金属溅射薄膜压力传感器
溅射薄膜压力变送器
溅射薄膜压力传感器溅射薄膜压力芯体溅射薄膜压力芯体利用离子束溅射薄膜技术结合先进的微电子工艺技术制造而成的不锈钢弹性膜片。
离子束溅射在合金材料上，在膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变电阻，膜片变形使电阻的几何尺寸和阻值发生改变，电桥输出相应电信号。
薄膜应变电阻与弹性体“融”为一体，组成全金属型敏感元件，无任何粘贴剂和紧固件，可长期在-40～125℃工作温度下稳定工作。
溅射薄膜压力芯体（合金薄膜压力传感器PPM-216A）具有准确度高，工作温度范围宽，温漂小，高稳定，高可靠，抗振动，抗冲击，抗辐射的工作特性。
溅射薄膜压力芯体因使用微束脉冲亚弧焊和激光焊，具有防水、防潮功能，在各种恶劣的环境下能长期稳定的工作。
溅射薄膜压力芯体广泛应用于航空、航天、交通、水利、电力、工程机械、汽车制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、医疗设备、食品加工等多种自控和测量行业。
主要技术参数：✓被测介质：气体，液体及蒸气；✓压力类型：表压、绝压、差压可选；✓量程：0～120Mpa间任意可选；✓供电电源：5～15VDC；✓输出：1.2～1.8mv/V；✓综合精度：±0.1%FS、±0.2%FS、±0.5%FS；✓非线性：0.06～0.1%FS；✓迟滞：0.02～0.05%FS；✓重复性：0.03～0.06%FS；✓零点温漂：±0.01%FS/℃；✓灵敏度温漂：±0.02%FS/℃；✓输出阻抗：1.5～3KΩ；✓绝缘电阻：≥1000MΩ/100VDC；✓工作温度：－40～＋85\125\150℃可选；✓过载能力：150%FS；✓电气连接：高温引出线；✓压力连接：M10×1双“O”圈密封或用户指定；✓接液材料：膜片：17-4PH过程连接件1Cr18Ni9Ti；✓相对湿度：0～95%RH；✓密封等级：IP65。
溅射式压力传感器采用耐腐蚀不锈钢制作成弹性体钢杯，将压力转换为应变。
薄膜压力传感器敏感芯体薄膜的结构及技术要求
薄膜压力传感器敏感芯体薄膜的结构及技术要求薄膜压力传感器敏感芯体的功能薄膜一般采用多层薄膜结构，这些功能薄膜一般是采用真空离子束溅射工艺生产，由于敏感薄膜厚度一般在100nm以下，因此我们也称其为纳米薄膜，采用离子束溅射工艺生产制造的压力传感器有时称为纳米薄膜压力传感器。
泽天电子是这种薄膜压力传感器的专业制造厂家。
薄膜压力传感器的薄膜衬底是圆形特种材料金属弹性体。
第一层功能薄膜是起隔离作用的介质绝缘薄膜，通常采用SiO2、Al2O3或复合结构。
第二层薄膜是起应变作用的金属敏感薄膜，通过光刻工艺形成电桥应变电阻，成为压力敏感芯体的核心，其材料业内一般采用Ni-Cr合金、NiCrMnSi合金制备。
第三层是钝化保护介质薄膜，这层薄膜主要用来保护应变电阻和隔离空气、水气，防止应变薄膜氧化、腐蚀等造成应变电阻的不稳定性。
钝化保护介质薄膜一般是采用SiO2、Al2O3等材料。
第四层薄膜是金丝引线用的窗口镀金薄膜，它与应变电阻膜接触，实现电气引出。
根据薄膜压力传感器的薄膜所起作用的不同，对各层薄膜的质量要求也不同，对于绝缘薄膜，要求应变电阻与传感器的壳体间的绝缘性电阻为100000MΩ以上，耐压100VDC以上，而绝缘电阻5000MΩ以上。
同时，绝缘薄膜与弹性体的表面粘附力高。
在量程范围内，弯曲变形超过10000000次循环不失效。
要求绝缘薄膜与弹性体的热膨胀系数基本一致，不因它们之间的差异引起内应力，从而造成传感器的输出不稳定，对制成的薄膜压力传感器蠕变要小。
除金属弹性体的严格热处理外，要求沉积在其上的介质绝缘薄膜附着力高、致密无针孔、空洞等缺陷。
如有蠕变产生，则会增加零点漂移误差，降低传感器的非线性。
绝缘薄膜含杂质量少，无吸附气体。
这样，能防止使用过程中杂质的迁移和气体释放所造成绝缘性能降低，漏电流增大，甚至绝缘失效。
