电容式位移传感器在气阀测试中的应用_孙杰

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电容式微位移传感器的结构及其应用研究

电容式微位移传感器的结构及其应用研究

电容式微位移传感器的结构及其应⽤研究电容式微位移传感器的结构及其应⽤研究 0. 摘要主要介绍了电容式位移传感器的原理、测量电路和在实际⽣活中的应⽤,主要是变间隙式电容传感器,采⽤电容运算放⼤器检测电路,并设计了⼀种改进型的检测电路,详细介绍了⼀种JDC 电容测微仪的组成及改进。

1. 引⾔电容式位移传感器具有精度⾼,结构简单,功耗低,成本低等典型特点,在现代化设备和制造系统⾃动化控制中电容式传感器运⽤得越来越多。

电容式位移传感器的设计关键是研制信号调整电路,把所测位移的变化量准确地转换成电压变化量。

运算放⼤器检测法的输出电压变化量于被测位移变化量成正⽐,从原理上解决了变间隙式电容位移传感器输出特性的⾮线性问题。

2. 变间隙电容位移传感器的原理如图1所⽰,对于平⾏板电容器,当不考虑边缘效应时,器电容为 d s c /ε=(1)式中:ε为介质的介电常数;s 为极板⾯积;d 为极板距离。

在电容上施加⼀个周期为f 的交流电压时,电容的电抗为fCπ21x c = (2) fS d πε2x c =(3) 电容上的电压和电流的关系为U=I ·x c (4) U=I ·)2/(fS d πε(5)当保持电流I 恒定时,两极板距离越⼤,电抗就越⼤,电压随之增⼤,其变化与距离成线性关系。

3. 测量电路电容式位移传感器的运算放⼤器检测法原理如图2所⽰。

电容传感器的侧头和被测物体构成传感器电容C x 的2个极板,C ref 为参考电容。

等效杂散电容C s 分布在传感器电容的两端,电容传感器采⽤等位环技术和驱动电缆技术,C s 降低到较⼩。

运算放⼤器A 的输⼊阻抗很⾼,增益很⼤,由于运算放⼤器A 的反向输⼊端虚地,杂散电容C s两端相当于接地,对电路影响图2 电容运算放⼤器检测原理很⼩。

U in 为激励源电压,由电路原理,有:dx SC U U ref in out ε-=(6)可知,输出电压U out 与动极板的位移x d 成线性关系,从原理上解决了变间隙式电容式位移传感器输出特性的⾮线性问题。

电容式传感器原理解析及其应用举例①

电容式传感器原理解析及其应用举例①
x K x , 其中K为灵敏度。 ln( D / d )
bx
虑 二次非 线 性 项, 忽 略 其他 更高次项, 可得 非 线 性 误 差 为:
L
( d / d 0 ) 2 100% d / d 0 100% d / d 0
电 容 式传感 器的原 理 可用 平 行 板电 容 器简单 阐 释。 假设 忽 略 边 缘效 应, 平 行板电 容器电 容为 C S
d
r 0
S
d
, 其中 为
极板相 对覆 盖面 积, 为极板间距, r 为电介质的 相 对介电常 数, 0 为 真空 介 电常 数, = 或
r r 0
为电介质的 介电常 数。 、
1 变极 距型电容传感 器
以平 行 板电 容 器为 例, 上 极 板 固 定 不 动, 下极板为动 极 板, 设 初 始 时 两 极板 距离为 应增 大 C C0
0
。 当距离 减 小Δ 时, 则电 容 相
d , 电 容的 相 对变化为 d 0 d
C d 1 C0 d 0 1 d / d 0
可见, 电 容 的 相 对 变 化 与 位 移 之 间 为 非 线 性 关 系 。在 误 差 允 许 的 范 围内, 通 过 略 去 高 次 项 可得 近 似 的 线 性 关 系
C d 1 , 即电容 式传感器的静态灵敏度为 K 。 如 果只考 C0 d0 d0
2 变面积 型电容传感器
以平行板电容器为例的变面积型电容传感器如图2所 示, 当上极板 移 动 时, 两 极板 间的 相 对覆 盖面 积 发 生 变 化, 从而 引起电 容 的变 化。 这 样 的 传感 器可 以 用于 位 移 测 量。 根 据应 用 要 求, 有 平 行 板 型 极 板、 圆 筒 型 极 板 和 锯 齿 型 极 板等, 这 类传感器具 有 较 好的线 性 特 性。 如 图 2 所 示, 当 动 极 板 发 生 线 位 移 后, 相对应的电容变 化 为 C d K x , 其 中 为 灵 敏 度, 其 输出与 输入 成 线 性 关 系, 灵 敏 度 是常 数。 但 是 平 行板 型结 构 对 极 距变化 特 别 敏 感, 测 量 精 度 会 受 影 响, 而 圆 筒 形 结 构( 如 图 3 所 示) 受 极 板 径 向 变 化 的 影 响 很 小 ,成 为 实 际 中 最 常 采 用 的 结 构 。当 动 筒 移 动 后, 两 筒 重 叠 长 度 发 生 变 化 时, 电容变化 为: C 2

