扫描电镜的原理特点及其应用
扫描电镜原理及应用精品PPT课件

人眼分辨率
A
0.2 mm
B
250 mm
2
眼睛
光学显微镜的局限
• 分辨率主要取决于照明源的波长
r
2
• 可见光的波长在400-700 nm之间,所以光镜的分 辨率>200 nm
• 电子束波长约为可见光波长的十万分之一,因此 采用电子束作为照明源可以大幅提高显微镜分辨 率。
Cr
12.71
Mn
0.30
Fe
86.99
元素面分布图
球 粒 成 分 均 为 钢 料
结论
在陶瓷成分中添加大量金属球粒, 球粒尺寸:50μm~ 150 μm, 球粒分布不均匀。 球粒成分Cr含量~12%,属于不锈钢, 符合国产牌号:x Cr12 。
样品 塑料
应用实例二
样品名称 :柴油机轴瓦 半圆形金属件
15
场发射式电子枪
2. 肖特基热场发射式 优点: - 钨(100)单晶上镀ZrO(氧化鋯)降低功函数 - 使用寿命与冷场相似 (> 1000 hrs). - 使用前不需要加热针尖. - 电子源尺寸小/亮度与冷场相似 . - 真空度要求比冷场低10倍 (10-9 torr). - 适用WDS, CL, EBIC, 等探测.
缺点: - 分辨率比冷场稍差. - 价格昂贵
扫描电镜成像原理
电子束与样品的相互作用
俄歇电子 二次电子 背散射电子
特征 X 光线 连续 X 光线 荧光 X 光线
阴极荧光
不同信号的用途
图像
信号
探测器
用途
SE(二次电子像) BSE(背散射电子像)
EDS(能谱)
二次电子
背散射电子
ETSE,VPSE, EPSE BSD
扫描电镜-

电子枪的结构
1.阴极:钨丝等 2.栅极:威尔罩 3.阳极
电子枪的工作原理
工作原理:
当灯丝中通以加热电流, 钨丝阴极呈白热状态时, 便发射电子。在阳极加 速电压的作用下,电子 穿过阳极小孔射向荧光 屏出现亮点。栅极加电 压用来控制电子束大小, 改变荧光屏亮度。调节 偏转线圈中电流大小, 可改变磁场强弱,使荧 光屏得到最小的聚焦电 子束斑点。电子束在横 向交变电磁场作用下, 可在荧光屏上来回扫描。
光镜、TEM和SEM的成像原理
扫描电镜的优点
分辨率高
现代最先进的扫描电镜的分辨率已经达到0.5nm左右,钨灯丝扫描电 镜的分辨率一般在3nm左右。
A B C
200nm
500nm
500nm
D
E
0.4n m
D
F
扫描电镜的优点
试样制备简单 跨尺度分析工具
放大倍数连续可调,最低可到4~5倍,有效放大倍数最高可达20-40万倍 (钨灯丝4~10万倍)。
种电磁波辐射。 产生范围:试样的5000Ǻ~5um。
六、俄歇电子
定义:如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来
的能量Δ E不以X射线的形式释放,而是用该
能量将核外另一电子打出,脱离原子变为二
次电子,这种二次电子叫俄歇电子。
能量:50~1500eV
应用:俄歇电子信号适用于表层化学成分分析。
内容提要
扫描电镜的基本原理
比较 类别
定义
能量变化
能量大小
方向
数量
弹性背反 被样品中原子 数千到数万 散射角大 于90°, 射电子 核反弹回来的 基本上不 电子伏 入射电子 方向变化 变 入射电子和核 非弹性背 外电子撞击经 反射电子 多次散射后反 弹出样品表面 变化 数十到数千 方向变 电子伏 化
扫描电子显微镜的原理及应用