总之，介质绝缘膜层要具有高的电阻系数；高的击穿电压；优良的绝缘性能；对弹性体的良好附着性；良好的弹性变形的传递性；高的热稳定性。
溅射薄膜式压力传感器制造工艺流程
溅射薄膜式压力传感器制造工艺流程典型溅射薄膜式压力传感器的主要工艺流程如图2.4所示，其中压力敏感元件制作为关键过程，包括弹性体制造、研磨抛光、镀膜、离子束刻蚀等四道工序。
弹性体设计与制造：指弹性体钢杯的结构设计与机械加工，去应力热处理。
此环节将确定弹性体膜片基本参数，基本决定了溅射薄膜式压力传感器的输入一输出关系。
弹性体建模与计算过程非常重要，将在下一节重点阐述。
研磨与抛光：对合格的弹性体钢杯进行研磨、抛光，使表面达到光洁度要求，然后再作进一步的减薄处理。
镀膜：与刻蚀交替进行。
采用离子束溅射淀积技术，在金属弹性体表面制造粘附力强、膜层均匀、致密、性能稳定的多层薄膜。
刻蚀：采用半导体光刻和腐蚀的方法，或者研究采用离子束刻蚀工艺将电阻膜刻蚀成惠斯登电桥的电阻条图形；将引线膜刻蚀成引线电极。
电桥微调：采用薄膜电阻对惠斯登电桥的桥臂电阻进行补偿，将传感器的输出调整到设计范围内（即理想零点）。
焊接：采用激光焊接或电子束焊接工艺，将合格芯片和支架、壳体等焊接到带有压力测试口的基座上。
将压力敏感元件与压力接头焊装在一起是一道关键的工序。
采用大功率激光焊机焊接或电子束焊机焊接，焊缝深度可达2.2mm。
大量的焊接工艺试验表明，选用不同的焊接工艺参数，可以有效地消除焊接应力给传感器造成的不良影响。
弹性体与基座、支架、外壳焊接成一体，其结构示意图如图2.5所示。
引线内封装：采用金丝球焊或者压焊工艺，焊接芯片引线从薄膜应变电阻的电极连接到支架。
稳定性处理：对传感器进行各项环境试验，并反复测量其输出，考核其稳定性。
数字修正：在稳定性处理后，根据事前设计的各项参数对传感器进行温度灵敏度、非线性等零点补偿工作。
整体封装：将补偿好的传感器敏感芯片进行喷涂等表面处理，目的在于防止传感器敏感芯片的膜层和电路受环境影响。
老化、试验：对封装好的传感器进行高低温、电应力老化试验和振动、冲击、疲劳、湿热、热真空等各种可靠性环境试验。
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溅射薄膜压力传感器原理
溅射薄膜压力传感器原理溅射薄膜压力传感器是一种常见的压力测量设备，其原理基于溅射薄膜技术。
本文将详细介绍溅射薄膜压力传感器的工作原理及其应用。
一、溅射薄膜压力传感器的工作原理溅射薄膜压力传感器的核心是一个由金属薄膜组成的薄膜桥。
当外界施加压力或力量时，薄膜会发生微小的变形，进而改变薄膜桥的电阻。
通过测量薄膜桥电阻的变化，可以间接得到外界的压力值。
具体来说，溅射薄膜压力传感器通常由四个薄膜电阻组成的华尔斯通电桥构成，其中两个电阻是感应电阻，另外两个是参考电阻。
感应电阻与薄膜相连，当外界施加压力时，薄膜发生变形，感应电阻的电阻值随之改变。
参考电阻的电阻值是固定的，用于提供一个参考基准。
当薄膜桥中有电阻值发生变化时，电桥会产生一个电压输出信号，通过测量这个信号的变化，可以计算出外界施加的压力值。
二、溅射薄膜压力传感器的应用溅射薄膜压力传感器具有灵敏度高、测量范围广、响应速度快等优点，被广泛应用于各个领域。
下面简要介绍几个常见的应用场景。
1. 工业自动化领域：溅射薄膜压力传感器可用于测量液体或气体的压力，广泛应用于工业自动化设备中。
例如，在液压系统中，通过测量液体的压力，可以实现对液压系统的控制和调节。
2. 汽车工业：溅射薄膜压力传感器在汽车工业中起着重要作用。
它可以被用于测量发动机燃烧室内的压力，以及轮胎与地面之间的接触压力。
这些数据对于汽车性能的监测和安全性能的提升具有重要意义。
3. 医疗设备：医疗设备中的溅射薄膜压力传感器可以用于监测人体的生理参数，如呼吸、血液压力等。
通过实时监测这些参数，可以及时发现异常情况并采取相应的治疗措施。