电容式传感技术在空气质量检测中的应用研究

电容式传感技术在空气质量检测中的应用研究

电容式传感技术在空气质量检测中的应用研究随着城市化进程的加快,车辆和工厂排放的废气、建筑施工粉尘、空气质量差等问题日益凸显,空气质量检测变得越来越重要。

目前普遍使用的传感器有光学式、电化学式、红外式、气体敏感式等。

但传统的气体传感器在使用过程中存在检测精度低、干扰信号多、响应速度慢等问题。

电容式传感技术在空气质量检测中占有重要的应用地位。

电容式传感器,简单来说就是利用被测介质和电极分别组成一个电容,通过测量电容的变化来计算介质的物理量。

电容式传感器具有高灵敏度、低电流耗费和现场独立的特点,与传统气体传感器相比,被广泛应用于空气质量检测领域。

首先,电容式传感技术在空气中污染物的浓度检测方面有明显优势。

空气中的污染物主要由PM2.5、PM10、SO2、O3、NO2等组成。

通过电容式传感器检测这些污染物的浓度,可以有效预警空气污染地点,及时治理空气污染。

并且电容式传感器可以应用于不同的污染物,可开展全面的空气质量检测,得出详细的结果。

其次,电容式传感技术具有响应速度快的特点。

传统的气体传感器需要几十秒或更长时间才能完成响应,而电容式传感器通常可以在毫秒内完成测量。

这意味着当突发的空气污染发生时,电容式传感器能够更及时地预警,让人们有时间处理危险而不至于被困在污染的空气中。

最后,电容式传感技术在空气呼吸检测方面也很有用。

利用电容式传感器可以测量人体呼出的二氧化碳和一氧化碳,这通常被用于安全路线和心跳监控等。

电容式传感器的隐蔽特性意味着它可以集成到多个终端中,在空气质量和人体健康方面发挥重要作用。

总之,电容式传感技术在空气质量检测中有广泛的应用,通过对空气中污染物浓度的准确检测,可以及时治理空气污染,保护公众健康。

电容式传感技术的快速响应和现场独立性使之成为预警和监测空气质量的理想选择。

未来,电容式传感技术有望在环境监测领域发挥更大作用。

电容式传感器的应用与发展

电容式传感器的应用与发展

传感器检测与运用题目电容式传感器的应用与发展姓名王鑫学院工学院专业交通运输班级交运114班学号 ******** 指导老师卢伟职称讲师2 0 13 年 1 2 月 2 8 号电容式传感器的应用与发展电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种参量型传感器。

电容式传感器广泛应用于压力、液位、位移等各种检测中,由于形式多种多样,传感器电容值相差很大。

电容式传感器可分为变面积变化式、变间隙式、变介电常数式三类。

变面积变化式一般用于测量角位移或较大的线位移。

变间隙式一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化。

变介电常数式常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。

这种传感器具有高阻抗、小功率、动态范围大、动态响应较快、几乎没有零漂、结构简单和适应性强等优点。

70年代末以来,随着集成电路技术的发展,出现了与微型测量仪表封装在一起的电容式传感器。

这种新型的传感器能使分布电容的影响大为减小,使其固有的缺点得到克服。

电容式传感器是一种用途极广,很有发展潜力的传感器。

而本文主要介绍了电容式传感器的工作原理,应用及发展趋势。

一、电容式传感器的基本工作原理由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为图1.1平行板电容器ε为电容极板间介质的介电常数,ε=ε0·εr,其中ε0为真空介电常数,εr 为极板间介质相对介电常数;A 为两平行板所覆盖的面积;d 为两平行板之间的距离。

