越普遍，生活中好多地方都应用到。本论文论述我加速度传感器的各方面应用和未来发展态势。 Acceleration sensor is capable of measuring acceleration of electronic devices. Describes the generation of acceleration sensor and acceleration sensor and acceleration sensor applications and principles of the future development trends. With the development of sensors accelerometer gratifying trend of future development, acceleration sensor applications are increasingly common, many places in life are applied to. This paper discusses various aspects of my application acceleration sensor and the future development trend. 【关键字】加速度传感器，工作原理，应用，发展态势 传感器是一种能将物理量、化学量、生物量等转换成电信号的器件。输出信号有不同形式，如电压、电流、频率、脉冲等，能满足信息传输、处理、记录、显示、控制要求，是自动检测系统和自动控制系统中不可缺少的元件。如果把计算机比作大脑，那么传感器则相当于五官，传感器能正确感受被测量并转换成相应输出量，对系统的质量起决定性作用。自动化程度越高，系统对传感器要求越高。 在今天的信息时代里，信息产业包括信息采集、传输、处理三部分，即传感技术、通信技术、计算机技术。现代的计算机技术和通信技术由于超大规模集成电路的飞速发展，而已经充分发达后，不仅对传感器的精度、可靠性、响应速度、获取的信息量要求越来越高，还要求其成本低廉且使用方便。显然传统传感器因功能、特性、体积、成本等已难以满足而逐渐被淘汰。世界许多发达国家都在加快对传感器新技术的研究与开发，并且都已取得极大的突破。如今传感器新技术的发展，主要有以下几个方面： 1.发现并利用新现象利用物理现象、化学反应、生物效应作为传感器原理，所以研究发现新现象与新效应是传感器技术发展的重要工作，是研究开发新型传感器的基础。日本夏普公司利用超导技术研制成功高温超导磁性传感器，是传感器技术的重大突破，其灵敏度高，仅次于超导量子干涉器件。它的制造工艺远比超导量子干涉器件简单。可用于磁成像技术，有广泛推广价值。利用抗体和抗原在电极表面上相遇复合时，会引起电极电位的变化，利用这一现象可制出免疫传感器。用这种抗体制成的免疫传感器可对某生物体内是否有这种抗原作检查。如用肝炎病毒抗体可检查某人是否患有肝炎，起到快速、准确作用。美国加州大学已研制出这类传感器。 2.利用新材料传感器材料是传感器技术的重要基础，由于材料科学进步，人们可制造出各种新型传感器。例如用高分子聚合物薄膜制成温度传感器；光导纤维能制成压力、流量、温度、位移等多种传感器；用陶瓷制成压力传感器。高分子聚合物能随周围环境的相对湿度大小成比例地吸附和释放水分子。高分子电介常数小，水分子能提高聚合物的介电常数。将高分子电介质做成电容器，测定电容容量的变化，即可得出相对湿度。利用这个原理制成等离子聚合法聚苯乙烯薄膜温度传感器，其有以下特点：测湿范围宽；温度范围宽，可达-40℃～+1500℃；响应速度快，小于1S；尺寸小，可用于小空间测湿；温度系数小。陶瓷电容式压力传感器是一种无中介液的干式压力传感器。采用先进的陶瓷技术，厚膜电子技术，其技术性能稳定，年漂移量小于0.1%F.S,温漂小于±0.15%/10K,抗过载强,可达量程的数百倍。测量范围可从0 到60mpa。德国E+H 公司和美国Kavlio 公司产品处于领先地位。光导纤维的应用是传感材料的重大突破，其最早用于光通信技术。在光通信利用中发现当温度、压力、电场、磁场等环境条件变化时，引起光纤传输的光波强度、相位、频率、偏振态等变化，测量光波量的变化，就可知道导致这些光波量变化的温度、压力、电场、磁场等物理量的大小，利用这些原理可研制出光导纤维传感器。光纤传感器与传统传感器相比有许多特点：灵敏度高，结构简单、体积小、耐腐蚀、电绝缘性好、光路可弯曲、便于实现遥测等。光纤传感器日本处于先进水平。如IdecIzumi 公司和Sunx 公司。光纤传感受器与集成光路技术相结合，加速光纤传感器技术的发展。将集成光路器件代替原有光学元件和无源光器件，使光纤传感器有高的带宽、低的信号处理电压，可靠性高，成本低。 3.微机械加工技术半导体技术中的加工方法有氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺，各向导性腐蚀及蒸镀，溅射薄膜等，这些都已引进到传感器制造。因而产生了各种新型传感器，如利用半导体技术制造出硅微传感器，利用薄膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器，利用溅射薄膜工艺制压力传感器等。日本横河公司利用各向导性腐蚀技术进行高精度三维加工，制成全硅谐振式压力传感器。