TCO(透明导电层)的原理及其应用发展
透明导电膜玻璃TCO
一、玻璃导电的机理众所周知，不同种类的物质，其导电的机理是不同的。
金属导体导电，是由于在金属导体中有可以自由移动的自由电子的作用；半导体导电，是靠半导体中空穴的移动作用而使电子传导得以实现；电解质水溶液导电，是由于在电解质水溶液中有可以自由移动的离子的作用；离子化合物的晶体导电是在具有晶格缺欠的情况下，虽然是固体，但由于离子的迁移而导电。
那么，玻璃导电的机理是什么呢？在室温条件下，玻璃是相当好的绝缘体。
一般来说，玻璃的电阻率在1010Ω/m～1015Ω/m之间。
但是，温度升高，玻璃就要被软化，处于熔融状态中玻璃的电阻可降到几个欧姆，导电性能增强。
即，玻璃从固体变成液体状态时可以导电。
玻璃导电的能力由玻璃结构中离子的移动程度决定。
玻璃是离子化合物晶体。
玻璃的种类不同，其离子的种类以及比例含量都不同。
以最常见的苏打石灰玻璃为例，其主要成分为SiO2，通常由于结构中存在晶格缺欠，晶体中的Na+在温度升高时由一个空穴迁移到另一个空穴而导电。
由此可见，玻璃导电是属于离子导电二、透明导电膜玻璃（TCO Coating Glass）透明导电膜玻璃（TCO Coating Glass）是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜（Transparent Conductive Oxide）而形成的组件。
对于薄膜太阳能电池来说，由于中间半导体层几乎没有横向导电性能，因此必须使用TCO玻璃有效收集电池的电流，同时TCO薄膜具有高透和减反射的功能让大部分光进入吸收层。
TCO玻璃的生产工艺TCO玻璃工艺主要分为超白浮法玻璃生产、TCO镀膜。
超白浮法玻璃生产工艺难度较高，目前世界上主要供应商有日本旭硝子、美国PPG、法国圣戈班等，国内供应厂家有限，目前仅金晶科技、南玻、信义能够供货。
透明导电膜玻璃（TCO Coating Glass）的种类主要为氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass）、掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass）和掺F氧化锡（FTO Coating Glass）三种；ITO透明导电膜玻璃广泛的使用于大面积平板显示领域，国内ITO导电膜玻璃生产厂家主要有深圳南玻显示事业部、深圳莱宝光学、蚌埠华益导、芜湖长信，深圳天泽等众多厂家，技术也能与日本与欧美厂家竞争；而FTO透明导电膜和AZO透明导电膜的主要生产商有日本旭硝子（Asahi）、板硝子（NSG）与美国AFG，国内非晶硅薄膜电池厂因需求不大、尺寸规格特殊，所以议价空间小，进货价格高，甚至有钱也不一定买的到货。
透明导电薄膜(TCO)之原理及其应用发展课件
透明导电薄膜
金属化合物薄膜(TCO)
泛指具有透明导电性之氧化物、氮化物、氟化物
a.氧(氮)化物：In2O3、SnO2、ZnO、CdO、TiN b.掺杂氧化物：In2O3:Sn (ITO)、ZnO:In (IZO)、ZnO:Ga (GZO) ZnO:Al (AZO)、SnO2:F、TiO2:Ta
c.混合氧化物：In2O3-ZnO、CdIn2O4、Cd2SnO4、Zn2SnO4
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
2.TCO的导电原理
3.TCO的光学性质
4. TCO薄膜之市场应用及未来发展
什么是透明导电薄膜?
在可见光波长范围内具有可接受之透光度
������ 以flat panel display而言透光度愈高愈好 ������ 以solar cell而言太阳光全波长范围之透光度及热稳定性
透明导电薄膜(TCO) 之原e
1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
2.TCO的导电原理
3.TCO的光学性质
4. TCO薄膜之市场应用及发展
1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍
特点：1.ZnO矿产产能大。 2.价格比ITO便宜(> 200% cost saving) 。 3.部分AZO靶材可在100%Ar环境下成膜，制程控制容易。 4.耐化性比ITO差，通常以添加Cr、Co于ZnO系材料中来 提高其耐化性。
1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
������ 2000年代，主要的透明导电性应用以ITO材料为主，磁控溅镀ITO成为 市 场上制程的主流.
