最新平行度检测
激光干涉仪平行度测量原理与方法

激光干涉仪平行度测量原理与方法
激光干涉仪是一款功能强大的几何量检测仪器,可以测量线性定位、直线度、垂直度、平行度、角度等多个参数,很多朋友熟悉线性定位测量,但是对于平行度测量却不太清楚,今天就给大家讲解如何进行平行度测量。
▲SJ6000激光干涉仪
1、平行度测量原理
平行度测量由两组直线度测量组成,两次测量都以直线度反射镜的光学轴为参考基准。
需要说明的是,要得到两轴的平行度,要在两个正交平面内沿每个要被比较的轴测量直线度。
因此,平行度或平行线测量实际是四次直线度测量,每次的步骤和方法同测量直线度一样,如下图所示。
得到平行度的计算公式为:
线性平行度=|θ1−θ2 |
其中,θ1为第1运动轴的斜度,θ2为第2运动轴的斜度。
第一步(测第1运动轴)
第二步(测第2运动轴)
▲ 平行度测量的光路原理构建图
2、数据采集和处理
按照上面的分析,平行度测量分成正交平面内的两次直线度测量,在同一个面内的测量分两步:第一步测量其中一轴的直线度,其方法跟直线度测量一样;第二步测量另一轴的直线度。
每次测量后均把以共同反射镜为参考基准所采集的直线度数据保存。
最后根据上述四个直线度测量结果,计算得到两轴之间的平行度或平行线误差。
3、平行度测量用组件
平行度测量用到的激光干涉仪组件:平行度测量配置主要由SJ6000激光干涉仪主机、短直线度镜组(或长直线度镜组)、SJ6000静态测量软件等组件构成。
Z 轴的平行度测量需增添可调转向镜。
4、平行度测量应用
数控机床/坐标测量机X、Y轴上多导轨平行度
▲双直线导轨安装的平行度测量。
平行度和垂直度检测方法

平行度和垂直度检测方法平行度和垂直度是用来描述物体表面平行或垂直度好坏的指标。
平行度描述表面各点与参考面的平行程度,垂直度描述表面各点与参考面的垂直程度。
在制造工艺中,平行度和垂直度非常重要,因为它们直接影响产品的性能和质量。
下面将介绍几种常用的平行度和垂直度检测方法。
1.触碰式检测方法这种方法是通过使用接触式传感器来测量物体表面的高度差异,从而确定平行度和垂直度。
常见的传感器有示波器、坐标测量机等。
该方法适用于制造业中的大多数需求,但由于接触式传感器对表面质量和形状有一定要求,可能会对工件表面造成损伤。
2.光学检测方法光学检测方法是通过使用光学设备来测量物体表面的高度差异,从而确定平行度和垂直度。
常见的设备有激光干涉仪、投影仪等。
该方法适用于对表面质量和形状要求较高的工件,可以提供更精确的测量结果。
但是由于设备成本较高,对操作人员的技术要求也较高。
3.影像检测方法影像检测方法是通过使用相机和图像处理技术来获取物体表面的图像,从而确定平行度和垂直度。
常见的设备有视觉测量系统、3D扫描仪等。
该方法可以快速获得大量数据并进行实时分析,具有高效和精确的特点,但也存在设备成本高和对操作人员技术要求较高的问题。
4.激光测量方法激光测量方法是通过使用激光光束来测量物体表面的高度差异,从而确定平行度和垂直度。
常见的设备有激光测距仪、激光干涉仪等。
该方法可以提供非常高的测量精度,适用于大尺寸和复杂形状的工件,但也存在设备成本高和对操作人员技术要求较高的问题。
5.数字化检测方法数字化检测方法是通过使用计算机辅助设计和制造技术来进行平行度和垂直度的检测。
可以将物体的三维形状和表面特征数字化,并使用计算机软件来进行分析和测量。
该方法具有高效、精确和自动化的特点,可以大大提高生产效率和产品质量,但也对计算机软件和硬件有一定的要求。
总的来说,平行度和垂直度的检测方法有很多种,每种方法都有其适用范围和特点。
在实际应用中,需要根据具体的工件要求和生产环境选择合适的检测方法,并结合多种方法来进行综合分析,以确保产品的质量和性能要求。
平行度误差检测方法介绍

