常用的几种氦质谱检漏方法(1)
氦检漏原理和检漏方法介绍
氦检漏是一种常用的检测技术，用于发现和定位工业系统或设备中的气体泄漏。
以下是氦检漏的原理和常用方法的介绍：
检漏原理：
原理基础：氦是一种惰性气体，无色无味，非常稳定。
因此，当氦气从泄漏点逸出时，它能够快速扩散和传播，使得泄漏点周围的浓度升高。
检测方法：通过将氦气注入被检测系统或设备，并使用氦气检测仪器来检测泄漏点周围的氦气浓度变化，从而确定泄漏的位置和严重程度。
检漏方法：
泡沫方法：在潜在泄漏点周围涂抹或喷洒含有氦气的泡沫剂。
泡沫剂会通过泄漏点进入系统，并在泄漏点附近形成明显的气泡，以便于检测和定位。
真空腔方法：将被检测系统或设备置于真空腔中，并将氦气注入腔体。
当系统或设备有泄漏时，氦气会进入腔体并被检测仪器探测到，从而确定泄漏位置。
静态方法：将被检测系统或设备与氦气检测仪器连接，以测量系统或设备中氦气浓度的变化。
当测量到氦气浓度增加时，可以确定存在泄漏。
检漏仪器：
氦检漏仪：使用特定的氦气传感器或探测器，可以测量和定位氦气泄漏点的位置。
这些仪器通常具有高灵敏度和精确的测量能力。
气体分析仪：用于测量和分析氦气浓度变化，以检测和定位泄漏点。
这些仪器通常具有数据记录功能和报警系统，以便于记录和处理检测结果。
氦检漏方法在工业和制造领域广泛应用，特别适用于对密封性要求高的设备、管道、阀门和容器等进行泄漏检测。
它具有高灵敏度、准确性和快速性的优点，能够发现微小的泄漏，并在维修和安全管理中发挥重要作用。
氦质谱检漏方法
[1]氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干
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扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。
氦检漏卤素检漏
一、氦检漏TSG R0004-2009 《固定式压力容器安全技术监察规程》规定，对于介质毒性程度为极度、高度危害或者设计上不允许有微量泄漏的压力容器，应当进行泄漏试验。
因此，泄漏检测已经成为该类压力容器普遍使用的无损检测方法之一。
氦质谱泄漏检测技术具有检漏灵敏度高、可靠性好、对漏孔既能定位又能定量等优点，从而在压力容器泄漏检测中得到了广泛的应用。
氦质谱检漏按照检测过程中氦气的流向，可分为正压检漏（氦气流出被检容器）和真空检漏（氦气流进被检容器）两种情况。
１.正压检漏氦质谱正压检漏通过在被检容器中充入一定压力的空气和氦气的混合气体，然后在容器压力较低的外侧采用一定的方式检测泄漏的氦气，从而达到对容器局部或整体、定位或定量的检漏目的。
常见的氦质谱正压检漏方法主要有吸枪直测法和氦罩积累法。
（1）吸枪直测法吸枪直测法是指用吸枪在大气中从压力容器被检部位直接获得示漏氦气，从而对压力容器进行检漏的一种氦泄漏检测方法。
吸枪直测法检漏示意图见下图。
１．氦质谱检漏仪２．吸枪３．被检容器４．氦气瓶该法为一种定性、定位检测技术，用以探测泄漏并确定其位置，检测灵敏度可达10－7Pa·m３/s。
扫查距离、速度以及不同操作人员对吸枪直测法的检测灵敏度均有一定程度的影响。
吸枪直测法一般用于容器焊缝、密封面等部位的泄漏检测，也可用于整体检漏后漏孔的定位。
（2）氦罩积累法如果被检容器的泄漏率很小，用吸枪直测法难以检测到泄漏时，则需采用氦罩积累法进行检漏。
相对于吸枪直测法的定性检测而言，氦罩积累法通过一定的积累时间，可以实现被检容器的定量微漏检测。
氦罩积累法可以对被检容器的局部或整体进行泄漏检测。