扫描电子显微镜的原理及应用扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种使用电子束而不是光束的显微镜,它通过对被测样品表面进行扫描和检测,以获取高分辨率的图像。
SEM具有优秀的分辨率和放大倍数,被广泛应用于材料科学、生命科学、纳米技术、地质学等领域。
SEM的工作原理如下:1. 产生电子束:通过电子枪产生高能电子束,电子枪包括一个热阴极和一根聚焦的阳极。
电子束可以通过区域限制器(aperture)来控制束流的大小。
2.加速电子束:电子束通过电子镜来加速,这是一个由透镜组成的系统。
电子束在电子镜中得到聚焦,束流变窄,成为高能、高分辨率的束流。
3.扫描样品:样品被放置在SEM的样品台上,电子束通过磁场的作用进行X、Y方向扫描。
扫描电子镜的样品台通常也可以进行上下方向的运动,以获得不同深度的图像。
4.接收和检测:当电子束照射在样品表面上时,样品中发生的相互作用将会发射出各种信号,包括二次电子、透射电子、X射线以及退火融合过程产生的光谱信号等。
SEM通过收集并检测这些信号,并将其转化为电信号。
5.构建显像:电信号被转化为亮度信号,并用于构建图像。
SEM可以生成大量的图像类型,包括二次电子图像(SE图像)、透射电子图像(BSE图像)、X射线能谱图(EDS图像)等。
6.分析和测量:SEM可以提供非常详细的样品表面形貌信息,包括形貌、尺寸、形状、纹理等。
还可以使用EDS技术分析样品的化学元素组成。
SEM的应用范围十分广泛:1.材料科学:SEM可以研究材料的微观结构、相变过程、表面形貌以及晶格结构等。
它可以用于分析金属、陶瓷、纤维、塑料等材料的微观结构,从而改进材料的性能和开发新材料。
2.生命科学:SEM非常适合观察生物样品的微观结构,如昆虫、细胞、细菌等。
它可以研究生物样品的组织结构、表面形貌,以及细胞壁、细胞器等微观结构。
3.纳米技术:SEM可以观察和测量纳米级别的颗粒、膜、纳米线、纳米管等纳米材料。
扫描电镜及其制样技术

SEM样品的常规制备方法
小结
1、SEM样品的常规制备步骤 取材 →清洗 → 固定 → 清洗 → 脱水 → 中间液替代脱水剂 → 临界点干燥 → 粘样 → 金属 镀膜 → SEM观察
溅射时间的选择
8、电镜观察
No Image
图3-6 离子溅射仪及原理图
二 特殊样品的常规制备方法
1、游离细胞的制样方法
1 将盖玻片洗净灭菌,样品面做标记; 2 将盖玻片垂直浸入热溶的2~5%明胶后即刻垂
直取出,用滤纸吸去边缘多余的明胶; 3 将盖玻片的样品面朝上平放在滤纸上,于
37℃干燥箱烘干后备用; 4 在盖玻片样品面上滴1~2滴细胞悬浮液,静置
扫描电镜技术
Techniques of Scanning Electron Microscope
一、扫描电镜的基本结构与成像原理 二、扫描电镜的特点 三、扫描电镜的生物样品制备技术
一 样品的常规制备方法 二 特殊样品的制备方法
扫描电镜技术
扫描电镜 Scanning Electron Microscope,SEM 是 继光镜和透射电镜之后发展起来的一种电 镜,用于观察物质表面及断面的三维形貌结 构和进行微区成分分析,
① 提高样品表面的导电性, ② 提高二次电子发射率, ③ 减少电子束对样品的损伤, 2 镀膜材料的选择
金、铂、金/铂合金、铂/钯合金, 3 镀膜的方法
目前常用离子溅射法镀膜,
7、金属镀膜
1 离子溅射法
① 离子溅射仪的主要结构
② 离子溅射镀膜的原理 辉光放电 → 离子溅射
→ 漫散射镀膜 ③ 镀膜厚度的控制:
扫描电子显微镜原理和应用

扫描电子显微镜原理和应用扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种利用电子束扫描样品表面并获取图像的仪器。
相比传统的光学显微镜,SEM具有更高的放大倍率和更好的分辨能力。
本文将介绍SEM的原理和应用。
SEM的原理基于电子束与样品的相互作用。
SEM使用的电子源通常是热发射电子源或场致发射电子源。
电子束经过束流控制系统调整并汇聚到一个非常细的束斑上,然后由电子透镜系统进行聚焦,形成连续的束斑。
当电子束进入样品后,会与样品中的原子和分子发生相互作用,被散射或吸收。
这些与样品的相互作用会改变原始电子束的性质,包括散射电子、二次电子和背散射电子等。
SEM的主要成像模式包括二次电子成像和背散射电子成像。
二次电子成像是通过探测样品表面的二次电子来生成图像,这些电子主要受到样品表面的形貌和电子密度的影响。
背散射电子成像是通过探测样品背面散射出来的电子来生成图像,这些电子主要受到样品中原子的影响。
SEM具有较高的放大倍率和分辨能力,可以观察到亚微米级别的细节。
此外,SEM还具有样品表面成分分析和表面形貌表征等功能。
通过与能谱仪(EDS)结合,SEM可以对样品进行能谱分析,获取元素的分布和浓度信息。
此外,SEM还可以结合纳米操作系统,用于纳米加工和纳米刻蚀。
SEM在材料科学、生物学、地质学、环境科学、医学和纳米技术等领域具有广泛的应用。
在材料科学中,SEM可用于分析材料的微观结构、表面形貌和化学成分,评估材料的质量和性能。
在生物学中,SEM可以用于观察生物细胞的形态和结构,研究细胞的功能和亚细胞器的分布。
在地质学中,SEM可用于研究岩石和矿物的微观结构和组成,了解地质过程。
在环境科学中,SEM可用于污染物的形态分析和颗粒物的形貌表征。
在医学中,SEM可用于观察病原体或细胞对药物的反应,指导治疗和药物开发。
在纳米技术中,SEM在纳米加工和纳米刻蚀中起着重要的作用。
总之,扫描电子显微镜是一种强大的工具,用于研究微观结构、表面形貌和化学成分。
扫描电镜原理

