【国家自然科学基金】_电子束光刻_基金支持热词逐年推荐_【万方软件创新助手】_20140801
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【国家自然科学基金】_pan_基金支持热词逐年推荐_【万方软件创新助手】_20140731
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科研热词 数值模拟 大鼠 合成 基因表达 细胞凋亡 镁合金 聚丙烯腈 神经网络 遗传算法 腐蚀 目标跟踪 有限元 晶体结构 土壤 食管癌 鉴定 配合物 聚苯胺 稳定性 碳纳米管 玉米 燃烧合成 激光技术 模型 故障诊断 增殖 土壤有机碳 吸附 高效液相色谱 预测 静电纺丝 铜 超声检查 质子交换膜 试验 自适应 肝脏 聚乙二醇 细胞增殖 细胞周期 磁场 猪链球菌 特征提取 燃料电池 混凝土 水稻土 气候变化 无线传感器网络 成骨细胞 岩石力学 动脉粥样硬化 克隆
重金属 车辆路径问题 血管平滑肌细胞 自组装 胰岛素抵抗 肿瘤 聚合酶链反应 聚丙烯腈纤维 聚丙烯腈(pan) 综述 纳米纤维 粗糙集 神经元 碳纤维 猪 激发态 流固耦合 数据融合 支持向量机 抗压强度 成纤维细胞 性能分析 快淬薄带 异常检测 建模 序列分析 小鼠 小波变换 土地利用 危险因素 动物模型 力学性能 高温超导 骨髓间充质干细胞 预氧化 非线性 非共价复合物 降解 阿尼玛卿缝合带 长江口 长期施肥 镉 钱塘江 遥感 迁移 轨道交通 超重力 质子交换膜燃料电池 表达 血管新生 血管支架 蚁群算法 虚拟仪器 蒸发皿蒸发量
【国家自然科学基金】_热激活_基金支持热词逐年推荐_【万方软件创新助手】_20140731
2009年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27
科研热词 磁化反转 动态应变时效 交换偏置场 铝合金 铝 铜铁矿 过冷奥氏体 过共析钢 自旋阀 稳定性 热激活变形 热激活 热弛豫 极性缺陷复合体 本构模型 应变率 应力松弛 带隙 工艺参数 塑性流动 动态转变 介电驰豫 zr-4合金 p型 pbzr0.38ti0.62o3多层膜 irmn基自旋阀 fe掺杂cualo2
推荐指数 2 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2010年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
科研热词 高温超导体 面内/面外屈曲形式 诱发应力 表观活化能 磁通动力学 磁弛豫 电导率 球铁 热激活 热变形 流变应力 极小势能原理 掺磷 掺硼碳 折叠变形 应变速率 应变能 应力诱发马氏体 导电机制 基底偏压 四面体非晶碳 反应控制机制 单向emc层合板 ti-10v-2fe-3al
推荐指数 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2011年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52
2008年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38
【国家自然科学基金】_polyimide_基金支持热词逐年推荐_【万方软件创新助手】_20140801
107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119 120 121 122 123 124 125 126 127 128 129 130 131 132 133 134 135 136 137 138 139 140 141 142 143
复合薄膜 复合膜 吸附特性 吸附 含金属 含磷二胺 含硅聚酰亚胺 合成 可溶性 变频电机 取向膜 双(4-氨基苯氧基)二甲基硅烷 原子氧辐照 原子氧 原位聚合 原位改性 动态吸附曲线 加氢 功能炭膜 分形 凝固性能 光致变色 光电性能 光学制造 光响应 偶氮苯发色团 偶氮聚酰亚胺 二氯二甲基硅烷 γ -al_2o_3 α -al_2o_3 z-扫描 x射线光刻 pi/sio_2薄膜 li和ti改性的氧化镍 btda/m-pda聚酰亚胺 al2o3/聚酰亚胺杂化薄膜 3-[(4-苯基乙炔基)邻苯二甲酰亚胺基]丙基三
推荐指数 29 6 3 3 3 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2010年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52
科研热词 推荐指数 聚酰亚胺 16 溶解性 3 表征 2 纳米al2o3 2 杂化薄膜 2 复合材料 2 介电性能 2 铂薄膜 1 钯-铂双层膜 1 钛酸钡 1 透过率 1 近红外 1 迁移率 1 超支化聚酰亚胺 1 薄膜 1 脂环二酐 1 聚集态结构 1 聚酰亚胺膜 1 聚酰亚胺复合材料 1 聚酰亚胺基杂化薄膜 1 聚酰亚胺(pi) 1 耐电晕性能 1 耐电晕 1 老化 1 结晶 1 纳迪克酰亚胺 1 纳米氧化铝 1 纳米杂化膜 1 纳米杂化 1 纳米三氧化二铝 1 紫外-可见吸收光谱 1 碳纤维 1 硅烷偶联剂 1 电阻率 1 电气强度 1 电学性能 1 电击穿场强 1 玻璃化转变温度 1 热重法 1 热稳定性 1 热分解温度 1 有机高分子材料 1 有机场效应晶体管(ofet) 1 改性 1 摩擦性能 1 损耗 1 扰动 1 戊二烯酮 1 性能 1 异构体 1 异构二酐 1 并五苯 1
