点衍射全息干涉仪
光学光的干涉与衍射的光学仪器
光学光的干涉与衍射的光学仪器光学是一门研究光的传播、产生和控制的学科，而干涉和衍射则是光学中重要的现象。
为了研究和观测光的干涉与衍射效应，科学家们设计和制造了各种光学仪器。
本文将介绍几种常见的光学仪器，包括干涉仪、衍射仪和其他相关设备。
一、干涉仪干涉仪是一种用于产生和观测光的干涉现象的仪器。
干涉是光的两束或多束相遇产生的干涉条纹现象。
而干涉仪则可以提供稳定的干涉光源，使得我们能够清楚地观察到干涉现象并进行实验研究。
常见的干涉仪包括杨氏干涉仪和迈克尔逊干涉仪。
杨氏干涉仪利用牛顿环原理进行干涉实验，通过透镜和分光镜来实现光的分束和重合。
迈克尔逊干涉仪则采用分束镜和反射镜组合而成，可以实现光的分束和重合的同时保持平行光束。
干涉仪广泛应用于科学研究和实验教学领域。
在光学干涉中应用最广泛的是杨氏干涉和迈克尔逊干涉，它们在光的干涉定量研究、光波长的测量和光学元件测试等方面具有重要的应用价值。
二、衍射仪衍射是光通过边缘或微小孔径时，产生具有干涉现象的光的现象。
利用衍射现象可以研究光的波动性和波前分布。
衍射仪是一种用于产生和观测光的衍射现象的仪器。
典型的衍射仪包括菲涅耳衍射仪和付南苏涅尔衍射仪。
菲涅耳衍射仪利用环形光阑和透镜组合而成，可以产生较大的衍射角度，适用于小孔径的衍射实验。
付南苏涅尔衍射仪则利用反射光栅和透镜组合，可以产生高质量的衍射图样，适用于大孔径的衍射实验。
衍射仪在光学测量、结构分析和材料表征领域有着广泛的应用。
通过观测和分析光的衍射现象，可以获取目标物体的尺寸、形状和光学特性等重要信息。
三、其他相关仪器除了干涉仪和衍射仪，还有一些其他相关的光学仪器用于测量和研究光学现象。
例如自由空间光学系统可以实现光的准直和平行传播，用于调节和操控光的传播路径。
另外，像立体投影仪和视标仪等设备也常用于光学实验和光学测量。
这些光学仪器在科学研究、医学影像、光学通信等领域发挥着重要作用。
它们不仅帮助我们更好地理解光的性质和行为，还推动了光学技术的发展和应用。
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析
第7卷 第5期2014年10月 中国光学 Chinese Optics Vol.7 No.5 Oct.2014 收稿日期:2014⁃06⁃12;修订日期:2014⁃08⁃14 基金项目:应用光学国家重点实验室基金资助项目(No.09Q03FQM90)文章编号 2095⁃1531(2014)05⁃0855⁃08点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析代晓珂1,2,金春水1∗,于 杰1(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033;2.中国科学院大学,北京100049)摘要:为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点,同时又能实现大数值孔径(NA )光学系统的检测,设计了一种新型的波面参考源(WRS),它保留了光纤点衍射和微孔点衍射的优点,可满足大NA 极紫外光刻物镜系统波像差检测的要求。
本文在分析各种误差的基础上,搭建了WRS 原理光路并对WRS 的系统误差标定算法进行详细的研究,得到WRS 标定时旋转平台的角度公差为0.5°,跳径时偏离系数为0.5%。
这一新型WRS 误差分析及标定对于实现高精度的检测具有十分重要的意义,最终为实现WRS 系统误差标定提供理论基础。
关 键 词:光学检测;点衍射干涉仪;波面参考源;误差研究;公差分析中图分类号:O436.1 文献标识码:A doi:10.3788/CO.20140705.0855Analysis on error and tolerance for the wavefront referencesource of point diffraction interferometerDAI Xiao⁃ke 1,2,JIN Chun⁃shui 1∗,Yu Jie 1(1.State Key Laboratory of Applied Optics ,Changchun Institute of Optics ,Fine Mechanics and Physics ,Chinese Academy of Sciences ,Changchun 130033,China ;2.University of Chinese Academy of Sciences ,Beijing 100049,China )∗Corresponding author ,E⁃mail :jincs @Abstract :To keep the advantages of fiber point diffraction interferometer which is easy to align and control the diffracted light,we design a new wavefront reference source(WRS).WRS can keep the advantages of fiber point diffraction interferometer and pin⁃hole point diffraction interferometer,and it also can be used to test thewavefront aberration of larger NA optical system for Extreme Ultraviolet Lithography(EUVL).The analysis of error for this new WRS and calibration of the system error is very important for realizing a more accurate test of wavefront aberration.Based on the analysis of various errors,we study the calibration algorithm in detail,and obtain the tolerance of several WRS important components including that the angle tolerance of rotation stage is 0.5°and the deviation factor is 0.5%when rotation is away optical axis.Key words :optical test;point diffraction interferometer;wavefront reference source(WRS);system error;tol⁃erance1 引 言 极紫外光刻(EUVL)技术被认为是最具潜力的下一代光刻技术之一,它最大程度地承袭了现有光刻技术的发展成果。
点衍射干涉检测技术
（Ｆｉｚｅａｕ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ）等，它们均为非共路或准共 标准光学元件加工精度对检测系统精度的限制，
路的干涉结构，易受到机械振动和空气扰动的影 因而可以得到衍射极；而且它们要求 米级精度的检测，成为了高精度光学检测技术中
系统光源具有较长的相干长度，无法使用白光光 极具发展潜力的一种技术手段。除此之外，随着
测需依靠光路中的某一标准镜来产生参考波前， 助光刻技术、空间光学、生物检测、显微技术等的
不仅限制了干涉系统的检测口径，而且受标准参 发展具有重要意义。
考镜加工精度的限制而难以产生高质量的参考球 本文对不同发展阶段的点衍射干涉检测技术
面波前，无法进行高精度光学检测。
进行了分类和归纳，分析了点衍射共路干涉仪、光
（浙江大学光电科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室，浙江杭州３１００２７）
摘要：本文介绍了点衍射干涉仪不同发展阶段的特点和应用。点衍射干涉仪由波长量级的针孔产生高质量的球面波作
为参考波前，能够得到衍射极限性能的分辨率。按照不同的光路特点，点衍射干涉仪可分为点衍射共路干涉和点衍射非
共路干涉两种结构，主要应用于高精度波前检测和面形检测。共路干涉结构简单紧凑，对环境振动不敏感，对光源相干
源、紫外波段甚至Ｘ 射线照明。而用于制作极大 点衍射干涉技术的不断发展，它已成功用于构建
规模集成电路的光刻投影物镜的像差检测要求使 白光干涉显微镜［２］、全息相位显微镜［６］、自适应
用在线式光源（波长为１３．５ ～１９３ ｎｍ），其相干长 光学系统［７］，以及生物细胞三维结构的干涉检
度较短，只能使用全共路干涉仪。传统的干涉检 测［８］。可见，开展点衍射干涉技术的研究对于辅
