光谱灯谱线轮廓和超精细结构的测定
光谱检测流程

光谱检测流程
1. 准备样品:根据需要检测的样品种类,选择不同的样品处理方法,如加热、稀释或提取等。
2. 准备光谱仪:根据需求选择不同的光谱仪和检测条件,如波长范围、分辨率等。
3. 校正光谱仪:使用标准物质进行光谱仪的校准和标定,以保证检测准确性。
4. 放置样品:将样品放置在光谱仪中,使其与光线相接触。
5. 收集光谱:启动光谱仪,开始收集光谱数据。
这个过程中,光谱仪被用来捕捉产生的光谱。
6. 处理数据:将收集到的光谱数据进行处理,使用各种软件和算法来解析和分析这些数据,以得出分析结果。
7. 数据解释:将分析结果与相关的理论知识进行比较和解释,以得到样品的结构和化学性质等信息。
8. 报告分析结果:根据需要,生成报告、图表和图像等结果,以传达分析结果和推理。
第三章原子谱线的宽度

• 自吸引起谱线宽度的表观性增大
• 共振线是原子由激发态跃迁至基态而产生 的。由于这种迁移及激发所需要的能量最 低,所以基态原子对共振线的吸收也最严 重。当元素浓度很大时,共振线呈现自蚀 现象。自吸现象严重的谱线,往往具有一 定的宽度,这是由于同类原子的互相碰撞 而引起的,称为共振变宽。 • 由于自吸现象严重影响谱线强度,所以在 光谱定量分析中是一个必须注意的问题。
• Stark分裂的谱线是偏振的。对Stark效应的 圆满解释是早期量子力学的重大胜利。 • Stark效应应用于原子分子结构的研究。 Stark效应是谱线增宽的原因之一,当气体 放电电流密度较大时,产生大量带电离子, 它们对发光原子产生较强的内部电场,引 起谱线Stark分裂;离子与发光原子的距离 不同,谱线分裂的大小不同,叠加的结果 导致谱线增宽。等离子谱线的Stark增宽可 用于内部电场强度和带电粒子密度的测定。
二、压力变宽
压力变宽又称碰撞变宽。粒子(原子、分子、
电子、离子等)在输送过程中互相发生碰撞,引
起的谱线变宽。这种变宽和气体压力有关,气体
压力升高,粒子相互碰撞机会增多,碰撞变宽就 加大。它分为如下两种类型: Lorentz变宽
Holtsmark变宽
Lorentz变宽(ΔνL)
Lorentz变宽:正在发生辐射跃迁或吸收跃迁的 原子,同其他原子相碰撞,会引起谱线变宽、 中心波长位移和谱线轮廓不对称。 与非同类原子相互碰撞。
这种效应无论是在空心阴极灯中发光原子还 是原子化器中被测基态原子都存在。
• Doppler变宽与元素的相对原子质量、温度 和谱线的频率(或波长)有关。 • 温度越高,谱线变宽加大 • 原子量大的原子,变宽效应较小;原子量 小且难电离的原子,变宽效应严重 • 谱线频率(或波长)越大,展宽越显著
用多功能光栅光谱仪测定光谱灯的光谱特性汞灯

仪器的入射狭缝和出射狭缝均为直狭缝,宽度范围 0~2mm 连续可调,顺时针旋转为狭
缝宽度加大,反之减小。每旋转一周狭缝宽度变化 0.5mm,最大调节宽度为 2mm。为
延长使用寿命,狭缝宽度调节时应注意最大不要超过 2mm。仪器测量完毕或平常不使
用时,狭缝最好调节到 0.1mm05mm 左右。
用多功能光栅光谱仪测定光谱灯的光谱特性(汞灯)
物质的发光是存在于自然界最普遍最基本的现象之一,它和物质的微观结构有着必 然的联系,所以对它的研究是人们了解和认识微观世界的重要手段和方法。光谱是指辐射 源所发出的电磁波强度随波长变化的分布曲线。它反映了特定辐射源的发光特性,其中分 立的线状单色光谱称为线状光谱或谱线,小波段范围内连续的光谱称为谱带,而大范围内 连续的光谱称为连续光谱。一般说来,固体发射的热辐射是连续光谱,而被激发的原子和 分子所发出的辐射是各种分立的光谱。这些分立的光谱标志着原子和分子的结构与特性, 成为原子和分子的标识。因此, 光谱不仅可以作为研究原子和分子结构的手段和依据, 也可以用来鉴定物质的化学性质和成份。迄今为止,我们所掌握的原子和分子方面的绝大 部分知识来自于光谱研究。同时,光谱分析已成为科学技术中应用最广泛的物质成份分析 与鉴定技术。通过本实验了解物质发光的光谱特性与物质结构的关系,了解光栅光谱仪 和光电倍增管的结构、工作原理及使用,掌握用光栅光谱仪测定光源辐射能谱的方法, 了解计算机在实验技术中的应用。
