集成电路设计基础复习分析
集成电路考前必备复习考点
集成电路考前必备复习考点集成电路设计考点填空题1.NM L和NM H的概念，热电势，D触发器，D锁存器，施密特触发器。
低电平噪声容限：VIL-VOL高电平噪声容限：VOH-VIH这一容限值应该大于零热电势：两种不同的金属相互接触时，其接触端与非接触端的温度若不相等，则在两种金属之间产生电位差称为热电势。
2.MOS晶体管动态响应与什么有关？（本征电容P77）MOS晶体管的动态响应值取决于它充放电这个期间的本征寄生电容和由互连线及负载引起的额外电容所需要的时间。
本征电容的来源：基本的MOS结构、沟道电荷以及漏和源反向偏置PN结的耗尽区。
3.设计技术（其他考点与这种知识点类似）P147怎样减小一个门的传播延时：减小CL：负载电容主要由以下三个主要部分组成：门本身的内部扩散电容、互连线电容和扇出电容。
增加晶体管的宽长比提高VDD4.有比逻辑和无比逻辑。
有比逻辑：有比逻辑试图减少实现有一个给定逻辑功能所需要的晶体管数目，但它经常以降低稳定性和付出额外功耗为代价。
这样的门不是采用有源的下拉和上拉网络的组合，而是由一个实现逻辑功能的NMOS 下拉网络和一个简单的负载器件组成。
无比逻辑：逻辑电平与器件的相对尺寸无关的门叫做无比逻辑。
有比逻辑：逻辑电平是由组成逻辑的晶体管的相对尺寸决定的。
5.时序电路的特点：记忆功能的原理：（a）基本反馈；（b）电容存储电荷。
6.信号完整性。
（电荷分享，泄露）信号完整性问题：电荷泄露电荷分享电容耦合时钟馈通7.存储器与存储的分类按存储方式分随机存储器：任何存储单元的内容都能被随机存取，且存取时间和存储单元的物理位置无关。
顺序存储器：只能按某种顺序来存取，存取时间和存储单元的物理位置有关。
按存储器的读写功能分只读存储器(ROM)：存储的内容是固定不变的，只能读出而不能写入的半导体存储器。
随机读写存储器(RAM)：既能读出又能写入的半导体存储器。
按信息的可保存性分非永久记忆的存储器：断电后信息即消失的存储器。
集成电路设计方法--复习提纲
集成电路设计⽅法--复习提纲1.什么叫IC 的集成度？⽬前先进的IC规模有多⼤？集成度就是⼀块集成电路芯⽚中包含晶体管的数⽬，或者等效逻辑门数2012年5⽉ 71亿晶体管的NVIDIA的GPU 28nm2.什么叫特征尺⼨？特征尺⼨通常是指是⼀条⼯艺线中能加⼯的最⼩尺⼨，反映了集成电路版图图形的精细程度，如MOS晶体管的沟道长度，DRAM结构⾥第⼀层⾦属的⾦属间距（pitch）的⼀半。
3.⽬前主流的硅圆⽚直径是多少？12英⼨4.什么叫NRE(non-recurring engineering)成本?⽀付给研究、开发、设计和测试某项新产品的单次成本。
在集成电路领域主要是指研发⼈⼒成本、硬件设施成本、CAD⼯具成本以及掩膜、封装⼯具、测试装置的成本，产量⼩，费⽤就⾼。
5.什么叫recurring costs？重复性成本，每⼀块芯⽚都要付出的成本，包括流⽚费、封装费、测试费。
也称可变成本，指直接⽤于制造产品的费⽤，因此与产品的产量成正⽐。
包括：产品所⽤部件的成本、组装费⽤以及测试费⽤。
6.什么叫有⽐电路？靠两个导通管的宽长⽐不同，从⽽呈现的电阻不同来决定输出电压，它是两个管⼦分压的结果，电压摆幅由管⼦的尺⼨决定。
7.IC制造⼯艺有哪⼏种？双极型模拟集成电路⼯艺、CMOS⼯艺、BiCMOS⼯艺8.什么叫摩尔定律？摩尔定律⾯临什么样的挑战？当价格不变时，积体电路上可容纳的电晶体数⽬，约每隔24个⽉（现在普遍流⾏的说法是“每18个⽉增加⼀倍”）便会增加⼀倍，性能也将提升⼀倍；或者说，每⼀美元所能买到的电脑性能，将每隔18个⽉翻两倍以上。
