大连万鹏公司简介2013
原子力显微镜-扫描电子显微镜共定位表征系统的研发与应用
第 30 卷第 1 期分析测试技术与仪器Volume 30 Number 1 2024年1月ANALYSIS AND TESTING TECHNOLOGY AND INSTRUMENTS Jan. 2024大型仪器功能开发(53 ~ 57)原子力显微镜-扫描电子显微镜共定位表征系统的研发与应用蔡 蕊，万 鹏，徐 强，吕天明，孙智广（大连理工大学分析测试中心，辽宁大连 116024）摘要：微纳加工过程中，常有样品需要进行聚焦离子束（FIB）溅射、切割，扫描电子显微镜（SEM）以及原子力显微镜（AFM）表征，而这三类仪器都需要将样品固定在样品台上才可测试，固定不佳会影响表征结果. 但固定好的样品在不同仪器之间转移、拆卸、再固定的过程中极易受到破坏. 基于以上问题，设计了AFM-SEM-FIB样品共定位系统，可实现样品在此三种仪器之间的无损转移及共定位，避免珍贵样品破坏及目标丢失，以及解决AFM扫描无法控制方向、迅速调整位点等问题. 在微纳表征中有优异的表现，系统已被开发成产品并量产销售.关键词：共定位系统；原子力显微镜；扫描电子显微镜；聚焦离子束；微纳表征中图分类号：O657；TH742 文献标志码：B 文章编号：1006-3757（2024）01-0053-05DOI：10.16495/j.1006-3757.2024.01.009Development and Application of Atomic Force Microscope-Scanning Electron Microscope Co-positioning Characterization SystemCAI Rui， WAN Peng， XU Qiang， LV Tianming， SUN Zhiguang（Instrumental Analysis Center, Dalian University of Technology, Dalian 116024, Liaoning China）Abstract：In the process of micro-nano machining, samples often need to be sputtered and cut by focused ion beam (FIB), and characterized by scanning electron microscope (SEM) and atomic force microscope (AFM). Samples need to be fixed on the sample table before tested by these three instruments. However, poor fixation will affect the characterization results, but the firmly fixed samples are easy to be destroyed in the process of transfer, disassembly and re-fixation between different instruments. Based on the above problems, the AFM-SEM-FIB sample co-positioning system was designed, which could realize non-destructive transfer and co-positioning of samples between the three instruments, and avoid the precious samples destruction and loss of targets. And the problems were solved that AFM scanning cannot control the direction and quickly adjust the location. With excellent performance in micro-nano characterization, the system has been developed into products and sold in large quantities.Key words：co-positioning system；atomic force microscope；scanning electron microscope；focused ion beam；micro-nano characterization收稿日期：2023−11−15； 修订日期：2023−12−19.