平行度误差检测方法介绍摘要:平行度是属于形位公差中的一种,平行度评价直线之间、平面之间或直线与平面之间的平行状态。
下面我们将对平行度的误差检测方法进行讲解。
什么是平行度?指两平面或者两直线平行的程度,指一平面(边)相对于另一平面(边)平行的误差最大允许值。
平行度公差平行度公差是一种定向公差,是被测要素相对基准在方向上允许的变动全量。
所以定向公差具有控制方向的功能,即控制被测要素对准基准要素的方向。
平行度公差的分类1、面对面的平行度公差该项平行度公差为:所指表面必需位于距离为0.05mm,且平行于基准平面的两平行平面之间。
公差带是距离为公差值t且平行于基准平面的两平行平面之间的区域。
2、面对线的平行度公差指平面必须位于距离为0.05mm,且平行于基准轴线的两平行平面之间。
公差带是距离为公差值t且平行于基准轴线的两平行平面之间的区域。
3、线对线的平行度公差●给定方向线对线的平行度公差平行度公差为孔D的实际轴线必须位于距离为公差值0.2mm,平行位于基准轴线A且垂直于给定方向的两平行平面之间。
公差带是距离为公差值t且平行于基准轴线且垂直于给定方向的两平行平面之间的区域。
●任意方向上线对线的平行度公差平行度公差为孔D的实际轴线必须位于直径为公差值0.1mm,轴线平行于基准轴线A的圆柱面所构成的公差带区域内。
任意方向上线对线的平行度公差带是直径为公差值t,轴线平行于基准轴线的圆柱面内的区域。
平行度误差检测方法传统测量方法1、测量面对面平行度误差公差要求是测量面相对于基准平面的平行度误差。
基准平面用平板体现,如下图所示。
测量时,双手推拉表架在平板上缓慢地作前后滑动,用百分表或千分表在被测平面内滑过,找到指示表读数的最大值和最小值。
被测平面对基准平面的平行度误差可按公式计算为:2、测量线对面平行度误差公差要求是测量孔的轴线相对于基准平面的平行度误差。
需要用心轴模拟被测要素,将心轴装于孔内,形成稳定接触,基准平面用精密平板体现,如下图所示:测量时,双手推拉表架在平板上缓慢地作前后滑动,当百分表或千分表从心轴上素线滑过,找到指示表指针转动的往复点(极限点)后,停止滑动,进行读数。
平行度 检测方法

平行度检测方法
平行度是指机器中两个或多个运动轴之间的相对运动关系。
在机械加工中,平行度的检测非常重要,因为它直接影响加工零件的准确度和质量。
平行度的检测方法包括直接测量法、对比法和干涉法等。
1. 直接测量法
直接测量法是最简单的平行度检测方法。
它需要使用一个平行度检测仪器来直接测量工件上两个或多个平面之间的平行度。
检测仪器可以是游标卡尺、千分尺或高精度测量仪器,如平板电子卡尺和外径量具等。
这种方法的优点是简单易行,检测结果准确可靠。
但需要注意的是,直接测量法只适用于平面表面的平行度检测,对于非平面表面的检测则不适用。
2. 对比法
对比法是一种比较高效的平行度检测方法。
它需要使用一个基准工件和待测工件进行比较,从而确定待测工件上两个或多个平面之间的平行度。
基准工件可以是已知平行度的平板,待测工件可以是需要进行平行度检测的零件。
这种方法的优点是比直接测量法更加快捷和简便,同时也适用于非平面表面的检测。
3. 干涉法
干涉法是一种高精度的平行度检测方法。
它需要使用激光干涉仪等高精度测量仪器来测量工件之间的干涉光程差,从而得到工件之间的平行度。
这种方法的优点是测量精度高、可靠性好、适用于各种表面形状的检测和连续测量等。
但不足之处是设备昂贵,使用需要技术指导和专业培训等。
以上是平行度检测的几种常见方法,通过不同的检测方法可以得到不同的平行度测量精度和数据。
在实际应用中,应根据具体情况选择合适的检测方法,并进行正确的数据处理和分析,以确保加工质量和生产效率。
平行度和垂直度测量方法

