激光干涉仪工作原理

激光干涉仪工作原理

激光干涉仪是一种用于测量精密物体表面形状的仪器，可以提供高质量的表面形状测量结果。它的工作原理是，先用一束激光束对物体表面进行照射，激光束在物体表面反射之后，再被探测到探测器，探测器可以捕捉到反射激光束的位置，并根据反射激光与发射激光的位置关系，计算出物体表面的形状。

激光干涉仪的典型结构一般包括一个激光源、一个激光棱镜、一个激光发射器和一个探测器。激光源通过激光棱镜聚焦发出的激光束，被发射器发射到物体表面，反射之后，被探测器探测到。激光棱镜和激光发射器可以改变激光束的方向，而探测器可以捕捉到反射激光束的位置，并将其转换为电学信号，然后通过计算机软件进行处理，得出物体表面的形状信息。

激光干涉仪的优点在于精度高、测量结果准确，而且可以测量复杂的表面形状，可以精确测量物体表面的凹凸起伏，同时可以直接测量物体表面的宽度、厚度和斜度，还可以测量物体表面的偏移量和方向。由于激光干涉仪可以进行非接触测量，因此可以避免因接触测量而产生的表面破坏。

激光干涉仪通常用于测量机械零件、汽车零件、电子元器件、显示器等产品的精度，广泛应用于航空航天、机械制造、电子制造、半导体制造、软件开发、生物医学等领域。

激光干涉仪是一种高精度的表面形状测量仪器，其工作原理是用激光束照射物体表面，并捕捉位置反射激光束，根据反射激光与发射激光的位置关系，计算出物体表面的形状，广泛应用于各种领域。