洁净室(无尘室)标准
千级无尘室标准

千级无尘室标准千级无尘室是指空气中的颗粒物浓度符合一定标准的洁净室,广泛应用于电子、医药、生物工程、精密仪器等行业。
千级无尘室标准是保证无尘室正常运行的重要依据,下面将对千级无尘室标准进行详细介绍。
首先,千级无尘室标准主要包括空气洁净度、空气流速、压差控制、温湿度控制等方面。
其中,空气洁净度是衡量无尘室洁净程度的重要指标,通常采用颗粒物浓度来表示,千级无尘室的颗粒物浓度一般要求在0.5μm粒径范围内每立方米不超过35万个颗粒物。
空气流速是指在无尘室内空气流动的速度,通常要求在0.2~0.5m/s之间,以确保颗粒物不会在空气中停留。
压差控制是指无尘室内外的压力差,通常要求保持在5~15Pa之间,以防止外部空气进入无尘室。
温湿度控制是指无尘室内的温度和湿度,通常要求在20~24℃、相对湿度在45%~65%之间,以确保无尘室内的舒适度和工作环境。
其次,千级无尘室标准的制定和执行是保证无尘室正常运行的关键。
在制定千级无尘室标准时,需要充分考虑无尘室所处行业的特点和要求,结合国家相关标准进行制定。
在执行千级无尘室标准时,需要严格按照标准要求进行操作和管理,定期进行无尘室的检测和维护,确保无尘室的洁净度和稳定性。
同时,还需要对无尘室内的人员进行培训,提高其对无尘室标准的认识和执行能力,从而保证无尘室的正常运行和使用效果。
最后,千级无尘室标准的不断完善和提升是保证无尘室持续发展的重要保障。
随着科技的不断进步和行业的发展,千级无尘室标准也需要不断进行更新和完善,以适应新的需求和技术要求。
同时,还需要加强对千级无尘室标准的宣传和推广,提高相关人员对无尘室标准的认识和重视程度,从而推动无尘室行业的健康发展。
综上所述,千级无尘室标准是保证无尘室正常运行和使用效果的重要依据,制定和执行千级无尘室标准,不断完善和提升千级无尘室标准,将有助于推动无尘室行业的健康发展,满足不同行业对洁净空间的需求。
千级无尘室管理规范

千级无尘室管理规范一、引言千级无尘室是一种具有高洁净度的特殊环境,广泛应用于医疗、制药、电子、食品等行业。
为了确保千级无尘室的正常运行和洁净度达标,制定一套科学合理的管理规范是必要的。
本文将详细介绍千级无尘室管理规范的相关要求和措施。
二、千级无尘室的分类和要求千级无尘室根据其洁净度等级分为A、B、C三个级别,级别越高,洁净度要求越高。
具体要求如下:1. A级无尘室:空气洁净度需达到ISO14644-1标准的Class5级别,颗粒物浓度不超过3,520个/m³。
2. B级无尘室:空气洁净度需达到ISO14644-1标准的Class6级别,颗粒物浓度不超过35,200个/m³。
3. C级无尘室:空气洁净度需达到ISO14644-1标准的Class7级别,颗粒物浓度不超过352,000个/m³。
三、千级无尘室的管理要求1. 设备设施管理:- 定期检查和维护空气过滤器,确保其正常运行和过滤效果。
- 定期清洁和消毒无尘室内的设备和工具,防止污染源的存在。
- 定期校准和维护监测设备,确保准确监测洁净度和温湿度等参数。
2. 人员管理:- 管理人员应定期进行洁净室管理培训,提高其洁净室管理水平。
- 所有进入无尘室的人员必须穿戴符合要求的洁净服,并按规定进行洗手和消毒。
- 限制无关人员进入无尘室,减少外部污染源的引入。
3. 清洁管理:- 定期进行无尘室内的清洁工作,包括地面、墙壁、天花板等的清洁。
- 使用符合要求的洁净清洁剂,避免对无尘室造成污染。
- 清洁过程中严禁产生粉尘和污染物,必要时采取湿拖的方式进行清洁。
4. 空气质量控制:- 定期监测和记录无尘室内的空气洁净度、温湿度等参数,确保其达标。
- 定期检测和更换空气过滤器,确保其过滤效果符合要求。
- 严禁在无尘室内进行烟草或其他有害物质的吸食和使用。
5. 物料管理:- 进入无尘室的物料必须经过严格的检查和清洁,确保不带入污染物。
- 物料的存放和使用必须符合规定,避免交叉污染和混乱。
洁净室等级标准