TCO(透明导电层)的原理及其应用发展
1/2
0.24x0.91x10-30
其中，n：载子浓度 e：载子的电量
m*：传导有效质量
= 7958529.409 ω=2π/λ =>λ=789nm
载子浓度n增加，ω变大， 光吸收范围向可见光扩展
掺杂物(载子)密度对透光度的影响
AZO (antimony doped tindioxide)
Sb掺杂在SnO2中
紫外线区
TCO的光学性质
➢为降低In2O3、SnO2、ZnO等透明导体的电阻率， 通常加入Sn、Al、Sb等掺杂物以提高载子密度。
➢载子密度增加会影响透明性 以ZnO为例，
➢电浆频率ω = (4πne2/m*)1/2
ω = (4πne2/m*)1/2 = 4πx4.3x1019x(1.6x10-19)2
TCO薄膜的导电原理
➢载子的mobility (μ)
μ =eτ/εom*
τ：relaxation time(载子移动时由此次散射到下一次散射的时间) m*：载子的有效质量 εo：真空中之介电常数
➢要提升载子的mobility
τ↑：與TCO薄膜的结构有关。TCO薄膜的defect愈少， τ ↑。(extrinsic effect)
Band gap (Eg) > 3.5eV Crystallized at T > 150 ºC
TCO薄膜的导电原理
➢材料之导电率σ
σ =neμ
其中n=载子浓度 (就TCO材料包括电子及电洞)
e：载子的电量 μ：载子的mobility
载子由掺杂物的混入及 离子的缺陷生成
TCO中导电性最好的ITO，载子浓度约1018~1019 cm-3 ﹙金属载子浓度约1022 ~10~23 cm-3﹚
透明导电膜材料
1
目录
一、膜材料的简介 二、ZnO：Al(TCO)薄膜的基本性质 三、TCO的实验制备方法 四、TCO的检测
2
一、薄膜材料简介
薄膜材料： 薄膜材料： 应用领域：材料科学、能源、信息 、微电子工业等;尤其 应用领域 宽禁带半导体光电功能材料，已成为各国研究的重点。 研究目的：利用新材料制备具有最佳性能的器件 研究目的 提高 生产率，降低成本; 发展方向：透明导电薄膜、具有低电阻、 高透射率等 发展方向 可作为透明导电窗口.
9
三、实验方法
目前生长ZnO薄膜的方法很多，包括脉冲激光沉积(PLD)， 分子束外延(MBE)，金属有机物化学气相沉积(MOCVD)， 射频／直流溅射(RF／DCSputtering)，电子束反应蒸 (Spray Pyrolysis)和溶胶一凝胶法(sol—gel)等。目前用 于太阳电池及其组件的ZnO薄膜制备中，国际上主要是 磁控溅射和MOCVD技术．利用磁控溅射法制备薄膜太阳 电池ZnO薄膜，通常采用AL掺杂得到较低电阻率(～10-4 欧姆.厘米)的镜面结构；为应用于太阳电池前电极，溅射 后的ZnO薄膜须采取湿法刻蚀才能形成绒面结构，以期 获得良好光散射能力
SZ-82 型数效子式四探针测试仪是运用四探针测量原理 的多用途综合测量装置。它可以测量片状、块状半导体 材料径向和轴向电阻率，测量片状半导体构材料的电阻 率和扩散层的薄层电阻(方块电阻)。换—上特制的四探针 测试夹，还可以对金属导体的低、中值电阻进行测量。 仪器由电气箱、测试架等部分组成，测试结果由数字直 接显示。电气箱主要由高灵敏度直流数字电压表和高稳 定恒流源组成。测试架探头采用宝石导向轴套和高耐磨 碳化钨探针。故定位准确、游移率小、寿命长。
透明导电薄膜TCO之原理及其应用发展
透明导电薄膜TCO之原理及其应用发展透明导电薄膜（Transparent Conductive Films，TCO）是一种在光学透明度和电导率之间取得平衡的薄膜材料。
