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薄膜电阻应变式压力传感器的研制

薄膜电阻应变式压力传感器的研制

薄膜电阻应变式压力传感器的研制引言压力传感器是一种广泛应用于工业自动化、汽车、医疗设备等领域的传感器,用于测量气体或液体的压力变化。

薄膜电阻应变式压力传感器是一种常见的压力传感器类型,其通过测量薄膜电阻在受力情况下的变化来实现对压力的测量。

本文将介绍薄膜电阻应变式压力传感器的原理、制造工艺以及性能评估。

原理薄膜电阻应变式压力传感器基于片状或薄膜状的感应元件,通过将感应元件粘合到金属、陶瓷或聚合物基座上,实现对压力的测量。

当感应元件受到压力作用时,其形状发生变化,导致电阻值发生变化。

通常,感应元件采用电阻应变片(Strain Gauge)或电阻薄膜(Resistive Film)。

电阻应变片是一种由导电材料制成的薄片,当应变作用在片上时,导电材料的电阻值发生变化。

常见的电阻应变片材料有铂、钨、镍合金等。

应变片的电阻变化可以通过电桥电路进行测量,从而得到与压力相关的输出信号。

电桥电路常使用满桥或半桥结构。

电阻薄膜是一种将导电材料以薄膜形式固定在基座上的结构。

当感应元件受到压力作用时,薄膜的形变导致电阻值发生变化。

电阻薄膜的制造工艺相对简单,但其在某些情况下可能受到温度和湿度的影响。

制造工艺薄膜电阻应变式压力传感器的制造工艺包括感应元件的制备、基座的制备以及组装工艺。

感应元件的制备通常采用微加工技术,即在硅片上通过光刻、蒸发、刻蚀等工艺形成感应元件的结构。

在电阻应变片的制备中,首先在硅片上生长薄膜,并形成需要的形状。

然后通过光刻工艺,将薄膜进行刻蚀,形成电阻应变片。

在电阻薄膜的制备中,直接在硅片上蒸发导电材料,并通过光刻工艺形成所需的薄膜形状。

基座的制备可以根据需要选择不同的材料,如金属、陶瓷或聚合物。

基座的制备工艺包括切割、抛光等步骤,以形成适合感应元件的支撑结构。

在组装工艺中,首先将感应元件粘合到基座上,然后连接导线和接头。

最后,进行封装,以保护感应元件,并连接输出信号线和电源线。

性能评估对薄膜电阻应变式压力传感器的性能评估常包括静态性能和动态性能两个方面。

薄膜式压力传感器工作原理

薄膜式压力传感器工作原理

薄膜式压力传感器工作原理嘿,朋友们!今天咱来聊聊薄膜式压力传感器的工作原理,这可有意思啦!你可以把薄膜式压力传感器想象成一个超级敏感的小侦探。

它的工作原理呢,就像是小侦探在时刻留意着周围的动静。

这个小侦探啊,由一个很薄很薄的膜片组成,就像人的皮肤一样敏感。

当有压力作用在这个膜片上时,就好比有人轻轻拍了一下小侦探的肩膀,它马上就能感觉到。

这时候,膜片就会产生微小的变形,这变形可不得了,它就像是小侦探发出的信号。

这个信号会被转化成电信号,然后通过一些线路传递出去。

这不就跟咱人一样嘛,咱被碰一下,会有感觉,然后大脑会知道。

薄膜式压力传感器也是这样,它能快速准确地感知压力的变化,并把这个信息传递出去。

你说这神奇不神奇?它能检测到极其微小的压力变化呢!那它都能用在啥地方呢?哎呀,那可多了去啦!比如在医疗领域,它可以检测病人的血压、呼吸等重要信息,就像医生的小助手一样。

