薄膜光学
光学薄膜基础知识介绍

光学薄膜基础知识介绍光学薄膜是一种具有特定光学性质的薄膜材料,通常由多个不同折射率的材料层次交替排列组成。
它以其特殊的折射、反射、透射等光学性质,在光学领域中得到广泛应用。
下面将介绍光学薄膜的基础知识。
一、光学薄膜的分类1.反射膜:反射膜是一种具有高反射特性的光学薄膜,适用于折射率较高的材料上,如金属、半导体、绝缘体等。
2.透射膜:透射膜是一种具有高透射特性的光学薄膜,适用于折射率较低的材料上,如玻璃、塑料等。
二、光学薄膜的制备方法1.蒸镀法:蒸镀法是最常用的制备光学薄膜的方法之一、它通过将所需材料加热至一定温度,使其蒸发或升华,并在基板上形成薄膜。
2.溅射法:溅射法是另一种常用的光学薄膜制备方法。
它通过在真空环境中,使用离子束或电子束激活靶材料,并将其溅射到基板上形成薄膜。
3.化学气相沉积法:化学气相沉积法是一种以气体化学反应为基础的制备光学薄膜的方法。
它通过将反应气体通入反应室中,在基板表面沉积出所需的材料薄膜。
三、光学薄膜的性质和应用1.折射率:光学薄膜的折射率是指光线在薄膜中传播时的折射程度,决定了光的传播速度和路径。
根据折射率的不同,可以制备出不同属性的光学薄膜,如透明薄膜、反射薄膜等。
2.反射率:光学薄膜的反射率是指光线在薄膜表面发生反射的程度,决定了光的反射效果。
反射薄膜广泛应用于光学镜片、反光镜、光器件等领域。
3.透射率:光学薄膜的透射率是指光线透过薄膜并达到基板的程度,决定了光的透射效果。
透射薄膜常用于光学滤波器、镜片涂层、光学器件等领域。
四、光学薄膜的设计与优化光学薄膜的设计与优化是制备高性能光学薄膜的关键。
根据所需的光学性质,可以通过调节不同层次的材料及其厚度,来达到特定的光学效果。
常用的设计方法包括正向设计、反向设计、全息设计等。
通过有效的设计与优化,可以实现特定波长的高反射、高透射、全反射等特性,满足不同光学器件的需求。
总结:光学薄膜是一种具有特殊光学性质的材料,广泛应用于光学领域中。
光学薄膜 (optical coating).

反射型偏光膜片:
• 背光模块产生的光线在背光模块侧的偏光膜片, 大约有一半的光线被吸收形成所谓的光损,如果将背 光模块的所有光线转换成直线偏光,就可以消除在偏 光膜片的光损。 具体方法是在背光模块与吸收型偏光膜片之间, 插入不会吸收的反射型偏光膜片,如此一来与穿透轴 直交的光线会折返至背光模块侧,在背光模块内部反 射时能够消除偏光使光线再度被利用。 合并使用反射型偏光膜片提高辉度,已经成为不 可欠缺的重要技术,根据实验结果证实相同背光模块 可以获得1.5倍的辉度,反过来说相同的辉度只需要 2/3的背光模块亮度即可,它对消耗电力的降低与使用 寿命的延伸具有重大贡献。
光学薄膜的应用
光学薄膜 (optical coating)
光学薄膜是附着在光学零件表面的厚度薄 而均匀为改变光学零件表面光学特性而镀在光 学零件表面上的一层或多层膜。 薄膜光学理论与设计、薄膜工艺技术、薄 膜材料、薄膜特性测量构成了薄膜技术研究的 主要内容。
光学薄膜的原理
光学薄膜经过纳米的光学结构处理,具有高亮度、发光均匀、 成本低、功耗低、简易方便光学薄膜经过纳米的光学结构处理, 具有高亮度、发光均匀、成本低、功耗低、简易方便、轻薄且不 易损坏等性能,保养经济又耐用。光学薄膜的纳米光学结构技术 处理,可收集光线而增加光通量,减少光损耗从而达到高亮度效 果,将光最大利用的优势。 从技术层面来讲,让其显示技术与照明技术相结合,以光学 外罩和光学反射罩为核心,利用光折射与反射的设计原理从而让 其外观千变万化。
偏光膜片的表面处理
