半导体物理 第五章

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半导体物理第五章(教材)

半导体物理第五章(教材)

05 半导体的热电性质
热电效应与温差电器件
热电效应
当半导体材料两端存在温度差时,会产生热电势差,即热电效应。热电效应是半导体材料热电转换的基础。
温差电器件
利用半导体材料的热电效应,可以制作出温差电器件,如温差发电器和温差制冷器。这些器件在能源转换和温度 控制等领域有广泛应用。
塞贝克效应与温差电偶
半导体材料与器件的绿色化
发展环保、低能耗的半导体材料和器件,以适应体技术与其他领域(如生物、医学、环境等)的交叉融合,将 产生新的应用方向和产业机遇。
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感谢您的观看
致冷器件
利用帕尔贴效应,可以制作出致冷器 件,如半导体制冷器。这些器件在电 子设备冷却、局部制冷等领域有广泛 应用。
06 第五章总结与展望
关键知识点回顾
半导体能带结构
包括价带、导带和禁带的概念,以及半导体中电子和空 穴的能量分布。
半导体中的复合与产生
阐述了半导体中电子和空穴的复合过程以及载流子的产 生机制。
03
半导体器件的伏安特性曲线和 参数
02 半导体中的载流子
载流子的类型与特性
载流子类型
半导体中的载流子主要包括电子和空穴两种类 型。
电子特性
电子带负电荷,具有较小的有效质量和较高的 迁移率。
空穴特性
空穴带正电荷,具有较大的有效质量和较低的迁移率。
载流子的浓度与分布
载流子浓度
半导体中载流子的浓度与温度、掺杂 浓度和禁带宽度等因素密切相关。
半导体物理第五章教材
目 录
• 第五章概述 • 半导体中的载流子 • 半导体中的电流 • 半导体的光电性质 • 半导体的热电性质 • 第五章总结与展望

精选半导体物理第五章教材资料

精选半导体物理第五章教材资料
第五章 非平衡载流子
处于热平衡状态的半导体,在一定温度下,载流子浓度 是一定的。这种处于热平衡状态下的载流子浓度称为平衡载 流子浓度。在非简并情况下,电子、空穴浓度的乘积为:
n0
p0

Nc Nv
exp
Eg k0T


ni2
该式说明,在一定温度下,任何非简并半导体的热平衡载流子
浓度的乘积n0p0等于该温度时的本征载流子浓度ni的平方,与 所含杂质无关。该式适用于本征半导体材料和杂质半导体材
11
热平衡不是绝对静止的状态。就半导体中的载流子而言, 任何时候电子和空穴总是不断地产生和复合。在热平衡状 态,产生和复合处于相对的平衡,每秒种产生的电子和空 穴数目与复合掉的数目相等,从而保持其浓度稳定不变;
光照半导体时,打破了产生与复合的相对平衡,产生超过 复合而导致一定的净产生,在半导体中产生了非平衡载流 子,半导体处于非平衡态;
Rn0 rnn0 (Nt nt0 ) snt0 Gn0
n0

Nc
exp
Ec EF k0T

nt 0

Nt
f
( Et
)

1
Nt
exp
Et EF k0T

41
n1

Nc
exp
Et Ec k0T

费米能级EF与复合中 心能级Et重合时导带
非平衡载流子通过复合中心(杂质和缺陷在禁带中形成一 定的能级,有促进电子和空穴复合的作用,称为复合中心)的 复合。
36
在两步复合过程中,共有四个微观过程:
互逆过程 互逆过程
①俘获电子
②发射电子
③俘获空穴
④发射空穴

半导体物理-第五章-2012

半导体物理-第五章-2012

0
p
Q n, p 影响相互独立,在表达式中形式对称,可以
只考虑任一项
nt

Ntrn (rnn1 rp p0 ) [rn (n0 n1) rp ( p0 p1)]2
n
nt

Ntrn (rnn1 rp p0 ) [rn (n0 n1) rp ( p0 p1)]2
n
假定能级俘获电子和空穴的能力无差别,设 rp rn
nt


n0

n1
Nt p0

p1

n0

n1 n1

p0 p0

p1
n
式中第2项总是小于1。因此,除非复合中心浓度Nt 可与平衡载流子浓度之和(n0+p0)相比拟或者更 大时,是不会有显著的陷阱效应的。而实际上,典
p p0
小注入条件 非平衡少子浓度变化极大
光注入必然导致半导体电导率 增大,即引起附加电导率:
nqn pq p nq(n p )
半导体上压降:
V Ir


