48MEPS操作规程
48所PECVD操作规程
PECVD（48所）操作规程1.打开各路气体阀门。
包括氮气，CDA以及反应特气。
注意：打开反应特气（硅烷、氨气）时候须小心。
2.打开冷却水管的开关。
先打开出水管，后打开进水管。
即先打开上面4条水管，后打开下面4条水管。
切记顺序不能反，并且注意真空泵组以及设备有无水报警，检查水压。
3.打开电源总开关（在扩散车间），PECVD三相电源指示灯亮。
4.按下控制柜电源“上电”按纽，开启电脑。
5.手动设置工艺温度，然后按下加热“上电”开关，开始加热。
6.戴上工艺要求的手套开始将准备好的硅片放在石墨舟上，然后调整，使片子紧贴石墨舟。
7.待温度升至工艺要求的温度后，把石墨舟放在悬臂杆上.8.进入“PECVD设备计算机工艺自动控制系统V3.0”程序，在“手动”模式下，将悬臂杆降至“下位”归零，然后上升至“上位”单击“工艺编辑”，然后在“工艺编辑”窗口中选择工艺程序文件，将工艺程序各步参数下载到工艺运行缓冲区中。
9.在主窗口中单击“系统图”图标，进入“系统图”窗口。
单击“系统图”窗口工具栏中的“启动”图标，计算机会给出一些提示，逐条检查每一条提示，然后“确定”，即开始工艺运行。
10. 单击“系统图”窗口工具栏中的“自循环”图标。
保证工艺运行到最后一步时间耗尽时，会自动跳转到第1步继续执行，而不会中止工艺运行。
11. 在悬臂杆将石墨舟推入石英管的过程中，密切注意悬臂杆与石墨舟是否会撞到石英管。
并从炉尾处的小窗口观察，高频电源电极和石墨舟电极是否接触良好；悬臂杆后退时候，从炉口观察，是否会把石墨舟带出。
12. 工艺运行中…….，操作员工可准备其它石墨舟的上片工作。
13. 工艺运行至“取片”步，悬臂杆将石墨舟退出来以后，整个工艺运行完毕，计算机会给出一个提示。
将其它上好片子的石墨舟放在悬臂杆上后，单击“确定”即进入下一个工艺循环。
14. 生产结束后，在“手动”模式下关掉炉门，关闭罗茨泵。
按下加热“关”，退出PECVD设备计算机工艺自动控制系统V3.0，关闭电脑，但是不要断掉控制柜的电源。
自动苏生器作业安全操作规程
自动苏生器作业安全操作规程
为确保自动苏生器的正常运行和保证人员的生命安全，制定以
下操作规程：
一、使用前检查
1. 检查外观，确认无明显损伤，各附件齐全。
2. 检查电源线路，确认插头完好无损，接头紧固。
3. 检查氧气瓶，确认瓶阀开关关闭，压力表指示正常。
4. 通电测试，检查是否正常运转，压力调节是否准确。
5. 检查压力开关和安全阀是否正常。
二、使用过程中的安全操作
1. 使用场所应通风良好，远离易燃物和可燃气体。
2. 在使用过程中，应注意维持设备的清洁，不得随意拆卸和调
整设备。
3. 警示标签要完整明显，不得磨损、脱落。
4. 当自动苏生器温度超过限定范围时，应及时关闭电源，等待
其冷却后继续使用。
5. 操作人员应保持设备周围清洁、整齐，避免引起安全事故。
6. 操作人员应经过专业培训后持证上岗，未经授权人员不得进
行使用。
7. 设备在运行过程中产生的噪声，应对环境和人造成的影响小，不得超过国家标准。
三、日常维护和检修
1. 每次使用后，应对设备进行清洁消毒，消除污染物。
2. 定期检查设备的各项部件，如压力表、氧气瓶、电源线路等，如有问题应及时更换或维修。
3. 每年定期进行大型维修，确保设备的安全有效运行。
以上即为自动苏生器作业的安全操作规程，操作人员应严格遵守，确保自动苏生器的正常运行以及人员的安全。
保气车间48M3空压机操作规程.doc
1、目的规范岗位工操作行为，了解操作要领，使岗位工操作规范化。
2、适用范围该操作规程适用于保气车间48 M3空压机。
3、工作内容3．1工艺参数指标一级排气压力0.17一0.23mpa，二级排气压力0.5一0.58 mpa，水压>0.15mpa，排气温度<160℃，冷却水进水温度<30℃，润滑油压力>0.28mpa，3．2操作前的准备工作3．2．1清除机器附近的其它物品，打扫操作场地的环境卫生。