• LED液晶显示的对比被定义成黑暗环境对比与明亮环境对比 两种,一般对比是指黑暗环境的对比,此时偏光膜片的偏光度具 有支配性。然而液晶电视等大型显示器,通常是在有照明影的空 间观视,因此明亮环境的对比反而更受重视。 降低外乱光造成的反射光,是明亮环境下高对比化上非常重 要的一环,为控制外乱反射光,在偏光膜片进行可以使反射光扩 散的反强光(Anti-Glare)处理,以及可以削减反射光的强度的反 反射光(Anti-Rrflection)处理,成为非常有效的方式。 AG处理是将微粒子分散在树脂内,利用微粒子的大小与覆 膜制程控制表面凹凸形状;AR处理是在偏光膜片的表面堆栈诱 电体薄膜。
薄膜光学技术-1第一章 薄膜光学特性计算基础

Hi N(k0Ei) HrN(k0Er)
N0 (k0 E0i ) N0 (k0 E0r ) N1(k0 E1t )
N0E0i N0E0r N1E1t
(2)
(1)×N1-(2)得振幅反射系数:
r
E0r E0i
N0 N1 , N0 N1
(1)×N0+(2)得振幅透射系数:
t
E1t E0i
第23页
第三节 单层薄膜的反射和透射
1、等效界面
➢ 入射介质与薄膜和基底组合形成的等效介质之间的界面。
2、等效导纳
➢ 等效界面下等效介质的光学导纳
YH
➢ 等效导纳等于其所等效膜堆的组合导纳。 E
3、等效反射系数
➢等效界面的反射系数
➢ 等效界面的反射系数和反射率等于其所等效膜堆的反射系数
和反射率
r 0 Y 0 Y
1 At
(s)
p 400112
T R A 1
其中,A是能量吸收率。 对于无吸收的全介质薄膜系统
T+R=1。
1
R 2 Rs RT 1
Rp ,
1
T 2 Ts Tp
Rs Rp 1
Ts Tp 1
第21页
垂直入射
倾斜入射
R
N0 N1
T
N0
θ0
N1 a
b
θ1
r N0 N1 N0 N1
r 0 1 0 1
H0 tan= H1 tan ,
E0itan + E0rtan = E1t tan H0itan + H0rtan = H1t tan
0 1
第14页
第二节 单一界面的反射和透射
1、Fresnell’s formulae and modified admittance 振幅反射系数(菲涅耳反射系数): rEr Ei 振幅透射系数(菲涅耳透射系数): t Et Ei
薄膜和多层膜的光学性质

薄膜和多层膜的光学性质薄膜和多层膜是光学材料中非常重要的组成部分,它们的光学性质在科学研究以及工程应用中有着广泛的应用。
本文将探讨薄膜和多层膜的光学性质及其应用。
首先,我们先来了解一下薄膜的基本概念。
薄膜是指在其厚度相比于其它尺寸而言非常小的材料。
一般来说,我们所说的薄膜是在纳米级别或微米级别的材料。
薄膜天然存在于物质的表面,如水的表面存在一个薄膜。
此外,人工制备的薄膜也有很多应用,比如用于光学镀膜、光电子器件等。
薄膜的光学性质是指薄膜对光的吸收、反射、透射等现象。
其中,反射和透射是薄膜最常见的光学性质。
通过反射和透射可以观察到薄膜的厚度和折射率对光学性质的影响。
其次,让我们来了解一下多层膜的光学性质。
多层膜指的是由多个薄膜层次堆叠而成的结构。
多层膜的光学性质与薄膜相比更为复杂多样。
多层膜的光学性质主要与膜层的厚度、折射率以及薄膜的层数有关。
多层膜主要有两种类型,一种是周期多层膜,它由两种材料交替排列而成,如衬底材料和薄膜材料的交替堆叠。
另一种是非周期多层膜,它由多种材料交替排列。
不同类型的多层膜具有各自独特的光学性质。
在多层膜中,不同的薄膜层会产生干涉现象,从而导致光的衍射和透射。
这种干涉现象可以利用在光学器件中,比如反射镜、滤光片等。
利用多层膜的干涉效应,我们可以实现光的波长选择性,即只透过特定波长的光。
这种技术在光通信、激光器、光显示器等领域有着广泛的应用。
此外,多层膜还可以用于光学传感器的设计。
