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薄膜传感器ppt课件

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Department of Electronic Science and Engineering, Nanjing University
Principles and Applications of Novel
SENS R
一、金属薄膜热电阻
技术背景:
80年代以来,薄膜技术不断成熟,薄膜热电阻 随之发展起来。 德、日和美相继建成规模化生产线,我国研究 机构(如上冶所)在薄膜热电阻的工艺研究上 取得了突破性进展,并不断有产品投入市场。 目前,阻值已扩大到2000Ω,元件尺寸已缩小 到1.6mm×1.25mm×1.1mm。 结构上有带线平面型、无引线的SMD型和外伸 导线型等。高温薄膜热电阻的温度范围提高到 850℃甚至1100℃,低温工作温度-55℃。
B L 2 Wk 0 m h K 晶格杂质散射项,负的温度系数 B 2 L q 2mh KC 2 晶界电阻项 q LNA q —— 电子电荷数 k0 —— 玻尔兹曼常数 P(0) —— 晶粒中性区空穴浓度 μP —— 空穴迁移率 (与晶格的振动散射和电离杂质散射有关) A、B —— 与温度无关的常数 mh—— 空穴的有效质量
Department of Electronic Science and Engineering, Nanjing University
新型传感器原理及应用
Principles and Applications of Novel Sensors
数值上,半导体电阻的相对变化( dR/R )值的大 小主要由电阻率变化(dρ/ρ)决定:
Department of Electronic Science and Engineering, Nanjing University
新型传感器原理及应用

压力传感器的应用

压力传感器的应用

现代检测技术Lecture 4 –压力传感器的应用Outline•压力传感器的分类•压力传感器在电子衡中的应用•电子皮带秤的原理与应用•混凝土搅拌站控制系统压力传感器的分类•光电式•液压式•电磁力式•电容式•磁极变形式•电阻应变式光电式压力传感器•光电式压力传感器又包括:光栅式、码盘式。

–光栅式压力传感器利用一个装在表盘轴上可移动的光栅和另一块固定光栅形成的莫尔条纹把角位移转换为电信号。

秤台加压力后,杠杆带动使表盘旋转,从而带动移动光栅运动,莫尔条纹也跟着变化。

通过计算移过条纹的数量,测出光栅转动角的大小,进而计算被测的压力。

抗电磁干扰、抗腐蚀、电绝缘、长期稳定性好、易组网;精度相对比较低、尺寸比较大、运行速度比较低。

–码盘式传感器:码盘(符号板)是一块装在表盘轴上的透明玻璃,上面带有按一定编码方法编定的黑白相间的条码。

加在承重台上的被测压力通过杠杆使表盘轴旋转时,码盘也随之转过一定角度。

光电池透过码盘接收光信号并转换成电信号,由电路进行处理并得到测量结果。

电磁力式压力传感器•当承重台上放有被测压力时,杠杆的一端向上倾斜,光电件检测出倾斜度信号,经放大后流入线圈产生磁场,与和它靠近的永磁体产生电磁力,使杠杆恢复至平衡状态。

对产生电磁平衡力的电流进行数字转换,即可确定被测压力。

•电磁力式传感器的特点:–准确度高可(达1/2000-1/60000),但是压力范围小(仅在几十毫克至10千克之间);–使用寿命比较短,长期稳定性和可靠性不高。

电容式压力传感器•电容式传感器是一种把被测的机械量,如位移、压力等转换为电容量变化的传感器。

•它的敏感部分是具有可变参数的电容器,其最常用的形式是由两个平行电极组成,极间以空气为介质的电容器。

信号处理电路•通过电容—频率转换电路,通常构成一个RC振荡电路,把不易测量的电容的变换量转换成易于测量的频率信号的变化量;•由于压力的作用会引起传感器的电容产生对应的变化,单位时间内计算机所读取的RC振荡器的周期个数会发生变化,根据读取周期的个数再减去初始值(没加重物的值)就可测定所加的压力。

压力传感器的应用领域

压力传感器的应用领域

通常用的压力密封是橡胶垫(或称O 型环)、环氧树脂、聚四氟乙烯垫、锥孔配合、管螺纹配合及焊接等方式。

所用的密封材料决定了压力传感器的工作温度范围。

广义的讲,凡是利用压电材料各种物理效应构成的种类繁多的传感器,都可称为压力传感器。

它们在工业、军事和民用等各方面得到一定的应用。

压电式压力传感器可用来测量压力范围为104 - 106Pa 、频率为Hz 至几十Hz (甚至上百千Hz)的动态压力,在内燃机的气缸、油管、进排气管的压力测量、枪炮的膛压、生物医学及航空航天等领域都得到广泛的应用。