基金项目：大连理工大学大型设备开发改造项目（SYSWX202205）[Dalian University of Technology, Large-Scale Instrument Function Development Technology Innovation Project (SYSWX202205)]作者简介：蔡蕊（1984−），女，博士，主要从事微区表征研究工作，Email：***************.cn通信作者：徐强（1978−），女，高级工程师，主要从事分子光谱及管理工作，Email：****************.cn.原子力显微镜（atomic force microscope，AFM）[1]是亚微米、纳米级形貌[2]，纳米磁学[3]、电学[4]、力学[5]、生物学[6]研究领域必要的表征手段[7-8]. 但在微纳极窄样品表征时，AFM的探针只沿固定方向扫描，无法调整所需角度. 若样品放置的方向不正，受针尖性状、力学性质等影响[9]，不但无法得到高质量扫描图像，而且还为后期谱图的处理（拉平基线）制造困难. 除此以外，在纳米力学摩擦力测试中，对于各向异性样品的摩擦力测试，需要样品在特定的方向上进行[10]. 而现有的AFM，尤其是生物型AFM，在对微纳极窄型等需要以一定方向呈现的样品进行扫描时，无法迅速、可控的变换样品方向，移动远距离的扫描位点.在微纳加工时，常使用聚焦离子束（focused ion beam，FIB）对样品表面原子进行剥离，以完成微纳米级表面形貌加工，加工后需要使用AFM进行形貌表征[11]，或者转移到其他扫描电子显微镜（SEM）观察，以精准测量尺寸等. 而这三类仪器在测试过程中，都需要将样品固定于样品台上，保证在测试中不会移动（均为纳米级形貌表征，微小移动也会影响溅射、成像的精准度）才可进行测试. 而样品一般比较脆弱，从导电胶上取下再向不同仪器的样品台上转移时十分容易损坏样品，导致直接碎裂或者镊子用力夹持导致碎渣崩到样品表面，影响成像效果，如图1所示.为解决以上现有技术的缺点和不足之处，本设计计划提供一种AFM、SEM和FIB的样品共定位系统，其可实现仪器间样品无损转移，并通过参照点的辅助定位找到测试位点，建立起三个重要表征仪器之间的桥梁，还可实现AFM扫描方向可控、迅速调整位点等功能.1 试验部分1.1 仪器与试剂共定位系统（自主研制）；原子力显微镜Nanowizard 4XP（美国Bruker公司）；超高分辨场发射扫描电子显微镜7900F（JEOL日本电子株式会社）；聚焦离子束Helios G4 UX（美国赛默飞世尔科技有限公司）；光刻图案化后的样品（自制）；FIB溅射后的沟槽样品（自制）；探针SNL-10（美国Bruker公司）.崩到表面的硅片渣取下时, 样品损伤碎渣、杂物, 严重影响形貌表征导致图1 样品由于拆卸造成的损坏及对AFM形貌表征的影响Fig. 1 Damage of sample caused by disassembly and its effect on AFM morphology characterization1.2 试验方法1.2.1 共定位系统的研发装置功能：（1）在AFM检测过程中，固定、快速移动样品（扫描位点），转换样品方向. （2）FIB、SEM和AFM的样品共定位系统：AFM、FIB、SEM 样品台适配模块，具有辅助定位点（与操作系统XY 坐标关联，实现定位），样品固定在该模块上，将模块放入固定器的卡槽中，即可用于AFM扫描. 将该模块从卡槽拆卸下来，即可直接作为SEM和FIB 样品台，带着固定好的样品进行检测，避免样品在不同仪器样品台间的拆卸转移过程中受到破坏.装置构造及用途：（1）转盘A，转盘下方的圆形凸起可嵌入底盘F的圆形镂空，且紧密接触，有一定阻尼，可转动，但不易打滑. 包括：两根长方形夹棍C，每根夹棍靠两根弹簧轴B固定到转盘两侧，两根夹棍C可依靠弹簧B的推力夹紧样品或样品托盘D，防止滑动. 把手螺丝E，与底盘F保持水平位置，拧松把手螺丝E可作为转动转盘A的把手，拧紧把手螺丝E，螺丝的另一端抵住底盘F的边缘，可固定好转盘. 用于调整样品的角度. 