当被测参数变化使得上式中的A ,d 或ε发生变化时, 电容量C 也随之变化。

如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。

当动极板移动后,覆盖面积就发生了变化,电容也随之改变,下图为直线位移型电容式传感器的示意图,其为变面积式的一种。

dA c ε=x ∆电容:电容增量:测量灵敏度:此外,改变板间距d 或者电介质ε,便是变间隙式和变介电常数式电容传感器结构形式,结构形式如下图所示,图1.3变间隙式 图1.4变间介电常数式二. 电容式传感器的应用行业1. 触摸屏广泛应用于我们日常生活各个领域,如手机、媒体播放器、导航系统数码相机、PDA 、游戏设备、显示器、电器控制、医疗设备等。

《电容式柔性应变传感器设计及氢堆气密性检测应用》

《电容式柔性应变传感器设计及氢堆气密性检测应用》

《电容式柔性应变传感器设计及氢堆气密性检测应用》篇一电容式柔性应变传感器设计及在氢堆气密性检测中的应用一、引言随着科技的发展,柔性电子学在众多领域中发挥着越来越重要的作用。

其中,电容式柔性应变传感器作为一种关键器件,以其灵敏度高、稳定性好等优势被广泛运用于健康监测、智能穿戴、机器人技术等领域。

本文将详细介绍电容式柔性应变传感器的设计原理及其在氢堆气密性检测方面的应用。

二、电容式柔性应变传感器设计1. 工作原理电容式柔性应变传感器的工作原理主要基于电容器原理。

当传感器受到外力作用时,其电容值会发生变化,通过测量这一变化,可以推算出外力的大小和方向。

2. 结构设计电容式柔性应变传感器的结构设计主要包括电极、介电层和基底等部分。

其中,电极负责传导电流,介电层负责感应外力引起的电容变化,基底则提供支撑和保护作用。

为了提高传感器的灵敏度和稳定性,通常采用柔性材料如聚酰亚胺(PI)作为基底,以及导电材料如银纳米线(AgNW)作为电极。

3. 制备工艺电容式柔性应变传感器的制备工艺主要包括材料选择、制备电极、制备介电层和封装等步骤。

在材料选择方面,应选择具有良好导电性和柔性的材料;在制备电极和介电层时,需要控制薄膜的厚度和均匀性;最后进行封装以保护传感器免受外界环境的影响。

三、氢堆气密性检测应用1. 氢堆气密性检测的重要性氢堆作为氢燃料电池的核心部件,其气密性直接影响到燃料电池的性能和寿命。

因此,对氢堆进行气密性检测具有重要意义。

2. 传感器在气密性检测中的应用电容式柔性应变传感器可以应用于氢堆气密性检测中,通过测量氢堆在充放氢过程中的形变情况来评估其气密性。

具体而言,当氢堆发生泄漏时,传感器能够感知到形变并输出相应的信号,从而实现对氢堆气密性的实时监测。

3. 实际应用案例以某氢燃料电池生产企业为例,该企业采用电容式柔性应变传感器对氢堆进行气密性检测。

通过将传感器贴附在氢堆表面,实时监测氢堆在充放氢过程中的形变情况。

电容式位移传感器作用

电容式位移传感器作用

电容式位移传感器作用
电容式位移传感器是一种用于测量物体位移的传感器。

它的作用是通过测量物体与传感器之间的电容变化来确定物体的位移。

当物体移动时,它会改变与传感器之间的电容距离,从而导致电容值的变化。

传感器会将这种电容变化转换成电信号,然后输出给相应的测量设备或控制系统。

电容式位移传感器的作用包括但不限于以下几个方面:
1. 位移测量,通过测量物体与传感器之间的电容变化,可以精确地测量物体的位移,包括线性位移和角位移。

2. 控制系统,电容式位移传感器可以将位移转换成电信号,用于控制系统对物体进行精确的控制,例如自动化生产线上的定位控制和机器人的运动控制等。

3. 监测和安全,在工程和机械设备中,电容式位移传感器可以用于监测物体的位移变化,以确保设备运行在安全范围内,并在必要时触发安全保护措施。