它们的弹性元件是由膜片、膜盒等把压力收集起来,转换成集中力,再传递给压电元件。

为了保证静态特性及其稳定性,通常多采用石英晶片并联组合方式。

压力传感器在应用中应注意以下几点:(1)确保弹性膜片与后传力件有良好的面接触,用以实现减小滞后与线性误差,提高静、动态特性;(2)传感器的基体和壳体要有足够刚度,保证被测压力能够尽可能地传递到压电元件上:(3)压电弹性元件的选择要考虑到频率覆盖:弯曲(014 - 100kHz),压缩(40kHz- 15MHz),剪切(100kHz - 125MHz) ; (4)涉及传力的元件要采用高声速材料和扇薄结构,以利于快速、无损失的传递弹性元件的弹性波,提高动态特性:(5)要考虑加速度、温度等环境干扰的补偿。

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薄膜压力传感器原理

薄膜压力传感器原理

薄膜压力传感器原理嘿,你有没有想过,那些小小的传感器是怎么感知压力的呢?今天我就来给你讲讲薄膜压力传感器这个神奇的东西。

我有个朋友叫小李,他就在一家科技公司工作,整天捣鼓这些高科技玩意儿。

有一次我去他公司参观,看到那些小巧精致的薄膜压力传感器,我就特别好奇。

我就问他:“这小玩意到底是怎么知道有压力作用在它上面的呢?”小李笑着跟我说:“这可就大有学问了。

”薄膜压力传感器啊,它的核心原理就像我们的皮肤感知外界压力一样。

你看,我们的皮肤很敏感,当有东西轻轻触碰或者按压的时候,我们就能感觉到。

薄膜压力传感器也是类似的道理。

它有一个很薄的薄膜,这个薄膜就像是传感器的“皮肤”。

当有压力施加在这个薄膜上的时候,就会引起薄膜的一些变化。

这个薄膜下面通常有一些特殊的材料或者结构。

比如说,有一种是压阻式的薄膜压力传感器。

这就好比在薄膜下面藏着一群特别敏感的小士兵。

这些小士兵就是压阻材料。

正常情况下,它们有自己的电学特性。

可是一旦有压力作用在薄膜上,薄膜就会把这个压力传递给下面的压阻材料。

这时候,就像小士兵受到了冲击一样,压阻材料的电阻值就会发生改变。

就像一条原本顺畅的道路,突然有了一些障碍,电流通过的时候就不那么顺畅了。

这种电阻值的变化就可以被检测到,然后通过一些电路转换,就能够知道施加的压力是多少了。

还有一种电容式的薄膜压力传感器呢。

这就更有趣了。

想象一下,薄膜和下面的电极就像是两片很薄的面包片,中间夹着的空气或者其他电介质就像是中间的果酱。

当没有压力的时候,这个“三明治”结构有一个固定的电容值。

这就好比这个“三明治”的厚度、成分都是固定的,它的电容特性也是固定的。

但是当有压力施加在薄膜上的时候,薄膜就会向电极靠近,就像有人轻轻挤压这个“三明治”一样。

这时候,中间的电介质层就会变薄,电容值就会发生变化。

这个变化就像是一个信号,告诉我们有压力存在了。

这是不是很神奇呢?我当时就对小李说:“哇,这就像一个微观世界里的小魔法啊。

薄膜温度传感器的研制及应用

薄膜温度传感器的研制及应用

薄膜温度传感器的研制及应用摘要:本文重点介绍了薄膜温度传感器的研制及其应用。

首先概述了薄膜温度传感器的特性,然后就薄膜温度传感器研制方法分析了材料选择、测量原理、外形设计等,并讨论了性能和适用范围。

最后,重点介绍了薄膜温度传感器的应用,如飞机发动机的内部温度监控和工业自动控制等。

关键词:薄膜温度传感器;研制;应用正文:1. 介绍薄膜温度传感器是一种新型的温度检测器,它使用了薄膜材料作为基础温度传感器。

薄膜温度传感器具有结构紧凑、体积小、重量轻、信号传输快等优点,在温度检测中有重要的应用。

2. 研制方法2.1 材料选择一般情况下,薄膜材料的热敏元件是采用传统的绝缘型有机热敏材料,如高分子材料或金属热敏材料等,具有低成本、高精度和良好的耐热性。

2.2 测量原理薄膜温度传感器使用热敏元件对周围温度变化作出反应,从而实现温度检测。