脚柱槽H-3用于放置脚柱H-2. （2）底盘F，铁质或者铝制，可吸附在AFM的载物台上（依靠磁力或吸力），底盘F 中心有圆形镂空，可将转盘A嵌入，底盘F和转盘A的接触位置有一定阻尼，可转动，但不易打滑. 形状可根据实际调节，不限制. （3）FIB、SEM样品台适配模块H，因考虑到SEM不可用带有磁性的样54分析测试技术与仪器第 30 卷品台，因此模块H为铝制. 模块H包括类圆形样品台H-1和脚柱H-2，脚柱H-2取下时为防止丢失可置于转盘A上的脚柱槽H-3中，使用时取出. 样品固定在该模块的类圆形样品台H-1上，将该类圆形样品台H-1对准位置放入样品托盘D的凹槽D-1中，两边由夹棍C夹住，用于AFM的扫描，通过转动转盘A、沿着夹棍C方向推拉样品托盘D改变角度和位置. （4）样品托盘D，长方形. 带两种尺寸的凹槽. 凹槽D-1：尺寸与普通市售载玻片尺寸吻合.尺寸微小、比较薄的样品可以先固定在载玻片上，再将载玻片置于此凹槽内，载玻片、样品托盘D被夹棍固定住，有阻尼，但可以拖动，可沿着夹棍C的方向移动样品，迅速更换扫描位置. 凹槽D-2：尺寸与FIB、SEM样品台适配模块H中类圆形样品台H-1形状一致，可放置该类圆形样品台H-1，夹棍C 夹住后，随样品托盘D移动. 如图2所示.类圆形样品台H-1取下后可直接作为SEM样品台使用. 底部中央有螺纹孔，脚柱H-2的螺纹和尺寸与SEM内用于固定样品台的螺纹柱尺寸一致，可通用. 将该模块的类圆形样品台H-1从样品托盘D的凹槽D-1中拆卸下来，即可直接拧在SEM样品台固定位置，作为SEM样品台直接用于测试，具有辅助定位点（与操作系统XY坐标关联，实现定位）. 类圆形样品台H-1拧上与之匹配的脚柱H-2，即可作为FIB样品台，用于FIB的溅射等操作. 该适配模块H的尺寸适用于大部分品牌的FIB和SEM仪器，或根据SEM、FIB所需具体的尺寸制作.脚柱H-2尺寸较小，为防止丢失，不使用时可放置于转盘A上的特定脚柱槽H-3内保存. 该适配模块H无需将固定好的样品取下来转移到另外的样品台上，可避免样品在不同仪器样品台的拆卸转移过程中受到破坏，具有保护测试样品、便捷、实用性强等优点.1.2.2 微纳表面形貌表征方法AFM形貌表征条件：将微纳图案化样品或由FIB溅射的沟槽样品置于自主研制的共定位系统上，导电胶粘牢，且保证水平. 顶置10X光镜XY坐标协助定位. 使用Quantitative Imaging（QI）模式，Setpoint为 0.3 V，Zlength为 200 nm，Zspeed为 77µm/s. SEM形貌表征测试加速电压为10 kV.底盘 F 俯视图把手螺丝 E转盘 A脚柱 H-2/脚柱槽 H-3脚柱 H-2类圆形样品台 H-1类圆形样品台 H-1弹簧 B夹棍 C样品托盘 D FIB、SEM 样品台适配模块 H图2 共定位系统整体及分解图Fig. 2 Overall and decomposition diagrams of co-positioning system2 应用案例-微纳加工材料表征中的应用效果以光刻图案化后的样品为案例，对设计的共定位系统进行应用. 极紫外光刻材料的研发一直是半导体芯片产业的瓶颈之一[12]，开发新型极紫外光刻胶材料具有重大的战略意义. 光刻胶膜表面形貌和粗糙度是评价光刻胶质量的重要指标[13-16]. 图案化的光刻有机膜，需要使用AFM和SEM表征证实其在电子束光刻和极紫外光刻测试中的表现. 使用本文设计的共定位系统，可以很好实现该样品在SEM、FIB和AFM之间的转换和样品定位，并且在AFM 表征中轻松实现方向调整和样品快速移位.如图3所示，光刻图案化后的样品（自制）需要先在SEM或FIB上进行电子束光刻蚀，刻蚀完毕后，在AFM上进行粗糙度测试以及3D成像. 使用所设计的共定位系统中的适配模块H作为样品台，实现了样品在三种仪器间的自由切换，无需拆卸，避免了样品损伤，还可以使用共定位功能，锁定目标区域分别进行SEM、AFM成像，操作便捷，节省了大量时间. 除此之外，以沟槽样品（自制）作为样本，使用AFM测试其沟槽的尺寸时，调整溅射的参数第 1 期蔡蕊，等：原子力显微镜-扫描电子显微镜共定位表征系统的研发与应用55后，需要先在FIB 上完成溅射，再置于AFM 上成像和测量. 若沟槽放置倾斜，会使计算存在偏差或成像出现瑕疵. 因此需要将沟槽角度调整于合适方向.如图4所示，使用所设计的适配模块H 固定样品，先后进行了FIB 和AFM 测试，利用所设计的共定位系统使得操作简便，并且测试结果优异.