3．2．2检查机器的各连接部位，不应有松动，气、水、油、管路应良好。
3．2．3各电器设备应良好完整。
3．2．4检查各测量仪表应良好灵敏。
3．2．5从机身下部的视油板观察，机身内的油位应在两红线之间。
3．3开车3．3．1人工盘车2一3转。
3．3．2打开总进水管的阀门，使冷却水畅通。
3．3．3开电动油泵，使润滑油注入运动机构的各部位，三秒钟后，关闭电动油泵。
3．3．4将自控柜电源合闸。
3．3．5按下联系指令按钮。
3．3．6打开风机开关。
3．3．7调节励磁电流<150A。
3．3．8启动主电机。
3．3．9缓慢关闭放空阀，缓慢打开送气阀。
3．4运转3．4．1运转中要注意压缩机有无不正常的响声。
3．4．2压缩机的工作条件应符合技术规范的规定。
3．4．3经常检查机身的油位要符合要求。
3．4．4中间冷却器和后冷却器的冷却水每小时应放一次，储气罐每8小时放一次（在雨季冷却水每半小时放一次）。
3．4．5认真做好运行记录。
3．4．6经常检查气、油、水等管路，杜绝漏气、漏水、漏油。
3．5停车3．5．1缓慢关闭送气阀，缓慢开启放空阀。
3．5．2将自控柜上的停车按钮按下。
3．5．3将励磁电流调回零位。
3．5．4关闭风机开关。
3．5．5关闭总进水阀门。
3．5．6打开回水阀门将气缸、冷却器中的水放净，在冬季也应将总进水管另一端的阀门找开将管路中水全部放净，以免冻裂管路。
3．5．7切断电源。
3．6紧急停车3．6．1压缩机气缸、冷却器严重的漏水、漏气。
自动苏生器作业安全操作规程范本
自动苏生器作业安全操作规程范本第一章总则1.1 目的和依据为了确保自动苏生器作业过程中人员的生命安全和设备的正常运行，制定本安全操作规程。
1.2 适用范围本规程适用于所有自动苏生器作业过程中的作业人员。
1.3 主要风险自动苏生器作业过程中可能存在的主要风险包括但不限于电气风险、机械设备风险、化学物品风险和火灾风险等。
第二章安全准备2.1 必要的保护装备作业人员在进行自动苏生器作业前，必须佩戴符合相关标准的个人防护装备。
包括但不限于安全鞋、安全帽、耳塞或耳罩、防护眼镜或面罩等。
2.2 安全示意标志和警告标志自动苏生器作业现场应设置符合标准的安全示意标志和警告标志，以便提醒作业人员注意作业环境的安全风险。
2.3 事故应急设备自动苏生器作业现场应配备急救箱、火灾灭火器具等应急设备，以备发生事故时的应急处理。
第三章作业前准备3.1 现场清理作业人员在进行自动苏生器作业前，应清理现场的杂物和积尘。
确保作业区域整洁无障碍，以防止意外事故发生。
3.2 检查设备作业人员应认真检查自动苏生器的各个部件和连接点，确保设备运行正常，不存在损坏、松动或破损等情况。
3.3 确定作业条件作业人员应根据操作指导书或作业计划，确定作业条件，包括但不限于温度、湿度、气体浓度等要素。
确保作业环境符合作业要求。
第四章安全操作4.1 准确操作作业人员在进行自动苏生器作业时，应严格按照操作指导书或作业计划的要求进行操作，不得随意更改作业步骤。
4.2 遵循操作流程作业人员应遵循操作流程，按照先后顺序进行各项作业步骤，不得跳过或遗漏。
4.3 注意细节作业人员在进行自动苏生器作业时，应特别注意细节，如连接件的紧固、阀门的开闭、液体的流动状态等，确保操作的准确性和安全性。
4.4 防止操作失误作业人员应集中注意力，避免操作失误，如误触电源开关、错误调整参数等，以防造成意外事故。
第五章紧急处理5.1 火灾事故若发生火灾事故，作业人员应立即按照操作指导书和紧急处理方案进行灭火，并及时报警，确保自身安全和作业环境的安全。
2024年往复式给料机安全技术操作规程
2024年往复式给料机安全技术操作规程第一章总则第一条为确保往复式给料机的安全操作，保证工作人员的人身安全和设备的正常运转，制定本技术操作规程。
第二条本规程适用于往复式给料机的安全操作工作。
第三条往复式给料机的安全操作应遵循国家的相关法律法规和标准，同时结合本规程进行操作。
第四条所有从事往复式给料机操作的人员必须经过培训并持有相应的操作证书。