⾯临⾯积、速度和功耗的挑战。
9.什么叫后摩尔定律？后摩尔定律下IC设计⾯临哪些挑战？解决⽅案？多重技术创新应⽤向前发展，即在产品多功能化(功耗、带宽等)需求下，将硅基CMOS和⾮硅基等技术相结合，以提供完整的解决⽅案来应对和满⾜层出不穷的新市场发展。
挑战：a单芯⽚的处理速度越来越快，主频越来越⾼，热量越来越多b.互联线延迟增⼤解决⽅案：1.多核、低功耗设计2.3D互联、⽆线互联、光互连延续摩尔定律“尺⼨更⼩、速度更快、成本更低”，还会利⽤更多的技术创新：节能、环保、舒适以及安全性架构：多核散热：研发新型散热器更薄的材料：⽤碳纳⽶管组装⽽成的晶体管速度更快的晶体管：超薄⽯墨烯做的晶体管纳⽶交叉线电路元件：忆阻器光学互联器件分⼦电路、分⼦计算、光⼦计算、量⼦计算、⽣物计算10. IC按设计制造⽅法不同可以分为哪⼏类？全定制IC：硅⽚各掩膜层都要按特定电路的要求进⾏专门设计半定制IC：全部逻辑单元是预先设计好的，可以从单元苦衷调⽤所需单元来掩模图形，可使⽤相应的EDA软件，⾃动布局布线可编程IC ：全部逻辑单元都已预先制成，不需要任何掩膜，利⽤开发⼯具对器件进⾏编程，以实现特定的逻辑功能。
《集成电路基础学习知识原理与设计》重要资料内容情况总结
集成电路原理与设计重点内容总结第一章绪论摩尔定律：（P4）集成度大约是每18个月翻一番或者集成度每三年4倍的增长规律就是世界上公认的摩尔定律。
集成度提高原因：一是特征尺寸不断缩小，大约每三年缩小一2倍；二是芯片面积不断增大，大约每三年增大1.5倍；三是器件和电路结构的不断改进。
等比例缩小定律：（种类优缺点）（P7-8）1. 恒定电场等比例缩小规律（简称CE定律）a. 器件的所有尺寸都等比例缩小K倍，电源电压也要缩小K倍，衬底掺杂浓度增大K倍,保证器件内部的电场不变。
b. 集成度提高忆倍，速度提高K倍，功耗降低K2倍。
c. 改变电源电压标准，使用不方便。
阈值电压降低，增加了泄漏功耗。
2. 恒定电压等比例缩小规律（简称CV定律）a. 保持电源电压和阈值电压不变，器件的所有几何尺寸都缩小K倍，衬底掺杂浓度增加忆倍。
b. 集成度提高忆倍，速度提高K2倍。
c. 功耗增大K倍。
内部电场强度增大，载流子漂移速度饱和，限制器件驱动电流的增加。
3. 准恒定电场等比例缩小规则（QCE）器件尺寸将缩小K倍，衬底掺杂浓度增加K（1< <K）倍，而电源电压则只变为原来的/K倍。
是CV和CE的折中。
需要高性能取接近于K,需要低功耗取接近于1。
写出电路的网表：A BJT AMPVCC 1 0 6Q1 2 3 0 MQRC 1 2 680RB 2 3 20KRL 5 0 1KC1 4 3 10UC2 2 5 10UVI 4 0 AC 1.MODEL MQ NPN IS=1E-14+BF=80 RB=50 VAF=100.OP.END其中.MODEL为模型语句，用来定义BJT晶体管Q1的类型和参数。
常用器件的端口电极符号器件名称端口付号缩与Q （双极型晶体管） C （集电极），B （基极），E （发射极），S （衬底）M （MO场效应管） D （漏极），G （栅极），S （源极），B （衬底）J （结型场效应管） D （漏极），G （栅极），S （源极）B （砷化镓场效应管） D （漏极），G （栅极），S （源极）电路分析类型.OP直流工作点分析.TRAN瞬态分析• DC直流扫描分析• FOUR傅里叶分析•TF传输函数计算.MC豕特卡罗分析•SENS灵敏度分析•STEP参数扫描分析.AC交流小信号分析•WCASE最坏情况分析• NOISE噪声分析•TEMP温度设置第二章集成电路制作工艺集成电路加工过程中的薄膜：（P15）热氧化膜、电介质层、外延层、多晶硅、金属薄膜。