扫描电镜原理
扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种利用
电子束与样品发生相互作用来观察和分析物质表面形貌和微结构的仪器。
其工作原理基于电子物理原理和电子光学系统。
在扫描电镜中,电子源会产生高能电子束,通过电子光学系统将电子束聚焦到极小的直径。
聚焦后的电子束进一步通过准直系统,通过狭缝将束发散以得到所需的电子束束流。
然后,在透镜系统的控制下,电子束通过扫描盘(或称扫描线圈)轨迹进行扫描。
样品一般需要被制备成非导电的形式,以防止电子束与样品的电荷相互排斥而失去分辨能力。
通常,样品会被涂覆一层导电性物质,如金或碳。
导电层的存在可以使电荷得以释放,从而保持扫描电镜的高分辨率。
当电子束扫描到样品表面时,与样品相互作用的主要过程包括:①电子-电子散射;②电子-原子核散射;③电子-原子轨道间的相互作用。
这些相互作用导致电子的散射及吸收,产生所谓的“特性X射线”。
这些特性X射线会被探测器收集并转变为电
信号,从而可以得到物质的表面形貌和化学组成信息。
通过扫描电镜,我们可以获得高分辨率的二维或三维电子图像,进而观察和分析物质的微观结构、表面形貌和化学成分等重要信息。
扫描电镜因其高分辨率、大深度和较大的放大倍数,在材料科学、生物学和纳米技术等领域得到广泛应用。
sem扫描电镜,怎样分析材料结构

sem扫描电镜,怎样分析材料结构篇一:扫描电镜材料分析作用扫描电子显微镜在材料分析中的应用摘要:介绍了扫描电子显微镜的工作原理、结构特点及其发展,阐述了扫描电子显微镜在材料科学领域中的应用。
关键词:扫描电子;微镜;材料;应用;SEm’sapplicationinmaterialscienceabstract:Theprinciple,structureanddevelopmentoftheScanningElectronmic roscope(SEm)areintroducedinthisthesis.TheapplicationofSEminthefieldof materialscienceisdiscussed.Keywords:ScanningElectronmicroscope(SEm);material;application;前言:二十世纪60年代以来,出现了扫描电子显微镜(SEm)技术,这样使人类观察微小物质的能力发生质的飞跃。
依靠扫描电子显微镜的高分辨率、良好的景深和简易的操作方法,扫描电子显微镜(SEm)迅速成为一种不可缺少的工具,并且广泛应用于科学研究和工程实践中。
近年来,随着现代科学技术的不断发展,相继开发了环境扫描电子显微镜(ESEm)、扫描隧道显微镜(SEm)、原子力显微镜(aFm)等其它一些新的电子显微技术。
这些技术的出现,显示了电子显微技术近年)子枪);(3)提高真空度和检测系统的接收效率;(4)尽可能减小外界振动干扰。
目前,采用钨灯丝电子枪扫描电镜的分辨率最高可以达到 3.0nm;采用场发射电子枪扫描电镜的分辨率可达1nm。
到20世纪90年代中期,各厂家又相继采用计算机技术,实现了计算机控制和信息处理。
2.1场发射扫描电镜采用场发射电子枪代替普通钨灯丝电子枪,这项技术从1968年就已开始应用,这项技术大大提高了二次电子像分辨率。
近几年来,各厂家采用多级真空系统(机械泵+分子泵+离子泵),提高了真空度,真空度可达10~7Pa;同时,采用磁悬浮技术,噪音振动大为降低,灯丝寿命也有增加。
扫描电子显微镜SEM