图4 固定于FIB 、SEM 样品台适配模块H 的类圆形样品台H-1上的FIB 溅射后的沟槽样品，需要测试其沟槽尺寸（a ）经AFM 表征，发现沟槽方向倾斜，（b ）经转盘调整角度后，摆正方向Fig. 4 Groove samples after FIB sputtering fixed on disk-like sample stage H-1 of FIB and SEM sample tablesadaptation module H, tested size of groove(a) groove direction was tilted after AFM characterization,(b) groove positioned in right direction after adjusting angleof turntable3 结论与现有的技术相比，所设计的共定位系统可建立AFM 、SEM 和FIB 三大形貌表征仪器之间的桥梁，不但可以保护珍贵样品不被损坏，还可大幅提高样品测试效率以及效果. 另外，其快速移位和变换方向功能可大幅提升方向依赖形貌、磁学、摩擦力等测试的成功率和图像效果，并且提升原有载物台的样品测试范围和速度，方便快捷，实用性强.参考文献：Binnig G, Quate C F, Gerber C. Atomic force micro-scope [J ]. Physical Review Letters ，1986，56 （9）：930-933.［ 1 ］Kim Y J, Son K, Choi I C, et al. Exploring nanomech-anical behavior of silicon nanowires: AFM bending versus nanoindentation [J ]. Advanced Functional Ma-terials ，2011，21 （2）：279-286.［ 2 ］Meng X H, Zhang H, Song J M, et al. Publisher cor-rection: broad modulus range nanomechanical map-ping by magnetic-drive soft probes [J ]. Nature Com-munications ，2018，9 （1）：1-2.［ 3 ］Wang M H, Zhao Y P, Jiang X Q, et al. Rational selec-tion of the polymeric structure for interface engineer-ing of perovskite solar cells [J ]. Joule ，2022，6 （5）：1032-1048.［ 4 ］Xia F N, Wang H, Xiao D, et al. Two-dimensional ma-terial nanophotonics [J ]. Nature Photonics ，2014，8（12）：899-907.［ 5 ］骆芸尔, 高珊, 伊艺, 等. 脱氧核糖核酸变性和损伤的原子力显微镜液相观察[J ]. 分析测试技术与仪器，2022，28（3）：241-246. [LUO Yuner, GAO Shan, YI Yi, et al. Study on denaturation and damage of［ 6 ］SEMAFMAFM-3DSEMAFM5 μm5 μm5 μm8 nmYZ 0X 30 nmAFM-3D30 nmY ZX 20 nm45.3 nm20.5 nm0 nm0 nm1 μm图3 图案化微纳有机膜表面SEM 、AFM 表征Fig. 3 Characterization of SEM and AFM on surface of patterned micro-nano organic films56分析测试技术与仪器第 30 卷deoxyribonucleic acid in liquid phase using atomic force microscopy [J ]. Analysis and Testing Techno-logy and Instruments ，2022，28 （3）：241-246.]Deng W, Zhang X J, Wang L, et al. Wafer-scale pre-cise patterning of organic single-crystal nanowire ar-rays via a photolithography-assisted spin-coating method [J ]. Advanced Materials ，2015，27 （45）：7305-7312.