07微电子《集成电路设计原理》考试复习材料
考试题型：一：填空题（7个题目，30分）二：简答题（4个题目，每小题6分，共24分）三：分析设计题（4个题目，10+12+12+12=46分）复习题目及参考答案：填空题1．按规模分类集成电路主要有哪些？小规模集成电路（SSI），中规模集成电路（MSI），大规模集成电路（LSI），超大规模集成电路（VLSI），特大规模集成电路（ULSI），巨大规模集成电路（GSI）。
2．什么是摩尔定律？参看教材第4页。
3．光刻的工艺过程有哪些？4. 什么是Scaling-down？Scaling-down是指集成电路中的器件尺寸等比例缩小，为了保证器件性能不变差，衬底掺杂浓度要相应增大。
5．影响阈值电压的因素有哪些？6．CMOS逻辑电路中NMOS管是增强型，PMOS管是增强型；NMOS管的体端接地，PMOS 管的体端接V。
D D7．CMOS逻辑电路的功耗由3部分组成，分别是动态功耗、开关过程中的短路功耗和静态功耗；增大器件的阈值电压有利于减小短路功耗和静态功耗。
8．饱和负载NMOS反相器的3个主要缺点是：输出高电平有阈值损失，输出低电平不是0，与比例因子Kr相关，输出低电平时有静态功耗。
9．三态输出电路的3种输出状态是：高电平、低电平和高阻态。
10.什么是衬偏效应？11.什么是上升时间和下降时间，什么是传输延迟时间？简答题1．MOS晶体管的三层结构，三个区域和四个电极分别指什么？参看教材第18页。
2．什么是闩锁效应？其防护措施是什么？答：闩锁效应是CMOS工艺所特有的寄生效应，严重会导致电路的失效，甚至烧毁芯片。
闩锁效应是由NMOS的有源区、P衬底、N阱、PMOS的有源区构成的n-p-n-p结构产生的，当其中一个三极管正偏时，就会构成正反馈形成闩锁。
防护措施：减小阱区和衬底的寄生电阻；降低寄生双极晶体管的增益；使衬底加反向偏压；加保护环；用外延衬底；采用SOICMOS 技术。
3．深亚微米CMOS工艺的主要改进是什么？答：1)浅沟槽隔离代替LOCOS隔离；2)外延双阱工艺代替单阱工艺；3)逆向掺杂和环绕掺杂代替均匀的沟道掺杂；4)对NMOS、PMOS分别采用n+ 、p+硅栅；5)在沟道两端形成很浅的源、漏延伸区；6)硅化物自对准结构；7)铜互联代替铝互联。
集成电路设计基础
集成电路设计基础集成电路设计是现代电子技术中的重要组成部分，它涉及到电路设计、布局、布线、仿真、验证等多个环节。
本文将从集成电路设计的基础知识入手，介绍一些常用的设计方法和流程。
一、集成电路设计的基本概念集成电路是将多个电子元器件集成在一块芯片上的电路。
它的设计过程主要包括逻辑设计和物理设计两个阶段。
逻辑设计是指根据电路的功能要求，使用逻辑门和触发器等基本逻辑单元，设计出满足特定功能的逻辑电路。
物理设计则是将逻辑电路映射到实际的物理布局上，包括芯片的布局、布线和电路的优化等。
二、集成电路设计的方法1. 逻辑设计方法逻辑设计是集成电路设计的第一步，它决定了电路的功能和性能。
常用的逻辑设计方法包括门级逻辑设计、寄存器传输级（RTL）设计和行为级设计等。
门级逻辑设计是指将逻辑电路表示为逻辑门的组合，可以使用与、或、非等基本逻辑门进行逻辑运算。
寄存器传输级设计则是将逻辑电路表示为寄存器和数据传输器的组合，它可以更直观地描述电路的数据流动。
行为级设计是指使用高级语言（如Verilog、VHDL等）描述电路的功能和行为。
2. 物理设计方法物理设计是将逻辑电路映射到实际的物理布局上，其目标是在满足电路功能和性能要求的前提下，尽可能减小电路的面积和功耗。
物理设计的主要步骤包括芯片的布局、布线和电路的优化。