洁净室等级标准【Federal Standard (FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。
分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0、5μm,例如,1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0、5μm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。
例如:10级在0、2μm(尘粒尺寸在0、2μm或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0、1μm(尘粒尺寸在0、1μm或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。
洁净度:洁净度10000级cleanliness class10000(P2万级实验室即ISO7级)即大于等于0、5μm的尘粒数大于35000粒/m3 (35粒/L)到小于等于粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0、3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。
压差及温湿度控制:1)温度:干盘管系统控制。
2)湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量。
3)正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。
检测标准:气流速度及其均匀度检测,是无尘室效果的其他各项检测的前提,这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。
1)室内洁净度的检测:洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别,可采用粒子计数器检测。
2)自净时间的检测:通过确定自净时间,查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。
3)照度的检测:照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。
4)振动的检测:振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。
5)温、湿度的检测:温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。
其内容包括检测无尘室的送风温度,检测有代表性测点的空气温度,检测无尘室中心点的空气温度,检测敏感元件处的空气度,检测室内空气相对温度,检测回风温度。
无尘室粒子标准

无尘室粒子标准无尘室是一种高洁净度的房间,主要用于制造高精度电子仪器、精密化学品和生物制品。
为了确认无尘室的真正洁净程度,需要对其内部的粒子数量进行评估。
存在许多粒子标准,用以评估无尘室的洁净程度。
本文将全面介绍几种常用的无尘室粒子标准。
1. ISO 14644-1标准ISO 14644-1标准是一种适用于洁净室中粒子计数的国际标准。
该标准将洁净度分为9个等级,即ISO 1-ISO 9,数字越小表示洁净度越高。
在ISO 14644-1标准中,要求对每个等级进行粒子计数,并确认其可达到对应的洁净度等级。
事实上,在实际应用中大多数无尘室通常被要求达到ISO 5级或更高等级的洁净度。
2. FS209E标准4. GMP标准GMP是制药行业中通用的质量管理标准。
其中包括一个称为“无菌制剂制造的技术指南”的章节,该章节提供了对无菌洁净度的要求。
须要对生产区域进行洁净标准分类,严格依照相应等级进行数量检测,并及时清洁。
GMP标准对于洁净工作与洁净设备的清洁和维护难度要求越来越高,同时对于标准方面的要求以及清洁设备的方法也会不断更新。
总结以上介绍的四种无尘室粒子标准,用于评估洁净度的方法和标准均有所不同,但是对于洁净度的要求十分严格。
在实际应用中,需要根据具体情况选择适当的标准来进行评估和检测,以保证无尘室的真正洁净程度。
本文将继续介绍一些无尘室粒子标准的相关内容。
一、粒径(Particle Size)粒子计数是指在特定的时间、空间和粒径尺寸内统计固体和液体颗粒的数量。
无尘室粒子计数设备需要能够准确地测量每单位体积内的微粒数并计算其密度,同时还能以统计数据的形式提供全面的信息。
针对不同的无尘室,粒子计数的结果受到多种因素的影响,包括室内空气流动、洁净度、机器运行等。
为了获得准确的结果,需要考虑室内实际运行状态并相应地进行调整。
在进行粒子计数时,总粒子数通常会从高到低依次计算,统计每个级别内的粒子数,以获得真正的洁净度级别。
无尘室洁净度参照标准 洁净度等级对照表1