Eb ( ,T )
cS 4
8 hc 5
hc
e KT 1
相 对000K
T=1500K 1 T=1000K3
0
2
4
6
波 长(m)
图 1 绝对黑体相对辐射能谱
PPT原子吸收光谱法分析原理和方法PPT课件PPT54页

❖ 外界压力增加——谱线中心频率0位移、形状和宽度发生变化—— 发射线与吸收线产生错位——影响测定灵敏度;
❖ 温度在1500-30000C之间,压力为1.01310-5Pa ——热变宽和压变宽 有相同的变宽程度;
❖ 火焰原子化器——压变宽为主要;石墨炉原子化器——热变宽为主 要。
第6页,共54页。
根据吸收定律的表达式,以 I~ 和 K- 分别作图得吸收强度与频 率的关系及谱线轮廓。可见谱线是有宽度的。
K0
K0/2 I0
I K
0
I~ (吸收强度与频率的关系)
0
K~ (谱线轮廓)
图中:
K—吸收系数;K0—最大吸收系数; 0,0—中心频率或波长(由原子能级决定); ,—谱线轮廓半宽度(K0/2处的宽度);
电流越大,光强越大,但过大则谱线变宽且强度不稳定;充入低压惰性气 体可防止与元素反应并减小碰撞变宽。 问题:为什么HCL会产生低背景的锐线光源? 答:低压-原子密度低,Lorentz Broadening小;小电流-温度低Doppler Broadening 小,故产生锐线光源!惰性气体难于激发且谱线相对简单——低背景。
K0
1
D
ln 2 e2 mc
N0 f
1
D
ln 2 e2 (c) f mc
A KcL
上式表明,当用锐线光源作原子吸收测定时,所得A与原子蒸气中待测元素的基态 原子数成正比。
第15页,共54页。
3. 锐线光源 根据Walsh的两点假设,发射线必须是“锐线”(半宽度很小的谱线)。
发射线
吸收线
I
形式,其高度和角度可调(让光通过火焰适宜的部位并有最
光谱分析实验报告

光谱分析实验报告摘要:光谱分析是一种重要的分析技术,可用于检测和识别物质的成分和性质。
本实验旨在通过使用光谱仪对不同光源的光谱进行测量和分析,探讨光谱的特性以及光谱分析在实际应用中的意义。
通过实验数据的处理和分析,我们验证了光谱分析技术的可靠性和准确性。
引言:光谱分析是通过测量物质与电磁波的相互作用所产生的光谱来分析物质的成分和性质的技术方法。
光谱分析可分为有线谱和连续谱两类。
有线谱主要是指通过某些特定物质经过加热或电激发后,产生了带有明显谱线的电磁辐射。
连续谱则是指没有明显的谱线,而是展现出一个连续的能量分布。
本实验主要关注有线谱的研究。
实验步骤:1. 准备工作:将光谱仪放置在稳定的台面上,并且确保仪器处于稳定的状态。
2. 校准光谱仪:使用标准光源进行光谱仪的校准,以确保测量结果的准确性。
3. 测量样品光谱:选择不同的样品,将其置于光源下,并使用光谱仪进行测量。
4. 数据记录与处理:将测量到的光谱数据记录下来,并进行数据处理和分析。
结果与讨论:在实验中,我们选择了几种不同的光源,包括白炽灯、荧光灯和LED灯等,并使用光谱仪测量了它们的光谱。
对于白炽灯,我们观察到其光谱主要集中在可见光的红、绿、蓝三个频段,并且能够看到红光的强度最高,而蓝光的强度最低。
对于荧光灯,我们观察到其光谱主要集中在可见光的蓝、绿两个频段,并且能够看到蓝光的强度最高。
对于LED灯,我们观察到其光谱主要集中在可见光的红、绿、蓝三个频段,并且能够看到绿光的强度最高。
通过对比不同光源的光谱,我们可以发现它们的光谱分布是不同的,这是由于不同的物质结构和能级跃迁导致的。
光谱分析的原理就是通过测量物质的光谱特征来识别物质的成分和性质。
光谱分析在现实生活中有着广泛的应用。
例如,在环境监测中,光谱分析可用于检测大气中的污染物,如二氧化氮和臭氧等;在食品安全检测中,光谱分析可用于鉴别食品中的添加剂和农药残留;在矿产资源勘探中,光谱分析可用于寻找矿石中的有价值的金属元素等。
原子吸收光谱法

一、光源及光源调制
对S光源的要求:
a)发射稳定的共振线,且为锐线; b)强度大,没有或只有很小的连续背景; c)操作方便,寿命长。 1. 空心阴极灯(Hollow Cathode Lamp, HCL)
• 组成:阳极(吸气金属如W,Ni,Ti或Ta)、空心圆筒
形(使待测原子集中)阴极(内衬待测元素或其化合 物)、低压惰性气体(Ar或Ne, 谱线简单、背景小)。 • 工作过程:高压直流电(300V)---阴极电子---撞击隋 性原子---电离(二次电子维持放电)---正离子---轰击 阴极---待测原子溅射----聚集空心阴极内并因碰撞而 被激发----待测元素特征共振发射线。 • 影响谱线性质之因素:电极材料、电流、充气种类及压 力。电流越大,光强越大,但过大则谱线变宽且强度不 稳定;充入低压惰性气体可防止与元素反应并减小碰撞 变宽。
2. 无极放电灯(Electrodelessdischarge lamps)
• 工作过程:由于没有电极提供能量,该灯依靠射频(RF)
或微波作用于低压惰性气体并使之电离,高速带电离子 撞击金属原子产生锐线。 • 特点:无电极;发射的光强度高(是HCL的1-2个数量 级);但可靠性及寿命比HCL低,只有约15 种元素可制 得该灯。
尽管原子的激发电位和温度T 使Ni/N0值有数量级的变
化,但Ni/N0值本身都很小。或者说,处于激发态的原子数
远小于处于基态的原子数! 实际工作中,T通常小于3000K、波长小于600 nm,故
对大多数元素来说Ni/N0均小于1%, Ni与N0 相比可勿略不
计, N0 可认为就是原子总数。 总之,AAS 对T 的变化迟钝,或者说温度对AAS 分析 的影响不大! AAS不同,AES因测定的是激发态原子发射的谱线强度, 故其激发态原子数直接影响谱线强度,从而影响分析 的结果。也就是说,在AES 中须严格控制温度。
超光谱成像仪的精细光谱定标

超光谱成像仪的精细光谱定标郑玉权【期刊名称】《光学精密工程》【年(卷),期】2010(018)011【摘要】为了精细标定棱镜色散超光谱成像仪1 024×80光谱像元的中心波长和响应带宽,建立了一套光谱定标装置,提出了实现1 nm光谱定标精度的定标方法.首先,介绍了产生谱线弯曲与谱线倾斜的原因,确定了精细光谱定标的方法和数据处理算法;然后,利用光谱定标装置测定了全部光谱响应像元的离散单色光响应值,利用高斯方程拟合了相对光谱响应曲线;最后,建立了中心波长矩阵表和带宽矩阵表,采用多项式拟合算法确定了空间视场像元的色散方程和光谱通道谱线弯曲方程,实验测定了温度变化谱线漂移结果.另外,还对光谱定标精度对辐射定标精度的影响进行了分析.光谱定标结果表明:超光谱成像仪的光谱定标精度达到了±1 nm,各谱段带宽平均为8.75 nm;色散方程及谱线弯曲与设计结果相符,谱线弯曲值为14~19 nm,平均值为17 nm;1 nm的定标精度对辐射定标精度的影响分别小于1%(3000 K黑体)和0.25%(6000K黑体),满足超光谱成像仪1 nm光谱定标精度的要求.【总页数】8页(P2347-2354)【作者】郑玉权【作者单位】中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130031【正文语种】中文【中图分类】TP73;TH744.1【相关文献】1.基于大气吸收带的超光谱成像仪光谱定标技术研究 [J], 张春雷;向阳2.推帚式高光谱成像仪光谱定标及精度控制研究 [J], 谢佩;马艳华;李生红;葛明锋3.基于天宫一号高光谱成像仪的替代光谱定标方法精度对比分析 [J], 张雅琼;张文娟;陈正超;张兵4.超光谱成像光谱仪的光谱定标 [J],5.空间调制干涉光谱成像仪光谱定标技术研究 [J], 高静;计忠瑛;崔燕;石大莲;周锦松;相里斌;王忠厚因版权原因,仅展示原文概要,查看原文内容请购买。
光谱的测量原理和应用

光谱的测量原理和应用1. 引言光谱是指将物质发射、吸收或散射光按照波长进行分解和测量的方法。
光谱的测量原理和应用广泛应用于物理、化学、生物学等领域。
本文将介绍光谱的测量原理和一些常见的应用案例。
2. 光谱的测量原理光谱的测量原理基于物质对不同波长的光的吸收、散射和发射特性。