4. 自动化测量,电容式位移传感器可以与自动化测量设备结合
使用,用于工程测量、材料测试和科学研究等领域,提高测量精度
和效率。

总的来说,电容式位移传感器的作用是通过测量物体与传感器
之间的电容变化,实现对物体位移的精确测量和控制,从而在工程、科学研究和工业生产等领域发挥重要作用。

简要说明电容式位移传感器的工作原理

简要说明电容式位移传感器的工作原理

简要说明电容式位移传感器的工作原理
电容式位移传感器是一种常用的位移测量设备,其工作原理是基于电容的变化来测量物体的位移。

具体来说,电容式位移传感器由一个固定电极和一个移动电极组成。

移动电极与被测物体相连,当被测物体发生位移时,移动电极也随之移动,导致电容值发生变化。

电容是指两个导体之间的电场能量,其大小与两个导体之间的距离和导体面积有关。

因此,当被测物体发生位移时,移动电极与固定电极之间的距离会发生变化,导致电容值的变化。

电容式位移传感器通过测量电容值的变化来确定被测物体的位移大小。

电容式位移传感器的精度受到电容值变化的影响,因此需要使用高质量的电容材料。

同时,传感器的结构也需要考虑到传感器的稳定性和耐用性。

一般来说,电容式位移传感器采用金属材料制成,其结构紧凑、稳定可靠,并且能够耐受一定的外部环境影响。

除了电容式位移传感器外,还有其他类型的位移传感器,如压电式位移传感器、电感式位移传感器等。

不同类型的传感器具有不同的优缺点,需要根据具体应用场景的需求来选择合适的传感器。

电容式位移传感器是一种常用的位移测量设备,其通过测量电容值的变化来测量被测物体的位移大小。

在实际应用中,需要选用高质量的电容材料和稳定可靠的结构,以确保传感器的精度和稳定性。

用电容传感器进行相对测量的实验装置设计

用电容传感器进行相对测量的实验装置设计

用电容传感器进行相对测量的实验装置设计孙长库;肖旭;王鹏【摘要】电容测最技术具有非接触、稳定性好、测量微化移时具有高分辨率等特点,广泛应用于缓慢变化和微小位移的非接触测量.设计了一套用于教学的电容传感器进行相对测量的实验装置,系统介绍了电容传感器进行相对测量的原理及电路,给出了电容传感器的标定方法,并进行了标定实验.设计了容易操作的传感器现场标定和相对测量的软件.该装置旨在帮助学生深入理解电容传感器的工作原理、相对测量概念、仪器标定及数据处理方法.【期刊名称】《实验技术与管理》【年(卷),期】2010(027)001【总页数】4页(P50-53)【关键词】电容传感器;相对测量;标定【作者】孙长库;肖旭;王鹏【作者单位】天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072【正文语种】中文【中图分类】G642.423;TP212.1电容传感器是一种将被测量的变化转换成电容量的变化,经电路处理再转换成电压量输出的测量装置,通过检测输出电压的变化获得被测量的信息。

电容传感器具有结构简单、测量精度高、动态响应快、非接触等优点,广泛应用于位移、液位、震动等的测量[1-2]。

本实验要完成一台位移电容传感器的标定,并用标定好的电容传感器对一批工件的厚度进行相对测量。

目的是让学生熟悉电容传感器的工作原理,掌握电容传感器的标定方法,熟练进行标定数据的线性化处理和灵敏度的分析,掌握相对测量的原理和方法。

平面变间隙式电容传感器是由2个相互平行的平面极板组成(通常是由被测件作为固定极板,测头作为可动极板)。

一个平行板电容器(如图1所示)有由式(2)可知,当两极板间的距离 h发生变化时,传感器的电容量也就随之变化,把该变化量通过适当的电式中:ε为两极板间介质的介电常数;S是极板面积;h是两极板间的距离;C是传感器的电容。