无尘室洁净度参照标准洁净度等级对照表发布时间:2010.12.08 新闻来源:深圳汇龙净化-无尘车间设备生产厂家+洁净室净化装修工程公司阅读:[4650]次无尘室洁净度参照标准ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
■美国联邦标准(USAFederalStandard)209E(1992年)0.1 0.2 0.3 0.5 5.01 35.0 7.50 3.00 1.00 NA10 350 75.0 30.0 10.0 NA100 NA 750 300 100 NA1000 NA NA NA 1000 7.010000 NA NA NA 10000 70.3100000 NA NA NA 100000 700单位:尘埃数量个/ft3■中国药品生产洁净室(区)的空气洁净度标准≥0.5um ≥5um 浮游菌个/立方米沉降菌个/皿.30min100 3500 0 5 1 10000 350,000 2,000 100 3 100000 3,500,000 20,000 500 10 300000 10,500,000 61,800 NA 15 国家药品监督管理局1999年8月1日发布实施■基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表31 - - - - - - -3.5 2 - - - - 0 210.0 - M1 - - - - -35.3 3 M1.5 1 - - 1 3100 - M2 - - - - - 353 4 M2.5 10 - - 2 4 1,000 - M3 - - - - - 3,530 5 M3.5 100 A+B 4,000 3 5 10,000 - M4 - - - - - 35,300 6 M4.5 1,000 1,000 - 4 6 100,000 - M5 - - - - - 353,000 7 M5.5 10,000 C 400,000 5 7 1,000,000 - M6 - - - - - 3,530,000 8 M6.5 100,000 D 4,000,000 6 8 10,000,000 - M7 - - - - -■洁净室及洁净区空3气中悬浮粒子洁净度等级0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um1 10 22 100 24 10 43 1000 237 102 35 84 10000 2370 1020 352 835 100000 23700 10200 3520 832 296 1000000 237000 102000 35200 8320 2937 352000 83200 29308 3520000 832000 2930035200000 8320000 2930009。
万级无尘室设计标准

万级无尘室设计标准无尘室是指在一定的空气洁净度条件下,对气溶胶颗粒、微生物、有害气体和其他污染物质的控制有一定技术要求的洁净空间。
无尘室广泛应用于电子、生物医药、食品、航空航天等领域。
本文旨在阐述万级无尘室的设计标准。
二、空气洁净度万级无尘室的空气洁净度应符合GB/T 16292-2008《净化室空气洁净度》标准。
在操作空间内,空气中粒子数应小于等于1.0万个/m,粒径大于等于0.5μm的颗粒数应小于等于3.5万个/m。
三、室内温度、湿度和空气流速1.温度:无尘室温度应控制在18~26℃之间,相对湿度应控制在30%~60%之间。
2.空气流速:空气流速应控制在0.2~0.5m/s之间。
四、室内布局和设计要求1.室内布局:无尘室室内布局应合理,设备、器材、管道等应尽可能集中放置,避免复杂的管路和设备过多的接头。
进出口应该分开,并设计合理的过渡区,防止污染物进入无尘室内。
2.室内设计:无尘室的室内设计应符合卫生、安全、人性化的原则。
室内墙壁、地面、顶棚应光滑无缝,易于清洁消毒。
室内净化设备的选型和布局应考虑到操作人员的安全和操作便利性。
五、室内物品和人员管理1.室内物品:无尘室室内不允许存放杂物,应尽量减少室内物品的数量。
所有物品应存放在规定位置,保持整齐干净,并经常进行清洁消毒。
2.人员管理:无尘室内的操作人员应受过专业的培训,按规定程序进行操作,严格遵守操作规程。
操作人员应穿戴符合要求的洁净服和洁净鞋,进入无尘室前应进行清洁消毒。
六、室内清洁和消毒1.清洁:无尘室应定期进行清洁,清洁频率应根据室内使用情况和洁净度要求进行调整。
清洁过程中应遵循操作规程,使用规定的清洁工具和清洁剂,避免对室内环境造成污染。
2.消毒:无尘室应定期进行消毒,消毒频率应根据室内使用情况和洁净度要求进行调整。
消毒过程中应遵循操作规程,使用规定的消毒剂和消毒设备,避免对环境和人员造成伤害。
七、结语万级无尘室是一种高洁净度的洁净空间,其设计标准需要严格执行,以保证室内环境的洁净度和操作人员的安全。
最全洁净室等级标准