传统的干涉检测系统用于波前测量时，大多
可见光移相点衍射干涉仪的测试误差分析
第 ４ １卷 第 ５期
Ｖｏ ． １ ＮＯ ５ １ ４ ．
红 外 与 激 光 工 程
Ｉ ｆａ ｅ ｎ ｓ ｒ Ｅｎ ｉ ｅ ｒｎ ｎ ｒ ｒ ｄ ａ ｄ Ｌａ ｅ ｇ ｎ ｅ ｉ ｇ
２ １ 年 ５月 ０２
Ｍ ａ ２０１ ｖ． ２
可 见 光 移 相 点 衍 射 干 涉 仪 的 测 试 误 差 分 析
Ｚｈ ｎ ，Ｊｎ Ｃｈ ｎ ｈ ｉ，Ｍ ａ Ｄｏ ｇ ｅ ａ ｇ Ｙｕ 一 ｉ ｕ ｓ ｕ ｎ ｍ ｉ，Ｗ ａ ｇ Ｌｉｉ ｇ ｎ ｐｎ
（ １．Ｓａｅ Ｋｅ ｂ ｒｔｒ ｆＡｐ ｌ ｄ Ｏｐｉｓ ｔｔ ｙ Ｌａ ｏａｏｙ ｏ ｐｉ ｔ ，Ｃｈ ｎ ｈ ｎ Ｉ ｔ ｕｅ ｏ ｔ ｓ ｎ ｅ ｈ ｎ ｃ ｎ ｈ ｓｃ ，Ｃｈｎ ｓ ａ ｅ ｆ ｅ ｃ ａ ｇｃ ｕ ｎｓｉ ｔ ｆＯｐｉ ，Ｆｉｅ Ｍ ｃ ａ ｉｓ ａ ｄ Ｐ ｙ ｉｓ ｔ ｃ ｉｅｅ Ａｃ ｄ ｍｙ ｏ
衍射和干涉的概念
衍射和干涉的概念1.引言1.1 概述概述在物理学中，衍射和干涉是光的传播中重要的现象。
它们是光波在通过障碍物或与其他光波相遇时所产生的效应。
衍射和干涉现象向我们展示了光波的波动性质，并且对我们理解光的行为具有重要的意义。
衍射是当光波通过一个孔或者遇到一个边缘时发生的现象。
当光波通过一个细小的孔时，光波会从孔中扩散出去，形成波阵面，并在背后的屏幕上产生一种细纹。
这种现象被称为衍射。
衍射的程度取决于孔的大小和光波的波长。
如果孔的尺寸和光波的波长相当，衍射效应将会很显著。
在日常生活中，我们可以通过观察太阳光穿过云彩的现象来观察到衍射的效果。
干涉是当两个或者更多的光波相遇时发生的现象。
当两个相干光波在空间中叠加时，它们的能量会相互干涉，造成一些区域的增强和其他区域的减弱。
这种干涉现象可以在两个狭缝间产生干涉条纹、干涉圆环以及其他复杂的干涉图案。
干涉的结果取决于光波的波长、波源的相对位置以及光波的相位差。
在实际应用中，干涉现象可以用于光的干涉仪、反射镜、光学薄膜等领域。
衍射和干涉的研究不仅对于物理学领域有着重要的意义，对于其他学科也具有重要的影响。
例如，它们在光学设计、太阳能利用和光学仪器等方面发挥着关键作用。
理解和应用衍射和干涉的概念不仅能够帮助我们解释自然现象，也可以为我们提供设计更高效的光学设备和技术手段的基础。
本文将详细介绍衍射和干涉的概念以及它们的重要性。
我们将探讨衍射和干涉的基本原理、特点和相关实例，希望读者通过本文的阅读能够对衍射和干涉有一个更加深入的了解，并认识到它们在科学研究和日常生活中的重要性。
接下来的章节将依次介绍衍射和干涉的概念以及它们的要点，最后通过总结和讨论对衍射和干涉进行一定的归纳和评价。
1.2文章结构文章1.2 文章结构本文将围绕衍射和干涉的概念展开详细阐述。
通过对衍射和干涉的分析，我们将深入探讨它们的概念、要点以及它们在物理学中的重要性。
本文分为三个主要部分。
第一部分是引言部分，我们将在其中概述整篇文章的主题和内容，并给出文章的目的。
光的衍射与干涉在成像技术中的应用
干涉成像的优点
提高图像的分辨 率和清晰度
降低图像的噪声 和干扰
增强图像的对比 度和色彩饱和度
实现微小物体的 高精度检测和测 量
干涉成像技术的应用
干涉成像技术的基本原理
干涉成像技术在表面形貌测量中 的应用
添加标题
添加标题
添加标题
添加标题
干涉成像技术在光学显微镜中的 应用
干涉成像技术在波前传感器中的 应用
中的应用
01
光的衍射与干涉的基本原理
光的波动性
光的衍射：光在传播过程中遇到障碍物时发生的偏离直线传播的现象。
光的干涉：两束或多束光波在空间相遇时，由于相位差的存在，相互加强或相互抵 消的现象。
波动性是光的基本属性之一，具有传播、干涉、衍射等特性。
光的衍射与干涉在成像技术中具有重要的应用，如提高成像质量、实现光学显微等。
06
光的衍射与干涉在遥感成像中的应用
卫星遥感中的衍射与干涉技术
衍射与干涉技术在卫星遥感中的应用原理 衍射与干涉技术在卫星遥感中的优势与局限性 衍射与干涉技术在卫星遥感中的实际应用案例 未来卫星遥感中衍射与干涉技术的发展趋势
雷达遥感中的衍射与干涉技术
雷达遥感技术利用电磁波探测地表和地表下物质特性，实现地形地貌、资源环境等领域的监测和测量。
衍射在成像技术中的应用：利用衍射原理设计超分辨成像镜头，提高成像分辨率 和清晰度
超分辨成像技术
简介：超分辨成像技术利用光的 衍射原理，突破了光学衍射极限， 实现了高分辨率成像。