【国家自然科学基金】_激光光刻_基金支持热词逐年推荐_【万方软件创新助手】_20140802
推荐指数 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2009年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38
2012年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52
2011年 科研热词 推荐指数 序号 空间分辨率 2 1 移相干涉术 2 2 电子束刻印 2 3 点衍射干涉仪 2 4 半导体光刻 2 5 光学测量 2 6 光刻 2 7 飞秒激光 1 8 阵列波导光栅(awg) si纳米线波导1 电子束光刻(ebl) 感应耦合等离子(icp)刻蚀 9 阵列波导光栅(awg) 1 10 镂空透射光栅 1 11 连续浮雕衍射透镜 1 12 超高分辨率 1 13 谐衍射 1 14 计算机辅助装调 1 15 角动量 1 16 衍射效率 1 17 色差 1 18 脉冲激光沉积 1 19 绝缘层上硅(soi)纳米线波导 1 20 线宽 1 21 等离子刻印 1 22 神经网络 1 23 相干辐射 1 24 相干性 1 25 相干光源 1 26 电子束光刻 1 27 物理光学 1 28 焦深 1 29 深紫外 1 30 消色差 1 31 浸没干涉光刻 1 32 毛细管放电 1 33 极紫外光源 1 34 极紫外光刻 1 35 有限差分法 1 36 最新进展 1 37 无模光刻 1 38 成像系统 1 39 德拜矢量衍射积分 1 40 微透镜阵列 1 41 微电镀 1 42 微小光学 1 43 微加工 1 44 异形孔径 1 45 平行度和光洁度 1 46 干涉光学格点 1 47 工艺优化 1 48 大数值孔径聚焦 1 49 原子汇聚 1 50 原子光刻 1 51 压电力显微镜 1 52
【国家自然科学基金】_电光材料_基金支持热词逐年推荐_【万方软件创新助手】_20140802
推荐指数 3 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2009年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52
科研热词 聚合物分散液晶 相分离 电光性能 慢光 全息聚合物分散液晶 光子晶体波导 高速电光调制器 闪锌矿结构 铌酸锂 铁电薄膜 超微粉体 谐振腔 记忆效应 衍射效率 脉冲固体激光器 能带结构 聚合诱导相分离 聚合物分散液晶膜 聚合物 硅基发光 电光转换效率 电光系数 电光效应 电光性质 生色团 热焦距 液晶 水热合成法 有机非线性光学材料 无机-有机杂化 态密度 平面波展开法 密度泛函理论 多氰基 合成装置 合成 反向原子转移自由基聚合 双键转化率 原子转移自由基聚合 单模条件 动态调制 共轭链 光陷阱 光聚合诱导相分离 光波导 光束质量 光互连 偏振无关 互补金属氧化物半导体 二阶非线性光学 二维光栅 yag激光器
53 n*-sc*相变 54 ingaas/gaasp量子阱
1 1
53 soi 54 nd
推荐指数 2 2 2 2 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2008年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52
【国家自然科学基金】_fabry-perot_基金支持热词逐年推荐_【万方软件创新助手】_20140801
1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
53 54 55 56 57 58 59 60 61 62
信号解调 人工磁导体 串联复用 s3c2440 fabry-perot谐振天线 fabry-perot滤波 fabry-perot效应 fabry-perot干涉仪 f-p干涉腔 ebg谐振天线
2008年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52
ห้องสมุดไป่ตู้
53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92
周期振荡 可调谐光纤fabry-perot(tf 可调谐光纤f-p滤波器 可调谐光滤波器 可调谐ffp 印刷天线 单值性 半导体激光器 半导体光放大器 动态 全光帧时钟提取 光通信技术 光谱探测器 光纤通信 光纤激光器 光纤法布里-珀罗腔 光纤布拉格光栅(fbg) 光纤布拉格光栅 光纤传感 光纤f-p传感器 光电探测器 光时分复用 光子晶体光纤 傅里叶变换 信号解调 传感器技术 传感 优化设计 人工磁导体 交叉增益调制 三次样条插值 fp激光器 fabry-perot谐振器 fabry-perot腔 fabry-perot结构 fabry-perot滤波器 f-p传感器 f-p)滤波器 czt cmos