原理上，TCO薄膜是通过掺杂导电材料到光学材料中，达到同时具有高透明度和高电导率的效果。
TCO薄膜的主要原理是靠材料的电子结构来实现。
通常，TCO薄膜由两个主要成分组成：导电材料和基底材料。
导电材料通常是金属氧化物，如氧化锌（ZnO）或氧化锡（SnO2），它们具有高电子迁移率和低电阻率的特点。
基底材料通常是通过掺杂或添加导电剂的透明绝缘体，如玻璃或塑料。
TCO薄膜的应用非常广泛。
其中最重要的应用是透明导电电极，用于太阳能电池、液晶显示器、有机光电器件等光电器件中。
由于TCO薄膜在可见光范围内具有高透明度和低电阻率，所以能够有效传输光线并提供高效的电导率，从而改善光电器件的工作效率。
除此之外，TCO薄膜还常用于光催化、触摸屏、热电器件、光电探测器等领域。
然而，目前TCO薄膜仍然面临一些挑战。
例如，TCO薄膜的电导率和光学透射率之间存在着折中关系，很难在两者之间取得完美的平衡。
此外，一些常用的导电材料，如氧化锌和氧化锡，在高温、高湿度或强光照射条件下容易退化，从而限制了TCO薄膜的长期稳定性。
为了解决这些问题，当前TCO薄膜研究重点在于开发新型材料和改进工艺技术。
例如，研究人员尝试使用新型的导电材料，如氧化铟锡（ITO）和氟化锡（FTO），以提高TCO薄膜的电导率和稳定性。
另外，一些研究还涉及到利用纳米技术和多层结构设计，以进一步改善TCO薄膜的性能。
在未来，随着光电器件和可穿戴设备等领域的不断发展，对性能更好、更稳定的TCO薄膜的需求将会进一步增加。
因此，TCO薄膜的研究和应用前景非常广阔，有望在多个行业中发挥重要作用。
透明导电薄膜 TCO之原理及其应用发展 ppt课件
不
1980年代，磁控濺鍍﹙magnetron sputtering﹚開發，使低溫沉膜製程，
論在玻璃及塑膠基板均能達到低面阻值、高透性ITO薄膜.
使
1990年代，具有導電性之TCO陶瓷靶材開發，使用DC 磁控濺鍍ITO，
沉積製程之控制更趨容易，各式TCO材料開始廣泛被應用.
市
2000年代，主要的透明導電性應用以ITO 材料為主，磁控濺鍍ITO成為
透明導電薄膜透明導電薄膜tcotco之原理及其應用發展之原理及其應用發展hw20080417ito及各種透明導電氧化物材料的介紹透明導電氧化物transparentconductiveoxidetcooutlineoutlineito及各種透明導電氧化物材料的介紹及各種透明導電氧化物材料的介紹透明導電氧化物透明導電氧化物transparentconductiveoxidetcotransparentconductiveoxidetco什麼是透明導電薄膜什麼是透明導電薄膜在可見光波長範圍內具有可接受之透光度以flatpaneldisplay而言透光度愈高愈好以solarcell而言太陽光全波長範圍之透光度及熱穩定性具有導電特性電阻比resistivity愈小愈好通常104一般而言導電性提高透光度便下降反之亦然
TCO薄膜的導電原理
➢材料之導電率σ
σ = neμ
其中n = 載子濃度
(就TCO材料包括電子及電洞)
e：載子的電量
μ：載子的mobility
載子由摻雜物的混入及
離子的缺陷生成
TCO中導電性最好的ITO，載子濃度約1018~1019 cm-3
﹙金屬載子濃度約1022 ~10~23 cm-3﹚
透明导电薄膜 TCO之原理及其应
薄膜太阳电池用TCO玻璃技术发展分析
薄膜太阳电池用TCO玻璃技术发展分析1 前言TCO玻璃(Transparent Conductive Oxide)是在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜的方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而制的玻璃产品。