［ 7 ］Garcia R, Knoll A W, Riedo E. Advanced scanningprobe lithography [J ]. Nature Nanotechnology ，2014，9（8）：577-587.［ 8 ］Li P P, Ju P F, Ji L, et al. Toward robust macroscalesuperlubricity on engineering steel substrate [J ]. Ad-vanced Materials (Deerfield Beach, Fla)，2020，32（36）：e2002039.［ 9 ］Ling X, Lee Y H, Lin Y X, et al. 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Automatic design of anextreme ultraviolet lithography objective system based on the Seidel aberration theory [J ]. Applied Optics ，2022，61 （29）：8633-8640.［ 15 ］Li Y Q, Kinoshita H, Watanabe T, et al. Illuminationsystem design for a three-aspherical-mirror projection camera for extreme-ultraviolet lithography [J ]. Ap-plied Optics ，2000，39 （19）：3253-3260.［ 16 ］第 1 期蔡蕊，等：原子力显微镜-扫描电子显微镜共定位表征系统的研发与应用57。
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交通部发布文号: 体法行函[2005]32号各有关单位：为保证交通行业检测中心、实验室计量认证评审工作顺利进行，我司按照有关要求，调整、充实国家计量认证交通评审组评审员及技术专家库。
廊坊市万鹏商贸有限公司介绍企业发展分析报告模板
Enterprise Development专业品质权威Analysis Report企业发展分析报告廊坊市万鹏商贸有限公司免责声明:本报告通过对该企业公开数据进行分析生成，并不完全代表我方对该企业的意见，如有错误请及时联系;本报告出于对企业发展研究目的产生，仅供参考，在任何情况下，使用本报告所引起的一切后果，我方不承担任何责任:本报告不得用于一切商业用途，如需引用或合作，请与我方联系:廊坊市万鹏商贸有限公司1企业发展分析结果1.1 企业发展指数得分企业发展指数得分廊坊市万鹏商贸有限公司综合得分说明：企业发展指数根据企业规模、企业创新、企业风险、企业活力四个维度对企业发展情况进行评价。
该企业的综合评价得分需要您得到该公司授权后，我们将协助您分析给出。
1.2 企业画像类别内容行业空资质增值税一般纳税人产品服务讯器材、家用电器、电子产品及配件；办公用品1.3 发展历程2工商2.1工商信息2.2工商变更2.3股东结构2.4主要人员2.5分支机构2.6对外投资2.7企业年报2.8股权出质2.9动产抵押2.10司法协助2.11清算2.12注销3投融资3.1融资历史3.2投资事件3.3核心团队3.4企业业务4企业信用4.1企业信用4.2行政许可-工商局4.3行政处罚-信用中国4.4行政处罚-工商局4.5税务评级4.6税务处罚4.7经营异常4.8经营异常-工商局4.9采购不良行为4.10产品抽查4.11产品抽查-工商局4.12欠税公告4.13环保处罚4.14被执行人5司法文书5.1法律诉讼（当事人）5.2法律诉讼（相关人）5.3开庭公告5.4被执行人5.5法院公告5.6破产暂无破产数据6企业资质6.1资质许可6.2人员资质6.3产品许可6.4特殊许可7知识产权7.1商标7.2专利7.3软件著作权7.4作品著作权7.5网站备案7.6应用APP7.7微信公众号8招标中标8.1政府招标8.2政府中标8.3央企招标8.4央企中标9标准9.1国家标准9.2行业标准9.3团体标准9.4地方标准10成果奖励10.1国家奖励10.2省部奖励10.3社会奖励10.4科技成果11土地11.1大块土地出让11.2出让公告11.3土地抵押11.4地块公示11.5大企业购地11.6土地出租11.7土地结果11.8土地转让12基金12.1国家自然基金12.2国家自然基金成果12.3国家社科基金13招聘13.1招聘信息感谢阅读:感谢您耐心地阅读这份企业调查分析报告。