如果容器较小，用氦罩将其整个罩住，就可以对容器整体泄漏情况进行检测。
但对于焊缝、密封面较多的容器，则无法同时实现漏孔的定位。
若容器较大而且结构复杂，则需用多个小氦罩将被检部位罩住，这样既可以实现容器整体泄漏情况的检测，还可以对具体的泄漏位置以及泄漏率进行判定。
氦质谱检漏仪使用说明(1)
氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。
三、控制和指示器功能说明：序号控制、指示器功能四、开机操作步骤（对分子泵检漏仪）1) 将待检设备和检漏仪接口接好确保不漏；2) 开前级机械泵电源；3) 打开右边小门，合上主电源开关，所有指示灯暂亮起，等到“TRURBO READY”指示灯亮；4) “HIVACK OK”指示灯亮后，将“FIL”开关打到ON，灯丝指示灯亮，必要时多次重复这一步骤直到灯丝指示稳定；5) 按下START键；6) 当测试口压力降到绿色指示段（100 millitorr）时，TEST指示灯亮，三分钟后，如果测试口真空度降到绿色指示段，HOLO指示灯亮，压力降到100milltor以下后，HOLO指示灯灭，（如果真空度达不到要求，HOLD指示将在三分钟内发亮）；7) 检漏仪会自动上一步，直到测试口压力降到100毫以下；8) 被检系统喷氧检漏；五、关机步骤1) 按下VENT键；2) 关掉检漏仪主电源；3) 关机械泵主电源；以上操作使分子泵隔离大气，质谱管保持真空状态六、检漏仪调零和校准在检漏之前，检漏议质谱应调到对氦反应灵敏，这需要用到标准漏孔。
氦质谱正压检漏方法
氦质谱正压检漏方法嘿，咱今儿就来唠唠氦质谱正压检漏方法！这可是个相当重要的玩意儿呢！你想想看啊，要是有个什么容器或者设备，它不能漏气吧，一旦漏气那可就麻烦大啦！就好比咱家里的水管要是漏了，那水不得哗啦啦到处流啊。
这氦质谱正压检漏方法呢，就像是个超级厉害的侦探，能把那些小小的漏气点给揪出来。
它的原理其实也不难理解。
就是用氦气呀，这氦气就像个小精灵，在里面到处跑。
然后通过专门的仪器，也就是氦质谱仪来检测氦气的踪迹。
要是哪里有氦气跑出来了，那就说明那里有漏洞啦！是不是挺神奇的呀？具体操作起来呢，首先得准备好氦气和氦质谱仪。
然后把氦气充到要检测的东西里面，让它在里面好好地溜达溜达。
这时候，氦质谱仪就开始工作啦，它就像个警惕的小卫士，时刻盯着氦气的动静呢。
这过程中可得仔细咯，不能有一丝马虎。
就好像你在找你丢的钥匙一样，得认真地找遍每一个角落。
如果不认真，那可就找不到漏洞啦，到时候出了问题可就糟糕啦！而且啊，这氦质谱正压检漏方法的精度那可是相当高的呀！它能检测到极其微小的漏气点，比你用眼睛看可厉害多啦！你说要是光靠咱肉眼，那得费多大劲才能找到那些小漏洞呀。
咱再打个比方，这氦质谱正压检漏方法就像是医生给病人做检查一样，要仔仔细细地把每一个地方都检查到，不能放过任何一个小毛病。
只有这样，才能确保设备或者容器的安全可靠呀。
在很多行业里，氦质谱正压检漏方法都发挥着重要的作用呢！比如航天航空领域，那可都是高科技的东西，一点点漏气都可能引发大问题，所以这个方法就显得尤为重要啦。
还有一些精密仪器的制造，也离不开它呢。
你说这氦质谱正压检漏方法是不是很牛呀？它能让我们的生活变得更加安全可靠，让那些可能出现的危险都被扼杀在摇篮里。
所以呀，咱可得好好了解了解它，说不定啥时候咱自己也能用得上呢！反正我觉得这东西真的很棒，你们觉得呢？。
氦质谱检漏仪检测泄漏的6种方法