一般采用热敏电阻原理,即根据不同温度下热敏元件内部电阻的变化,产生可测量的响应信号,并通过仪表显示温度大小。

2.3 外形设计薄膜温度传感器的外形设计首先考虑到空间的利用率和测量精度,确定热敏元件布局和外形。

一般而言,薄膜温度传感器外形设计要求具有良好的热性能,极大地缩短测量时间。

3. 性能和适用范围薄膜温度传感器具有低成本、高精度、良好的耐热性和热响应时间快等优点,广泛应用于温度检测领域。

薄膜温度传感器的测量范围一般介于-40℃到1000℃之间,对热电偶的精度要求为±3℃,对高精度应用精度要求高达± 0.2℃。

4. 应用薄膜温度传感器可广泛应用于各种温度检测、监测和自动控制领域。

例如,可用于飞机发动机的内部温度监控,在冶金行业中可有效控制各种元素的温度变化,在工业自动控制中可根据温度变化自动调节机械装置的运行,在医学研究中可用于生物样本的温度检测等。

应用薄膜温度传感器可以获得准确的温度测量结果,为行业的发展提供重要的支持。

首先,薄膜温度传感器在飞机发动机的内部温度监控中发挥着重要作用。

薄膜压力传感器的工作原理

薄膜压力传感器的工作原理

薄膜压力传感器的工作原理
薄膜压力传感器的工作原理是将一个薄膜(如Pt-Ir)作为一个弹性元件,将受压力气体(如液体或气体)作为一个外力,对薄膜施加压力;上面固定一个有弹性特性的膜,用于检测受压力气体对薄膜施加的压力;在受压力气体施加压力时,两个膜表面会发生紧密贴合,从而引起一些物理和化学变化。

其中,物理变化表现为薄膜的尺寸变化。

在上述变化过程中,由于膜的弹性特性,会产生电容变化,从而产生测量信号。

此信号电容变化随压力的变化而变化,从而实现压力的测量。

耐高温合金薄膜压力传感器的设计及仿真分析

耐高温合金薄膜压力传感器的设计及仿真分析

耐高温合金薄膜压力传感器的设计及仿真分析谭苗苗(北京联合大学机电学院,北京100020)摘要:研制高温恶劣环境适用的压力传感器具有重要的工程实际意义。

文中设计了以蓝宝石为弹性膜片,溅射合金薄膜 为应变电阻的耐高温压力传感器。

通过有限元软件计算分析了弹性膜片的应力应变分布,并对膜片厚度进行了优化设计。

关键词:高温压力传感器;合金薄膜;仿真中图分类号:TP 391.7 文献标志码:A文章编号=1002-2333(2017)06-0033-02 Design and Simulation Analysis of High Temperature Alloy Thin Film Pressure SensorTAN Miaomiao(College of Mechanical and Electrical Engineering,Beijing Union University,Beijing 100020, China)Abstract:The development of high temperature pressure sensor has im portant practical significance.This paper designs a high temperature pressure sensor including sapphire elastic diaphragm and alloy film strain resistance.By using finite element software,the stress and strain distribution of the diaphragm is analyzed,and the thickness of diaphragm is optimized.Key words:high temperature pressure sensor;alloy film;sim ulation0引言火箭发射时,发动机产生大量高温高压燃气流(温度 通常在3000 K左右)从火箭尾部喷管向外喷射,其燃气流 尾焰对外产生的压力、温度、作用时间等,直接导致了火箭 燃气流对发射装置以及环境产生更加严重的破坏。