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在单片机补偿运算中采用二进制浮点数 , 精度
为 4 位有效数字 。 在进行非线性补偿的同时完成温
度补偿后的数据向最终结果的转换 。 程序将数码数
值映射为相应的位移值 。 补偿程序完 成的运算如
下:
S =1 .846 ×10-7 d2 -0 .001 370 d +2 .427
其中 :S —位移 ;
d —显示数码 。
3 .4 测试综合误差计算 系统测试误差计算结果如下[ 9-10] :
零点误差 : 0 .20 %;
线性化误差 : 0 .45 %;
(下转第 76 页)
76
石油化工高等学校学报 第 18 卷
无须求解任何联立方程式 , 要比一般常用的最小二
乘法大大地减轻了计算工作量 , 具有较好的通用性 。
3 数据处理与分析
3 .1 数据补偿及处理过程 在实际应用中由于传感器 、放大器及电容引线 影响 , 每套系统的补偿参数都不同 , 使用分段线性插 值方法需要为每段数据测出相应参数并编写相应的 补偿程序[ 5 -6] 。工作量很大 , 不适合推广使用 。 与 之相对应的二次曲线拟合方法在数据处理后 , 只需 要加入 3 个温度补偿参数和 3 个非线性补偿参数到 补偿程序中即可 , 比较适合实际应用 。 数据补偿及 处理的具体实现方法如下 :
第 1 8 卷 第 1 期 石 油 化 工 高 等 学 校 学 报 Vol .18 No .1 2005 年 3 月 JOURNAL OF PETROCHEMICAL UNIVERSITIES Mar .2005
是采用后一种 方法来设计变距离电容 位移式传感 器[ 2] 。 为使传感器能将阀片的位移变化转换成相应 的电量变化 , 使两者成单值函数关系 , 并保证阀片在 气流 、弹簧力等作用下产生的移动和倾斜的原有真 实运动状况不发生改变 , 设计传感器以气阀阀片本 身作为电容器的动极板 。静极板是在升程限制器上 与阀片对应处用机械加工去掉一层 , 然后嵌入一层 耐温绝缘材料 , 绝缘层上贴上厚 0 .l mm 导电层 , 导 电层上涂以厚 0 .3 mm 绝缘限位保护层 , 并与四周绝 缘而制成 。 上述三层厚度应与升程限制器上去掉的 厚度相等 。 其结构简图见图 1 。
5
1 .0
1 245
1 .00 7
6
0 .8
1 483
0 .80 0
7
0 .6
1 766
0 .58 3
8
0 .4
2 052
0 .39 3
9
0 .2
2 385
0 .20 9
10
0
2 913
0 .00 4
计算二次 拟合曲线 , 保留 4 位有效数 字 , 参数
为: a0 =2 .427 , a1 =-0 .001 370 , a2 =1 .846 ×10-7
收稿日期 :2004-07 -05 作者简介 :孙杰(1957-), 男 , 山东临邑 市 , 教授 。
当考虑到极板表面环氧树脂厚度时 , 传感器电
容的基本计算公式应为
C
= d1
ε1S +d2/ ε2
(1)
式中 :d1 —极板间的空气隙厚度 ,m ;
56
石油化工高等学校学报 第 18 卷
定正交多项式系数 ak , 再将其变换成拟合公式(2)
中的系数 bk , 即得出该阀片的 y ~ x 关系曲线方程 式。
由于计算 ak 的(4)式中不含有正在对所给资料 拟合的多项式的次数 m 。 因此 , 如想对逼近多项式
再增加新项 , 即增大 m , 则所有先前已算得的系数
仍不变 , 只须计算新项的系数即可 。 而且这种方法
化。
② 对温度数据进行运算处理 , 得出温度曲线 ,
并计算二次拟合曲线参数 。程序中由温度数值计算
出估计温度值与实际经过模数 转换得到的数 据相
减 , 再加上一个确定的基准值 , 以防止相减结果成为
负值 。
③ 将温度参数写入程序中进行编译并写入微
机存储器 , 温度补偿完成之后测试补偿效果 。
2 传感器测量补偿算法
传感器与电桥 、放大单元 、单片机联接后组成位 移测试系统 , 其阀片相对于升程限制器位移与测试 系统输出数码值成单值函数关系 。 由于阀片与底座 电容受边缘效应影响 , 且仪器存在各种测量误差 , 所 以前述传感器电容与阀片位移 、电桥电压与电容变 化之间的关系式(1)只能作为设计传感器和交流电 桥的理论参考 。 在实际测量前 , 还要对整个传感器 测量信道进行静态标定 , 即找出阀片位移与测试系 统输出数码值之间的真实对应关系 。 标定时 , 将传 感器 、交流电桥 、放大器之间的联机接好 , 其系统输 出显示数码 , 当阀片位移为零时 , 调整交流放大器平 衡或使数码输出为 零 。 然后使 阀片每移动一 个位 置 , 记录一个相应的输出数码值 。一般移动越小越 好 , 考虑到精度要求及实际测量的可能性 , 测试 10 个点就足够了 。 实际数据补偿过程中基本上采用线性拟合 、多 项式曲线拟合 、分段线性插值 3 种方法[ 3-4] , 根据实 验结果分析 , 采用多项式曲线拟合实现温度补偿和 非线性补偿误差最小 。对多项式拟合公式的求解采 用正交多项式配回归方法 。 经实测表明 , 应变仪输出电压 y 与阀片位移 x 之间的关系符合下面的多项式关系 :