1.平行度误差测量
1.1平行度误差基本概念:
平行度误差: 被测实际要素相对于基准要素平行的理想要素的 变动量。
特征:是理想要素的方向应与基准平行。 类型: 根据面与线两类几何要素的相对关系,平行度误差有四 种情况,即:
误差值: 用与基准保持平行关系的定向最小区域的宽度来表示。
测点序号 累计值(um) 累计值(um)
0 0 0
1 +5 +5
2 3 4 5 6 7 8 +15 +10 +15 +10 +20 +25 +30 +15 +10 +20 +25 +15 +10 +15
f=20m
+ + + 30 25 20
+
+ +
15
10 5 1 2 3 4 5 6 7 8
0
2)计算法
位于直径公差值ø 0.05mm,且平行于基 准平面的圆柱面内。
2.2测量方法:
2.2.1面与面之间的垂直度测量 a指示表法:
图5-44是测量面与面垂直度误差的一种常用方法。
垂直基准: 用直角尺模拟基准平面,并转 化,使垂直度误差的测量变为类似 于平行度误差的测量。 测量基准:平板 测量:测量前将被测面调整到与平板 基本平行,按所布测点记录读数, 然后通过数据处理得到评定结果。
面相对线的平行度误差测量
1.2.3线对线的平行度测量
当给定互相垂直的两个方向时,平行度公差带 是两对互相垂直的距离分别为 t1和t2且平行于 基准直线的两平行平面之间的区域。如图所示, ød孔轴线必须位于公差值为 0.1mm和0.2mm且 平行于基准轴线的两对平行平面内。
平行度的检验方法

平行度的检验方法
平行度是工件表面平整度的一种度量指标,指工件表面与基准面之间的平行关系。
平行度的检验方法有很多种,以下是常用的四种检验方法:
1.平行度测量法:平行度测量法是通过直接测量工件表面与基准面之间的平行度来进行检验的。
通常使用平行度规、平行度测量仪等工具进行测量。
测量时,将工件放置在平行度规或平行度测量仪上,通过调节测量仪器的指针或标尺,测量出基准面与工件表面之间的距离差异,从而判断平行度的合格与否。
2.光栅相位差法:光栅相位差法是一种高精度的平行度测量方法,通常使用光栅与光电传感器组合的测量系统。
光栅与工件表面平行时,光栅的条纹与光电传感器接收到的信号相位差为零。
如果工件表面不平行,则光栅的条纹与光电传感器接收到的信号相位差不为零,通过测量相位差的大小,可以得出工件表面与基准面之间的平行度。
3.投影仪法:投影仪法是一种常用的平行度检验方法,适用于平面工件的平行度测量。
将工件放置在投影仪的工作台上,投射工件的轮廓图像在投影仪屏幕上。
根据工件轮廓图像与投影仪屏幕之间的平行关系,判断工件表面与基准面之间的平行度。
4.数字化测量法:数字化测量法是一种利用三维激光扫描仪或光学测量仪等设备进行平行度检验的方法。
通过激光或光学系统扫描工件表面的三维坐标点,并与理想平行面进行比较,从而得出工件表面与基准面之间的平行度。
数字化测量法具有高精度、快速、非接触等优点,适用于复杂形状的工件。
综上所述,平行度的检验方法多种多样,根据工件的特点和测量精度要求选择合适的检测方法,可以有效地评估工件表面与基准面之间的平行度,保证产品质量。
平行度和垂直度检测方法

平行度和垂直度检测方法
平行度的检测方法
1、面与面的平行度在平台上用V型块全面保持基准平面,用杠杆百分表测量测量面的全表面,在A点调零,确认到B点。
平台或V型块
在要求的测量的面上测量。
测定值=最大值-最小值
2、线与面的平行度(1)将适合的塞规插
入两个基准孔内。
(2)将塞规的两端用平行块(或磁铁)支撑。
(3)将公差的指定面
调较至与平台平行,在A点调零,确认到B点。
(4)测定指定面,将读数的最大差(最高点减去最低点)作平行度。
3、面与线的平行度
在平台上,使用磁铁支撑基准面整体,测定两个孔到基准面的尺寸,将该尺寸差作平行度。
4、线与线的平行度
(1)将适合的塞规插入两个基准孔内。
(2)用平行块(或磁铁)将塞规两端固定。
(3)依照图在0°的位置求出☜B与☜C的中心偏移(X),并求出在90°回转位置上的☜B与☜C的中心偏移(Y)。
(4)将求出值用X2+Y2 算,所得值即平行度。
垂直度的检验方法
1、面与面的垂直度。
(1)将基准面用磁铁与平台平行地支撑。
孔和轴的平行度检测方法

