晶盛单晶炉作业指导书64页PPT
单晶炉操作规范(071208修订稿)
生效日期：2007年 12 月 12日1、目的为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。
2、适用范围适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉的操作。
3、单晶炉操作工艺流程作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→（二次加料、再熔料）→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却4、主要内容A.作业准备a.进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。
b.开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。
c.准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。
d.准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。
e.取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。
f.用毛巾将炉体从上到下擦一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。
B.热态检漏a.检查上一炉功率关闭时间，在确认单晶冷却时间达到5.0小时以上后，关闭氩气总阀门（先打开主、副室流量计调节阀并分别调节到30L/Min，再关闭氩气进气总阀门，主、副室流量计调节阀仍然保持打开状态），开始抽高真空，并作时间记录。
b.待炉内压力到达极限（要求达到３Pa以下）后，先关闭主室抽空球阀而后关闭主真空泵电源进行检漏，并作相应时间记录，若0.5小时内抽不到3Pa以下时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。
c.检漏要求3分钟以上，漏气率<0.34Pa/min为正常，同时作好漏气率记录，若漏气率＞0.34Pa/min时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。
d.做好热态检漏时的抽空时间，检漏时间，极限真空，漏气速率等记录。
单晶炉操作规范
冷检1.目的为单晶生产作业提供指导，规范操作，保证产品质量。
2.范围本作业指导书适用于拉晶岗位。
3.安全要求3.1单晶车间的安全注意事项1.车间内的机器设备，无操作资格者勿动。
2.未装磁场的单晶炉，操作人员要注意防范掉进炉子旁边的缝隙里，对于已经装上磁场的，要注意不要带手机、磁卡（如银行卡身、份证）等靠近。
也不能拿铁器、钢器靠近磁场，否则会造成人身伤害和设备损坏。
3.严禁在车间内打闹，上班时要杜绝擅离职守、睡觉等。
4.在副室与喉口间、炉盖与主室之间，只要存在可能压砸的地方，任何人严禁将身体的任何部位置于两者的空隙之间。
5.拉晶中的炉台，严禁任何人踩踏单晶炉的底盘或将身体靠在单晶和电控柜上，以免造成炉子震动或碰到电器开关。
3.2进入泵房的安全注意事项1.确保泵房照明，如果照明灯损坏，要及时更换。
2.必须保持泵房地面干燥和清洁，定期清扫泵房，如将油到地面上时，要及时打扫干净。
3.机械泵皮带必须安装防护罩。
4.清洁机械泵和换油时，必须在泵的电源开关上悬挂警示牌，工作完毕后取走警示牌。
5洗泵时严禁将杂物掉入机械泵腔内。
3.3拆装炉1.上班必须穿戴好劳保用品。
装炉时，还需戴口罩、手套等防护用品。
2.拆炉取晶时、注意不要被烫伤、划伤、碰伤。
3.晶体出炉后按指定地点摆放，并将晶体上多余的籽晶部份剪掉。
4.拆拿及安装石墨件时要戴上线手套。
3.4乙醇、丙酮的使用1.工业乙醇及有丙酮害、使用时，要注意防止其溅入眼内。
2.严禁用内酮擦拭密封圈！注意：乙醇和丙酮都是易燃物，应安全使用和妥善保管。
4.工艺流程5.4.1工艺流程图4.2过程控制4.2.1.1取晶体1、停炉5小时后须先进行手动热检漏并记录，（真空度<15mTorr）泄漏率应<15mTorr(0.55Pa/5min)。
泄漏率超出范围应报修。
手动热检漏操作步骤：在触摸屏上将电控系统退到手动状态，关闭供气管道上的手动球阀，将三个电磁阀全部打开，然后抽空到极限真空。
单晶炉热场清洁与安装作业指导书
4.2.2.2 底盘边缘与主室底座内壁的距离应相等。（见下图）
4.2.2.3 底盘上的电极孔、中心孔要与主室底座的孔对应、对正。 （见右图）
4.2.3 装电极柱： 4.2.3.1 装电极柱：装电极柱时不宜太紧，否则容易涨裂引起电极打火。
江西赛维 LDK 太阳能高科技有限公司 文件编号
单晶炉热场清洁与安装作业 版本/
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指导书