【国家自然科学基金】_相对论电子束_基金支持热词逐年推荐_【万方软件创新助手】_20140730
科研热词 推荐指数 粒子模拟 3 高功率微波 2 相对论电子束 2 非线性互作用 1 阿秒脉冲 1 速度压缩 1 轫致辐射 1 超短电子束 1 超强激光与等离子体相互作用 1 超宽频谱 1 蒙特卡罗碰撞 1 自激振荡 1 自洽方程 1 耦合阻抗跃变 1 相干渡越辐射 1 相对论速调管放大器 1 相对论速调管 1 相对论返波管 1 电子热传导 1 电子回流 1 激光物理 1 激光功率密度 1 激光光斑 1 测量 1 汤姆逊散射 1 束靶相互作用 1 束团序列 1 新型反射腔 1 数值模拟 1 抑制 1 微波电子枪 1 强流电子束 1 多频 1 填充气体 1 同轴相对论返波管 1 同轴相对论返波振荡器 1 叠靶 1 双波段 1 加速梯度 1 免疫证明 1 光电阴极 1 亚皮秒 1 geant4 1
2008年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17光采样 高功率微波 超辐射 超短脉冲电子 色散关系 粒子模拟 等离子体 离子通道 离子输运 离子聚焦通道 相对论返波管 相对论电子束 琼斯矩阵 束波互作用 束团长度测量 束团长度 数值计算 慢波特性 强流相对论电子束 库仑场 介电率张量
2012年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26
科研热词 高功率微波 粒子模拟 渡越辐射 高效率 频率捷变 非线性互作用 谐振反射器 色散关系 相对论返波管 相对论电子束 束波相互作用 无箔 强流相对论电子束 太赫兹 多模 增长率 回旋自谐振脉塞 同轴返波振荡器 同轴相对论返波管 反射腔 双频 双流不稳定性 协变流体方程 切伦柯夫辐射 低阻 x波段双频输出
推荐指数 2 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
【国家自然科学基金】_光刻机_基金支持热词逐年推荐_【万方软件创新助手】_20140731
推荐指数 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2011年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16
科研热词 离轴照明 照明系统设计 模糊pid控制 时间相干性 同步扫描 双直线电机 单一透射率 几何光学 准分子激光光源 公差分析 光源模型 光学光刻 光刻 一维扩束单元 simulink sigmoid函数
2014年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9
科研热词 运动控制 设计原则 精度实现 控制面板 工作台 关键问题 光刻机 人机界面 人机工程学
推荐指数 1 1 1 1 1 1 1 1 1
推荐指数 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2013年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49
推荐指数 1 1 1 1பைடு நூலகம்1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2012年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23
科研热词 亚微米 非平行反射扩束单元 调平调焦 误差分析 衍射干涉 衍射光栅 结构设计 状态反馈 照明均匀性 有限元分析 投影物镜 干法刻蚀 子光束叠加 失效分析 可变光阑 双工件台光刻机 几何光学 光学器件 光刻机工件台 光刻机 光刻术 位相型 严格耦合波分析算法
2013年 科研热词 光刻机 相位延迟 波片 极紫外光刻 预测控制 降噪 超精密工件台 误差 计算流体动力学 空间矢量脉宽调制 空间像 碳沉积 碳氢化合物污染模型 硅片扫描 直线电机 电磁推力 电流环 环形绕组 物理光学 浸液流动 测量 波像差检测 污染控制 永磁直线同步电机 永磁同步直线电机 氧化 极槽比 智能控制 无铁心直线电机 无铁心 成像系统 多种群遗传算法 多目标优化 多层膜光学元件 双折射 加权最小二乘法 分数槽集中绕组 光学表面污染 光学器件 光学制造 偏振检测技术 优化设计 二次电子 pid控制器 o光 modelica fpga e光 arm 推荐指数 6 2 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
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2012年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16
科研热词 间距 纳磁体 磁力显微图 电子束光刻 斜蒸发 悬空掩膜结构 微纳米加工技术 微光刻技术 双层胶 双层光刻胶 分辨率增强技术 光学技术 下一代光刻技术 t型栅 al/al2o3/al隧道结 1次曝光1次显影