应用领域：在生物医学、安全监 控、高精度测量等领域有广泛应 用。
添加标题
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技术原理：通过精心设计的掩膜和光 学系统，控制光的衍射和干涉，从而 在成像中获得更高的空间分辨率。
光的衍射和干涉的异同
光的衍射和干涉的异同
光的衍射和干涉是光学中的重要现象，它们都涉及到光的波动性质，但也有一些明显的不同之处。
相同之处：
1.衍射和干涉都是光的波动性的表现。
在这两种现象中，光被视为一种波，它可以像水波
一样传播并受到障碍物的干扰。
2.衍射和干涉都需要特定的实验装置或条件来实现。
例如，在干涉实验中，通常需要分束
器、反射镜和干涉仪等设备；而在衍射实验中，可能需要狭缝、透镜或衍射光栅等。
不同之处：
1.产生原因不同：衍射是由于光波在传播过程中遇到障碍物或孔洞时发生的弯曲或绕射现
象；而干涉则是由于两束或多束相干光波的叠加而产生的加强或减弱的现象。
2.表现形式不同：衍射通常表现为光斑的扩大或缩小，以及在障碍物边缘产生的明暗相间
的条纹；干涉则表现为明暗相间的干涉条纹或彩色条纹，通常出现在两束相干光波的叠加区域。
3.应用不同：衍射在日常生活和科学实验中有着广泛的应用，如全息摄影、光学测距等；
干涉则在精密测量、光学仪器和激光技术等领域有重要应用，如干涉仪、激光干涉仪等。
4.对光源的要求不同：衍射实验中对光源的相干性要求相对较低，普通光源如白炽灯或日
光灯即可实现；而干涉实验中则需要较高相干性的光源，如激光或经过适当处理的单色光等。
综上所述，光的衍射和干涉虽然都是光的波动性的表现，但它们产生的原因、表现形式、应用以及对光源的要求等方面存在明显的差异。
了解这些异同点有助于更好地理解这两种现象的本质和应用。
光的衍射与干涉在光学仪器中的应用
光的衍射与干涉在光学仪器中的应用光学仪器是一类基于光的特性和现象进行测量、分析和处理的科学工具。
其中，光的衍射与干涉是光学仪器中常用且重要的原理和技术。
本文将介绍光的衍射与干涉在光学仪器中的应用，并分析其原理和特点。
一、光的衍射在光学仪器中的应用光的衍射是指光线通过一个或多个狭缝、孔径、边缘等物体时发生偏离原来直线传播方向并呈现出一系列明暗相间的环形光斑的现象。
这种现象可以用来制作衍射光栅、干涉仪、显微镜等光学仪器。
以下是一些光学仪器中常用的衍射原理及其应用：1. 衍射光栅衍射光栅是以衍射原理制作的光栅，它由一系列平行狭缝或其他形状的光栅构成。
当入射光通过衍射光栅时，会发生衍射现象，光束会按一定的角度分散出去，形成一组明暗相间的光谱。
衍射光栅可用于光谱分析仪、光谱仪和光谱仪器中对光波长的测量和分析。
2. 衍射显微镜衍射显微镜利用衍射现象来增强显微镜的分辨能力。
通过在显微镜的光路中引入一系列透镜和衍射光栅等光学元件，使得显微镜的分辨极限可以接近光的衍射极限。
衍射显微镜可以观察到细胞、细菌等微观结构，有助于生物学和医学研究。
3. 衍射雷达衍射雷达是一种基于衍射原理的雷达技术。
它利用地面、建筑物、山脉等物体对雷达信号的衍射效应进行目标探测与成像。
与传统的反射雷达相比，衍射雷达可以在目标背后进行探测，提高了雷达的侦察与监测能力。
二、光的干涉在光学仪器中的应用光的干涉是指两个或多个光波在相遇时形成明暗交替的干涉条纹的现象。
干涉可以分为两种类型：光的自相干干涉和光的外相干干涉。
下面介绍几种常见的光学仪器中应用的干涉原理及其特点：1. 干涉仪干涉仪是一种利用光的干涉现象测量和分析光的性质的仪器。
其中，迈克尔逊干涉仪和马赫-曾德干涉仪是最常见的两种干涉仪。
它们利用光的分波、反射和干涉效应，可以用于测量光的强度、相位差、折射率和长度等物理量。
2. 散斑干涉散斑干涉是利用透镜和干涉玻璃等光学元件，使入射光通过散斑屏后发生干涉现象，形成一系列暗纹和亮纹的干涉条纹。
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(a)
(b)
Fig. 2
三、误差分析
在实际工作申 3 希望能用同一张全息图检测不同的透镜。这样3 在更换透镜时有可能使
通过被检测透镜的光速不能准确地聚焦在原来制做全息图时所用的针孔的位置上，即产生
几何位置误差。这种误差将影响干涉图的条纹分布。几何位置误差可以分为: 1. 横向位置
(1)
式中 d 为针孔到准直透镜 Lι的距离， ø 是干涉图形在位移方向上的坐标，如果被测的是理