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ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ日期
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第-1-页共 6页
一、目的：
清除炉内杂物、规范热场的安装，提高产品质量。
二、范围：
单晶炉的热场的清扫和安装。 三、职责：班长负责当班期间组织生产，组长监督工艺操作人员对热场的安全安装。 四、作业内容： 4.1、热场的清洁：
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4.1.3.8.3、用沾酒精的纸擦拭除尘筒和密封部件； 4.1.3.8.4、将清扫后的过滤网缓慢放进除尘筒； 4.1.3.8.5、将除尘筒盖密封圈擦净，盖好除尘筒盖并用专用工具拧紧螺栓； 4.1.3.8.6、清洁除尘筒表面卫生； 4.2、热场的安装： 4.2.1 安装前需检查： 4.2.1.1 热场的所有石墨器件必须是经过锻烧合格方可使用。 4.2.1.2 检查主室底座的清洁度，确定电极柱周围及坩埚轴端面上没有石英、石墨碳毡及 硅粉颗粒。 4.2.2 底盘安装：
心取埚底料，应避免埚底从热场的缝隙掉下杂物； 4.1.3.3.4 待石英坩埚和埚底料冷却后，放入指定的箱子并做好编号 4.1.3.4 按一定顺序取出热场的石墨器件，顺序如下：导流筒→热屏支撑环→上保温罩 →三瓣埚→坩埚底盘→中保温罩→石墨中轴→加热器→下保温罩和底盘 （如下图）
晶盛单晶炉作业指导书
晶盛单晶炉作业指导书一、概述晶盛单晶炉是一种用于单晶材料生长的设备，能够实现高温环境下的晶体生长。
本作业指导书旨在向操作人员提供使用和维护晶盛单晶炉所需的详细指导，以确保设备正常工作并生产出高质量的单晶材料。
二、设备操作1. 准备工作a. 检查设备的电源和供气情况，确保正常运作。
b. 确保操作人员穿戴好相应的防护装备，包括防护眼镜、耳塞等。
c. 检查设备各部件的连接和状态，确保无漏气、无破损等问题。
2. 加载样品a. 打开炉膛门，将要生长的单晶样品小心地放置在样品载台上。
注意避免样品与载台接触过程中的碰撞或损坏。
b. 关闭炉膛门，确保密封良好。
3. 设置工艺参数a. 根据所需单晶材料的要求，在操作界面上设置合适的温度、压力等工艺参数。
b. 按照设备使用手册的要求，设置晶盛单晶炉的升温速率、保温时间等参数。
4. 启动和监控a. 打开设备的电源，按照正常启动程序操作，确保炉膛加热系统和其他系统正常运行。
b. 在启动后的整个过程中，操作人员应密切监控温度、压力等参数的变化，并及时调整，以确保单晶材料的质量。
5. 结束和清理a. 单晶材料生长完成后，关闭电源，停止供气，并等待炉膛冷却到安全温度。
b. 打开炉膛门，小心地将生长好的单晶样品取出，放置在合适的容器中。
c. 清理炉膛内部的残留物，确保设备整洁。
三、设备维护1. 清洁a. 每次使用后，应及时清洁炉膛内部和其他部件，避免杂质对下一次生长工艺的影响。
b. 使用合适的清洁剂和工具进行清洁，注意安全和操作规范。
2. 检修和维护a. 晶盛单晶炉设备定期需要进行检修和维护，以确保各部件的正常工作。
b. 遵循设备使用手册中的维护计划，对设备的各个部件进行检查、清洁、更换等操作。
c. 发现设备问题时，应及时汇报并由专业人员进行维修。
3. 安全注意事项a. 操作人员应在经过必要的培训和指导后，才能使用晶盛单晶炉设备。
b. 在操作过程中，应严格按照设备的安全操作规程进行操作，以避免意外事故的发生。
硅片制备--多晶硅铸锭炉和单晶炉幻灯片PPT
• 热电偶装在直拉单晶炉膛的测温孔上，正对加热器中部。为了使便于 测量和测量灵敏准确，一般通过聚光镜，将光聚集于热电偶堆上。
• 电极装在炉膛底部，它的作用是支撑加热器（石墨）和保温系统（或 通过石墨电极支撑），把强大的电流传给加热器，使加热器产生高温， 熔化多晶硅。电极一般由紫铜制成，两层铜管成环状，内部通水。
• 光学等直径监测器装在炉膛的光学等直径监测孔上，它象照象机，一 组光学镜头对准坩埚中心，硅单晶通过镜头将硅单晶横断面直径的正 面影象反射在毛玻璃屏幕上，屏幕上有一个光敏二极管，影象变化作 用在光敏二极管上，产生电信号，经过放大分压（或分流）处理，控 制提拉或加热功率，保证硅单晶等径生长，通过调节光敏二极管位置 可以控制生长硅单晶的粗细。
• 单晶炉的机械传动部分，包括籽晶轴（上 轴）、坩埚轴和驱动它们上升、下降或旋 转的电机。
• 籽晶轴和坩埚轴的旋转由力矩电机（或直 流电机）分别经过皮带（或齿轮）变速后 带动抱轮使其旋转。
• 籽晶轴和坩埚轴的上升或下降通过通过两 个力矩电机（或直流电机）驱动螺纹旋转 完成。
• 这四个运动各自独立，互不干扰，不同的 是坩埚轴比籽晶轴有更缓慢上升或下降速 度。
硅片制备--多晶硅铸锭炉 和单晶炉幻灯片PPT
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一、 单晶炉
• 目前在所有安装的太阳电池中，超过90%以上的 是晶体硅太阳电池，因此位于产业链前端的硅锭/ 片的生产对整个太阳电池产业有着很重要的作用。