第五条操作人员必须熟悉往复式给料机的结构、原理和性能，能正确使用和维护设备。
第二章安全操作要求第六条在操作往复式给料机前，操作人员必须穿戴好安全装备，并进行相应的安全检查。
第七条往复式给料机的操作必须符合以下要求：1. 操作人员应按照标识要求正确设置给料机的工作参数。
2. 操作人员应根据工作需要选择合适的给料机工作模式。
3. 操作人员应将给料机的工作状态进行记录，及时发现和解决问题。
4. 在操作往复式给料机时，严禁超过设备的工作参数范围或者进行私自改动设备结构。
5. 在设备故障或异常情况下，操作人员应立即停机，并及时汇报维修人员进行处理。
6. 操作人员应随时保持设备周围的清洁和整洁，并及时清理设备内部的杂物。
第八条操作人员在工作中必须严格遵守以下安全操作规范：1. 操作时要全神贯注，注意观察设备的运行状态。
2. 严禁戴手套、长袖、卡子等杂物接近传送装置。
3. 在设备运转时，禁止伸手或身体部分靠近运动部件。
4. 在维修和保养设备时，必须停机并拉断电源，保证设备无法启动。
5. 在设备维护或清理过程中，应戴上防护眼镜、耳塞和工作手套。
6. 在设备运转过程中，严禁随意调整工作参数或者触摸运动部件。
第九条操作人员必须加强日常检查和维护工作，确保设备的正常运转和安全性能。
1. 对设备进行定期的维护保养，包括清洁、润滑和紧固等工作。
2. 定期对设备进行性能检测和安全评估，及时处理设备可能存在的隐患。
3. 对设备进行日常巡检，发现问题及时排除，并记录相关情况。
第三章突发事件应急处理第十条在突发事件发生时，操作人员应迅速采取应急措施，确保人员和设备的安全。
自动苏生器作业安全操作规程
自动苏生器作业安全操作规程第一章总则第一条为了确保自动苏生器的安全运行，防止事故的发生，保护工作人员的生命财产安全以及环境的安全，制定本规程。
第二条本规程适用于自动苏生器作业的全过程，包括设备调试、操作维护、故障排除等。
第三条所有从事自动苏生器作业的工作人员必须熟悉并严格遵守本规程。
第二章安全管理第四条自动苏生器作业必须制定详细的安全管理方案，并落实到相关作业人员和设备管理人员。
第五条工作人员必须持有相关的资格证书，经过安全培训和考核，并定期进行复审。
第六条自动苏生器作业应当配备完善的安全设施和安全保护措施，如防护栏、报警设备等。
第七条在自动苏生器作业过程中，应严格实施岗位责任制，明确每个岗位人员的职责和义务。
第八条禁止未经许可的人员进入自动苏生器作业区域，如需进入必须按照相关规定申请和开展工作。
第三章设备使用与维护第九条使用自动苏生器前必须进行全面的设备检查和试运行，确保设备没有故障和隐患。
第十条每次使用自动苏生器前必须清理设备周边的杂物和可燃物，保持作业环境的整洁和安全。
第十一条操作人员必须熟悉自动苏生器的操作步骤和工作原理，并按照规定进行操作。
第十二条运行中发现设备异常和故障时，应立即停机检修，并及时上报有关人员进行处理。
第十三条设备维护人员必须经过专门培训和考核，具备相应的技术水平和维护能力，并定期检查和维护设备。
第四章应急措施第十四条自动苏生器作业中如发生泄漏、火灾等紧急情况，必须立即按照应急预案进行应对和处置。
第十五条遇到设备故障或事故时，应及时采取应急措施，保护现场的安全，并及时上报有关部门。
第十六条自动苏生器作业过程中如发生人员受伤等事故，应立即停止作业，并及时施救和上报事故。
第十七条所有的应急设备和治安设备必须经常进行检查和维护，保证其正常运行和及时可用。
第五章复审和处罚第十八条自动苏生器作业进行定期复审，保证其符合安全操作规程的要求，并及时修订和完善。
第十九条对违反本规程的人员将给予相应的纪律处分和行政处罚，严重者将追究法律责任。
使用电动离心机安全操作规程
使用电动离心机安全操作规程电动离心机是一种常用的实验室设备，用于离心分离样品、凝胶电泳和细胞分离等操作。
正确安全地操作电动离心机非常重要，以下是一份电动离心机安全操作规程。