常见的光谱测量方法包括衍射光谱仪、干涉光谱仪和光栅光谱仪。
2.1 衍射光谱仪衍射光谱仪是利用光的衍射现象进行测量的一种方法。
它通过将入射光束进行衍射,然后通过光学元件将衍射光束聚焦到检测器上,进而测量出不同波长的光的强度。
衍射光谱仪具有高分辨率和较大的波长范围的特点,常用于红外光谱和紫外光谱的测量。
2.2 干涉光谱仪干涉光谱仪是利用光的干涉现象进行测量的一种方法。
它通过将光束分成两个相干的光束,其中一个光束经过样品或被测物体后再重新合成,然后测量合成光束的强度变化来分析样品的光谱信息。
干涉光谱仪具有较高的精度和分辨率,常用于光学薄膜的测量和光学显微镜的应用。
2.3 光栅光谱仪光栅光谱仪是利用光的色散性质进行测量的一种方法。
它利用光栅的特殊结构,将入射的光分散成不同波长的光线,然后通过光学元件将分散后的光线聚焦到检测器上,从而获得光谱信息。
光栅光谱仪具有较高的分辨率和波长范围,常用于光谱分析和光学测量。
3. 光谱的应用光谱的测量原理为很多领域的研究和应用提供了基础。
以下是一些常见的光谱应用案例。
3.1 化学分析光谱在化学分析中广泛应用。
通过测量物质在不同波长下的吸收或发射特性,可以确定物质的成分和浓度。
常见的化学分析光谱包括紫外-可见吸收光谱、红外光谱和拉曼光谱。
3.2 材料表征光谱在材料表征中具有重要的应用价值。
通过测量材料在不同波长下的吸收、散射或发射特性,可以获取材料的结构和性能信息。
常见的材料表征光谱包括透射电子显微镜光谱、X射线衍射光谱和核磁共振光谱。
3.3 生物医学研究光谱在生物医学研究中也有着重要的应用。
通过测量生物组织或细胞在不同波长下的吸收或发射特性,可以研究生物体的结构和功能。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
实验四扫描Fabry-Perot标准具及其在塞曼效应等高分辨率光谱检测中的应用一、实验目的了解F-P标准具的原理;掌握其调整、使用方法;利用气压扫描法测定标准具的主要技术指标;应用该仪器测定塞曼效应等。
二、实验仪器、材料气压扫描Fabry-Perot标准具、单频He-Ne激光器及其电源、硅光电池探测器、函数记录仪或PC机、扩束平行光管、电磁铁及其电源、特斯拉计、笔形汞灯及其电源、聚光透镜。
三、原理1.F-P干涉仪的简要描述F-P干涉仪的核心是两个平面性和平行性极好的高反射光学镜面,它可以是一块玻璃或石英平行平板的两个面上镀制的镜面,也可以是两块相对平行放置的镜片,即为空气间隔,如图1所示。
前一种形式结构简单,使用时无需调整,比较方便,体积也小,但由于材料的均匀性和两面加工平行度往往达不到很高水平,故性能不如后者优良。
用固定间隔来定位的F-P干涉仪又常称为F-P标准具。
间隔圈常用热膨胀系数小的石英材料(或零膨胀微晶玻璃)。
它在三个点上与平镜接触,用三个螺丝调节接触点的压力,可以在小范围内改变二镜面的平行度,使之达到满意的程度。
使用时常在干涉仪的前方加聚光透镜,后方则用成象透镜把干涉图成象于焦平面上,如图2所示。
图 1 F-P干涉仪的多光束干涉1实验四 扫描Fabry-Perot 标准具及其应用2图 2 法布里-珀罗标准具的使用F -P 干涉仪采用多光束干涉原理,关于多光束干涉的详细理论可参阅有关专著,我们在此就直接利用有关的一些关系式。
设每一镜面的反射率都为R ,透射率为Τ,吸收散射等引起的损耗率为τ,则有1T R =τ++ -----------------------------------------------------(1) 图1中相邻两光束的光程差为α-=β=∆22sin n h 2cos nh 2 ------------------------------------(2) 其中h 为镜面间隔距离,n 为镜间介质折射率,α为入射光束投射角,β为光束在镜面间的投射角。