芯片的布局是指将电路的各个逻辑单元按照一定的规则放置在芯片上，以满足电路的连接要求和良好的电路布局。
布线是指将逻辑单元之间的连线完成，使其能够正常传递信号。
布线的目标是尽量减小连线的长度和延迟，提高电路的运行速度。
电路的优化是指对布局和布线进行进一步的优化，以减小芯片的面积和功耗。
常用的优化方法包括逻辑优化、时钟树优化和功耗优化等。
三、集成电路设计的流程集成电路设计的流程一般包括需求分析、逻辑设计、验证、物理设计和后端流程等多个阶段。
需求分析阶段是确定电路的功能和性能要求，以及电路的输入输出特性等。
逻辑设计阶段是根据需求分析的结果，设计出满足功能和性能要求的逻辑电路。
集成电路设计基础复习
1. 在P 衬底硅片上设计的PMOS 管可以分为n+层、SiO 2层、多晶硅层、金属层和N 井层。
2. 在集成电路设计中，制造厂商所给的工艺中有R □为它成为（方块电阻）。
3. MOS 管元件参数中的C ox 是栅极单位面积所具有的（电容值）。
4. 对于NMOS 而言，工作在饱和区中，其漏电流I D 等于（21()2D P ox GS TH WI C V V Lμ=-），不能使用β或K 来表示。
5. 对于PMOS 而言，工作在饱和区中，其漏电流I D 等于（21(||)2D P ox SG TH WI C V V Lμ=--），不能使用β或K 来表示。
6. 对于工作在饱和区的NMOS 而言，其g m 等于（2Dm GS THI g V V =-），只能有I D 和过驱动电压表示。
7. 对于工作在饱和区的NMOS 而言，其g m等于（m g =），只能有I D 、W 、L 以及工艺参数表示。
8. 根据MOS 管特征曲线划分的四个工作区域，可以作为MOS 电阻的区域为（深度三极管区）。
9. 根据MOS 管特征曲线划分的四个工作区域中，可以作为电流源的区域为（饱和区）。
10. 对于NMOS 而言，导电沟道形成，但没有产生夹断的外部条件为（V DS 小于V GS -V TH ）。
11. 差动信号的优点，能（有效抑制共模噪声），增大输出电压摆幅，偏置电路更简单和输出线性度更高。
12. 分析MOS 共栅放大电路，其电流增益约等于（1）。
13. 差动信号的优点，能有效抑制共模噪声，增大输出电压摆幅，偏置电路更简单和（输出线性度更高）。
14. 共源共栅电流镜如下图所示，当V X 电压源由大变小的过程中，M2和M3管，（M3）先退出饱和区。
1. 根据MOS管特征曲线划分的四个工作区域中，可以作为电流源的区域为（ B ）。
A 线性区B 饱和区C 截止区D 三极管区2. 根据MOS管特征曲线划分的四个工作区域中，可以作为MOS电阻的区域为（ A ）。
集成电路设计方法--复习提纲
集成电路设计方法--复习提纲2、实际约束：设计最优化约束：建立时钟，输入延时，输出延时，最大面积设计规则约束：最大扇出，最大电容39.静态时序分析路径的定义静态时序分析通过检查所有可能路径上的时序冲突来验证芯片设计的时序正确性。
时序路径的起点是一个时序逻辑单元的时钟端，或者是整个电路的输入端口，时序路径的终点是下一个时序逻辑单元的数据输入端，或者是整个电路的输出端口。
40.什么叫原码、反码、补码？原码：X为正数时，原码和X一样；X为负数时，原码是在X的符号位上写“1”反码：X为正数是，反码和原码一样；X为负数时，反码为原码各位取反补码：X为正数时，补码和原码一样；X为负数时，补码在反码的末位加“1” 41.为什么说扩展补码的符号位不影响其值？ SSSS SXXX = 1111 S XXX + 1 ——2n2n12n1例如1XXX=11XXX,即为XXX-23=XXX+23-24.乘法器主要解决什么问题？ 1.提高运算速度2.符号位的处理43.时钟网络有哪几类？各自优缺点？ 1. H树型的时钟网络：优点：如果时钟负载在整个芯片内部都很均衡，那么H 树型时钟网络就没有系统时钟偏斜。