1. 环境和设备检查在使用电动离心机前需要进行环境和设备检查，包括检查离心机是否处于稳定平衡状态，是否有松动或损坏的零部件，是否有堵塞或损坏的转子或离心管。
还需要确保工作区域足够宽敞、通风良好，并在离心机上标识好禁止进入区域和警告标志。
2. 样品准备准备样品前应了解样品性质和离心机规格，选择适合的离心管、离心转子和转速。
在操作前应确保离心管盖紧，样品完全均匀，不溢出，以免影响离心机的稳定性。
3. 倒样和操作在倒样前应确保离心转子已固定，不会移动。
在把样品倒入离心管和安放离心管到离心转子上时，需要缓慢、轻柔地移动。
注意避免在离心推力的方向上移动离心机，以免资料变形或破裂。
4. 设置离心参数在设置离心速度和时间时，应严格遵守实验室标准操作规程。
离心机的最高速度不能超过离心机规格所允许的最大转速，并根据样品性质调整离心时间，以免样品破碎或污染实验室。
5. 离心结束及离心管取出离心结束时，应关闭离心机并等待离心转子停止运转后，才可以取出离心管。
在取出离心管时，应注意离心管和离心转子是否完全冷却，离心管和离心转子是否出现损坏，应谨慎避免离心管和离心转子的碰撞和碎裂。
6. 清洗和维护离心操作结束后，应立即清洗离心管和离心转子，以避免样品残留的腐蚀和污染。
对于长时间未使用的离心机，应进行维护和检查，包括检查离心机的整体运行状况、零件有无磨损或损坏，调整离心机的均衡性，并使用维护油脂保养离心转子和转子轴承。
7. 安全注意事项使用电动离心机时，应注意以下安全事项：a. 不要穿松散的衣服和发型，而且不要戴首饰或手套。
b. 不要在离心机中使用易挥发、易燃、腐蚀性和有毒性的样品。
c. 不要在离心机中使用超过规定容量的离心管或离心转子。
d. 在操作过程中不要移动离心机，以免发生危险。
自动苏生器作业安全操作规程范文
自动苏生器作业安全操作规程范文一、引言为了保障作业人员的人身安全和设备的正常运行，确保工作环境的安全稳定，特制定本作业安全操作规程。
所有作业人员在进行自动苏生器作业前，必须对本规程进行仔细阅读，并严格按照规程的要求进行操作，以避免意外事故的发生。
二、术语定义1. 自动苏生器：指能够感测到异常情况并及时自动恢复其正常功能的设备。
2. 作业人员：指对自动苏生器进行操作、检修、维护等工作的员工。
三、前期准备1. 安全装备：作业人员在进行自动苏生器作业前，必须穿戴符合标准的安全装备，包括安全帽、防护服、防滑鞋等。
2. 检查设备：作业人员在进行自动苏生器作业前，必须仔细检查设备的工作状态，确保设备无损坏、漏电、短路等现象。
3. 隔离电源：在进行自动苏生器作业前，必须严格按照操作规程的要求，将设备与电源隔离，并采取合适的措施，避免其误操作或重新接通电源。
四、作业操作步骤1. 准备工作：作业人员在进行自动苏生器作业前，必须仔细阅读设备的操作手册，并了解所需操作工具和材料的使用方法。
2. 断电操作：在开始自动苏生器作业前，必须确保设备已完全断电，并且确认电源已经切断，以确保人员在操作过程中不会触电。
3. 清理工作区域：作业人员在进行自动苏生器作业前，必须清理工作区域，确保周围没有杂物或障碍物，避免人员在操作过程中绊倒或碰撞到其他物体。
4. 按操作流程操作：作业人员在进行自动苏生器作业时，必须按照操作手册的要求，严格按照操作步骤进行操作，避免误操作引发事故。
5. 注意签字确认：在每个操作步骤完成后，作业人员必须签字确认，并注明操作时间和操作人员，以便于追溯操作责任。
五、安全事故和紧急情况处理1. 安全事故处理：如果发生安全事故，作业人员必须立即停止操作并报告上级主管以及安全管理人员，按照公司的应急预案进行紧急处理，并保留好现场信息和证据。
2. 紧急情况处理：如果发生紧急情况，作业人员必须立即采取适当的紧急措施，包括紧急关闭设备、紧急通知其他作业人员或撤离现场，以确保人员的安全。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
Topic
Meps
--
Nameplate output
power (Pno)