在工业上呢,能监测机器的运行状态,要是机器哪里压力不太对劲,它能第一时间告诉人们。

再想想看,要是没有薄膜式压力传感器,那得多不方便啊!很多重要的设备可能就没法正常工作了,医疗诊断也可能没那么精准了。

所以说,它虽然看起来小小的,可作用大着呢!而且啊,它还特别耐用,就像一个坚强的小战士,不管环境多恶劣,它都能坚守岗位。

它还很稳定,不会随便出毛病,让人特别放心。

咱平时生活中可能不太会注意到它,但它却在默默地为我们服务呢!是不是很厉害?它就像一个幕后英雄,不声不响地发挥着巨大的作用。

总之啊,薄膜式压力传感器真的是个了不起的东西。

它用它那小小的身躯,为我们的生活和工作带来了那么多的便利和保障。

咱可得好好感谢它呢!这就是薄膜式压力传感器的工作原理,你明白了吗?原创不易,请尊重原创,谢谢!。

薄膜压力传感器平面扫描测量系统

薄膜压力传感器平面扫描测量系统

User Guide薄膜压力传感器平面扫描测量系统艾动测试系统使用流程图:硬件安装启动测试软件USB连接到测试电脑连接传感器与数据采集查看设备是否连接成功打开软件界面设备已经连接黄色LED点亮轻压感应区软件窗口YesNo软件进入校正功能OK?YesNo开始录制施压过程停止录制施压过程保存、打开录制文件数据影片重播END开始使用重新拔、插传感器红色LED灯点亮施压过程分析断开USB连接线测试软件安装一、安全使用注意事项:为保证您正确使用本机,防止发生身体伤害或者损坏,特提供一项注意事项。

请遵守这些事项。

1.1非专业人士,请勿拆开外壳;请勿在潮湿的环境中使用;请勿撕扯薄膜传感片。

1.2标定系统在使用过程中:请勿用力拉电线拔出电源插头;请勿用湿手插/拔插头。

二、系统设备配置列表2.打开包装箱,请根据包装箱内附装箱单检查并仔细检查物品,若有物品丢失或损坏,请联络经销商。

2.1传感器系统包含以下物品:A,数据采集手柄1套;B,单点压力传感器若干片;C,测试软件安装软件包E-SCAN(显示52列44行数据),可以通过艾动公司的客服人员处获取; D,使用说明书,可以根据艾动公司的客服人员获取;三、计算机运行系统要求:四、设备组成与功能描述:整套测试系统由数据采集采集手柄、传感器、以及PC测试软件安装包组成。

数据采集手柄功能包括运算放大器、ADC转换器和USB数据传输给测试电脑。

(1)1套硬件测试电路(1套52行&44列数据采集手柄);通过USB接口连接数据采集手柄与测试电脑传感器集线系统。

(2)1套测试软件系统;(3)推拉力计校正系统用于校正功能使用。

五、艾动单点薄膜压力传感器参数与性能:(1)用途:在外力荷载作用下测试构件之间相互作用产生的应力分布及相应位置的应力值,施加在所有的传感器上构件产生的应力值需要能够同时采集。

(2)方案:采用多点分布式薄膜传感器。

(3)规格:感应区尺寸为255mm*210mm;信号导线延长长度180mm;压力测量时量程要求0-500KG (35PSI)。

电阻式薄膜压力传感器原理

电阻式薄膜压力传感器原理

电阻式薄膜压力传感器原理
电阻式薄膜压力传感器原理:
1、结构:电阻式薄膜压力传感器由几个部分组成,包括底座、紧固件、绝缘件、金属膜、线圈、放大器和输出电路等。

2、原理:其工作原理是,金属薄膜被外界压力延伸,金属膜表面形成电阻网络,线圈轴向移动拉伸时,在线圈中产生变化的模拟量,随着
压力大小不同,这个模拟量也会相应地发生变化,然后通过放大器将
这个模拟量变成一个可读性更强的正常电压输出。

3、优点:电阻式薄膜压力传感器具有较高的精度,耐高温性能好,保证有效率,实现实时检测和检测,是传统行业的检测设备;另外,它
的响应时间可满足大部分应用需求,具有稳定可靠的性能,较高的抗
衰减性,可以用于重要工况的监控。

4、功能:电阻式薄膜压力传感器可以用来测量流体、气体和液体的压力变化,这些压力变化包括瞬态压力变化和阻塞压力变化。

电阻式薄
膜压力传感器可用来实时检测压力的变化,可以进行安全控制,节约
能源,及时了解有关材料和环境的变化情况,辅助装备的检修及润滑,以及进行其它的应用。

5、应用:电阻式薄膜压力传感器广泛用于工厂、冶金厂、电厂、机床及航空航天、汽车及摩托车制造厂等工业领域,具有优秀的耐蚀性能,因此可以在有腐蚀性介质的场合中应用。

例如可用于温度和压力的传
输和控制;可用于填料的称量和秤量,减少残余物料的积累;可用于
飞机和卫星的实验和监控;可用于矿山煤盘磅以及手术、医疗和部分
工业温度控制,等等。