4. 空气质量监测：溅射薄膜压力传感器可以应用于空气质量监测领域，用于测量大气压力、气象参数等。
通过对大气压力的测量，可以预测气象变化，提前做好相关准备工作。
溅射薄膜压力传感器是一种基于溅射薄膜技术的压力测量设备，其工作原理是通过测量薄膜桥电阻的变化来间接得到外界的压力值。
压力传感器工作原理
压力传感器工作原理压力传感器是一种用于测量压力的设备，它能将压力信号转化为电信号输出。
在工业自动化、航空航天、汽车、医疗设备等领域广泛应用。
本文将详细介绍压力传感器的工作原理。
一、压力传感器的基本原理压力传感器的基本原理是利用压力作用在感应元件上产生的形变来测量压力。
感应元件通常采用金属薄膜、半导体材料或者电容式等。
下面将分别介绍这些感应元件的工作原理。
1. 金属薄膜压力传感器金属薄膜压力传感器是最常见的一种压力传感器。
它由金属薄膜材料制成，通常为不锈钢或者硅。
当压力作用在金属薄膜上时，金属薄膜会产生弯曲或者拉伸，从而改变电阻值。
通过测量电阻值的变化，可以确定压力的大小。
2. 半导体压力传感器半导体压力传感器是利用半导体材料的电阻特性随压力变化而改变的原理来测量压力的。
半导体材料通常为硅或者硅酸盐。
当压力作用在半导体材料上时，半导体的电阻值会发生变化。
通过测量电阻值的变化，可以得知压力的大小。
3. 电容式压力传感器电容式压力传感器利用电容值与感应元件间的距离成反比的原理来测量压力。
感应元件通常为金属薄膜或者陶瓷材料。
当压力作用在感应元件上时，感应元件的形变会导致电容值的变化。
通过测量电容值的变化，可以确定压力的大小。
二、压力传感器的工作过程压力传感器的工作过程可以分为以下几个步骤：1. 压力传感器接收压力信号压力传感器通常通过连接管道或者装置与被测介质接触，接收被测介质的压力信号。
被测介质可以是液体或者气体。
2. 感应元件受到压力作用被测介质的压力作用在感应元件上，引起感应元件的形变。
不同类型的压力传感器感应元件的形变方式不同，如金属薄膜弯曲或者拉伸、半导体材料的电阻值变化、电容式感应元件的电容值变化等。
3. 信号转换感应元件的形变会引起电阻值或者电容值的变化。
这些变化被传感器内部的电路所感知，并转换为相应的电信号输出。
通常，压力传感器输出的电信号为摹拟信号，可以是电压或者电流。
4. 信号处理输出的摹拟信号需要经过信号处理电路进行放大、滤波和线性化等处理，以提高信号的精确度和稳定性。
溅射薄膜压力传感器原理
溅射薄膜压力传感器原理引言：在现代工业生产和科学研究中，压力传感器是一种常见且重要的测量设备。
溅射薄膜压力传感器作为一种常用的压力测量技术，广泛应用于各个领域，如航空航天、汽车工业、医疗器械等。
本文将对溅射薄膜压力传感器的原理进行详细阐述。
一、溅射薄膜压力传感器的基本原理溅射薄膜压力传感器是一种利用溅射技术制备的压力敏感元件来测量压力变化的传感器。
其基本原理是利用溅射技术在传感器的薄膜表面形成一层薄膜材料，当外界施加压力时，薄膜发生形变，从而改变电阻、电容或电感等电学特性，进而将压力转化为电信号输出。
二、溅射薄膜压力传感器的工作原理溅射薄膜压力传感器主要由溅射薄膜、支撑结构和电路部分组成。
当外界施加压力时，溅射薄膜会发生微小的形变，进而改变了薄膜的电学特性。
该电学特性可以通过电路部分的测量，将压力转化为与之对应的电信号输出。
三、溅射薄膜压力传感器的制备过程溅射薄膜压力传感器的制备主要包括溅射薄膜的制备和传感器的组装两个步骤。
在溅射薄膜的制备过程中，首先选择合适的薄膜材料，如金属或氧化物，然后将薄膜材料放置在真空腔中，通过溅射技术将薄膜材料沉积在基底上。
在传感器的组装过程中，将制备好的薄膜与支撑结构和电路部分进行组装，形成完整的压力传感器。
四、溅射薄膜压力传感器的特点1. 高灵敏度：溅射薄膜压力传感器采用了高性能薄膜材料，具有较高的灵敏度，可以精确地测量微小的压力变化。