1

Hale Waihona Puke 1 0

2 0
r l l
S
S
2 0
V Ir p
半导体物理
第五章 非平衡载流子
5.1 非平衡载流子的注入与复合 5.2 非平衡载流子的寿命 5.3 准费米能级 5.4 复合理论 5.5 陷阱效应 5.6 载流子的扩散运动、漂移运动 5.7 连续性方程式
5.1 非平衡载流子的注入与复合
处于热平衡下的半导体,在一定温度下,载流子 浓度是一定的。
平衡时,甲、乙两个微观过程相互抵消。

课件:半导体物理第5章

课件:半导体物理第5章
§5.1.1欧姆定律的微分形式
欧姆定律
I U R
E
R I
U
为了半导体内部常遇到电流分布不均匀的情况, 推导出欧姆定律的微分形式
J E
式中 σ=1/ρ为半导体电导率。
§5.1载流子的漂移运动和迁移率
§5.1.2 漂移速度和迁移率
• 无外场时,半导体中的载流子作无规则的热运 动
• 在外电场下,载流子受到电场力F
mn*
p
pq p
pq 2 p
m*p
混合型:
p
pq p
nqn
pq2 p
m*p
nq2
mn*
n
§5.3 迁移率与杂质浓度和温度的关系
§5.3.2电导率、迁移率与平均自由时间的关系
对于等能面为旋转椭球面的多极值半导体
J
n 3
q1
E
x
n 3
q
2
E
x
n 3
q
3
E
x
1 3
nq
(1
2
3)Ex
令 J x nqc Ex
• 总的效果是,载流子在电场力的作用下作定向 运动—漂移运动:
a
dv dt
F mn*
§5.1载流子的漂移运动和迁移率
§5.1.2 漂移速度和迁移率
载流子在电场力作用下 的运动称为漂移运动, 其定向运动的速度称为 漂移速度。
带电粒子的定向运动 形成电流,所以对电子 而言,电流密度应为
J n(q) v d
第5章 半导体的导电性
本章主要讨论载流子在外加电场作用下的 运动规律,介绍描述半导体导电性的重要物理 量——电导率和迁移率,引入了载流子散射的 概念和各种散射机构,进一步讨论半导体的迁 移率、电阻率随杂质浓度和温度的变化规律。 定性介绍强电场下的效应,应用谷间散射简要 解释耿氏效应。

半导体物理学第五章

半导体物理学第五章

1. 净复合率(定义后述):
热平衡时:热产生率=复合率
电子浓度 光注入时:
n0,空穴浓度
p0

净产生过程
①光照开始,(热产生率+光产生率) >复合率,n 、 p ;
②光照稳定,(热产生率+光产生率) =复合率,n 、p不变;
③光照停止,(热产生率+0 ) ﹤复合率,n、p 。
净复合过程
§5–2 非平衡载流子的复合和寿命
n 0qn +p0qp nqn +pqp
0
故附加光电导:
=nqn +pqp
=nq n +p
nqn
pq
np
p
pq(n p ),
(q、 、 为常数)
n
p

1
微分得
0 ?
2
( 0 )2
02
半导体
l s
2 0
l s
半导体上电压的变化由 V Ir 微分 ( I≈const,R >> r )
* 非平衡载流子: Δ n 和Δ p(过剩载流子)
过剩载流子
载流子的产生和复合:电子和空穴增加和消失的过程 平衡载流子满足费米-狄拉克统计分布 过剩载流子不满足费米-狄拉克统计分布
且公式 np ni2 不成立
过剩载流子和电中性
平衡时
过剩载流子
电中性:
产生非平衡载流子的过程称为非平衡载流子注入
非平衡载流子及其产生:
* 非平衡态:当半导体受到外界作用(如: 光照等)后, 载流子分布将与平衡态相偏离, 此 时的半导体状态称为非平衡态。
非平衡态的载流子浓度为:
n=n0+ ⊿n ; p=p0+ ⊿p . 且 ⊿n= ⊿p(为什么?)