薄膜压力传感器原理

薄膜压力传感器原理

薄膜压力传感器原理嘿,你有没有想过,那些小小的传感器是怎么感知压力的呢?今天我就来给你讲讲薄膜压力传感器这个神奇的东西。

我有个朋友叫小李,他就在一家科技公司工作,整天捣鼓这些高科技玩意儿。

有一次我去他公司参观,看到那些小巧精致的薄膜压力传感器,我就特别好奇。

我就问他:“这小玩意到底是怎么知道有压力作用在它上面的呢?”小李笑着跟我说:“这可就大有学问了。

”薄膜压力传感器啊,它的核心原理就像我们的皮肤感知外界压力一样。

你看,我们的皮肤很敏感,当有东西轻轻触碰或者按压的时候,我们就能感觉到。

薄膜压力传感器也是类似的道理。

它有一个很薄的薄膜,这个薄膜就像是传感器的“皮肤”。

当有压力施加在这个薄膜上的时候,就会引起薄膜的一些变化。

这个薄膜下面通常有一些特殊的材料或者结构。

比如说,有一种是压阻式的薄膜压力传感器。

这就好比在薄膜下面藏着一群特别敏感的小士兵。

这些小士兵就是压阻材料。

正常情况下,它们有自己的电学特性。

可是一旦有压力作用在薄膜上,薄膜就会把这个压力传递给下面的压阻材料。

这时候,就像小士兵受到了冲击一样,压阻材料的电阻值就会发生改变。

就像一条原本顺畅的道路,突然有了一些障碍,电流通过的时候就不那么顺畅了。

这种电阻值的变化就可以被检测到,然后通过一些电路转换,就能够知道施加的压力是多少了。

还有一种电容式的薄膜压力传感器呢。

这就更有趣了。

想象一下,薄膜和下面的电极就像是两片很薄的面包片,中间夹着的空气或者其他电介质就像是中间的果酱。

当没有压力的时候,这个“三明治”结构有一个固定的电容值。

这就好比这个“三明治”的厚度、成分都是固定的,它的电容特性也是固定的。

但是当有压力施加在薄膜上的时候,薄膜就会向电极靠近,就像有人轻轻挤压这个“三明治”一样。

这时候,中间的电介质层就会变薄,电容值就会发生变化。

这个变化就像是一个信号,告诉我们有压力存在了。

这是不是很神奇呢?我当时就对小李说:“哇,这就像一个微观世界里的小魔法啊。

柔性薄膜压力传感器规格书ZNX-01

柔性薄膜压力传感器规格书ZNX-01

力敏特性 以下为柔性薄膜压力传感器ZNX-01中一个点的压力-电阻值变化曲线图。图表显示了全部电阻范 围内的压力-电阻值关系。
注意: 图表中曲线是在特定的条件下测得的数据绘制而成,曲线关系仅供参考,实际数据请根据具体
应用情况安装后测试。
ZNX-01 规格书
REV2.1 Jan-19
2/3
参考电路
苏州能斯达电子科技有限公司
单位:mm
1/3
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
接口定义
苏州能斯达电子科技有限公司
性能指标
项目 型号 量程 厚度 外观尺寸 响应点 耐久性 初始电阻 响应时间 恢复时间 测试电压 工作温度 电磁干扰 EMI 静电释放 ESD
参数 ZNX-01 10 kg 小于 0.45 mm 41 码(其他尺寸大小可以定制) 400 g >100 万次 >10MΩ (无负载) < 1ms < 15ms 典型值 DC 3.3 V -20℃ - 60℃ 不产生 不敏感
ZNX-01 是基于电阻式传感器,输出电阻随着施加于传感器表 面压力的增大而减小,通过特定的压力-电阻关系,可以测量出压 力大小。将 ZNX-01 传感器置于鞋底,能够检测出人体站立和行走 时的足底压力,检测数据可用于足底压力分析。
尺寸规格
✓ 已通过 ROHS 认证
ZNX-01 规格书
REV2.1 Jan-19
图示电路中 ZNX-01 是以前文接口定义中的左脚传感器图示为例,本图中传感器座 1#~10#引脚 对应 A~J。输出信号 Vout 的标号 1~10 对应接口定义图中的 1~10 个检测点。
图中电路是用电阻分压原理测量传感器电阻值,根据测量到的 Vout 电压值和分压电阻值计算传 感器敏感点受力后的电阻值。再根据压力-电阻曲线可计算出压力值。

艾动分布式薄膜压力传感器之足部压力分布测试系统150521

艾动分布式薄膜压力传感器之足部压力分布测试系统150521

艾动分布式薄膜压力传感器——足部压力分布测试系统
艾动集团—–中国薄膜压力传感器专家与领导品牌,是国内唯一接受各类传感器及压力分布测试系统的定制的厂家。

系统简介:
艾动足部压力分布测试系统是基于艾动分布式薄膜压力传感器而研发的压力分布测试系统,整套系统包含高精度高分辨单元的薄膜压力传感器、数据采集手柄和软件分析系统,该测试分析系统可以记录足部在行走过程中接触面积、压力大小和压力分布等信息,对足部健康检测、假肢安装调试、足部、腿部康复治疗提供高效、精准的监测方案。