tco玻璃有两个主要指标：一是对可见光的高透过率（>80%）, 另一个是高的导电率(R<10-3Ω·㎝)。
对非晶硅薄膜太阳能电池来说, 由于非晶硅几乎没有横向导电性能, 因此必须在玻璃表面淀积一层大面积的透明导电膜（TCO）以有效地收集电池的电流, 同时此薄膜需具有减反射的功能让大部份光进入吸收层。
此TCO玻璃一般也称之为薄膜太阳能电池前电极玻璃。
全球薄膜太阳能近几年蓬勃发展, 2007年以120%的速度在增长, 2008年薄膜太阳能电池量产预计达1GW, 薄膜太阳能电池需求TCO玻璃约100万平方米。
依Displaybank最新评估, 至2012年, 虽受经济危机影响, 但薄膜太阳能电池的年均成长率仍将高达72%, 所以2012年底薄膜太阳能电池量产预计达8.7GW, 需求TCO玻璃约8700万平方米。
但目前非晶硅薄膜太阳能电池用的TCO玻璃基本被日本的旭硝子、板硝子及美国的AFG垄断, 所以议价空间小, 进货价格高, 甚至有钱也不一定买的到货。
由于没有稳定的TCO货源, 将造成部分薄膜太阳能电池生产厂家, 设备开动不足。
随着薄膜太阳能电池的飞速发展, 使目前TCO玻璃市场变得非常紧俏。
可以说,薄膜太阳能电池的发展将在一定程度上依赖于TCO的改进程度。
2 太阳能电池用TCO玻璃2.1 TCO简介目前太阳电池用TCO膜主要为两种, 一种为FTO膜, 一种为AZO膜。
FTO即SnO2：F镀膜, 主要采用APCVD方法, 有离线和浮法在线两种工艺, 制造出了导电性比普通Low-E好, 并且带有雾度的产品。
产品具有成本相对较低, 激光刻蚀容易, 光学性能适宜等优点, 利用这一技术生产的TCO玻璃已经成为薄膜光伏电池的主流产品。
透明导电薄膜(TCO)之原理及其应用发展
触控面板
触控面板是TCO应用的另一个重要领域。TCO作为电极材料，能够实现触控面板的透明和导电功能。 通过在触控面板上涂覆TCO薄膜，可以提供良好的导电性和透光性，从而实现准确的触控感应。
未来发展前景
随着人们对环保和可持续发展的日益重视，TCO在可穿戴设备、物联网、智能窗户等领 域的应用前景广阔，尤其在柔性电子和光电器件领域，TCO的发展潜力巨大。
对未来研究和发展的建议
加强基础研究
深入研究TCO的物理机制、化学性质以及 制备工艺，提高TCO的性能和稳定性。
加强跨学科合作
加强与材料科学、物理学、化学等领域的 交叉合作，共同推动TCO技术的进步。
02
TCO的电子传输性能取决于其材 料组成和晶体结构，通常采用掺 杂技术来提高电子传输性能。
光子散射机制
TCO通过光子散射实现光的透射，即光子在TCO表面和内部受到散射，改变了光 的传播方向，从而使光线能够透射TCO。
光子散射性能取决于TCO的表面和内部结构，可以通过控制制备工艺来调节光子 散射性能。
拓展应用领域
积极探索TCO在新型显示技术、光电传感 器、能源转换等领域的应用，推动TCO技 术的创新发展。
加强人才培养
培养具备创新能力和实践经验的高素质人 才，为TCO的持续发展提供人才保障。
THANKS
感谢观看
透明导电薄膜(TCO) 之原理及其应用发展
目录
• 引言 • TCO的原理 • TCO的应用领域 • TCO的发展趋势和挑战 • 结论
01
引言
目的和背景
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
1980年代，磁控溅镀﹙magnetron sputtering﹚开发，使低温沉膜制程， 不
论在玻璃及塑料基板均能达到低面阻值、高透性ITO薄膜.
