激光干涉仪角度、垂直度、直线度、平面度测量原理

激光干涉仪角度、垂直度、直线度、平面度测量原理激光干涉仪是一种利用光的干涉原理进行高精度测量的仪器。以下是激光干涉仪在角度、垂直度、直线度和平面度测量中的原理：

1.角度测量原理：当角度反射镜旋转或移动产生角摆时，两束反射光会有相对应

的光程差产生。激光干涉仪采集到该光程差的干涉信号，经过运算处理，即可得出对应的角度值。这种技术主要应用于运动轴的角摆测量和转轴的旋转角度测量。

2.垂直度测量原理：垂直度测量是通过比较正交轴的直线度值从而确定正交轴的

非直角度。例如，三坐标测量机的垂直度误差可能由导轨磨损、事故造成导轨损坏、机器地基差、正交轴上两原点传感器未准直等因素造成。垂直度误差将对机器的定位精度

及插补能力产生直接影响。SJ6000激光干涉仪以光波为载体，在动态测量软件的配合下，可实现三坐标测量机的垂直度检测分析。

3.直线度测量原理：通过检测光路与干涉镜和反射镜之间的横向位移，可以得到

导轨相对于激光光路参考线的直线度误差。这可以在水平面或垂直面上进行，取决于直

线度干涉镜和反射镜的布置。激光干涉仪的直线度测量组件包括LH2000激光测头、直线度光学镜组、直线度测量附件和LaserLC测量软件。数据采集方法通常涉及使待测机床轴移动到若干个不同位置（或“目标”），然后测量直线度误差。

4.平面度测量原理：激光干涉仪中的一束光经过分束器分成两束光线，经过不同

的光路后重合在屏幕上形成干涉条纹。根据干涉条纹的形状和变化，可以获得被测物体表面的形状、位移和平面度等信息。在测量平面度时，首先在被测试的表面上涂抹一层反光涂料，以便激光光线能够被反射回来形成干涉条纹。然后将激光干涉仪垂直于被测表面，调整其位置和角度，使得激光光线能够正常照射到被测表面上。通过观察和记录干涉条纹的图案，可以确定表面的平整度和精度。

请注意，这些测量原理都依赖于激光干涉技术，它利用光的干涉现象来测量物体的几何特性。激光干涉仪具有高精度和高灵敏度的特点，因此在工业测量和质量控制等领域中得到了广泛应用。