光学传感器是一种通过测量光的特性来获取被测物理量的传感器。
通过设计合适的多层膜结构,可以使光的特性对被测量敏感,进而实现对光学传感器性能的优化。
这在生物医学、环境监测、工业检测等领域的传感器应用中具有重要意义。
总之,薄膜和多层膜的光学性质是一个引人注目且具有广泛应用的研究领域。
通过对薄膜和多层膜光学性质的研究,我们能够深入了解材料的光学行为,进而开发出各种高效的光学器件和传感器。
随着科学技术的不断发展,我们相信薄膜和多层膜的光学性质将会发挥更加重要的作用,为人类社会的进步做出更大的贡献。
第四章 各类光学薄膜设计

19
薄 膜 光 学——典型膜系
1.2 双层增透膜——λ0/4- λ0/2型双层膜 i sin 1 i sin 2 cos cos 1 B 1 2 1 2 C 3 i sin cos i sin cos 1 1 1 2 2 2
n0 Y R n0 Y
2
n 0 2 2 n0 1 2
2 1
2
R最小时,则n1 02
n0 n2
10
薄 膜 光 学——典型膜系
1.1 单层增透膜
11
薄 膜 光 学——典型膜系
1.1 单层增透膜
单层增透膜的出现,在历史上是一个重大的进展,直至 今天仍广泛地用来满足一些简单的用途。但是它存在着两个 主要的缺陷,首光对大多数应用来说剩余反射还显得太高, 此外,从未镀膜表面反射的光线,在色彩上仍保持中性;而 从镀膜表面反射的光线就不然,破坏了色的平衡.其结果是 不可能作出良好的色彩还原,作为变焦距镜头超广角镜头, 大相对孔径等新型透镜系统中的镀层,那更是不能符合要求。 有两个途径可以提高增透效果: 采用变折射率的所谓非均匀膜,它的折射率随着厚度的增 加呈连续的变化; 采用几层折射率不同的均匀薄膜构成多层增透膜;
2 0 2 0 1 ,2 0 4 2 0 2 n3 B 0 i / n1 1 0 1 i n1 C in 0 0 1 n3 1 in1 Y C / B n12 / n3
34
设计的膜层折射率在现实中不 存在的情况
35
改善PMMA基底上的MLAR
物理光学-薄膜光学基础

λ0/4膜系的多层高反射膜示意图 膜系的多层高反射膜示意图
GHLHL…HLHA=G(HL)pHA =
这种膜系之所以能获得高反射率, 这种膜系之所以能获得高反射率 , 从多光束干涉原理看是 容易理解的:根据平板多光束干涉的讨论, 容易理解的 : 根据平板多光束干涉的讨论 , 当膜层两侧介质的 折射率大于(或小于 膜层的折射率时 折射率大于 或小于)膜层的折射率时, 若膜层的诸反射光束中 或小于 膜层的折射率时, 相继两光束的相位差等于π(λ 膜系) 相继两光束的相位差等于 0/4 膜系) , 则该波长的反射光获 得最强烈的反射。 得最强烈的反射 。 而上图所示的膜系恰恰能使它包含的每一层 膜都满足上述条件, 膜都满足上述条件 , 所以入射光在每一膜层上都获得强烈的反 射,经过若干层的反射之后, 入射光就几乎全部被反射回去。 经过若干层的反射之后, 入射光就几乎全部被反射回去。 这种膜系的优点是计算和制备工艺简单, 这种膜系的优点是计算和制备工艺简单 , 镀制时容易采用 极值法进行监控;缺点是层数多, 不能连续改变 不能连续改变。 极值法进行监控;缺点是层数多,R不能连续改变。目前发展了 一种非λ0/4膜系, 即每层膜的光学厚度不是λ0/4,具体厚度要由 一种非 膜系, 即每层膜的光学厚度不是 , 膜系 计算确定。其优点是只要较少的膜层就能达到所需要的反射率, 计算确定 。 其优点是只要较少的膜层就能达到所需要的反射率 , 缺点是计算和制备工艺较复杂。 缺点是计算和制备工艺较复杂。
2
下面我们分析一下反射率R。 下面我们分析一下反射率 。