缺点：不同分支上的叶节点之间可能会出现较大的随机偏差、漂移和抖动。
2. 网格型的时钟网络优点：网格中任意两个相近节点之间的电阻很小，所以时钟偏差也很小。
缺点：消耗大量的金属资源，产生很大的状态转换电容，所以功耗较大。
3.混合型时钟分布网络优点：可以提供更小的时钟偏斜，同时，受负载的影响比较小。
缺点：网格的规模较大，对它的建模、自动生成可能会存在一些困难。
总线的传输机制？1. 早期：脉冲式机制和握手式机制。
脉冲式机制：master发起一个请求之后，slave在规定的t时间内返回数据。
握手式机制：master发出一个请求之后，slave在返回数据的时候伴随着一个确认信号。
这样子不管外设能不能在规定的t时间内返回数据，master都能得到想要的数据。
(完整版)集成电路设计复习题及解答
集成电路设计复习题绪论1．画出集成电路设计与制造的主要流程框架。
2．集成电路分类情况如何？集成电路设计1．层次化、结构化设计概念，集成电路设计域和设计层次2．什么是集成电路设计？集成电路设计流程。
（三个设计步骤：系统功能设计逻辑和电路设计版图设计）3．模拟电路和数字电路设计各自的特点和流程4．版图验证和检查包括哪些内容？如何实现？5．版图设计规则的概念，主要内容以及表示方法。
为什么需要指定版图设计规则？6．集成电路设计方法分类？（全定制、半定制、PLD）7．标准单元/门阵列的概念，优点/缺点，设计流程8．PLD设计方法的特点，FPGA/CPLD的概念9．试述门阵列和标准单元设计方法的概念和它们之间的异同点。
10．标准单元库中的单元的主要描述形式有哪些？分别在IC设计的什么阶段应用？11．集成电路的可测性设计是指什么？Soc设计复习题1.什么是SoC？2.SoC设计的发展趋势及面临的挑战？3.SoC设计的特点?4.SoC设计与传统的ASIC设计最大的不同是什么？5.什么是软硬件协同设计？6.常用的可测性设计方法有哪些？7. IP的基本概念和IP分类8.什么是可综合RTL代码?9.么是同步电路，什么是异步电路，各有什么特点？10.逻辑综合的概念。
11.什么是触发器的建立时间（Setup Time），试画图进行说明。
12.什么是触发器的保持时间（Hold Time），试画图进行说明。
13. 什么是验证，什么是测试，两者有何区别？14.试画图简要说明扫描测试原理。
绪论1、 画出集成电路设计与制造的主要流程框架。
2、集成电路分类情况如何？集成电路设计1． 层次化、结构化设计概念，集成电路设计域和设计层次分层分级设计和模块化设计．将一个复杂的集成电路系统的设计问题分解为复杂性较低的设计级别，⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎩⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎨⎧⎪⎪⎪⎪⎩⎪⎪⎪⎪⎨⎧⎩⎨⎧⎩⎨⎧⎪⎪⎪⎪⎩⎪⎪⎪⎪⎨⎧⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎩⎪⎪⎪⎪⎪⎪⎨⎧⎩⎨⎧⎪⎪⎪⎪⎩⎪⎪⎪⎪⎨⎧⎩⎨⎧⎪⎩⎪⎨⎧按应用领域分类数字模拟混合电路非线性电路线性电路模拟电路时序逻辑电路组合逻辑电路数字电路按功能分类GSI ULSI VLSI LSI MSI SSI 按规模分类薄膜混合集成电路厚膜混合集成电路混合集成电路B iCMOS B iMOS 型B iMOS CMOS NMOS PMOS 型MOS双极型单片集成电路按结构分类集成电路这个级别可以再分解到复杂性更低的设计级别；这样的分解一直继续到使最终的设计级别的复杂性足够低，也就是说，能相当容易地由这一级设计出的单元逐级组织起复杂的系统。