干涉条纹定域在无穷远,在反射中光强分布由下式决定:()()[]()()()[]()2sin R 14R 112sin T R 14T R 11R I I 22220R Φτ-+τ--Φ+τ-++τ--= ------------------- (3)在透射光中光强分布为()()[]()2sin R 14R 11T 1I I 2220T Φτ-+τ--τ-= ------------------------------ (4) 其中0I 为入射角为α的入射光强;而Φ为相邻光束的相位差,来自由(2)式表示的光程差∆和两次反射时的相位差变1δ、2δ:212δ+δ+λ∆π=Φ ------------------------------------------------ (5) 其中1δ、2δ对金属膜可认为常数,对介质膜来说它们是零,下面我们不予考虑。
所以对一定波长的单色光,Φ因入射角α而变。
可见干涉极大的角分布是以镜面法线为轴对称分布的。
在图1的成象透镜焦面上得到一套同心环。
干涉图的圆心位置在通过透镜光心的F -P 镜面法线上。
当镜面的吸收率可 忽略时,(3)、(4)式简化为:近代物理实验3()2sin R 4R 12sin R 4I I 2220R Φ+-Φ= ---------------------------------------- (6)()()2sin R 4R 1R 1I I 2220T Φ+--= ---------------------------------------- (7)它们的分布图如图3所示,可见反射光是亮背景上的暗环,透射光是暗背景上的亮环,两者是互补的,其和等于入射光强)(I 0α。
图 3 透射光和反射光根据(4)或(7)式透射光强在光程差满足以下条件的角方位上有极大值:α-=β=∆=λ22sin n h 2cos nh 2m------------------------------- (8) 其中m 为干涉级次,是正整数。
2.F -P 干涉仪的技术参数F -P 干涉仪作为光谱仪器,其主要参数是:(1)角色散和线色散;(2)不重迭光谱范围;(3)峰值透过率;(4)衬比因子;(5)分辨率、仪器宽度和细度。
其中(3)、(4)、(5)三项是衡量F -P 干涉仪质量的主要指标,而尤以(5)为最重要。
把(8)式对λ微分,可得角色散为:小时)和当λαλα-≈⎥⎦⎤⎢⎣⎡λλ-α-ααλ-=λαd dn ( n d dn n sin n sin cos 1d d 22 ----------------------------- (9) 可见角色散与镜间距离和反射膜性质无关,当入射角α→0时,∞→λαd d 负号表示λ增大时,相应的透射光束α变小。
玻璃平行平板(5.1n ≈)F -P 标准具比空气板标准具的角色散约大2n 倍。
实验四 扫描Fabry-Perot 标准具及其应用4在成象透镜焦面上所得干涉圈的线色散显然为:rf f d d f d dr 2λ-≈λα-≈λα⋅=λ ---------------------------------------- (10) 式中f 为透镜焦距,r 为干涉环半径。
把(8)式对m 微分,把λ作为常数,再令1m =∆,可得相邻干涉级次间的角间隔sin h 2cos sin h 2sin n 1n 221m αλ-−−→−ααα-λ-=α∆==∆时 ---------------------- (11) 焦面上单色光相邻干涉环的间距为:hr2f sin h 2f f r 21m λ-−−→−αλ-=α∆⋅=∆α=∆小时 ------------------------ (12) 可见镜间距离增大时,干涉环的间隔距离就缩小;成象透镜焦距f 增大时,干涉环间隔迅速增大。
为了得到便于观察的干涉图,需选用焦距适当的成象透镜。
当采用有限空间分辨率的探测器探测时,应采用适当焦距的透镜来获得必要的线色散,可以看出,把探测器置于干涉环中心(0→α,0r →)是有利的。
不重迭光谱范围亦称自由光谱区,就是当一个波长λ的第m 级次干涉极大与另一波长(FSR λ∆+λ)的第(1m -)级次重迭时,两者的波长差FSR λ∆,由上面的讨论,应有d d 1m FSR =∆α∆=λ∆λα --------------------------------------------- (13) 根据(9)和(11)式d dn n sin n h 2sin n 22222FSR ⎥⎦⎤⎢⎣⎡λλ-α-α-λ=λ∆ ---------------------------------(14) 分母中第三项不大,可忽略,小角度时α2sin 也很小。