• 其中涉及弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 • 弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来旳散射角不
小于90旳那些入射电子,其能量基本上没有变化。 • 弹性背散射电子旳能量为数千到数万电子伏。 • 非弹性背散射电子是入射电子和核外电子撞击后产生非弹
三、吸收电子 (absorption electron)
• 入射电子进入样品后,经屡次非弹性散射,能量 损失殆尽(假定样品有足够厚度,没有透射电子 产生),最终被样品吸收。
• 若在样品和地之间接入一种高敏捷度旳电流表, 就能够测得样品对地旳信号,这个信号是由吸收 电子提供旳。
• 入射电子束与样品发生作用,若逸出表面旳背散 射电子或二次电子数量任一项增长,将会引起吸 收电子相应降低,若把吸收电子信号作为调制图 像旳信号,则其衬度与二次电子像和背散射电子 像旳反差是互补旳。
第三章 扫描电子显微镜
Light vs Electron Microscope
概述
• 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是继透射电镜之后发 展起来旳一种电子显微镜
• 扫描电子显微镜旳成像原理和光学显微镜或透 射电子显微镜不同,它是以类似电视摄影旳方 式,利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发 出来旳多种物理信号来调制成像旳。
3.2扫描电镜成像旳物理信号
• 扫描电镜成像所用旳 物理信号是电子束轰 击固体样品而激发产 生旳。具有一定能量 旳电子,当其入射固 体样品时,将与样品 内原子核和核外电子 发生弹性和非弹性散 射过程,激发固体样品 产生多种物理信号。
入射电子轰击样品产生旳物理信号
一、背散射电子 (backscattering electron)
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扫描电镜的原理特点及其应用
1. 原理介绍
扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种利用电子束与样品之间的相互作用来产生图像的一种显微镜。
与传统的光学显微镜不同,扫描电镜通过扫描电子束在样品表面的反射和散射来获取高分辨率的图像。
其原理如下:
•通过电子枪产生高能电子束,该电子束经过加速后,在一系列电磁透镜的作用下,被聚焦为一个非常细小的束斑。
•电子束在样品上的散射以及与样品表面原子的相互作用会产生二次电子信号,这些信号被收集并放大后,通过扫描系统进行整理和处理。
•扫描系统控制电子束在样品表面上的移动,并记录和解析二次电子信号,最终生成高分辨率的图像。
2. 特点
扫描电子显微镜具有以下特点:
2.1 高分辨率
扫描电子显微镜的分辨率通常在0.1纳米到10纳米之间,远远超过了传统光学显微镜的分辨率。
这使得它能够观察到更小尺寸、更细微的结构和更精细的表面特征。
2.2 大深度
扫描电子显微镜能够提供比传统显微镜更深的景深,即使在观察高度不均匀、多层次的样品时也能保持图像的清晰度。
2.3 表面成分分析
通过扫描电子显微镜,可以使用能量色散X射线光谱仪(Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy,EDS)来检测样品表面的元素组成。
这种功能使得扫描电子显微镜在材料分析、金属学和纳米科学等领域具有广泛的应用。
2.4 环境适应性
扫描电子显微镜可以在常温下使用,也可以在真空或气体环境中工作。
这使得它能够适应各种样品的要求,并广泛应用于不同领域。
3. 应用
扫描电子显微镜在科学研究和工业生产中有着广泛的应用。
以下是一些常见的应用领域:
3.1 材料科学
扫描电子显微镜可以用来观察和分析各种材料的微观结构和表面形貌。
例如,可以观察金属的晶粒形态、断裂面的特征,以及陶瓷和聚合物的微观结构等。
这些信息对于材料的研究和开发非常重要。
3.2 纳米科学
由于其高分辨率和表面成分分析能力,扫描电子显微镜在纳米领域中具有重要的应用价值。
它可以用来观察和分析纳米材料的形貌、组成和结构,揭示纳米尺度下的物理和化学特性。
3.3 生物学
扫描电子显微镜在生物学研究中也有广泛的应用。
它可以用来观察细胞的超微结构、纤维和膜的形态,以及昆虫、微生物和生物材料等的微观形貌。
这些观察结果对于生物学研究、医学诊断和药物研发都具有重要意义。
3.4 资源勘探
扫描电子显微镜可以用来分析和识别矿石、岩石和土壤样品中的矿物组成,为资源勘探和矿产开发提供参考和支持。
4. 总结
扫描电子显微镜是一种高分辨率的显微镜,通过控制电子束在样品表面的扫描和反射散射效应来获得图像。
它具有高分辨率、大深度、表面成分分析和环境适应性等特点。
扫描电子显微镜在材料科学、纳米科学、生物学和资源勘探等领域都有广泛的应用。
通过使用扫描电子显微镜,我们可以更好地理解物质的微观结构和表面特征,推动科学研究和工业生产的发展。