作图。 令n1=1,n3=1.5作图。 , 作图
R
n2 = 2
1.7
1.5
1.23
0.04
1.38
π
薄膜光学

N0 N1 cos cos 0 1 当 分 子 为 零 反 射 为 零这 ,一 入 射 角 称 为 布 儒特 斯角 N0 N1 又根据折射定律 N 0 sin 0 N1 sin 1 cos 0 cos1 N1 得 到t an 0 ; 0 布 儒 斯 特 角 N0
对于任何闭合的假想面(叫高斯面),通过假 想面的电场通量与该面所包围的净电荷之间的 关系:
0 E d S q
薄 膜 光 学——基础理论
磁学的高斯定律
对于任何闭合的假想面(叫高斯面),通过假 想面的磁场通量为0:
B d S 0
薄 膜 光 学——基础理论 法拉第电磁感应定律
r H
由麦克斯韦方程: 4 1 D 4 i j E E c c t c c 4 H i N2E E i c c H
薄 膜 光 学——基础理论
平面电磁波理论——E和H的关系
比较可得 ( 1): N E r H; 同 理 E可 得 : H N r E ;这说明 r、 E、 H三 个 量 相 互 垂 直 电磁波是横波 E , 、 H不 但 垂 直 , 而 且 数 值 还 间有
薄 膜 光 学——基础理论
平面电磁波理论
整理后可得: E
2
2 E
c
2
4 E 2 1 2 t c t
设它的解: E E0e
2
i t x
v
2 带入(1)中
c 4 整理得到:2 i v
薄 膜 光 学——基础理论
薄 膜 光 学——基础理论
麦克斯韦方程组
E——电场强度
D——电位移矢量 H——磁场强度 B——磁感应强度 μ——磁导率 D =ε E B =μ H
光学薄膜-基础知识

热导率
表示薄膜材料导热的能 力,影响光学薄膜的散
热性能。
光学常数
描述薄膜材料对光传播 的影响,如折射率、消
光系数等。
机械性能参数
硬度
表示薄膜材料的抗划痕能力, 影响光学薄膜的耐用性。
弹性模量
表示薄膜材料的刚度,影响光 学薄膜的稳定性和抗冲击能力 。
抗张强度
表示薄膜材料抵抗拉伸的能力 ,影响光学薄膜的耐用性和稳 定性。
反射率
表示光在薄膜表面反射的比例,影响光的利 用率。
吸收率
表示光被薄膜吸收的比例,影响光的损耗。
透射率
表示光透过薄膜的比例,影响光的透过效果。
干涉效应
由于多层薄膜对光的干涉作用,影响光的相 位和振幅。
物理性能参数
密度
薄膜材料的密度,影响 光学薄膜的质量和稳定
性。
热膨胀系数
薄膜材料受热后的膨胀 程度,影响光学薄膜的
更稳定的性能等。
多功能化
光学薄膜正朝着多功能化的方向发 展,如抗反射、抗眩光、增透、偏 振等功能,以满足不同应用场景的 需求。
环保化
随着环保意识的提高,光学薄膜的 环保性能也受到了越来越多的关注, 如使用环保材料、降低生产过程中 的环境污染等。
技术挑战
制造工艺
光学薄膜的制造工艺非常复杂, 需要高精度的设备和技术,如何 提高制造工艺的稳定性和重复性
02
它是一种重要的光学元件,广泛 应用于各种领域,如显示、照明 、通信、摄影等。
光学薄膜的特性
01
02
03
高反射性
通过选择合适的膜层材料 和厚度,可以获得高反射 率,用于增强光的反射效 果。
高透射性
通过调整膜层的折射率和 厚度,可以获得高透射率, 用于提高ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ的透射效果。
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L
面相距 h = 8.0×102 nm时,
干涉条纹如何分布?可见
S
明纹的条数及各明纹处膜
厚 ? 中心点的明暗程度如
h
n
n2 1
G
何 ? 若油膜展开条纹如何 变化?