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1、解释基本概念：集成电路，集成度，特征尺寸参考答案：A、集成电路（IC：integrated circuit）是指通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，“集成”在一块半导体晶片（如硅或砷化镓）上，封装在一个外壳内，执行特定电路或系统功能的集成块。
B、集成度是指在每个芯片中包含的元器件的数目。
C、特征尺寸是代表工艺光刻条件所能达到的最小栅长（L）尺寸。
2、写出下列英文缩写的全称：IC，MOS，VLSI，SOC，DRC，ERC，LVS，LPE参考答案：IC：integrated circuit；MOS：metal oxide semiconductor；VLSI：very large scale integration；SOC：system on chip；DRC：design rule check；ERC：electrical rule check；LVS：layout versus schematic；LPE：layout parameter extraction3、试述集成电路的几种主要分类方法参考答案：集成电路的分类方法大致有五种：器件结构类型、集成规模、使用的基片材料、电路功能以及应用领域。
根据器件的结构类型，通常将其分为双极集成电路、MOS集成电路和Bi-MOS集成电路。
按集成规模可分为：小规模集成电路、中规模集成电路、大规模集成电路、超大规模集成电路、特大规模集成电路和巨大规模集成电路。
按基片结构形式，可分为单片集成电路和混合集成电路两大类。
按电路的功能将其分为数字集成电路、模拟集成电路和数模混合集成电路。
按应用领域划分，集成电路又可分为标准通用集成电路和专用集成电路。
4、试述“自顶向下”集成电路设计步骤。
参考答案：“自顶向下”的设计步骤中，设计者首先需要进行行为设计以确定芯片的功能；其次进行结构设计；接着是把各子单元转换成逻辑图或电路图；最后将电路图转换成版图，并经各种验证后以标准版图数据格式输出。
5、比较标准单元法和门阵列法的差异。
参考答案：标准单元方法设计与门阵列法基本的不同点有：(1) 在门阵列法中逻辑图是转换成门阵列所具有的单元或宏单元，而标准单元法则转换成标准单元库中所具有的标准单元。
(2) 门阵列设计时首先要选定某一种门复杂度的基片，因而门阵列的布局和布线是在最大的门数目、最大的压焊块数目、布线通道的间距都确定的前提下进行的。
标准单元法则不同，它的单元数、压焊块数取决于具体设计的要求，而且布线通道的间距是可变的，当市线发生困难时，通道间距可以随时加大，因而布局和布线是在一种不太受约束的条件下进行的。
(3) 门阵列设计时只需要定制部分掩膜版，而标准单元设计后需要定制所有的各层掩膜版。
6、按规模划分，集成电路的发展已经历了哪几代？参考答案：按规模，集成电路的发展已经经历了：SSI、MSI、LSI、VLSI、ULSI及GSI。
7、试述集成电路制造中，导体、半导体和绝缘体各起什么作用。
参考答案：导体：（1）构成低值电阻；（2）构成电容元件的极板；（3）构成电感元件的绕线；（4）构成传输线（微带线和共面波导）的导体结构；（5）与轻掺杂半导体构成肖特基结接触；（6）与重掺杂半导体构成半导体器件的电极的欧姆接触；（7）构成元器件之间的互连；（8）构成与外界焊接用的焊盘。