传感器使用说明书

传感器使用说明书
* SK-8Y2X A系列型号有:SK-8Y21A6Mpa
SK-8Y24A40Mpa
SK-8Y25A1.6MPa
SK-8Y3X A系列无腔压力传感器
无腔压力传感器可以用来测量粘稠易堵介质的压力,由于该传感器的敏感元件采用了硬膜结构,使其与被测介质直接接触时能耐冲击和耐磨损;另外采用了离子束淀积技术,使该传感器具有精度高、能长期在恶劣环境下工作的特点。
二、技术指标
SK-8N01G转盘扭矩传感器的系统构成见图一,包括传压器(1)、四通接头(2)、压力传感器(3)、压力表(4)以及高压软管。需经常拆卸的高压软管与四通之间用快速接头连接,装拆方便。由传感器输出的压力油流入四通接头内,该处装有节流塞(6),以减小输入油压的冲击。
传感器的技术指标如下:
输入液压讯号范围:0~1.6Mpa
该系列传感器为电感型接近开关。当金属物体靠近传感器的端面时,使振荡减弱以至停振,施密特电路输出高电平,指示灯亮;当金属物体离开时,振荡器起振,输出低电平,指示灯灭。
二、技术指标
1.工作温度:-25℃~70℃
2.额定工作电压:8~30VDC(二线制)
3. 最大输出电流:100mA
4.重复定位精度: ≤0.10mm
SK-8Y2XA系列压力传感器
一、工作原理
SK-8Y2X A系列合金薄膜传感器,由离子束溅射合金薄膜压力传感器与信号调制电路组成,适用于流体压力、差压或液位的检测,采用现代薄膜设备与刻蚀技术制造,其技术独特、性能优越,由此组成的SK-8Y2X A系列传感器,具有精度高,能长期在恶劣环境下稳定工作的特点。
传压器膜径:152毫米(mm)
最大压力极限:2.4MPa
负载能力:50千牛(KN)
工作温度:- 30~+80℃
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传感器原理及工程应用(论文)合金薄膜压力传感器的应用学生姓名:张志强指导教师:任爽所在学院:信息技术学院专业:电气工程及其自动化学号:20094073120中国·大庆2019 年12 月目录前言........................................................ I I1 合金薄膜压力传感器工作原理 (1)2 合金薄膜高温压力传感器研究现状 (2)2.1 镍铬系合金薄膜压力传感器 (2)2.2 铂钨合金薄膜压力传感器 (3)2.3 钯铬合金薄膜应变计 (3)3 多功能传感器(MULTIFUNCTION) (4)3.1 多功能传感器的执行规则和结构模式 (4)3.2 多功能传感器的研制与应用现状 (4)4 无线网络化(WIRELESS NETWORKED) (7)4.1 传感器网络 (7)4.2 传感器网络研究热点问题和关键技术 (7)4.3 传感器网络的应用研究 (8)结论 (10)参考文献 (11)前言咨询公司INTECHNO CONSULTING的传感器市场报告显示,2019年全球传感器市场容量为506亿美元,预计2019年全球传感器市场可达600亿美元以上。

调查显示,东欧、亚太区和加拿大成为传感器市场增长最快的地区,而美国、德国、日本依旧是传感器市场分布最大的地区。

就世界范围而言,传感器市场上增长最快的依旧是汽车市场,占第二位的是过程控制市场,看好通讯市场前景,一些传感器市场比如压力传感器、温度传感器、流量传感器、水平传感器已表现出成熟市场的特征。

流量传感器、压力传感器、温度传感器的市场规模最大,分别占到整个传感器市场的21%、19%和14%。

传感器市场的主要增长来自于无线传感器、MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)传感器、生物传感器等新兴传感器。

其中,无线传感器在2019-2019年复合年增长率预计会超过25%。

目前,全球的传感器市场在不断变化的创新之中呈现出快速增长的趋势。

有关专家指出,传感器领域的主要技术将在现有基础上予以延伸和提高,各国将竞相加速新一代传感器的开发和产业化,竞争也将日益激烈。

新技术的发展将重新定义未来的传感器市场,比如无线传感器、光纤传感器、智能传感器和金属氧化传感器等新型传感器的出现与市场份额的扩大。

1 合金薄膜压力传感器工作原理合金薄膜压力传感器一般采用溅射、蒸镀等方法把合金淀积在弹性膜片上,薄膜应变层通过感受膜片的应变而产生相应电阻变化,从而完成非电量到电量的转换。

其一般结构如图 1 所示。

图1合金薄膜压力传感器的优点是结构紧凑,散热良好,尤其突出的是利用薄膜沉积代替了传统粘贴式应变片的胶接,从而克服了应变灵敏系数低及滞后、蠕变,稳定性差等缺点,能满足恶劣环境下压力测量的要求。