最全洁净室等级标准【洁净室等级标准】空气洁净度:洁净空气中含尘量多少的程度(即含尘浓度)。
含尘浓度高则洁净度低,含尘浓度低则洁净度高。
1、美国空军技术条令世界上第一个洁净度标准。
1961年3月问世。
美国联邦标准的基石。
2、美国联邦标准2091963年12月问世。
洁净室等级标准可以分为以下几个:洁净室(洁净室)需要将一定范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将无尘室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,为了达到这些效果而专门设计的无尘室不论外部空气如何变化,其室内均能有效维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室可以分为以下几个级别:也就是说值越小,净化级别就越高。
洁净度越高造价就越高。
无尘洁净室洁净度级别:一级>十级>百级>千级>万级>十万级>三十万级1级这个级别的洁净室主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。
10级这个级别的洁净室主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
100级很多人认为,这一级洁净室是最常用因而是最重要的洁净室,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
1000级(即千级洁净室)这个级别的洁净室主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
10000级万级洁净室用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级洁净室在医工业中也很常用。
100000级十万级洁净室用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级洁净室。
万级无尘室标准

万级无尘室标准无尘室是一种能够控制室内空气中颗粒物浓度、空气洁净度、室内温度、湿度、气流速度和气流分布等一系列关键参数的特殊场所。
万级无尘室是指其洁净度达到万级标准的无尘室,是一种非常重要的洁净环境,广泛应用于医药、电子、生物工程、精密机械制造等领域。
本文将详细介绍万级无尘室的标准及相关要求。
首先,万级无尘室的洁净度标准是按照ISO14644-1标准来确定的。
ISO14644-1标准将无尘室的洁净度分为不同级别,从ISO1到ISO9共分为十级,其中ISO1级为最洁净,ISO9级为最不洁净。
万级无尘室指的是其洁净度达到ISO7级标准,即每立方米空气中直径大于0.5微米的颗粒物数量不超过352000个。
其次,万级无尘室的温度和湿度控制也是非常重要的。
通常情况下,万级无尘室的温度控制在20-24摄氏度之间,湿度控制在30%-70%之间。
温度和湿度的稳定性对于无尘室内部的工艺和设备运行都有着至关重要的影响,因此必须严格控制。
此外,万级无尘室的气流速度和气流分布也是需要特别关注的。
气流速度的控制对于颗粒物的扩散和沉降有着重要的影响,必须根据具体的工艺要求来确定合适的气流速度。
而气流分布则需要保证整个无尘室内的空气流动均匀,避免死角和死区的产生。
最后,万级无尘室的建筑材料、设备和工艺流程也需要符合相应的标准要求。
建筑材料必须具有良好的密封性和耐腐蚀性,设备必须具有可靠的性能和稳定的运行,工艺流程必须具有合理的设计和严格的操作规范。
总之,万级无尘室是一种非常重要的洁净环境,其标准和要求对于各个行业的生产制造都有着重要的意义。
只有严格按照标准要求来设计、建造和运行万级无尘室,才能够保证其洁净度和稳定性,满足生产制造的需要。
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洁净室(无尘室)标准
2006-1-23
(一)洁净室之定义
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级
世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M
字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类
1.乱流式(Turbulent Flow):
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。
另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式(Laminar):
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。
其型式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所
产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式(Mixed Type):
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。
因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。
药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台:等级Class 1~100级。
洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
(五)洁净室气流之流动
洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。
然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度是选
0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以最适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。
速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在
0.25~0.5m/s之间。
影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
(六)洁净室之构成
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:
(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling
grid或Ceilingframe)。
(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。
洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;
B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;
C.吸湿性小;
D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;。