主要性能及运用:
∙客观量化的数据分析支持不同的诊断和治疗模式;
∙对足部的生理机能提供深刻的洞察;
∙区辨人眼不能分辨的高压力区域;
∙通过生动的足部照片拓展你的治疗方案;
∙为医疗治疗提供证据文件;
∙可作为对下肢康复训练的医疗及研究的科学工具;
∙确定左右脚的足底压力分布差异;
∙屏幕显示潜在的神经性疾病;
∙确定站姿的不对称性;
∙深入分析足底不同部位(跟部,中部,前掌)的功能;
∙动态查看重心转移及压力集中情况;
∙观察不易发现的神经病变足底;
∙监测平衡、重心及负重的改变;
∙动物步态分析;。

艾动薄膜压力传感器—单点式标准品

艾动薄膜压力传感器—单点式标准品

艾动薄膜压力传感器—单点式标准品产品简介艾动(I-Motion)单点薄膜压力传感器由两层衬底构成。

在每一层上运用一种导体材料(银),再加一层对压力敏感的墨水。

然后用粘合剂把两层衬底压在一起,形成了传感器。

墨水外的银边表示了对压力敏感的区域。

从敏感区域引出两个银线作为导线。

产品图片外形尺寸外形尺寸IM-S-1-C03 6mm×100mm 感应单元直径3mmIM-S-1-C05 11mm×100mm 感应单元直径5mmIM-S-1-C10 16mm×100mm 感应单元直径10mmIM-S-1-C20 26mm×100mm 感应单元直径20mmIM-S-1-C40 46mm×100mm 感应单元直径40mm感应单元数量1个感应单元形状圆点量程50g–150Kg 测量范围50g–150g 导线数量2根工作电压5V线性误差<±5%迟滞性满量程<±4.5%相应时间<5uS工作温度-10℃–45℃Rs的值 1.5kΩ—3MΩ端子接口公端、母端和端子套艾动单点薄膜压力传感器多种具体应用∙检验和测量在压力或者负载方面的相关变化;∙检验和测量在压力方面的变化比率;∙定义压力阈值后,可以用于触发对应的监测电路;∙检验负载压力是否被接触∙各类传感器定制前的评估;艾动单点薄膜压力传感器的应该领域∙医疗与健康∙更方便的获取生命信息;∙控制与检测∙提高工业生产效率与制造水平;∙智能交通(ITS)∙为智能交通提供更优的解决方案;∙体育与休闲∙获取更精准的运动数据,创造更健康及舒适的生活;∙人机交互∙提供更便捷、更智能的触控产品∙安防∙智能防控、物品失窃报警,创造更安全的生产、生活环境;。

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• 艾动集团:于2012年初成为国内唯一的薄膜压力传感器的 供应商和定制服务提供商 • 已支持的客户:
– 北京大学 – 第四军医大学 – 中科院 – 沃尔沃 – 中移动研究院等
以原始创新 触动未来科业生产效率

智能交通(ITS): 为交通智能化提供解决方案
应用领域
• 体育与休闲: 更轻易获取运动数据

人机界面: 提供更轻松、更便捷的触控技术

安防: 提供更安全生活环境
各种型号:单点和阵列等
和海外产品的对比
• 以前,只有美国的Tekscan公司能够提供 此类传感器,比如Flexiforce传感器和FScan,TSCAN设备,并在中国有大量的 销售。 • 艾动集团()利用美国技 术,在中国进行国产化,并开发出类似 Flexiforce的艾动薄膜压力传感器,并提供 TeeTester等牙科咬合力测试仪,填补了 中国的空白,并成为我国唯一能提供薄膜
举例:医疗压力监测设备
• 方案:可在衣服内部放置柔性薄膜传感器, 通过测试设备接入计算机USB端口, 电子记录所有的压力情况。
• • • • • • 可测试动态和静态的压力和压强 可同时支持110行*88列的8000点的阵列 最小测试点面积:1mm X 1mm 测试压强:200Kg/cmXcm 测试精度:1-10% 测试软件:支持各种Windows的版本
国内唯一提供各种薄膜压力传感器和定制服务
薄膜压力传感器
• 利用纳米力敏材料,在塑料上印制压力传感器
• 可精确测试压力和压强分布
• 可做单点和一定面积的压力测试
• 可做阵列式的曲面和大面积的压力测试 • 应用领域包括人机交互、医疗器械、人体工程和 机器人
应用领域
• 医疗与健康: 更方便获取生命信息
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