2 合金薄膜高温压力传感器研究现状目前对高温压力传感器的研究主要包括:多晶硅、单晶硅、SOS (蓝宝石上硅)、SiC 等半导体高温压力传感器,金刚石薄膜、合金溅射薄膜高温压力传感器,光纤高温压力传感器等。

半导体传感器灵敏度高,芯片易于批量制作、成本低廉,其缺点是温度特性较差,最高使用温度一般为200~350 ℃;且半导体传感器一般采用单晶硅作为衬底,超过 500 ℃后,其热可塑性问题无法解决———这些都限制了半导体压力传感器在更高温环境如火箭发动机燃烧室压力测量(>600 ℃)中的使用。

金刚石的某些特殊性质(如化学上的惰性)以及极大的压阻效应、在高温下仍具有良好的压阻特性使其成为制作高温压阻型压力传感器的极佳材料,但目前对金刚石薄膜的理论研究与实际应用尚存在较大差距,如高温有氧环境下金刚石易表面石墨化,金刚石与金属间难以形成理想的欧姆接触等。

光纤本身耐高温,制作光纤高温压力传感器是可行的,但其应用较为复杂、且对测量环境的要求较高。

相对于其它传感器,合金薄膜传感器虽然应变系数较低,但具有精度高、稳定性好、耐腐蚀、温度特性较好且应用温度范围较宽等一系列优点,这些优点能够保证合金薄膜压力传感器在高温燃气的恶劣环境中进行测量。

2.1 镍铬系合金薄膜压力传感器镍铬系合金应用广泛、技术成熟,是目前制作中、低温应变计最优敏感材料之一。

镍铬系合金典型代表有镍铬合金(镍铬 V),镍铬改良型合金(卡玛、伊文)等,主要性能参数如表 1 所示。

表 1镍铬系合金具有较高的电阻率、较低的电阻温度系数、较高的应变灵敏系数,且改良型合金的应变灵敏系数随温度的升高而降低从而可对弹性体弹性模量进行温度自补偿等优点。

但该系合金在高温下会发生有序-无序的变化(如图 2),即 K 状态,导致电阻不稳定,所以静态应用温度范围一般为-269 ~+350 ℃,适用于中、低温环境下的压力测量。

目前国内外合金薄膜压力传感器主要生产厂家如英国 Senstronics 公司、美国 Bell Howell 公司、汤姆逊公司及北京航天遥测遥控研究所、北京威斯特中航机电公司等所用敏感材料均为镍铬系合金,产品应用温度范围多为-50/60~+200 ℃,另外国内亦有超低温 (-200 ℃) 镍铬薄膜压力传感器的报道。

NASA的 Lewis 研究中心对合金薄膜高温应变计的研究居世界前列。

1983年 Grant 等人研制的镍铬薄膜应变计,虽然受引线疲劳寿命所限而导致可靠性较差,但仍能满足高温(600 ℃) 燃气环境中涡轮叶扇的动态应变测量要求。

图22.2 铂钨合金薄膜压力传感器铂钨合金的研究始于上世纪60 年代,研究的目的即是解决高温(600-1000 ℃)应变测量问题。

高温下的主要问题是电氧化引起敏感材料的不稳定,以及由此引起的漂移。

铂钨合金具有适中的电阻率,耐酸碱、抗腐蚀,特别是高温(700-800℃) 下仍具有很好的抗氧化性,电阻温度系数与温度呈线性关系(如图2),且应变灵敏系数较高,最高使用温度为静态800℃,动态1000℃。

铂钨合金主要性能参数如表 2 所示,其缺点主要是电阻温度系数大,一般在200 ppm/℃左右,实际使用中温度补偿较为困难。

表2 铂钨合金性能参数表 2彭士元等人利用蓝宝石作为弹性膜片研制的Pt92W8薄膜高温压力传感器主要性能指标如下:量程0.2~10 MPa;精度 0.5% F·S;应用温度范围-10~400 ℃;零点温度飘移及灵敏度温度漂移均较小(10-4量级),具有较好的长期稳定性。

2.3 钯铬合金薄膜应变计为满足新一代航天器研制的需求,近二十几年来Lewis研究中心一直致力于合金薄膜高温应变计的研究。

1987年开始,C.O.Hulse 和 H.P.Grant 等人开始研制基于一种新合金钯铬(13%铬)的应变计。

2019 年 Jih-Fen Lei 等人利用钯铬合金作为薄膜应变材料,在室温至 1100 ℃的燃气环境中对涡轮叶扇的动态应变进行了测量;在相同的环境条件下,利用铂电阻作温度补偿,对静态应变也成功地进行了测量。