解 条纹为同心圆
∆ = 2n2dk = kλ 明纹
h
r
d
dk
=
k
λ 2n2
k = 0,1,2,L
中心点光程差:
oR
∆ c = 2n2d = 2 ×1.20 × 800 = 1920 nm = 3.2 λ
1
M
∆ = 2nd + λ
D
2
b
∆=
kλ, k = 1,2,L 明纹
(2k +1)λ , 2
k = 0,1,L暗纹
b
n1 > n
θ
L
b
n λn /2 D
n1
劈尖干涉
讨论
1)劈尖 d = 0
∆ = λ 为暗纹. 2
d=
(k
−
1) 2
λ 2n
(明纹)
kλ 2n (暗纹)
2)相邻明纹(暗纹)间的厚度差
d i +1
反射镜 M1 M 1 移动导轨 单 色 光 源
分光板 G 1
M1 ⊥ M2
反 射 镜 M2 补偿板 G 2
G 1 //G 2 与 M 1 , M 2 成 45 0角
M2 的像 M'2 反射镜 M1
单 色 光 源
G1
d
M1 ⊥ M2
反
射
镜
G2
M2
光程差 ∆ = 2d
M'2 反射镜 M1
单 色 光 源
G1
r
从透射光中观测,中心点是暗点还是亮点? 2)属于等厚干涉,条纹间距不等,为什么?
r2 k+m
=
(k
+ m)Rλ
3)将牛顿环置于 n > 1 的液体中,条纹如何变?
4)应用例子:可以用来测
量光波波长,用于检测透镜质 量,曲率半径等.
工件 标准件
R
=
r − 2 k+m mλ
r2 k
2r
例2 用氦氖激光器发出的波长为633nm的单色光
当 M1不垂直于M2
时,可形成劈尖 型等厚干涉条纹.
反
射
镜
G2
M2
迈克尔孙干涉仪的主要特性
两相干光束在空间完全分开,并可用移动反射镜 或在光路中加入介质片的方法改变两光束的光程差.
M'2 M1
d
∆d
移动反射镜
∆d = ∆k λ 2
G1
G2
M2
M1
移 动 距 离
干涉 条纹 移动 数目
¾ 干涉条纹的移动
t
介质片厚度
2(n − 1)t = ∆kλ
干涉条纹移动数目
t
=
∆k n −1
⋅
λ 2
例 在迈克耳孙干涉仪的两臂中,分别插入
l = 10.0cm 长的玻璃管,其中一个抽成真空, 另 一个则储有压强为 1.013 ×105 Pa 的空气 , 用以测 量空气的折射率 n . 设所用光波波长为546nm,实
当 M1 与 M ′2 之间
距离变大时 ,圆形干涉 条纹从中心一个个长出, 并向外扩张, 干涉条纹 变密; 距离变小时,圆 形干涉条纹一个个向中 心缩进, 干涉条纹变稀 .
光程差 ∆ = 2d
M'2 M1
d
插入介质片后光程差
n M2 ∆'= 2d + 2(n −1)t
光程差变化
G1
G2
∆'− ∆ = 2(n −1)t
+
BC)
−
n1 AD
+
λ 2
AB= BC= d cosγ
AD = ACsini = 2d ⋅ tanγ ⋅sini
∆32 = 2n2d cosγ − 2n1d ⋅ tanγ ⋅sin i + λ 2
= 2d n2 − n1 sin γ sin i + λ
cosγ
2
= 2d n2 − n2 sin2 γ + λ
做牛顿环实验,测得第个 k 暗环的半径为5.63mm , 第 k+5 暗环的半径为7.96mm,求平凸透镜的曲率半径R.