邯郸市万鹏建筑工程有限公司介绍企业发展分析报告模板
Enterprise Development专业品质权威Analysis Report企业发展分析报告邯郸市万鹏建筑工程有限公司免责声明:本报告通过对该企业公开数据进行分析生成，并不完全代表我方对该企业的意见，如有错误请及时联系;本报告出于对企业发展研究目的产生，仅供参考，在任何情况下，使用本报告所引起的一切后果，我方不承担任何责任:本报告不得用于一切商业用途，如需引用或合作，请与我方联系:邯郸市万鹏建筑工程有限公司1企业发展分析结果1.1 企业发展指数得分企业发展指数得分邯郸市万鹏建筑工程有限公司综合得分说明：企业发展指数根据企业规模、企业创新、企业风险、企业活力四个维度对企业发展情况进行评价。
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1.2 企业画像类别内容行业空资质空产品服务工程；市政公用工程；机电设备安装工程；水利1.3 发展历程2工商2.1工商信息2.2工商变更2.3股东结构2.4主要人员2.5分支机构2.6对外投资2.7企业年报2.8股权出质2.9动产抵押2.10司法协助2.11清算2.12注销3投融资3.1融资历史3.2投资事件3.3核心团队3.4企业业务4企业信用4.1企业信用4.2行政许可-工商局4.3行政处罚-信用中国4.4行政处罚-工商局4.5税务评级4.6税务处罚4.7经营异常4.8经营异常-工商局4.9采购不良行为4.10产品抽查4.11产品抽查-工商局4.12欠税公告4.13环保处罚4.14被执行人5司法文书5.1法律诉讼（当事人）5.2法律诉讼（相关人）5.3开庭公告5.4被执行人5.5法院公告5.6破产暂无破产数据6企业资质6.1资质许可6.2人员资质6.3产品许可6.4特殊许可7知识产权7.1商标7.2专利7.3软件著作权7.4作品著作权7.5网站备案7.6应用APP7.7微信公众号8招标中标8.1政府招标8.2政府中标8.3央企招标8.4央企中标9标准9.1国家标准9.2行业标准9.3团体标准9.4地方标准10成果奖励10.1国家奖励10.2省部奖励10.3社会奖励10.4科技成果11土地11.1大块土地出让11.2出让公告11.3土地抵押11.4地块公示11.5大企业购地11.6土地出租11.7土地结果11.8土地转让12基金12.1国家自然基金12.2国家自然基金成果12.3国家社科基金13招聘13.1招聘信息感谢阅读:感谢您耐心地阅读这份企业调查分析报告。
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检测环境概况
• 防水保温材料室 • 配备有微机控制电子万能试验机，低温箱，烘箱 ，恒温恒湿养护箱等仪器，可进行防水卷材，防 水涂料和保温材料相关参数的试验。
检测环境概况
电通量室 配备有混凝土多功能耐久性测定 仪，可进行混凝土抗氯离子 渗透试验。
• • 现场仪器室 配备有回弹仪，钢筋保护层测定仪 ，混凝土超声波测定仪，混凝土钻 芯机，锚杆拉拔仪，全站仪，水准 仪，可进行混凝土结构，钢结构及 测绘项目的试验。
数据采集与复核
留样及资料管理
2014年展望
检测单位
施工单位
监理单位
委托单位
工程 质量
通信资料 机构名称：大连万鹏港口工程检测有限公司 地 址：大连保税区大窑湾港区万鹏办公房1-3层 通信地址：辽宁省大连市中山区中南路39号 邮政编码：116015 电 话：（0411）87599219 87599223 传 真：（0411）87599219 E-mail：jxy1966@
THANK YOU 谢 谢！
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工程质量
技术监督局
委托单位
委托单位
监理单位
施工单位
检测单位
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1