2. 宽压力范围：溅射薄膜压力传感器可以根据实际需求选择不同的薄膜材料和结构设计，以适应不同的压力范围，从几帕到几千帕不等。
3. 快速响应：溅射薄膜压力传感器具有快速响应的特点，可以实时监测压力变化。
4. 高稳定性：溅射薄膜压力传感器采用了高质量的薄膜材料和稳定的制备工艺，具有较高的稳定性和长寿命。
5. 抗污染性强：溅射薄膜压力传感器的薄膜表面经过特殊处理，具有一定的抗污染性能，可以在恶劣的环境下正常工作。
五、溅射薄膜压力传感器的应用领域溅射薄膜压力传感器广泛应用于航空航天、汽车工业、医疗器械等领域。
压力传感器的原理和应用
压力传感器的原理和应用压力传感器是一种用于检测和测量压力变化的装置，广泛应用于各个领域。
本文将介绍压力传感器的原理以及其在不同领域的应用。
一、压力传感器的原理压力传感器的基本原理是根据弹性元件的形变来测量外界压力的变化。
弹性元件可以是金属薄膜、金属绞线、气体或液体等，在外界压力的作用下发生形变，通过检测这种形变来测量压力的大小。
1. 金属薄膜压力传感器原理金属薄膜压力传感器是最常见的一种类型。
它由金属薄膜贴附在载体上构成。
当外界压力作用于金属薄膜时，金属薄膜发生形变，形变后的电阻值发生变化，利用电桥测量这种变化可以得出压力的数值。
2. 压阻式压力传感器原理压阻式压力传感器将电阻与弹性元件相结合。
当外界压力作用于弹性元件时，导致电阻值的变化，通过测量电阻值的变化来计算压力大小。
3. 容性式压力传感器原理容性式压力传感器利用弹性体的变形引起的电容量的变化来测量压力。
当外界压力作用于弹性体时，弹性体形变，使电容量发生变化，通过测量电容量的变化来判断压力的大小。
二、压力传感器的应用领域压力传感器在许多领域中都有广泛的应用，下面将介绍其中几个常见的应用领域。
1. 工业自动化领域在工业自动化领域，压力传感器用于监测和控制各种工艺中的气体或液体的压力变化。
例如，在制造业中，通过监测设备中的气压来确保生产过程的稳定性和安全性。
2. 汽车领域压力传感器在汽车领域中扮演着至关重要的角色。
它们用于监测发动机中的油压、冷却系统中的压力以及制动系统中的液压压力。
这些信息可以用来确保发动机的正常运行和提供安全的制动性能。
3. 医疗领域在医疗领域，压力传感器用于监测患者体内的生理参数，如血压、呼吸压力等。
它们还被应用于手术设备和人工呼吸机等医疗设备中，以监测和调节压力。
4. 环境监测领域压力传感器在环境监测领域中的应用越来越广泛。
它们被用于监测气候变化、水位高度、大气压力等参数。
这些数据对于环境保护和天气预测等方面具有重要意义。
金属溅射薄膜压力传感器
传感器市场份额
工业和汽车 其他
传感器市场份额
流量传感器 压力传感器 温度传感器 其他
21%
40%
46%
19% 60%
14%
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压力传感器市场分析
压力传感器的市场规模在200多亿。目前市场上常用的压力传感器，按生产工艺 分有：
1，半导体扩散硅压力传感器； 2，应变片式压力传感器； 3，溅射薄膜压力传感器。 半导体扩散硅压力传感器是目前应用最广的压力传感器。 产品优点： 适于大批量生产、成本低、输出大、适于微压、低压品种； 产品缺点： 1，由于它的敏感电阻是由半导体硅扩散而成，因此它的电阻温度系数极差，当温 度超过85℃温度补偿非常困难，低于-45℃时扩散硅的电阻率变化及大且无规律，无法 满足环境耐温要求； 2，由于半导体硅的易脆性以及采用隔离膜充硅油封装的原因，产品不能抗高强度 的震动和冲击，频率响应也较低。 而溅射薄膜式压力传感器一大突出特点是受温度影响小。在温度变化100℃时，零 点漂移仅为0.5%。其温度性能远优于扩散硅式压力传感器。所以溅射薄膜式压力传感 器将逐步取代扩散硅式压力传感器。