半导体：（1）制作衬底材料；（2）构成MOS管的源漏区，集成电路中的基本元件就是依据半导体的特性构成。
绝缘体：（1）构成电容的介质；（2）构成MOS（金属-氧化物-半导体）器件的栅绝缘层；（3）构成元件和互连线之间的横向隔离；（4）构成工艺层面之间的垂直向隔离；（5）构成防止表面机械损伤和化学污染的钝化层。
8、试述半导体特性及其应用。
参考答案：半导体的电导率在10-22 S·cm-1~10-14 S·cm-1之间，导电性能介于导体与绝缘体之间，半导体的特点是其电导率随外界条件的变化而急剧变化。
温度变化、光照，掺入杂质等都能显著改变半导体的导电性能。
半导体的广泛应用：热敏电阻（测温度和自动控制）；光敏电阻（自动控制）；晶体管；集成电路和超大规模集成电路等。
9、列举两种典型的金属与半导体接触。
参考答案：一种是整流接触，即制成肖特基势垒二极管；另一种是非整流接触，即欧姆接触。
10、解释欧姆型接触和肖特基型接触。
参考答案：半导体表面制作了金属层后，根据金属的种类及半导体掺杂浓度的不同，可形成欧姆型接触或肖特基型接触。
如果掺杂浓度比较低，金属和半导体结合面形成肖特基型接触。
如果掺杂浓度足够高，金属和半导体结合面形成欧姆型接触。
11、试比较p-n结和肖特基结的主要异同点。
参考答案：共同点：由载流子进行电流传导。
不同点：p-n结由少数载流子来进行电流传导；肖特基结的主要传导机制是半导体中多数载流子的热电子发射越过电势势垒而进入金属中。
12、试述PN结的空间电荷区是如何形成的。
参考答案：在PN结中，由于N区中有大量的自由电子，由P区扩散到N区的空穴将逐渐与N区的自由电子复合。
同样，由N区扩散到P区的自由电子也将逐渐与P区内的空穴复合。
于是在紧靠接触面两边形成了数值相等、符号相反的一层很薄的空间电荷区，称为耗尽层。
13、MOS器件结构的对称性使其源漏区可以互换，双极型器件是否也具有同样的特点？若没有，请说明原因。
参考答案：双极型器件的集电极与发射极不具有对称性，不能互换。
虽然双极型器件原理图显示两个PN结是对称的，但实际制造时发射区的掺杂浓度远远高于集电区，而集电结的面积大于发射结的面积。
14、什么是MOS管的阈值电压。
参考答案：引起沟道区产生强表面反型的最小栅电压，称为阈值电压V T。
15、讨论MOS器件源漏电流与其几何尺寸的关系。
参考答案：根据本章给出的式（2.3）可知，MOS器件的栅长L减小，源漏电流增大；栅宽W减小，源漏电流减小。
但同时减小L和W，理论上可保持源漏电流不变。
16、MOS管的跨导系数与哪些参数有关？参考答案：β是MOS晶体管的跨导系数，β与工艺参数及器件的几何尺寸有关，其关系为：)(L Wt ox μεβ=17、试画出MOS 器件跨导与源漏电压的函数曲线。
参考答案：18、根据式（2.3），试推导PMOS 器件在不同工作区域的理想表达式。
参考答案：0 (a) 截止区I ds ＝ ()⎥⎦⎤⎢⎣⎡---22ds ds t gs V V V V β （b ）线性区()22t gs V V --β（c ）饱和区 18、集成电路主要有哪些基本制造工艺。
参考答案：集成电路基本制造工艺包括：外延生长，掩模制造，光刻，刻蚀，掺杂，绝缘层形成，金属层形成等。
19、什么叫硅的热氧化？有哪几种热氧化技术？参考答案：硅的热氧化法是指硅与氧或水汽，在高温下经化学反应生成SiO 2。
根据氧化剂的不同，热氧化可分为干氧氧化、水汽氧化和湿氧氧化。
20、试述晶体外延的意义，列出三种外延方法。