1132
2. 纵向位置误差
光学学报
6 卷
纵向位置误差是由于被视.tl 透镜的焦点和原针孔之间有一微小纵向位移引起的 3 所以这 种误差也称离焦误差。假定位移为缸，由其所引起的附加光程差为
OPD2 →恼与
〈中国科 学萌 长春光学精密机械研究所〉
提要
一、引
4血
二、原理
器 BS 分为物光束和参考光束.物光束经反射
镜且[1 反射后入射到被刷透镜 La 上 J 然后聚焦
在其焦面上的针孔 P 上。针孔大小的选择要 保证小于被测透镜所对应的爱里 (Airy ; 斑。所 以 p 虽然从被测透镜透射的波面带有像 圭 p 但是
制作全息图时所用透镜的相对孔径，就没有必要重新制作全息图。这样可大大地简化仪器
的操作J 使它不仅可从用于实验室的检测工作，也可以用于光学加工中的检测。特别是对于
显微物镜的检测来讲，传统的方法需要附加一个 Dyson 系统即J 这不仅使调整复杂化3 而且
. Dyson 系统中的各球面反射镜的缺陷将严重影响测量结果，如果用点衍射干涉仪检测，由
12 期
点衍射全息干涉仪
1133
于系统的固有像差 p 而横向和纵向位移则属于可变化的调整状态误差，此外 3 参考光束照明
方向的微小改变也属于调整状态误差。通常把它称为引入的倾斜量。不同调整状态下的干
涉图形虽然不同J 但所反映的被测系统的固有像差却是相同的。事实上，为了判读方僵以及 用离焦束平衡像差，常常有意引入一定量的倾斜(或横向位置误差)和离焦。
ZHOU 耳目TANZHI .A.ND ((Jhangchun I，.，titt品te
Lu ZHENWU
April 1986)
01 Opt凶
mad
Fine Mechanic8 , AcademiCl Sínica)
(RooeivedБайду номын сангаас13 February
1986; 四世时 1
Abstract This paper describes a. new
1ero皿eter. interferometer-pOin也-d.iffraction
holographic
in也er-
In this interferometer, a colli皿 ated bea皿 fro皿 a He-Ne laser is divided .nto beams (reference and objeot beams) by a beam spU挝盯 the lens 切 be tested is placed in the
通过以上分析可知 p 调整状态不同所带来的误差原则上不会影响被测系统的像差结果.
尤其在数字干涉仪中用多项式拟合干涉图形，可以很方便地把所得结果中的调整状态项去
掉而保留实际的像差，
图 4(α〉是某透镜的干涉图J 透镜光轴和系统光轴重合p 干涉图反映了球差 3 离焦和倾斜
量;图 4(功的干涉图产生于同一透镜，只是透镜光轴与干涉系统光轴有一倾角 J 所以，干涉
如果被测透镜的光轴与系统光轴有一倾角 3 这时的干涉图将反映出轴上像差和轴外像
差的总合。轴外像差的大小与透镜的参数以及倾角有关。和轴上像差一样p 轴外像差对于 一定的倾角来讲 p 其大小也是固定的。如果把干涉图反映的量分为干涉仪调整状态误差和
被测系统的固有误差的话，那么被测系统轴上像差和由于光轴的倾斜而引入的轴外像差属
经过针孔滤波后，将衍射出理想的球面波.在
针孔后面放置一透镜把理想球面波准直，使其
与经过反射镜 Ma 反射的平面参考波一起投射
到全息干板上。曝光后 p 经过实时纯 理 3 就 完成
了全息图的制作过程。
为了进行透镜的像差检测 y 取下针孔咒再 Fig. 1
次用物光和参考光同时照明全息图.注意，现
19Si 年 4 月 1 曰
(2)
式中 α 为光线和光轴的夹角，对于理想透镜，干涉图为不等距的同心圆 p 类似于牛顿环。图
3(α) 是一标准透镜形成的干涉图 3 整个干涉场的亮度几乎没有变化;图 3(b) 是该透镜有→
微小横向位移的于涉图 z 图 3(σ) 是带有纵向位移的干涉图。
(a)
(b)
(c)
Fig. S
3. 被WlIJ 透镜光轴的倾斜误差
M也erferograms with 也he 阳皿 e
rustribution are formed
in 也 he obj回古 and
referenoe is an
beams behind the hologram. It is known by
illdi怕也iOD of 由e
theoriti咽1
analysis of a.