半导体物理第5章_图文(精)

半导体物理第5章_图文(精)

半导体物理 SEMICONDUCTOR PHYSICS 编写:刘诺独立制作:刘诺电子科技大学微电子与固体电子学院微电子科学与工程系刘诺第五篇非平衡载流子 §5.1 非平衡载流子的注入与复合一、非平衡载流子及其产生非平衡态:系统对平衡态的偏离。

相应的:n=n0+ ⊿n p=p0+ ⊿p 且⊿n= ⊿p 非平衡载流子:⊿n 和⊿p(过剩载流子)刘诺当非平衡载流子的浓度△n和△p《多子浓度时,这就是小注入条件。

结论⇒小注入条件下非平衡少子∆p对平衡少子p0的影响大非平衡载流子⇐非平衡少子刘诺二、产生过剩载流子的方法光注入电注入高能粒子辐照… 刘诺注入的结果产生附加光电导σ = nq µ n + pq µ p = (n0 qµn + p0 qµ p + (∆nqµn + ∆pqµ p = (n0 + ∆n qµn + ( p0 + ∆p qµ p = σ 0 + ∆σ 故附加光电导∆σ 0 = ∆nqµ n +∆pqµ p = ∆nq (µ n + µ p 刘诺三、非平衡载流子的复合光照停止,即停止注入,系统从非平衡态回到平衡态,电子空穴对逐渐消失的过程。

即:△n=△p 0 刘诺§5.2 非平衡载流子的寿命 1、非平衡载流子的寿命寿命τ ⇐非平衡载流子的平均生存时间1 τ ⇐单位时间内非平衡载流子的复合几率⎧1 ⎯→ ⎪τ ⎯单位时间内非平衡电子的复合几率⎪ n ⎨ 1 ⎪⎯单位时间内非平衡空穴的复合几率⎯→⎪τ p 刘诺⎩例如d [∆p (t ] 则在单位时间内非平衡载流子的减少数= − dt ∆p 而在单位时间内复合的非平衡载流子数= τp 如果在t = 0时刻撤除光照在小注入条件下,τ为常数.解方程(1得到则d [∆p (t ] ∆p − = ⎯ (1 ⎯→ dt τp − t ∆p(t = ∆p(0e − t τp ⎯ (2 ⎯→ 同理也有∆n(t = ∆n(0 e 刘诺τn ⎯ (3 ⎯→对 (2 式求导 2、寿命的意义∆p (t d [∆ p (t ] = − τp ∞ dt ⇒衰减过程中从 t到 t + dt 内复合掉的过剩空穴因此⇐(∆p 0 个过剩载流子的平均可生存时间为∫ td [∆p(t ]= τ t= ∫ d [∆p(t ] − 0 ∞ 0 p ⎯ (3 同理⎯→∫ td [∆n(t ] = τ t= ∫ d [∆n(t ] ∞ − 0 ∞ 0 n ⎯ (4 ⎯→τ − ⎧ 1 τ ⎯→ ⎪ ∆ p (τ = (∆ p 0 e = (∆ p 0 ⎯ (5 ⎪ e 可见⎨τ − ⎪ ∆ n (τ = (∆ n e τ = 1 (∆ n ⎯ (6 0 0 ⎯→ ⎪ e ⎩ 1 ⇒ τ就是∆p (t 衰减到(∆p 0的所需的时间刘诺 e§5.3 准费米能级非平衡态的电子与空穴各自处于热平衡态准平衡态,但具有相同的晶格温度: 1 ⎧⎯⎯→ (1 E−E ⎪ f n (E = ⎪⎪ 1 + e k 0T ⎨ 1 ⎪ f p (E = ⎯⎯→(2 p EF −E ⎪⎪ 1 + e k 0T ⎩ n EF ⎯电子准费米能级⎯→ p 刘诺 EF ⎯空穴准费米能级⎯→ n F刘诺§5.4 复合理论(2)间接复合 Ec 1、载流子的复合形式:(1)直接复合刘诺 Ev复合率 R=rnp 2、带间直接复合:(1)其中,r是电子空穴的复合几率,与n 和p无关。