1990年代，具有导电性之TCO陶瓷靶材开发，使用DC磁控溅镀ITO， 使
年代：1934年被美国铟矿公司最早合成出来
世界最大ITO薄膜制造国：日本
选用率：在TCO材料中，75%应用在平面显示器 主要应用：平面显示器、透明加热组件、抗静电膜、电
磁、防护膜、太阳能电池之透明电极、防反 光涂布及热反射镜(heat reflecting mirror)等 电子、光学及光电装置上。
TCO薄膜之质量需求
1.高穿透度、吸收小 2.低电阻比﹙以较低之薄膜厚度得到较佳之导电性﹚ 3.膜厚均匀性 4.良好的附着力 5.蚀刻制程容易 6.耐候性佳，受环境影响小 7.无Pin hole 8.无Hill lock
1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
2.TCO的导电原理
3.TCO的光学性质
4. TCO薄膜之市场应用及未来发展
TCO的光学性质
TCO在短波长的透光范围：由能隙(energy gap)决定 在长波长的透光范围：由电浆频率(ωp，plasma frequence)决定
由电浆频率决定的波长 (此一波长随载子浓度而移动)
入射光将价带的 电子激发到导带
1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
2.TCO的导电原理
3.TCO的光学性质
4. TCO薄膜之市场应用及未来发展
TCO薄膜的导电原理
(n-type TCO)-- ITO
➢In2O3为氧化物半导体，加入SnO2作为杂质参杂，可以产生一个导电电子 ➢In2O3晶格中之氧缺陷(Oxygen vacancy)一个氧空缺，可以产生两个导电电子
10 ohm/ 2x10-5 cm (2000Å)
Ag 1.8x10-6 ohm-cm
10 ohm/ 1.8x10-7 cm (18Å)
鱼与熊掌不可兼得
γ = ρ/D
ITO薄膜的导电性要好(面电阻低)，膜厚要增大， 因此薄膜的穿透度会降低
1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
2.TCO的导电原理
3.TCO的光学性质
4. TCO薄膜之市场应用及未来发展
TCO薄膜之市场应用–ITO之应用
Display Application
PM LCD
Display Application
AM LCD
TFT
偏光板 玻璃基板 彩色滤光片 透明电极 液晶 信号电极
扫描电极
TFT 玻璃基板
✓早期使用之透明电极 ✓缺点：光的吸收度大、硬度低、稳定性差
透明导电薄膜
➢金属化合物薄膜(TCO)
泛指具有透明导电性之氧化物、氮化物、氟化物
a.氧(氮)化物：In2O3、SnO2、ZnO、CdO、TiN b.掺杂氧化物：In2O3:Sn (ITO)、ZnO:In (IZO)、ZnO:Ga (GZO)
Sb
电阻率最小 3.98 ×10-3Ω-cm Sb2O5析出， 造成光的散射
ITO的光学性质
电阻比=面阻值x膜厚 (ρ = γ xD)
➢低面阻值ITO玻璃镀膜，电阻比越低越好 ➢考虑高穿透率，膜厚的设计必须避免建设性的干涉，
所以nd=(2m+1)λ/4，m=1,2,3,4….。
D 穿透度低的话(膜的厚薄)， 反射率相对提高，就易造成干涉。
ITO之组成及特性
ITO组成在In2O3/SnO2 =90/10时 ➢最低的电阻比及最高的光穿透率
ITO之组成及特性
ITO组成在In2O3/SnO2 =90/10时 ➢最快的蚀刻速率
ITO成膜时基板温度：200ºCITO成膜时基板温度：RT
铟(In)矿的主要应用
数据源：工研院经资中心
各种TCO材料-ZnO系透明导电膜
紫外线区
TCO的光学性质
➢为降低In2O3、SnO2、ZnO等透明导体的电阻率， 通常加入Sn、Al、Sb等掺杂物以提高载子密度。
➢载子密度增加会影响透明性 以ZnO为例，
➢电浆频率ω = (4πne2/m*)1/2
ω = (4πne2/m*)1/2 = 4πx4.3x1019x(1.6x10-19)2
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
2.TCO的导电原理 3.TCO的光学性质 4. TCO薄膜之市场应用及未来发展
什么是透明导电薄膜?