参数答案：晶体外延的意义是：用同质材料形成具有不同掺杂种类及浓度，因而具有不同性质的晶体层。
晶体外延的方法主要有：气相外延生长、金属有机物气相外延生长、分子束外延生长。
21、解释：同质外延、异质外延。
参考答案：外延生长时，当衬底与外延层为同种材料时称为同质外延，同质外延的目的是形成具有不同掺杂种类及浓度的晶体层，因而它可以具有不同性能。
当两者材料相异时称异质外延，异质外延用来形成各种异质结构的器件，如异质结晶体管（HBT）。
22、掩模在IC制造过程中有什么作用？参考答案：任何半导体器件及IC都是一系列相联系的基本单元的组合，如导体、半导体及在基片不同层上形成的不同尺寸的隔离材料等。
要制作出这些结构需要一套掩模。
因此掩模是IC 制造过程中必须要经过的一个重要环节。
23、比较整版掩模和单片掩模的区别，并列举三种掩模的制造方法。
参考答案：整版按统一的放大率印制，因此称为1X掩模。
这种掩模在一次曝光中，对应着一个芯片阵列的所有电路的图形都被映射到基片的光刻胶上。
单片版通常把实际电路放大5或10倍，故称作5X或10X掩模。
这样的掩模上的图案仅对应着基片上芯片阵列中的一个单元。
上面的图案可通过步进曝光机映射到整个基片上。
掩模的制造方法：a、图案发生器法；b、x射线制版；c、电子束描述法。
24、光刻的作用是什么？列举两种常用曝光方式。
参考答案：光刻是集成电路加工过程中的重要工序，作用是把掩模版上的图形转换成晶圆上的器件结构。
曝光方式：接触式和非接触式25、简述光刻工艺步骤。
参考答案：涂光刻胶，曝光，显影，腐蚀，去光刻胶。
26、光刻胶正胶和负胶的区别是什么？参考答案：正性光刻胶受光或紫外线照射后感光的部分发生光分解反应，可溶于显影液，未感光的部分显影后仍然留在晶圆的表面，它一般适合做长条形状；负性光刻胶的未感光部分溶于显影液中，而感光部分显影后仍然留在基片表面，它一般适合做窗口结构，如接触孔、焊盘等。
27、试述曝光时间对设计的图形的影响。
参考答案：曝光时间对设计图形的影响主要是：若曝光时间较长，对于正性光刻胶则得到的图形实际尺寸比预先设计的可能要小；对于负性光刻胶情况正相反。
28、掺杂的目的是什么？举出两种掺杂方法并比较其优缺点。
参考答案：掺杂的目的是形成特定导电能力的材料区域，包括N型或P型半导体区域和绝缘层，以构成各种器件结构。
掺杂的方法有：热扩散法掺杂和离子注入法掺杂。
与热扩散法相比，离子注入法掺杂的优点是：可精确控制杂质分布，掺杂纯度高、均匀性好，容易实现化合物半导体的掺杂等；缺点是：杂质离子对半导体晶格有损伤，这些损伤在某些场合完全消除是无法实现的；很浅的和很深的注入分布都难以得到；对高剂量的注入，离子注入的产率要受到限制；一般离子注入的设备相当昂贵，29、IC制造中常采用什么方法形成金属层？它的作用是什么？参考答案：金属层的形成主要采用物理汽相沉积(Pysical Vapor Deposition，简称PVD)技术。
在半导体工艺发展过程中，主要的PVD技术有蒸镀和溅镀两种。
金属层的作用有：（1）形成器件本身的接触线；（2）形成器件间的互连线；（3）形成焊盘。
30、列举两种集成电路制造中的器件隔离结构，并比较其优缺点。
参考答案：两种最常用的隔离结构：局部氧化隔离法隔离(LOCOS)和浅沟槽隔离(STI)。
局部氧化隔离法会产生“鸟嘴”效应，影响器件的性能；浅沟槽隔离法能有效地减小“鸟嘴”效应。
31、试述“鸟嘴”效应是如何产生的？它对MOS器件有什么影响？参考答案：通常，IC器件之间通过氧化去来隔离的，在局部氧化隔离工艺中，由于氧化过程中的渗透作用，造成了氧化区具有“鸟嘴形”。
这种形状造成了有源区的变化，器件的宽度不再是版图上所画的。