这时: h2 nh 221n 2FSR λ−−→−λ≈λ∆=时 ---------------------------------------- (15) 若用频率表示,则为h2c nh 2c 1n FSR −−→−=ν∆=时 若用波数表示,则为 h 21 nh 211n FSR −−→−=ν∆=时 ---------------------------------------- (16) 与波长无关,只取决于镜间光程。
如果入射光中各谱线成分的间隔大于不重迭区时,就会发生干涉图重迭,不能确定它们干涉级次的相对高低,从而不能确定其波长差。
相反,如果入射光中的谱线间隔比自由光谱区小得多,就不易被分辨开。
所以镜间距应根据研究近代物理实验5对象的光谱范围来选择。
例如,塞曼效应中,汞5461Å谱线的塞曼分裂可达0.75Å,故选用2mm 的镜间隔。
由(4)和(7)式可见,干涉仪的峰值透过率为()()[]1 R 11T 1I I T 0220T m ax m ax −−→−τ--τ-===τ ------------------------------- (17) 可见,随着τ趋向零,1T max →,而当τ一定时,随反射率R 的增大,max T 减小,如图4所示。
为了不过分损失透射强度,反射率不能取太高。
透射光极小值则为:()()[]() 0)( I R 1T I I R 11T 1I 022T m in 022T m in =τ⋅+=⋅τ-+τ-= -------------------------------------- (18)干涉仪的重要指标之一 衬比因子C(亦称对比度)为:()[]()[] R -1R 1R 11R 11I I C 2022T m in T m ax ⎪⎭⎫ ⎝⎛+−−→−τ--τ-+==→τ -------------------------- (19)图 4 max T 与τ和R 的关系可见对比度主要取决于反射率R ,随R 增大而急剧增大。
由于最小透射Tmin I 并不是零,所以强谱线的背景透射可能淹没弱谱线的透射峰,对比度反映了谱线之间可能的最大隔离程度。
一般F -P 干涉仪对于理想单色光透射光强减到峰值一半所对应的相位宽度Φδ=∆Φ2是不大的,(7)式分母中两项相等时就是求得Φδ的条件,其中取实验四 扫描Fabry-Perot 标准具及其应用622m sin 2sin Φδ±≈⎪⎭⎫ ⎝⎛Φδ+π=Φ 可得 ()RR 122-=Φδ=∆Φ --------------------------------------------- (20) 透射峰半高处宽度除以相邻峰间距就是细度。
相邻级次的干涉峰相应于2π位相差,所以F -P 干涉仪的细度为:()R 1R 2F R -π=∆Φπ= ------------------------------------------------ (21) 可见细度由反射率决定而与h 无关,这里是假定两镜面是理想的平行平面,故R F 称为反射率细度。
图5曲线1表示(21)式所示的R F ~R关系。
细度越大,分辨紧邻谱线的能力当然越强,但不能靠无限制地提高R 来提高细度。
细度严重地受限于镜面的平面度和平行度。
平行度往往可以调整,尽量调到最佳,但平面度却受限于工艺技术,不可能达到理想状态,这往往是限制细度的主要原因。
图 5 F 和R 关系由于有平面误差和平行误差。
所以在全孔径范围内,h 是坐标(x,y)的函数。
镜面的平面平整度通常用全孔径范围内以波长λ表示的最大起伏M λ来表示,例如30λ、100λ、200λ等。
用单色平行光束垂直镜面投射时,由于各处h 略有差别,就不能同时满足干涉透射峰的条件。
如果h 的起伏较大,扫描过程中透射光只以等厚条纹的形式出现,扫过全孔径。