半导体物理与器件-第五章 载流子输运现象

半导体物理与器件-第五章 载流子输运现象

考虑非均匀掺杂半导体,假设没有外加电场,半导体处于热 平衡状态,则电子电流和空穴电流分别等于零。可写为:
Jn
0
enn Ex
eDn
dn dx
(5.41)
设半导体满足准中性条件,即n≈Nd(x),则有:
Jn
0
eNd
x nEx
eDn
dNd x
dx
(5.42)
将式 5.40代 入上式:
0
eNd
x n
kT e
1
Nd x
dNd x
dx
eDn
dNd x
dx
(5.43) 爱因斯
Dn kT (5.44a) Dp kT (5.44b)
n e
p e
Dn Dp kT
坦关系
(5.45)
n p e
25
5.3杂质的浓度梯度
典型迁移率及扩散系数
注意: (1)迁移率和扩散系数均是温度的函数; (2)室温下,扩散系为迁移率的1/40。
移电流密度为
Jdrf d 单位:C/cm2s或A/cm2
空穴形成的漂移电流密度 JP drf epdp (5.2)
e单位电荷电量;p:空穴的数量;vdp 为空穴的平均漂移速度。
4
5.1载流子的漂移运动 漂移电流密度
弱电场条件下,平均漂移速度与电场强度成正比,有
dp pE (5.4) μp称为空穴迁移率。单位cm2/Vs
迁移率与电场大小什么关系?
10
5.1载流子的漂移运动 迁移率
载流子的散射:
声子散射和电离杂质散射
当温度高于绝对零度时,半导体中的原子由于具有一定的热 能而在其晶格位置上做无规则热振动,破坏了势函数,导致载 流子电子、空穴、与振动的晶格原子发生相互作用。这种晶格 散射称为声子散射。

半导体物理课件1-7章(第五章)

半导体物理课件1-7章(第五章)
•大多数情况下,非平衡载流子都是在半导体的局 部区域产生的。它们除了在电场作用下的漂移运 动以外,还要作扩散运动。
•★非平衡态的特点:产生率不等于复合率
4、★光注入: 非平衡载流子 n p
Ec
Eg
Ev
n n0 n
p p0 p 7
对N型半导体,电子为非平衡多数载流子,空 穴称为非平衡少数载流子。
复合过程的性质
• 由于半导体内部的相互作用,使得任何半导体在 平衡态总有一定数目的电子和空穴。 •从微观角度讲: •平衡态指的是由系统内部一定的相互作用所引起的 微观过程之间的平衡;这些微观过程促使系统由非 平衡态向平衡态过渡,引起非平 衡载流子的复合; •因此,复合过程是属于统计性的过程。
复合理论
p
1
Ud r(n0 p0 p)
•寿命不仅与平衡载流子浓度有关,还与非平 衡载流子浓度有关。
•1.小注入条件下 :
•不同的材料寿命很不相同。
•即使是同种材料,在不同的条件下的寿命 也可以有很大范围的变化。
第五章 非平衡载流子
•5.1 非平衡载流子的注入与复合 •5.2 非平衡载流子的寿命 •5.3 准费米能级 •5.4 复合理论 •5.5 陷阱效应 •5.6 载流子的扩散运动 •5.7 载流子的漂移运动,爱因斯坦关系式 •5.8 连续性方程式 •5.9 硅的少数载流子寿命与扩散长度
np
n0
p0
exp
EFn EFp k0T
ni2
exp
EFn EFp k0T
与n0p0=ni2比较,可以看出EFn和EFp之间的距 离的大小,直接反映了半导体偏离平衡态的 程度。
①两者的距离越大,偏离平衡态越显著;
②两者的距离越小,就越接近平衡态;
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非平衡少数载流子的影响处于决定的地位,因而非平衡 载流子的寿命常称为少数载流子寿命。
1/τ就表示单位时间内非平衡载流子的复合几率。
5.2 非平衡载流子的寿命
1/τ就表示单位时间内非平衡载流子的复合几率??
d p(t ) k p(t ) dt
p(t ) (p)0 ekt
非平衡载流子的平均生存时间
2 r l / s [l /(s 0 )]
r ,
V Ir,
V
2.非平衡载流子随时间的变化规律
(1) 随光照时间的变化 t=0,无光照,Vr=0
△Vr
t>0,加光照
↑有净产生
0
t
(2) 取消光照
在t=0时,取消照, 复合>产生 。 非平衡载流子在半导体 中的生存时间称为非子 寿命。
G
热平衡下,产生率和复合率相等: R rn0 p0 rni2 G
非平衡条件下的直接净复合率: U R G r (np n2 ) d i
非平衡条件下的直接净复合率: 考虑n=n0+∆n,p=p0+∆p,以及∆n=∆p:
U d R G r (np ni2 )
)
pi N v exp(
E F Ev k0T
)
N v ni exp(
E i Ev k0T
)
p0 Nv exp(
p Nv exp( E Fp Ev k0T ) p0 exp(
E F Ev k0T
k0T
)
Ei E Fp k0T )
EF E Fp
) ni exp(
nt Nt f ( Et ) Nt /[exp(
Et EF ) 1] k0T
乙)发射电子过程。复合中心能级上的电子激发到导带(甲的逆过程)。非 简并情况下认为导带基本是空的,产生率与n无关:Ennt 平衡时甲、乙两个相反的微观过程互相抵消:
En nt 0 Cn ( Nt nt 0 )n0
En nt 0 Cn ( Nt nt 0 )n0
Et EF nt 0 Nt f ( Et ) Nt /[exp( ) 1] k0T
n0 N c exp(
Ec E F k0T
)
所以:
E Ec En Cn N c exp( t ) Cn n1 k0T
E Ec n1 N c exp( t ) 其中: k0T