核心部分由感压硅膜片和硅膜片上面制作的两个谐振梁结成，两个谐振梁的频差对应不同的压力，用频率差的方法测压力，可消除环境温度等因素带来的误差。当环境温度变化时，两个谐振梁频率和幅度变化相同，将两个频率差后，其相同变化量就能够相互抵消。其测量最高精度可达0.01%FS。美国SiliconMicrostructureInc.(SMI)公司开发一系列低价位,线性度在0.1%到0.65%范围内的硅微压力传感器,最低满量程为0.15psi(1KPa),其以硅为料制成,具有独特的三维结构,轻细微机械加工,和多次蚀刻制成惠斯登电桥于硅膜片上,当硅片上方受力时,其产生变形,电阻产生压阻效应而失去电桥平衡,输出与压力成比例的电信号.象这样的硅微传感器是当今传感器发展的前沿技术,其基本特点是敏感元件体积为微米量级,是传统传感器的几十、几百分之一。在工业控制、航空航天领域、生物医学等方面有重要的作用，如飞机上利用可减轻飞机重量，减少能源。另一特点是能敏感微小被测量，可制成血压压力传感器。中国航空总公司北京测控技术研究所，研制的CYJ 系列溅谢膜压力传感器是采用离子溅射工艺加工成金属应变计，它克服了非金属式应变计易受温度影响的不足，具有高稳定性，适用于各种场合，被测介质范围宽，还克服了传统粘贴式带来的精度低、迟滞大、蠕变等缺点，具有精度高、可靠性高、体积小的特点，广泛用于航空、石油、化工、医疗等领域。 4.集成传感器集成传感器的优势是传统传感器无法达到的，它不仅仅是一个简单的传感器，其将辅助电路中的元件与传感元件同时集成在一块芯片上，使之具有校准、补偿、自诊断和网络通信的功能，它可降低成本、增加产量，美国LUCAS、NOVASENSOR 公司开发的这种血压传感器，每星期能生产1 万只。 5.智能化传感器智能化传感器是一种带微处理器的传感器，是微型计算机和传感器相结合的成果，它兼有检测、判断和信息处理功能，与传统传感器相比有很多特点：具有判断和信息处理功能，能对测量值进行修正、误差补偿，因而提高测量精度；可实现多传感器多参数测量；有自诊断和自校准功能，提高可靠性；测量数据可存取，使用方便；有数据通信接口，能与微型计算机直接通信。把传感器、信号调节电路、单片机集成在一芯片上形成超大规模集成化的高级智能传感器。美国HONYWELL 公司ST-3000 型智能传感器，芯片尺寸才有3×4×2mm3，采用半导体工艺，在同一芯片上制成CPU、EPROM、静压、压差、温度等三种敏感元件。智能化传感器的研究与开发，美国处于领先地位。美国宇航局在开发宇宙飞船时称这种传感器为灵巧传感器（SmartSensor），在宇宙飞船上这种传感器是非常重要的。我国在这方面的研究与开发还很落后，主要是因为我国半导体集成电路工艺水平有限。传感器的发展日新月异，特别是80 年代人类由高度工业化进入信息时代以来，传感器技术向更新、更高的技术发展。美国、日本等发达国家的传感器技术发展最快，我国由于基础薄弱，传感器技术与这些发达国家相比有较大的差距。因此，我们应该加大对传感器技术研究、开发的投入，使我国传感器技术与外国差距缩短，促进我国仪器仪表工业和自化化技术的发展。
加速度传感器原理 加速度传感器是用来将加速度这一物理信号转变成便于测量的电信号的测试仪器。它是工业、国防等许多领域中进行冲击、振动测量常用的测试仪器。
加速度传感器作为测量物体运动状态的一种重要的传感器［1-2］，被广泛应用于医疗、体育、制造业、军事、航空航天［3-4］（包括无陀螺稳定控制［5］、捷联惯性导航系统的非自主式惯性导航系统、航向指示系统［6］、目标姿态基准系统、重力测量系统等）等领域。加速度传感器主要分为压阻式、电容式、应变式、液浮摆式、挠性摆式、振弦式、压电式等类型［7］。
1、加速度传感器原理概述 加速度传感器是用来将加速度这一物理信号转变成便于测量的电信号的测试仪器。差容式力平衡加速度传感器则把被测的加速度转换为电容器的电容量变化。实现这种功能的方法有变间隙，变面积，变介电常量三种，差容式力平衡加速度传感器利用变间隙，且用差动式的结构，它优点是结构简单，动态响应好，能实现无接触式测量，灵敏度好，分辨率强，能测量0.01um甚至更微小的位移，但是由于本身的电容量一般很小，仅几pF至几百pF，其容抗可高达几MΩ至几百MΩ，所以对绝缘电阻的要求较高，并且寄生电容（引线电容及仪器中各元器件与极板间电容等）不可忽视。近年来由于广泛应用集成电路，使电子线路紧靠传感器的极板，使寄生电容，非线性等缺点不断得到克服。 差容式力平衡加速度传感器的机械部分紧靠电路板，把加速度的变化转变为电容中间极的位移变化，后续电路通过对位移的检测，输出一个对应的电压值，由此即可以求得加速度值。为保证传感器的正常工作.，加在电容两个极板的偏置电压必须由过零比较器的输出方波电压来提供。
2、变间隙电容的基本工作原理 如式2－1所示是以空气为介质，两个平行金属板组成的平行板电容器，当不考虑边缘电场影响时，它的电容量可用下式表示： 由式（2－1）可知，平板电容器的电容量是、A、的函数，如果将上极板固定，下极板与被测运动物体相连，当被测运动物体作上、下位移（即变化）或左右位移（即A变化）时，将引起电容量的变化，通过测量电路将这种电容变化转换为电压、电流、频率等电信号输出根据输出信号的大小，即可测定物体位移的大小，若把这种变化应用到电容式差容式力平衡传感器中，当有加速度信号时，就会引起电容变化C，然后转换成电压信号输出，根据此电压信号即可计算出加