53 x射线光刻 54 f-p谐振腔
1 1
2011年 科研热词 推荐指数 下一代光刻技术 2 谐振器 1 计算全息图(cgh) 1 表面等离子体 1 表面光学 1 衍射光学 1 聚焦离子束 1 绝缘体上si(soi) 1 纳米线波导 1 纳米线 1 纳米加工技术 1 级联 1 紫外光曝光 1 等离子体刻蚀 1 硅绝缘体 1 电子束邻近效应校正(epc) 1 电子束直写(ebdw) 1 电子束直写 1 电子束曝光技术 1 电子束光刻技术 1 电子束光刻 1 特征尺寸 1 热光效应 1 滤波器 1 消光特性 1 氮化铌 1 条纹对比度 1 探测器 1 微纳米加工技术 1 微电镀 1 微电子技术 1 微环谐振(mrr) 1 微环 1 微光刻技术 1 微光刻 1 延迟线 1 带宽和 1 复合材料 1 图形数据处理 1 可制造性设计 1 占空比 1 单光子 1 匹配与混合光刻 1 分辨率增强技术 1 光学光刻技术 1 光子 1 体硅腐蚀 1 x光平响应 1 l-edit图形编辑器 1
推荐指数 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2013年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34
科研热词 电子束光刻 高分辨率光刻 高分辨率 零宽度线曝光 阵列 邻近效应 蓝宝石 肖特基势垒 纳米图形 碳纳米管 电子束光刻(ebl) 灵敏度 极紫外投影光刻 时域有限差分法 掩模 拉曼光谱 抗蚀剂 应变弛豫 对比度 密集线图形 复杂形貌 场效应晶体管 图案化技术 图形衬底 发光二极管 剥离 全局应变硅 光学测量 二维周期结构 二极管 zno纳米线 x射线光学 nm节点
推荐指数 3 2 2 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2009年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
科研热词 电子束光刻 x射线光刻 镂空透射光栅 电沉积 电子束直写光刻 微电镀 图案化磁记录介质 光学制造 不均匀 x射线透射光栅 x射线显微成像技术
2011年 科研热词 推荐指数 序号 电子束光刻 5 1 自支撑透射光栅 2 2 空间分辨率 2 3 电子束刻印 2 4 扫描电子显微镜 2 5 微电镀 2 6 半导体光刻 2 7 预应力混凝土结构 1 8 非对称 1 9 阵列波导光栅(awg) si纳米线波导1 电子束光刻(ebl) 10 感应耦合等离子(icp)刻蚀 阵列波导光栅(awg) 1 11 镂空透射光栅 1 12 邻近效应校正 1 13 近场超分辨 1 14 计量学 1 15 衍射极限 1 16 衍射效率 1 17 缺陷 1 18 绝缘层上硅(soi)纳米线波导 1 19 线边缘粗糙度 1 20 线宽粗糙度 1 21 纳米栅线结构 1 22 纳米光学 1 23 等离子刻印 1 24 电镀 1 25 电子束曝光 1 26 电子束光刻技术 1 27 波导表面光栅 1 28 整流 1 29 感应耦合等离子体 1 30 声表面波延迟线 1 31 叉指换能器 1 32 单壁碳纳米管 1 33 功能材料 1 34 剥离 1 35 制备 1 36 分辨技术 1 37 共振显微 1 38 共振压力显微 1 39 光纤到户(ftth) 1 40 光学超分辨 1 41 光学系统 1 42 光学特性测量 1 43 光子集成 1 44 光子学材料 1 45 光子学器件 1 46 光刻分辨率 1 47 介电泳 1 48 亚微米光波导 1 49 三向滤波器 1 一维光子晶体 1 x射线透射光栅 1
2008年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30
科研热词 电子束光刻 纳米线 场效应晶体管 剥离 x射线光刻 高高宽比 金属nanogap 菲涅尔波带片 纳米构筑技术 硬x射线 硅纳米结构 电子束直写 物理极限 波带片阵列光刻 无掩模光刻 掩模版 扫描电子束光刻 微互连柱 声表面波器件 各向异性湿法腐蚀 反转 叉指换能器 分辨力 传统光学投影光刻 主流技术 临近效应 下一代光刻 ⅵ族半导体 vi族半导体 az5 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 32 1
2014年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19
2014年 科研热词 阳极氧化铝 纳米压印 石墨烯 电子束光刻 狄拉克点 氧等离子体刻蚀 栅调制 晶体管 拉曼光谱 弯曲损耗 开关比 大高宽比 多孔硅 垂直耦合 全水电镀 光波导 光栅 传输损耗 x射线光刻 推荐指数 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
推荐指数 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2010年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52