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2013年11月25日
公司概况
大连万鹏港口工程检测有限公司是独立法人单 位，原大连港口建设监理公司下设的试验室。 成立于1995年，2003年改为股份制，更名为大 连万鹏港口工程检测有限公司。本公司拥有固 定资产500万元，有独立的财务核算系统，可对 外承接检测业务。
公司概况
• 本公司经理由法人代表授权，对公司的日常工作 有独立的管理权利。
检定/校准情况
• 所有计量仪器设备均由辽宁省计量科学研究院检定/校准 • 可溯源至国家计量基准，经确认均可以满足试验要求。
国家计量基准 省计量科学研究院计量标准器 本公司计量器具
2013年度检测概况
项目 粉煤灰 硅灰 钢筋 钢筋焊接 报告总数 9 3 34 2 合格报告数量 9 3 34 2 不合格报告数量 0 0 0 0
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4
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国家计量基准
省计量科学研究院计量标准器
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混凝土电通量
混凝土抗冻 混凝土强度 机械连接 混凝土抗渗 砂浆抗压强度 砂子 水泥 碎石
1
1 524 16 1 12 13 12 14
1
1 524 16 1 12 13 12 14
0
0 0 0 0 0 0 0 0
外加剂
合计
3
645
3
645
0
0
质量控制
原材料质量
见证取样
收样管理
仪器设备精度
试验环境条件
检测环境概况
• 化学室 • 配备有火焰光度计，酸度计，氯离子快速测定仪 ，高温电阻炉，电光分析天平，碳硫分析仪，三 元素分析仪等，可进行水质分析，金属元素分析 ，外加剂，水泥，掺合料化学相关参数的试验。
检测环境概况
• 钢结构室 • 沥青混合料室
检测环境概况
• 节能室 • 门窗室
检测环境概况
• 公司正常运行使用的仪器设备共计300余台（套）
◆道路工程
人员概况
• 水运、公路工程检测人员总人数34人，持证人数34人。
• 高级工程师7人，工程师17人，工程技术人员总数32人
• 持水运公路检测师证书14人，水运公路检测员证书20人
检测环境概况 • 本公司位于大连大窑湾港区，拥有固定工 作场所，总工作面积1476平方米。
检测环境概况 • 标准养护室 • 配备有恒温恒湿控制系统，能充分保证 温度湿度的稳定性与均匀性，满足标准 要求的养护条件。
水运工程材料甲级资质证书
计量认证证书
建筑材料见证取样资质证书
市政工程见证取样资质证书
检测范围概况
◆混凝土结构、金属结构材料
◆道桥材料 ◆墙体材料 ◆装饰装修材料 ◆防水材料 ◆建筑门窗 ◆管网材料 ◆电气材料 ◆保温系统组成材料 ◆建筑节能 ◆主体结构工程 ◆建筑物变形观测 ◆地基与基础工程
检测环境概况
• 砖瓦室 • 配备有瓷砖抗折仪，真空吸水率装置，砖石爆裂 蒸煮箱，红砖泛霜箱，低温冰箱。可进行砖瓦的 抗折，吸水率，抗热震性，泛霜等试验。
检测环境概况 • 抗渗室 • 配备有混凝土抗渗仪，砂浆抗渗仪，可进 行混凝土和砂浆的抗渗性能试验。
检测环境概况
• 土工室 • 配备有电动击实仪，电动脱模仪，电热鼓风干燥 箱，灌砂筒，环刀，三轴仪，直剪仪，固结仪。 可进行土工密度，标准击实，三轴剪切，直剪， 固结，渗透等试验项目。
检测环境概况
• 水泥室 • 配备有恒应力水泥试验机，恒温水养护箱，混合 胶砂养护箱，净浆搅拌机，胶砂搅拌机，水泥成 型振实台，沸煮箱，水泥水化热测定仪，负压筛 析仪等仪器，可进行水泥和掺合料相关参数的试 验万能拉力机（1000kN，300kN，100k N），钢绞线万能试验机。可进行各种规格金属 材料的拉伸冷弯性能试验，以及混凝土抗折，劈 裂抗拉，钢筋握裹力等试验项目。
检测环境概况
• 力学室 • 配备有2000kN建材压 力机，可进行混凝土 抗压，砖抗压等
• 冻融室 • 配备混凝土快速冻融试 验机，动弹仪。可进行 混凝土冻融循环试验。
检测环境概况
• 集料室&配比室 • 配备有混凝土搅拌机，砂浆搅拌机，振动台，含 气量仪，稠度仪，电子秤，振筛机等仪器，可进 行混凝土配合比，砂浆配合比，外加剂拌和物参 数，砂石集料相关参数的试验。
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