弹性体膜片减薄以后，加工是主要难题之一。由于膜片很薄，要保证膜片的厚度 尺寸、平行度、光洁度等技术指标，现有压力传感器的弹性体的机械研磨抛光加工 方法已不能适用，需研究新的弹性材料加工技术、手段和工艺，包括专用加工设 备、工装等。我们采用大片的弹性体材料，通过特殊的化学方法和离子束精密抛光 等方法对弹性膜片作减薄、研磨、精密抛光，再利用激光分离技术等手段得到符合 要求的弹体，如下图所示。
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溅射膜压力传感器的关键技术
三、批量化光刻和激光调阻技术
常规的溅射薄膜压力传感器的光刻工艺是一次只能光刻一只或几只弹性体钢杯， 生产效率非常低。采用大片弹性体材料后，一次可光刻100只弹性体，生产效率提高 很多，产品成品率也大大提高。
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溅射膜压力传感器的目标市场分析
二、工业应用方面
油田用传感器：油田作为重要的目标市场，主要为石油测试系统仪表厂商。
化工：化工行业对压力变送器的技术要求相对较低，因此在此领域的竞争也是非常 激烈。针对化工行业的特点，需要致力于低成本的传感器开发，构建成本优势。 机床等其它：机床、机械等行业。
图2 溅射膜压力传感器原理图
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溅射膜压力传感器的目标市场分析
从目前溅射膜压力传感器的市场来看，存在着一个比较突出的特点那就是使用压 力传感器的军工企业或地方企业单位很多，但大都使用量较小，用量大而且稳定用户 的不多，产品的使用环境恶劣，对产品的品质要求高，而相对用量大一些的是一些精 度低、价格便宜的产品。
衡阳鸿大特钟钢管股份有限公司
金属溅射薄膜压力传感器
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传感器 技术
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目录
• 传感器市场分析 • 压力传感器市场分析 • 溅射膜压力传感器的典型结构 • 溅射膜压力传感器的原理 • 溅射膜压力传感器的目标市场分析 • 溅射膜压力传感器的关键技术
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传感器市场分析
国内传感器每年的市场规模在1300亿左右，并且以每年20%的速度增长。工业 及汽车电子产品、通信电子产品、消费电子产品和专用设备是传感器主要应用的 四大领域，其中工业及汽车电子产品领域规模最大，占市场份额的40%左右。按照 国际分类标准看，流量传感器、压力传感器、温度传感器的市场规模最大，传感 器市场占有率分别为21%、19%和14%左右。整个压力传感器的市场规模在200多亿。
薄膜压力传感器主要的应用市场主要是军工行业，还有一些应用环境恶劣的工业 应用，例如工程机械用液压传感器，油田，油井用的油压传力传感器的目标市场分析
一、军工行业
航天：在火箭发动机、火箭测试等得到广泛的使用。 航空：载人航天、探月工程。 装甲车类：例如坦克、装甲车、装甲测试等研制与生产单位。 在军用产品的开发和销售方面，可以从以下方面获得突破： 与需方密切配合，申报一些军工开发研制任务，共同促进项目批准，为合作方得到 合格满意的产品。 提供军工的产品，重点将放在一些可以直接上装备的用户上，比如上弹、上箭、上 坦克等等，因为只有上装备，才能获得真正意义上的批量订购和稳定的用户订货 量。
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溅射膜压力传感器的典型结构
溅射膜压力传感器的典型结构示意图如图1所示，产品由基座、弹性敏感元件（芯 体）、引线支架、真空密封连接器、信号处理电路和电器连接器等组成。
图1 溅射膜压力变送器的典型结构示意图