文章编号 :1006 -396X(2005)01 -0055-03
电容式位移传感器在气阀测试中的应用
孙 杰 , 金 珊
(辽宁石油化工大学机械工程学院 , 辽宁抚顺 113001)
摘 要 : 电容式传 感器具有结 构简单 、灵敏度高 , 动态 特性好 、对辐射 和强烈振动 等恶劣条 件适应性强 、价 格 便宜等一系列优点 。 但是 , 电容式传感器输出信号 受干扰和温度影响较大 、输出 特性存在非 线性等问题 制约了电 容 式传感器的生产及应用 。 简述了自行研制的一 种变距离 电容位 移传感 器 , 以其在活 塞式压 缩机气 阀运动 规律测 试 中的应用为例 , 介绍了变距离电容位移传 感器的设 计原理 和结构 。 同时采 用单片机 实现了 输出信 号的温 度和非 线 性的软件补偿 , 并提出一种用正交多项式法来处理 温度及非线性拟合曲线 的数学方法 , 避免 了采用最小 二乘法解 联 立方程的繁琐过程 , 并可以任意增加逼近 多项式的次数 。 在测量过程中实现了信号处理智能化 。
第 1 期 孙 杰等 .电容式位移传感器 在气阀测试中的应用
57
① 由于电容传感器的金属极板工作在 140 ℃ 以上的高温区[ 7] , 而于极板的微小热变形会造成电
容量的变化 , 有必要对系统进行温度老化标定 , 使系
统处于稳定状态 , 保证系统参数以后基本不发生变
1 传感器的设计及其工作原理
将阀片运动时的位移(升程)变化转化成传感器 电容极板的距离的变化 , 而引起电容量的改变 , 该电 容量变化通过专门设计的交流电桥电路的调制输出 电压信号 , 该电压讯号与阀片的位移变化存在一定 的函数关系 。微弱的电压讯号通过交流放大器进行 放大 。 经微机数据采集和处理 , 显示和绘制成相应 的气阀运动规律曲线 。 利用改变电容极板面 积 S 和极板 之间距离 d 的方法 , 均可以达到改变电容 量C的目的 。我 们就
关键词 : 电容式传感器 ; 智能化 ; 温度补 偿 ; 非线性补偿 中图分类号 : TP274 +.2 文献标识码 :A
在活塞式压缩机的生产运行中[ 1] , 需要经常测 定气阀阀片的位移随曲柄转角(或时间)变化的函数 关系 , 即阀片运动规律曲线 。 目前 , 经常采用电容式 位移传感器进行测量 , 这种测试方法不破坏阀道结 构和影响进行排气 , 能真实的反映阀片的运动规律 和受力状态 。我们利用 2ZA -1/ 8 型活塞式压缩机 的进排气阀实际结构设计的电容式位移传感器 , 可 以实现非接触测量阀片运动规律 , 为气阀的维护和 性能改进提供了可靠的实验数据 。 本文将对该传感器基本原理结构 、温度补偿和 非线性补偿的数学处理方法等主要内容进行讨论 。
d2 —环氧树脂的厚度 , m ; ε1 —空气介电常数 , F/ m ; ε2 —环氧树脂相对介电系数 , F/ m 。
当阀片位移发生变化时 。 极板空气间隙 d1 发 生改变 , 对 应不 同的 d1 值 , 同样 有一个 对应 的 C 值 , 这样可以得到电容与位移之间的关系曲线如图 2 所示。
m
∑ y =b0 +b1 x +b2 x2 + … +bmxm = bkxk k =0
(m ≤ n)
(2)
对于定义在 n +1 个等距离 x0 , x1 , …, xn 上多
项式(2)式 , 总可以写成一般表达式
y = a0 P0, n(x)+a1 P1, n(x)+ … +amPm , n(x)
m
∑ = akPk , n(x) (m ≤ n) k =0
(3)
根据实测的 y 和 x 的数据 , 应用正交多项式法
来确定(3)式中的系数 a0 、a1 、a2 。 这项计算工作可 在计算机上进行 。 根据正交多项式的推导原理[ 3] , m 次的正交多
项式为
∑ Pm, n(x)= m (-1)k m
表 2 位移标定 实验数据 Table 2 Experiment data of displacement demarcate
序号 标定位移/ mm 显示数码 计算位移/ mm
1
1 .8
497
1 .79 1
2
1 .6
672
5
1 .41 0
4
1 .2
1 033
1 .20 8
k =0
k
m +k xk/ nk k
可以得出 y 的最佳多项逼近式(3)中的系数 ak 计算公式为
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