【CN110006349A】一种高容差共光路光栅干涉仪【专利】

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一种光栅外差干涉自准直测量装置[发明专利]

专利名称：一种光栅外差干涉自准直测量装置专利类型：发明专利
发明人：朱煜,胡金春,陈龙敏,成荣,高阵雨,杨开明申请号：CN201310595336.2
申请日：20131121
公开号：CN103673891A
公开日：
20140326
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：一种光栅外差干涉自准直测量装置，该装置主要包括双频激光器、1/4波片、分光系统、光电转换系统、偏振分光镜、反射镜和光栅。

激光器射出双频激光通过1/4波片后，变为两束相互垂直的线偏振光。

进入分光系统后被分为三路，一路进入参考光路光电转换系统，剩余两路进入正负测量臂偏振分光镜。

在进入偏振分光镜的激光中，其反射s光经反射镜反射到光栅上，其中入射角被设定为依据相应衍射级次的自准直角。

当光栅在水平和垂向移动时，测量光路光电转换系统检测到的两路包含位移相关信息的信号，结合参考光信息，即可解得光栅水平及垂向位移。

由于自准直角设置不取决于光栅位移，因此本发明装置能进行水平大行程位移及垂向位移测量。

申请人：清华大学,北京华卓精科科技有限公司
地址：100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
国籍：CN
代理机构：北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人：邸更岩
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一种激光干涉仪[实用新型专利]

专利名称：一种激光干涉仪专利类型：实用新型专利
发明人：赵婷婷,姬鸿巍,马兰兰申请号：CN202123203675.0申请日：20211217
公开号：CN216348361U
公开日：
20220419
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型公开了一种激光干涉仪，包括阶梯反射组件，阶梯反射组件包括n个独立的第二反射镜，其中n≥2，且每个第二反射镜均设置有移动器件，第二反射镜用于反射第一分光镜反射的激光发射组件射出的激光。

其有益效果是：解决现有技术中对固定反射镜的制造精度要求高的问题，具有加工简单，制造成本较低的优点。

申请人：西安玉沣精密测量科技有限公司
地址：712000 陕西省西安市西咸新区泾河新城永乐镇高泾大道东段1606号
国籍：CN
代理机构：北京市领专知识产权代理有限公司
代理人：张玲
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高细分高密度光栅干涉仪[发明专利]

专利名称：高细分高密度光栅干涉仪专利类型：发明专利
发明人：韦春龙,卢炎聪,周常河
申请号：CN201510080676.0
申请日：20150215
公开号：CN104613865A
公开日：
20150513
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：一种高细分高密度光栅干涉仪，包括：相对运动的高密度衍射光栅、线偏振光源、偏振分束器、第一和第二高细分棱镜、第一和第二反射镜、第一和第二四分之一波片、偏振相移干涉光电探测单元或双频外差干涉光电探测单元、数据采集和处理及控制单元。

本发明将高密度光栅设计成负一级高衍射光效率；进而采用高细分棱镜实现棱镜反射面与高密度光栅间的多次反复衍射，并且最终在棱镜准直面自准直回射并再次在高密度光栅间反复衍射，从而使光栅干涉仪获得高细分效果，有效提高光栅干涉仪光学分辨率。

申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
地址：201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910356279.X
(22)申请日 2019.04.29
(71)申请人西安交通大学
地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
(72)发明人叶国永　刘红忠　刘辉　李烜　
牛东　李映江　赵国博　
(74)专利代理机构西安通大专利代理有限责任
公司 61200
代理人徐文权
(51)Int.Cl.
G01B 11/02(2006.01)
G01B 9/02(2006.01)
(54)发明名称
一种高容差共光路光栅干涉仪
(57)摘要
本发明公开了一种高容差共光路光栅干涉
仪，由光源模块、共光路模块和后处理模块组成，
各模块之间的信号由光纤传输。

光源模块包括激
光器；共光路模块包括标尺光栅、偏振分光镜、平
面反射镜和后向反射镜；后处理模块包括分束
器、偏振分光镜、四分之一波片和光电探测器。

本
发明采用二次衍射光干涉扫描方法，实现光学四
倍频，提高测量的分辨力；采用共光路结构设计
和信号光纤传输方式，减小环境扰动对测量结果
的影响；光路中引入后向反射镜，提高光栅干涉
仪的读数容差。

权利要求书1页说明书4页附图3页CN 110006349 A 2019.07.12
C N 110006349
A
权　利　要　求　书1/1页CN 110006349 A
1.一种高容差共光路光栅干涉仪，其特征在于，包括光源模块、共光路模块和后处理模块，所述光源模块包括激光器(1)，所述共光路模块包括第一偏振分光镜(3)和光栅(2)，第一偏振分光镜(3)和光栅(2)之间设置有后向反射镜(5)，所述第一偏振分光镜(3)用于将激光器(1)发出的光线分束为线偏振p光和线偏振s光，所述后向反射镜(5)两侧等距设置有第一反射镜和第二反射镜，所述后处理模块用于接收共光路模块的输出光线，并根据输出光线得到光栅(2)移动的距离。

2.根据权利要求1所述的一种高容差共光路光栅干涉仪，其特征在于，后处理模块包括四分之一波片(6)，所述四分之一波片(6)用于接收共光路模块的输出光线并将接收到的光线转化成圆偏振光，所述四分之一波片(6)的出射光光路上设置有分束器(7)，所述分束器(7)的两个出射光方向分别设置有第二偏振分光镜(8)和第三偏振分光镜(9)，所述第二偏振分光镜(8)的两个出射光方向分别设置有第一光电探测器(111)和第二光电探测器(112)，第三偏振分光镜(9)的两个出射光方向分别设置有第三光电探测器(113)和第四光电探测器(114)。

3.根据权利要求2所述的一种高容差共光路光栅干涉仪，其特征在于，所述第二偏振分光镜(8)和分束器(7)的间距d1与第三偏振分光镜(9)和分束器(7)的间距d2相等。

4.根据权利要求1所述的一种高容差共光路光栅干涉仪，其特征在于，所述光源模块和共光路模块之间的光线通过第一光纤(101)传输，所述共光路模块和后处理模块之间的光线通过第二光纤(102)传输。

5.根据权利要求1所述的一种高容差共光路光栅干涉仪，其特征在于，所述第一反射镜和第二反射镜均为直角反射镜。

6.根据权利要求1所述的一种高容差共光路光栅干涉仪，其特征在于，所述的激光器(1)为正交偏振激光器。

7.根据权利要求1所述的一种高容差共光路光栅干涉仪，其特征在于，所述第一反射镜和第二反射镜平行设置。

8.根据权利要求1所述的一种高容差共光路光栅干涉仪，其特征在于，所述光栅(2)为反射式衍射光栅。

2。