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溅射膜压力传感器的原理
溅射膜压力传感器芯体的原理如图2所示，流体压力P作用在不锈钢弹性膜片上 ,使 膜片产生变形 ,采用离子束溅射和刻蚀技术在膜片上制作了组成电桥的薄膜电阻, 膜 片变形使电阻阻值发生变化, 电桥输出与压力成比例的电信号。通过电路对电桥输出 的信号进行放大、处理、误差数字化修正，再变换成标准电信号输出。
传感器市场份额
工业和汽车 其他
传感器市场份额
流量传感器 压力传感器 温度传感器 其他
21%
40%
46%
19% 60%
14%
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压力传感器市场分析
压力传感器的市场规模在200多亿。目前市场上常用的压力传感器，按生产工艺 分有：
1，半导体扩散硅压力传感器； 2，应变片式压力传感器； 3，溅射薄膜压力传感器。 半导体扩散硅压力传感器是目前应用最广的压力传感器。 产品优点： 适于大批量生产、成本低、输出大、适于微压、低压品种； 产品缺点： 1，由于它的敏感电阻是由半导体硅扩散而成，因此它的电阻温度系数极差，当温 度超过85℃温度补偿非常困难，低于-45℃时扩散硅的电阻率变化及大且无规律，无法 满足环境耐温要求； 2，由于半导体硅的易脆性以及采用隔离膜充硅油封装的原因，产品不能抗高强度 的震动和冲击，频率响应也较低。 而溅射薄膜式压力传感器一大突出特点是受温度影响小。在温度变化100℃时，零 点漂移仅为0.5%。其温度性能远优于扩散硅式压力传感器。所以溅射薄膜式压力传感 器将逐步取代扩散硅式压力传感器。
3，积极寻找国外代理或代销商，销售产品，与境外客商实现可能的技术合作、 合资或其它一切对公司有利的方式。
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溅射膜压力传感器的关键技术
一、弹性材料及其加工技术
由于微压薄膜传感器弹性材料的厚度将减薄到0.25mm以下，给弹性体加工带来 很大困难。如果仍然采用常规钢杯形式，在表面机械研磨抛光时带来很大的困难。 我们采用杨氏模量小、热稳定性好、表面光洁度高的特制材料充当弹性体，取得了 满意的效果。
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溅射膜压力传感器的关键技术
二、薄膜制备技术
采用多层绝缘膜组合方式，是提高弹性体的绝缘性能的有效解决方案，同时要 采用低能离子束原子薄膜溅射技术，制备致密、均匀、附着力强、均匀性好的纳米 薄膜也是最基本的保证。通过以上方法，镀膜时间大大减少的情况下，弹性体的绝 缘强度大于5000MΩ ／100VDC。另外，我们研究敏感材料的性能，采用极低温度系数 和较高的灵敏度系数的靶材制作敏感材料，使得传感器的灵敏度较普通溅射薄膜产 品提高３倍，而温度漂移低至0.001%FS/℃。这使得传感器的性能得到大大提高，传 感器的整体性能达到世界先进水平。
为使溅射膜压力传感器尽快实现产业化、规模化，在工业产品方面我们将采取 以下措施：
1，采取引进科学管理相的方式降低成本，使公司具有提供高、中、低各挡次产 品的能力，在保持住现有的份额的同时，不断以优良的性价比参入竞争，以期获得 更大的市场占有率；
2，努力寻找可能的用量大的用户，积极参与大用量的用户的新品研制工作，力 求在选型、定型都使用我们的产品，为未来产品的销售打下良好的基础。
弹性体膜片减薄以后，加工是主要难题之一。由于膜片很薄，要保证膜片的厚度 尺寸、平行度、光洁度等技术指标，现有压力传感器的弹性体的机械研磨抛光加工 方法已不能适用，需研究新的弹性材料加工技术、手段和工艺，包括专用加工设 备、工装等。我们采用大片的弹性体材料，通过特殊的化学方法和离子束精密抛光 等方法对弹性膜片作减薄、研磨、精密抛光，再利用激光分离技术等手段得到符合 要求的弹体，如下图所示。