➢在可见光波长范围内具有可接受之透光度
以flat pacell而言太阳光全波长范围之透光度及热稳定性
1/2
0.24x0.91x10-30
其中，n：载子浓度 e：载子的电量
m*：传导有效质量
= 7958529.409 ω=2π/λ =>λ=789nm
载子浓度n增加，ω变大， 光吸收范围向可见光扩展
掺杂物(载子)密度对透光度的影响
AZO (antimony doped tindioxide)
Sb掺杂在SnO2中
m*↓：取决於TCO材料。(intrinsic effect)
TCO薄膜的导电原理
➢电阻比(又称体阻抗,ρ)反比于导电率(conductivity,σ) ➢ρ= 1/σ ohm-cm ➢平面显示器中探讨的薄膜的导电性有别于半导体的导电性。 ➢通常，面电阻(surface resistance,γ) or (sheet resistance, Rs)
ZnO:Al (AZO)、SnO2:F、TiO2:Ta c.混合氧化物：In2O3-ZnO、CdIn2O4、Cd2SnO4、Zn2SnO4
History of TCO
1907年最早使用CdO材料为透明导电镀膜，应用在photovoltaiccells.
1940年代，以Spray Pyrolysis及CVD方式沉积SnOx于玻璃基板上.
➢具有导电特性
电阻比(resistivity)愈小愈好，通常ρ <10-4 Ωּ cm
➢一般而言，导电性提高，透光度便下降，反之亦然。可见光 范围具有80 %以上的透光率，其比电阻低于1×10-4 Ωּcm，即 是良好透明导电膜。
透明导电薄膜
➢纯金属薄膜
✓Au、Ag、Pt、Cu、Al、Cr、Pd、Rh，在< 10nm厚度的薄膜， 均有某种程度的可见光透光度
TCO薄膜的导电原理
➢载子的mobility (μ)
μ =eτ/εom*
τ：relaxation time(载子移动时由此次散射到下一次散射的时间) m*：载子的有效质量 εo：真空中之介电常数
➢要提升载子的mobility
τ↑：與TCO薄膜的结构有关。TCO薄膜的defect愈少， τ ↑。(extrinsic effect)
沉积制程之控制更趋容易，各式TCO材料开始广泛被应用.
2000年代，主要的透明导电性应用以ITO材料为主，磁控溅镀ITO成为 市
场上制程的主流.
透明导电薄膜主角-- ITO
中文名称：铟锡氧化物 英文全名：Indium Tin Oxide（ITO）
成分：掺杂锡之铟氧化物(Tin-doped Indium Oxide)
ITO是什么？
➢ITO＝Indium Tin Oxide(In2O3＋SnO2) ➢ITO的成分＝90wt%In2O3与10wt% SnO2混合物
Why choose ITO ?
➢在TCO材料中有最佳的导电性(电阻比低) ➢在可见光波段有良好的透光度 ➢良好的耐候性，受环境影响小 ➢大面积镀膜制程容易(成熟) ➢蚀刻制程容易(成熟) ➢成本低?
参考文献
➢工业材料杂志256期 ，廖镕榆/工研院材化所 ➢材料最前线/材料世界网 ，吴金宝/工研院材化所 ➢工业材料杂志第255期 ，刘秀琴、张志祥/工研院材化所 ➢.tw/Research/Product/Vacuum/transparent.php ➢仪科中心简讯85期 ，真空技术组 潘汉昌。 ➢氧化锌-铝多层膜之结构与光电特性研究，林正伟。 ➢http://163.23.218.33/c49-1149554558 ➢以溅射共沉积法成长Cu2O：Al之P型透明导电膜研究，邱俞翔、施佑杰、戴渊竣、包正纲。
透明电极
偏光板
Display Application
OLED
Display Application
PDP
Touch Panel
Solar cell
Electrochromic Window (电致变色玻璃)
常用TCO之应用
ITO及TCO薄膜未来需求之课题
➢高透光率ITO玻璃 ➢极低面电阻&高穿透率之研究 ➢超平坦透明导电膜 ➢在塑料基板成膜(室温成膜) ➢靶材回收
透明导电薄膜(TCO) 之原理及其应用发展
TYN 2012/12/12
Outline
1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
2.TCO的导电原理 3.TCO的光学性质 4. TCO薄膜之市场应用及发展
1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍
Band gap (Eg) > 3.5eV Crystallized at T > 150 ºC
TCO薄膜的导电原理
➢材料之导电率σ
σ =neμ