No-load power consumption requirements
AC – AC
AC - DC
(W)Байду номын сангаас
(W)
0 to < 50
Not applicable
≤0.3
≥50 to 250
Not applicable
更换样品重新热机观察），产品须在正常工作情况下进行测试。
3)将电源供应器的输出端分别连接至电参数测量仪和功率分析仪,再将电参数测量仪的输出端连接至待测物的输入。
4)将待测物的输出终端依极性接至电子负载。（如是直流输出则用电子负载，如是交流输出
则用电阻做负载）。
5)若待测物有电压输入选择开关,则在送电前先确定选择开关的档位是正确的,在确定后方可送电。
Nameplate
output power
(Pno)
(W)
Average active mode
efficiency expressed as a
decimal
Output voltage < 6 Volts
and
Output current≥0.550Amps
（低电压模式）
0 to 1
≥0.497×Pno+ 0.067
>1 to 49
≥0.0750×Ln (Pno) + 0.561
>49 to 250
≥0.860
All other models
0 to 1
≥0.480×Pno+ 0.140
>1 to 49
≥0.0626×Ln (Pno) + 0.622
>49 to 250
≥0.870
Table 2
NO-LOAD POWER CONSUMPTION REQUIREMENTS FOR NUMERAL V
型号/规格
-
文件编号
WI-3-S-3-048
版本号
001/A
MEPS操作规程
发行/生效日期
2006年12月26日
页数
共5页
Standard
Topic
MEPS
--
1.条文:MEPS
2.要求:见附件
3.精神所在:提高节能效益
4.测试仪器:电源供应器( AC Power Source )
电参数测量仪( Digital Power Meter )
Standard
Topic
Meps
--
MEPS LevelV（2008-09-08）
Table 1
ENERGY EFFICIENCY PERFORMANCE REQUIREMENTS FOR NUMERAL V
Output specifications (W)
Active mode efficiency requirements
≤0.5
Korea MEPS要求（2009-01-01）
编制
日期
审核
日期
批准
日期
6)依厂商所订定的额定输出电流调整电子负载,使待测物的负载为满载的情况。
7)依次测量输出电流在100%，75%，50%，25%时的Vout，Pi及PF值并记录下它们。
测完后将负载空载并记录空载Pi。
8)上述测试完成后，再将功率分析仪的输出端连接至待测物的输入，负载不变。
9)先将产品满载，依次测量电流在100%，75%，50%，25%时电流的THD值并记录下
功率分析仪(Single Phase Power Analyzer)
电子负载( DC Load )
5.测试程序:
1)电源供应器,电参数仪,功率分析仪，电子负载开机并热机10分钟。
2)核对所要测试样品的厂商，Model ,Rated是否正确。（产品是单组Input：115V60Hz or 230V50Hz测试；产品是双组Input：115V60Hz and 230V50Hz测试。）将产品热机20~30分钟，期间注意观察产品能否正常工作（如出现电压下降或电压波动很大的情况，则要
它们。
10)测试完成后计算出效率并判断是否符合标准要求。
6.测试连线图:
Standard
Topic
Meps
--
7.附件
MEPS
1.規定的Test Voltage: 115V/60Hz, 230V/50Hz。or 240V/50Hz
2.看電流的THD值
MEPS Level III
MEPS Level IV