原电路返回。为了提高测量精度 p 这个反射球面镜必须精度很高 p 否则 3 球面反射镜本身的
像差将直接影响测量结果。用点衍射全息干涉仪检测透镜不存在这种误差。所以 p 就透镜 的检测而言p 它优于泰曼干涉仪。如果用一个较大的相对孔径的透镜和一个小于这个透镜
爱里斑的针孔制作点衍射全息干涉图 3 那么对于任意被测透镜，只要它的相对孔径不大于
6u
卷 m
光学学报
ACTA
OPT工CA
γ。t.
6, 1\0.12
且月
方法的研究也异常活跃，已成为干涉术的一项重要内容。从传统的泰曼一格林干涉仪∞和菲
索于涉仪回到后来发展起来的各种横向剪切干涉仪阳和径向剪切干涉仪E岳. ~J 虽然有其各自
的优点 p 并在不同类型的光学系统以及光学元件的检测中发挥着作用。但是 p 也存在着各自
T
19 8 6 年 2 月 13 日 i 收到锋在南同期
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点衍射全息干涉仪
1131
在的物光没有经过针孔滤波，于是带有像差。由全息学原理m可知 3 参考光束将在原物光束 方向上衍射出原来的理想球面波 3 这个球面波和未经滤波的被测波面产生干涉得到代表其 像差分布的干涉图样。显然3 点衍射全息干涉仪的基本原理与点衍射干涉仪原理相同。所
that 也is
aoorration of the lens under 如此 The principle of this 凹的hod is basioally 由。由me
as 古hat
point-difi'rac缸ons
interferomeoor. Bnt in the case of a pøint diffraotion interferometer, adjustment is 、rery djfIì cult becau~e it uses a glass pla也e with a highly abgorbing layer and a very smal1 hole on it and one can not ÍÌnd i也S posi古ion easily. While if our method is us ed. there is nO more adju的me亘古 diffionl古y provided 血时也he replaoo皿en北 isωrrect.
囱除了包括球差、离焦和倾斜外 J 又增加了轴外像差3 显然 p 从图 4(α) 与图 4(b) 比较p 可以明
显看出，该轴外像差为彗差。
(0)
<b)
Fig.
4
四、应用
和泰曼-格林干涉图一样p 点衍射全息干涉仪产生的干涉图直接代表被测波面的像差，
但用泰曼干涉仪检测透镜3 必须附加一个球面反射镜3 使被测透镜透射的光束经过它后能按
0 bject bea皿 with
a pinhole at its focal point; another lens is placed outgoing beam and a holographic
plate 坦 placed
behind the pinholt to
collima右。 the
a t the position where 也he refersnoo and obj四t bea皿s are over lapped. The pinhole is .s ma11 compared wi由也he Åiry disc of 也he lens. After 也e h()logram is pro四S如d ， it 坦
误差; 2. 纵向位置误差; 3. 被测透镜光轴和于涉系统光铀的倾斜误差。下面分别分析它们
对干涉图形分布的影响。
1. 横向位置误差
横向位置误差是由于被测透镜的光轴相对于干涉系统的光轴有-个横向位移所引起
的。假定位移为 Ôl) 则在位移方向上的附加光程差为
OPD1 - δ1 乞
想透镜3 则形成杨民干涉条纹，
光
1134
学
学
报
6 卷
、
于采用透射直接测量 y 不需要 Dyson 系统p 因而不存在这类误差。总之』这种干涉仪本身或
经过某些局部改进可适应于各种类型的光学系统和光学元件的像差的检测。
参考文献
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