研究表明,钯铬合金在 1000 ℃范围内组织结构稳定,无相变,并且在空气中自身能形成一层坚实的 Cr2O3 抗氧化层。

钯铬合金的这些特性,使得其电阻温度特性的稳定性、重复性好,并且与升、降温速率关系不大。

钯、铬及钯铬合金主要性能参数如表 3 所示。

钯铬合金的电阻温度特性、灵敏度温度特性均与温度成良好线性关系(图 3、图 4),且耐千度以上高温,其制成的传感器可以应用于高温压力测量。

但就 Lewis 研究中心研制的钯铬薄膜应变计而言,存在的问题主要是:设计使用寿命较短,仅 50 小时;高温会使绝缘层绝缘性能急剧下降,从而导致应变计完全失效(图5)。

图3表 3图4图53 多功能传感器(Multifunction)如前所述,通常情况下一个传感器只能用来探测一种物理量,但在许多应用领域中,为了能够完美而准确地反映客观事物和环境,往往需要同时测量大量的物理量。

由若干种敏感元件组成的多功能传感器则是一种体积小巧而多种功能兼备的新一代探测系统,它可以借助于敏感元件中不同的物理结构或化学物质及其各不相同的表征方式,用单独一个传感器系统来同时实现多种传感器的功能。

随着传感器技术和微机技术的飞速发展,目前已经可以生产出来将若干种敏感元件综装在同一种材料或单独一块芯片上的一体化多功能传感器。

3.1 多功能传感器的执行规则和结构模式概括来讲,多功能传感器系统主要的执行规则和结构模式包括:(1)多功能传感器系统由若干种各不相同的敏感元件组成,可以用来同时测量多种参数。

譬如,可以将一个温度探测器和一个湿度探测器配置在一起(即将热敏元件和湿敏元件分别配置在同一个传感器承载体上)制造成一种新的传感器,这样,这种新的传感器就能够同时测量温度和湿度。

(2)将若干种不同的敏感元件精巧地制作在单独的一块硅片中,从而构成一种高度综合化和小型化的多功能传感器。

由于这些敏感元件是被综装在同一块硅片中的,它们无论何时都工作在同一种条件下,所以很容易对系统误差进行补偿和校正。

(3)借助于同一个传感器的不同效应可以获得不同的信息。

以线圈为例,它所表现出来的电容和电感是各不相同的。

(4)在不同的激励条件下,同一个敏感元件将表现出来不同的特征。

而在电压、电流或温度等激励条件均不相同的情况下,由若干种敏感元件组成的一个多功能传感器的特征可想而知将会是多么的千差万别!有时候简直就相当于是若干个不同的传感器一样,其多功能特征可谓名副其实。

3.2 多功能传感器的研制与应用现状多功能传感器无疑是当前传感器技术发展中一个全新的研究方向,日前有许多学者正在积极从事于该领域的研究工作。

如将某些类型的传感器进行适当组合而使之成为新的传感器,如用来测量流体压力和互异压力的组合传感器。

又如,为了能够以较高的灵敏度和较小的粒度同时探测多种信号,微型数字式三端口传感器可以同时采用热敏元件、光敏元件和磁敏元件;这种组配方式的传感器不但能够输出模拟信号,而且还能够输出频率信号和数字信号.从目前的发展现状来看,最热门的研究领域也许是各种类型的仿生传感器了,而且在感触、刺激以及视听辨别等方面已有最新研究成果问世。

从实用的角度考虑,多功能传感器中应用较多的是各种类型的多功能触觉传感器,譬如人造皮肤触觉传感器就是其中之一,这种传感器系统由PVDF材料、无触点皮肤敏感系统以及具有压力敏感传导功能的橡胶触觉传感器等组成。

据悉,美国MERRITT公司研制开发的无触点皮肤敏感系统获得了较大的成功,其无触点超声波传感器、红外辐射引导传感器、薄膜式电容传感器、以及温度、气体传感器等在美国本土应用甚广。

与其它方面的研究成果相比,目前在人工嗅觉方面的研究还似乎远远不尽人意。

由于嗅觉元件接收到的判别信号是非常复杂的,其中总是混合着成千上万种化学物质,这就使得嗅觉系统处理起这些信号来异常错综复杂。

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