解 rk = kR λ
rk +5 = (k + 5) Rλ
( ) 5Rλ = rk2+5 − rk2
R
=
r2 k +5
− rk2
=
(7.96mm)2
− (5.63mm)2
= 10.0m
λ
=
2n1d k
,
k = 1,2,L
k = 1, λ = 2n1d = 1104nm
k = 2, λ = n1d = 552nm 绿色
k = 3,
λ
=
2 3
n1d
=
368 nm
(2) 透射光的光程差 ∆t = 2 dn1 + λ / 2
k = 1, λ = 2n1d = 2208 nm 1−1/ 2
验时,向真空玻璃管中逐渐充入空气 ,直至压强
达到 1.013 ×105 Pa 为止 . 在此过程中 ,观察到 107.2条干涉条纹的移动,试求空气的折射率 n.
解 ∆1 − ∆2 = 2(n −1)l = 107.2λ
n
=
1+
107.2λ 2l
= 1+ 107.2 × 546 ×10−7 cm 2 ×10.0cm
紫 红 色
k = 2, λ = 2n1d = 736 nm 红光 2 −1/ 2
k = 3, λ = 2n1d = 441.6nm 紫光
3−1/ 2
k = 4, λ = 2n1d = 315 .4nm 4 −1/ 2
增透膜和增反膜
利用薄膜干涉可以提高光学器件的透光率 .
例 为了增加透射率 , 求 氟化镁膜的最小厚度.
cosγ
2
( ) ∆32
=
2d cos r
n2
1−
sin2
γ
+
λ 2
=
2n2d
cosγ
+
λ 2
= 2d
n22 (1− sin2
γ
)
+
λ 2
=
2d
n22
−
n12
sin2
i
+
λ 2
¾ 反射光的光程差 ∆r = 2d
n22
−
n12
sin
2
i
+
λ 2
kλ
加强
n >n
2
1
L
(k = 1,2,L)
∆r = (2k +1) λ 减 弱
2
1
niD
M1 1
n 2
Aγ γ
2 3
C
P
d
(k = 0,1,2,L)
M2 n 1
B
E
45
∆反 = 2d
n2 2
−
n2 1
sin2
i
+
λ
/
2
根据具体 情况而定
n >n
2
1
L
2
1
iD 3
n
M1 1
n 2
Aγ γ
C
M2 n 1
B
E
45
¾ 透射光的光程差
P
∆t = 2d n22 − n12 sin 2 i
d
光程差
∆ = 2d + λ 2
牛顿环实验装置
显微镜 T
L S
M半透 半反镜
R
rd
牛顿环干涉图样
光程差 ∆ = 2d + λ
2
R
∆=
kλ (k =1,2,L) 明纹
(k + 1)λ (k = 0,1,L) 暗纹
2
r
d
r2 = R2 − (R − d)2 = 2dR − d 2
Q R >> d ∴d 2 ≈ 0
中心点光强介于明暗之间
油膜边缘 k = 0, d0 = 0 明纹
k = 1,
d 1
=
250
nm
h
r
d
k = 2,
d 2
=
500
nm
oR
k = 3,
d 3
=
750 nm
由于 h = 8.0 × 10 2 nm
故可观察到四条明纹 (k=0,1,2,3) .
当油滴展开时,条纹间距 变大,条纹数减少.
总结
例 1 有一玻璃劈尖 , 放在空气中 , 劈尖夹
角 θ =8×10−5rad , 用波长 λ = 589nm 的单色光垂直 入射时 , 测得干涉条纹的宽度 b = 2.4mm , 求这玻
璃的折射率.
解Q ∴
θ
=
λn 2b
=
λ 2nb
n
=
λ 2θb
n θ
L b
n
=
2
×
8
5.89×10−7 m ×10−5 × 2.4 ×10−3
1)干涉条纹为光程差相同的点的轨迹,即厚 度相等的点的轨迹
∆d
∆k = 1
∆d
=
λ 2n
2)厚度线性增长条纹等间距,厚度非线性增长 条纹不等间距
3)条纹的动态变化分析( n, λ ,θ 变化时)
4 )半波损失需具体问题具体分析
n
n 1