孔和轴的平行度检测方法一、直接测量法直接测量法是一种常用的孔和轴平行度检测方法。
该方法使用直线测头或激光测头进行测量,可以测量出孔和轴的相对位置偏差。
具体步骤如下:1.将直线测头或激光测头放置在工件孔或轴的中心位置。
2.调整测头的角度,使其与工件轴线平行。
3.移动测头,测量孔或轴的直径,并记录下测量值。
4.反转测头,测量另一侧的孔或轴的直径,并记录下测量值。
5.比较两次测量的结果,计算出孔和轴的平行度误差。
二、间接测量法间接测量法是一种通过测量孔和轴的直径和相对位置来计算平行度误差的方法。
该方法使用卡尺或千分尺等测量工具进行测量,可以测量出孔和轴的直径和相对位置。
具体步骤如下:1.使用卡尺或千分尺等测量工具测量孔和轴的直径。
2.使用塞尺或间隙规等测量工具测量孔和轴之间的间隙。
3.根据测量的结果计算出孔和轴的平行度误差。
三、光学检测法光学检测法是一种利用光学原理进行孔和轴平行度检测的方法。
该方法使用光学显微镜或激光干涉仪等光学仪器进行测量,可以高精度地测量出孔和轴的相对位置偏差。
具体步骤如下:1.将工件放置在光学显微镜或激光干涉仪的载物台上。
2.将显微镜或干涉仪调整到与工件轴线平行的位置。
3.观察显微镜或干涉仪的显示屏,测量孔和轴的位置偏差。
4.根据测量的结果计算出孔和轴的平行度误差。
四、探针测量法探针测量法是一种利用触针在工件表面移动来测量孔和轴平行度的方法。
该方法使用电感测微器或激光位移传感器等测量仪器进行测量,可以高精度地测量出孔和轴的位置偏差。
具体步骤如下:1.将工件放置在测量仪器的载物台上。
2.将触针放置在孔或轴的中心位置。
3.调整触针的角度,使其与工件轴线平行。
4.移动触针,测量孔或轴的位置偏差。
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平行度误差的检测方法 ——线对线平行度误差检测
等高基支准撑轴上检线,验和在平被测平板测量行轴,距度线等离均误高为由差L支2心为的撑轴两,模个心拟位轴,置将,上模带侧拟指的基示的准读器轴数的线分测的别量心为轴架M放1,在M2.
结束语
谢谢大家聆听!!!
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平行度误差的检测方法 ——面对线平行度误差检测
高支转基撑动读准检测上使数轴验量,L线与3被平被=由带最L测板测4心指小,零,表轴然示读件模等面后和器数拟高上测心的之,支的量轴测差将撑各整无量作模个间,点拟架为被隙心,基该测配轴取准零零合,指轴件件放线示表置平的器面在行心的并等度轴最记高误放录支大在差读撑等数上,
平行度检测
目录
平行度误差检测 概念
A
• 平行度公差是一种定向公差, 是被测要素相对相对基准在方 向上允许的变动全量。所以定 向公差具有控制方向的功能, 即控制被测要素对准基准要素 的方向。
B
1.面对面的平行度公差 该项平行度公差为:所指表面必需位于距离为
0.05mm,且平行于基准平面的两平行平面之间。
8.任意方向上线对线的平行度公差
任意方向上线对线的平行度公差带是直径为公 差值t,轴线平行于基准轴线的圆柱面内的区域。
平行度误差的检测方法
——打表法Cຫໍສະໝຸດ 检的测验工量将与平被最作 实板测小面际,零读模表带件数拟面指放之被上示置差测的器在作零各的检为件点测验该的,量平零基取架板件准指上的作示,平为器用行测的平度量最板误基大差准读数
2.面对面的平行度公差
该图所示公差带是距离为公差值t且平行于基 准平面的两平行平面之间的区域。
3.面对线的平行度公差
所指平面必须位于距离为0.05mm,且平行于 基准轴线的两平行平面之间。
4.面对线的平行度公差
如图所示公差带是距离为公差值t且平行于基 准轴线的两平行平面之间的区域
5.给定方向线对线的平行度公差
平行度公差为孔D的实际轴线必须位于距离为 公差值0.2mm,平行位于基准轴线A且垂直于给定 方向的两平行平面之间。
6.给定方向的线对线的平行度公差
如图所示公差带是距离为公差值t且平行于基准 轴线且垂直于给定方向的两平行平面之间的区域。
7.任意方向上线对线的平行度公差
该项平行度公差为孔D的实际轴线必须位于直 径为公差值0.1mm,轴线平行于基准轴线A的圆柱 面所构成的公差带区域内。