晶盛单晶炉操作说明
晶盛单晶炉操作说明
1. 简介
本章节将对晶盛单晶炉进行简要的介绍，包括其主要功能和特点。
2. 安全须知
在使用晶盛单晶炉之前，请务必阅读并遵守以下安全须知，以确保您的人身安全和设备正常运行。
3. 设备结构与组成部分
这一章节详细描述了整个设备的结构，并列出了各个组成部分及其作用。
同时还提供了相应图示以便更好地理解。
4. 操作流程步骤
a) 准备工作：在开始操作之前需要做哪些准备工作？
b) 开机启动：如何正确开启电源、控制面板等？注意事项有哪些？
c) 参数设置：如何根据实际需求设置温度、时间等参数？
d) 样品放置与取出方法: 如何正确放置样品到加热台上？怎么才能够安全地从加热台上取下样品？
5. 故障排除指南
如果在使用过程中发生故障或异常情况时，该怎么办呢?这里给出一些建议性内容来帮助用户快速定位和解决问题。
6. 维护与保养
为了确保设备的长期稳定运行，本章节将介绍一些常见的维护与保养方法，并提供相应注意事项。
7. 常见问题及解答
这里了用户在使用晶盛单晶炉过程中经常遇到的一些问题，并给出详尽而简明扼要地回答。
希望能够对您有所帮助。
8. 相关附件
本文档涉及以下附件，请参阅：
- 晶盛单晶炉操作手册.pdf
9. 法律名词及注释
- 单晶：指具有完整、连贯结构并无缺口或杂质等不均匀性存在的物体。
- 熔融法：通过加热原料至其溶点以上使之变成流动状态后再逐渐凝固形成单个大颗粒（即“种子”）以制得高纯度金属产品或合金产品。
晶盛机电：单晶炉订单充足
2017年第27期本刊研究员田闯市场方面，针对最近周期股行情，国泰君安认为此次周期行情是需求预期扭转带动的宏观和微观层面共振，相较前一轮周期行情速度更快、时间更短。
宏观层面，超预期的经济韧性叠加温和的流动性环境逐渐修正需求的预期方向；微观层面，7月钢厂例行检修等事件催化超额接单，“淡季不淡”助推正在修正的预期力量，加速周期股景气反转。
另外，周期股基本面角度带动的盈利能力修复使得周期板块享受着一定程度的价值股溢价，这部分溢价让周期股在当前“死抠EPS”的市场环境下具备了一定进攻属性，表现为周期股弹性更强、反应更快。
目前来看，前期享受的经济走弱叠加流动性收紧带来的确定性溢价的“漂亮50”点位已高，市场对于一线龙马能否继续演绎分歧加大。
国泰君安认为，市场走向经济与流动性的“二力平衡”，市场重心“不左不右”，“漂亮50”的故有逻辑难再现双重推动。
另外，在全球定价力量崛起的背景下，海外力量收缩与转向令一线龙头性价比逐步丧失。
往后看，市场依然维持“非牛非熊”格局，中报掌声响起，龙马行情的扩散/切换继续上演。
海通证券荀玉根认为周期股是从Beta 走向Alpha。
最近周期股尤其是资源股整体表现强有价格因素的刺激，但周期股的Beta 效应正在减弱，周期有大行情的前提是固定资产投资增速趋势性回升或者货币政策明显放松，这两个因素今年都看不到。
但是周期行业龙头的Alpha 效应并不比消费差，这是“角落里的阳光”。
我国目前所处的大背景是经济转型，类似1970-80年代的日本，传统制造业大量合并重组，以钢铁、化工、纺织为主的传统制造行业规模收缩十分明显，但是这些行业内部的龙头公司却在行业整合的过程中实现了加强，龙头股溢价显现。
6月4日以来，震荡市已经开启新一个上涨波段，7月市场或许出现涨幅趋缓或小幅波动，但上涨趋势仍将延续，建议顺应市场多头趋势。
未来密切关注政策面变化，以及市场累计涨幅和市场情绪。
结构上也维持之前判断，震荡市业绩为王，整体偏价值的风格不会变。
晶盛单晶炉操作说明
．全自动单晶炉操作手册REV. MANUAL_ZJS.Z02（TDR80A-ZJS/TDR85A-ZJS/TDR95A-ZJS适用）2009年05月上虞晶盛机电工程有限公司SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO., LTD目录第一章单晶生长条件 (2)1.1 设备要求 (2)1.2 辅料要求 (3)1.3 安全要求 (4)第二章单晶生长标准流程 (5)2.1 拆炉 (5)2.2 装炉 (6)2.3 开始单晶的生长 (8)2.4 抽真空 (9)2.5 检漏 (11)2.6 压力化 (12)2.7 熔料 (13)2.8 稳定化 (15)2.9 熔接 (16)2.10 引晶 (18)2.11 放肩 (19)2.12 转肩 (20)2.13 等径 (21)2.14 收尾 (22)2.15 停炉 (23)第三章单晶生长辅助流程 (24)3.1 中途取晶 (24)3.2 回熔 (26)3.3 煅烧 (26)3.4 大清 (27)3.5 连接部位检查 (27)第四章相机调整与热场温度校正 (28)4.1 相机调整 (28)4.2 热场温度调整 (32)第五章异常情况处理 (33)5.1 断水 (33)5.2 电极故障 (33)5.3 打火 (33)附录故障速查 (34)第一章单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上；炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。