E Ev E p C p N v exp( t ) C p p1 k 0T 空穴产生率:
p1 N v exp(
Et E v ) k 0T
C p p1 ( Nt nt )

Cpntp
非平衡载流子的净复合率
稳定平衡情况下,甲、乙、丙、丁四个过程必 须保持复合中心上的电子数不变,即nt为常数 , 满足稳定条件:甲+丙=乙+丁
其中利用了关系:
Nt CnC p (np ni2 ) Cn (n n1 ) C p ( p p1 )
n1 p1 N C NV exp(
EC EV ) ni2 k0T
讨论
平衡时:np=n0p0=ni2 , U=0 非平衡注入:U>0,由 n=n0+∆n,p=p0+∆p,以及∆n=∆p, 得到表达式
U d r (n0 p0 )p rp 2
非平衡载流子的寿命:
由于
U d p 1


p 1 U d r (n0 p0 ) rp
小注入条件下n0+p0>>∆p : 特别大注入条件下n0+p0<<∆p :

1 r (n0 p0 )
1 rp

间接复合 半导体中的杂质和缺陷在禁带中形成一定的能级,影响半导 体的电性能;影响非平衡载流子的寿命,具有促进复合的作用, 称为复合中心。
第五章 . 非平衡载流子
1. 2. 3. 4.
非平衡载流子及其寿命 非平衡载流子的复合 陷阱效应 非平衡状态下载流子的运动概念
5.1 非平衡载流子

概念 热平衡状态:一定温度下,载流子浓度是一定。 非平衡状态:外界作用它处于与热平衡状态相偏离 的状态。 非平衡状态下载流子浓度发生变化,比平衡浓度 多出非平衡载流子。
导带和价带间的不平衡就表现在它们的准费米能级是不重合。 只要非平衡载流子的浓度不太高,准费米能级不进入价带或导带, 非平衡状态下的载流子浓度也可以表达:
p p0 p N v exp(
ni N c exp( Ec E i k0T )
E Fp Ev k 0T
Ec E i k0T k0T
p Nv exp(
E Fp Ev k0T
) p0 exp(
EF E Fp k0T
) ni exp(
Ei E Fp k0T
)
n Nc exp(
n E F Ec
k0T
) n0 exp(
n E F EF
k0T
) ni exp(
n E F Ei
k0T
)
n p EF EF np ni2 exp( ) k0T
非平衡载流子的产生
1.光注入
用波长比较短的光 ∆n no
光照
h E
g
po
照射到半导体
∆p
光照产生非平衡载流子
2.电注入
3.非平衡载流子浓度的表示法
产生的非子一般都用n,p来表示 。 达到动态平衡后:
n=n0+n p=p0+p
n0,p0为热平衡时电子浓度和空穴浓度 ,
n,p为非子浓度。
一、复合类型
直接复合:

Ec
按复合机构分
间接复合:
° •
Et
Ev
Ec
°
Ev
表面复合
按复合发生的位置分
体内复合 发射光子 → 辐射复合 按放出能量的形式分 发射声子 →无辐射复合
俄歇复合

直接复合: 从能带角度讲,就是导带中的电子真接落入价带与 空穴复合,这种由电子在导带与价带间直接跃迁而 引起非平衡载流于的复合过程就是直接复合。逆过 程,即价带中的电子也有一定几率跃迁到导带上去, 产生一对电子和空穴 。 实际半导体材料的寿命比理论数据要低得多,最 大寿命值在毫秒级。说明非平衡载流子地寿命主要 不是由直接复合过程所决定,间接复合占主导。
pq p nq n ( p 0 p )q p (n 0 n)q n
n 0 q n p 0 q p nq( n p ) 0
设外接电阻R>>r(样品的电阻)
I E Rr
2 1/ 1 1/ 0 / 0 / 0
4.大注入、小注入
● 注入的非平衡载流子浓度大于平衡时的多子浓 度,称为大注入。
n型:n>n0,p型:p>p0
●注入的非平衡载流子浓度大于平衡时的少子浓 度,小于平衡时的多子浓度,称为小注入。
n型:p0<n<n0,或p型:n0<n<p0
二、非平衡时的附加电导
热平衡时: 0
非平衡时:
p0 q p n0 q n
)
)
n E F Ec n n0 n N c exp( ) k0T
N c ni exp( n0 N c exp(
Ec E F
)
n E F Ei
n Nc exp(
n E F Ec
k0T
) n0 exp(
n E F EF
k0T
) ni exp(
k0T
非平衡载流子的寿命和复合中心 浓度Nt成反比 如∆n=∆p<0, U<0表示电子空穴 产生率,上式仍适用 。
U
N t Cn C p (n0 p p0 n p 2 ) Cn (n0 n1 p) C p ( p p1 n)


Cn (n0 n1 p) C p ( p p1 n) Nt CnC p (n0 p p0 n p)
a) Cn(Nt-nt)n
c) Cpntp
b) Ennt
d) Ep(Nt-nt)

间接复合
间接复合可能过程 :相对于复合中心来说,共有四个微观过程:
甲)俘获电子过程。复合中心能级Et从导带俘获电子 俘获率: rn ( Nt nt )n rn电子俘获系数,Nt是复合中心浓度,nt复合中心能级上的电子浓度。 非简并平衡条件下:
N型
Ec
P型
Ec EFn
EFn EF EFp
Ev
EF EFp Ev
问题
1 什么叫准费米能级? 2 在非平衡体系中,是多子还是少子的 准费米能级偏离平衡态费米能级远? 3 非平衡载流子寿命与复合几率是什么关系?
5.4非平衡载流子复合理论

概念: 任何半导体在平衡态总有一定数目的电子和空穴, 从微观角度来说,是由于半导体内部的相互作用这 些微观过程促使系统由非平衡态向平衡态过渡,引 起非平衡载流子的复合。复合过程是属于统计性的 过程。 半导体中无时不存在着载流子产生和复合两个相反 的过程。通常把单位时间和单位体积内所产生的电 子—空穴对数称为产生率,而把单位时间和单位体 积内复合掉的电子—空穴对数称为复合率。
5.3 非平衡载流子准费米能级

概念
半导体中的电子系统处于热平衡状态时,在整个半导体中有统—的 费米能级,在非简并情况下满足玻尔兹曼分布规律。 处于非平衡状态时,就不再存在统一的费米能级。
在一个能带范围内,热跃迁十分频繁,极短时间内能导致一个能带内的 平衡分布。价带和导带中的载流子讲,它们各自基本上处于平衡态,而 导带和价带之间处于不平衡态。 可认为费米能级和统计分布函数对导带和价带各自仍然是适用的,可以 分别引入导带费米能级和价带费米能级,它们都是局部的费米能级,称 为“准费米能级”。
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