氦质谱检漏仪检测泄漏的6种⽅法原⽂出⾃：/index.aspx?lanmuid=101&sublanmuid=711&id=1866氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是真空检漏领域⾥不可缺少的⼀种技术，设备具有检漏效率⾼、简便易操作、仪器反应灵敏、精度⾼、不易受其他⽓体的⼲扰等特点，该仪器在电阻炉检漏中得到了⼴泛应⽤。
氦质谱检漏仪检漏中最常⽤的两种⽅法是喷枪测试法及吸枪测试法，其实除了这两种⽅法之外，氦质谱检漏仪的检漏⽅法多达6种，且每种测试也各有⾃⼰的优点，今天⼩编就跟⼤家普及⼀下。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼀：喷枪测试法喷枪测试法主要⽤在真空环境下定位泄漏点。
⾸先，检漏仪将检测部件内部的⽓体抽到⼀定的真空度。
然后，探测⽓体通过喷枪喷扫在部件的外表⾯。
通过泄露点进⼊的探测⽓体流量定位泄漏点。
喷枪测试法具有定位泄漏、⾼灵敏度、操作简便、局部或整体测试等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼆：吸枪测试法吸枪测试法是通过正压的⽅法定位泄漏点。
⾸先，向测试部件内充⼊⼀定压⼒的探测⽓体。
然后，吸枪探头对被测部件四周进⾏检测。
如果存在泄漏，检漏仪会探测出外泄的探测⽓体从⽽定位泄漏点。
吸枪测试法具有定位泄漏、⽆需在真空环境下进⾏测试、操作简便等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法三：真空箱测试法真空箱测试法主要应⽤于⽣产线环境。
测试部件被放置在充满探测⽓体的真空腔体内。
如果发现有泄漏，探测⽓体会从测试部件内逃到真空腔体内，从⽽检测出泄漏点。
真空箱测试法具有⾼灵敏度、⾼产量、便于集成到产线上、易于校准、⾼重复性等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法四：背压法背压法要求测试部件是已经密封好的，没有⽓体外泄也不能加压。
将测试部件置于真空腔体内，灌⼊探测⽓体并加压。
如果发现有泄漏，由于⽓压关系探测⽓体会进⼊到测试部件内部。
随后将被测部件脱离真空环境。
由于压差关系，原先进⼊到测试部件内的探测⽓体会脱附出来，同时被检漏仪检测出。
氦质谱检漏仪的检漏方法
氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏设备，可以检测出微小的漏孔和缺陷。
下面是氦质谱检漏仪的几种常见检漏方法：1.吸枪法吸枪法是一种常用的检漏方法，它通过将吸枪放置在待检测部位，利用氦气在漏孔处产生的气流吸引，将漏气吸入质谱室进行分析。
吸枪法的优点是操作简单、灵敏度高，适用于检测表面上的小漏孔。
但是，对于一些深孔或内部缺陷，吸枪法可能无法检测到。
2.喷吹法喷吹法是通过将氦气或氮气等气体以一定的压力和流量喷向待检测部位，从而发现漏孔的方法。
喷吹法的优点是可以检测到深孔或内部缺陷，并且对于一些小漏孔也有较好的检测效果。
但是，喷吹法的灵敏度相对较低，需要较高的气体压力和流量，可能会对被检测部件造成一定损伤。
3.真空法真空法是通过将被检测部件放置在真空环境中，然后向其内部充入一定量的氦气或氮气等气体，再通过检测部件内部气体压力的变化来判断是否存在漏孔的方法。
真空法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。
但是，真空法的操作比较复杂，需要较高的技术水平和设备投入。
4.压力法压力法是通过将被检测部件放置在一定压力的氦气或氮气等气体环境中，然后通过观察部件表面是否有气体泄漏来判断是否存在漏孔的方法。
压力法的优点是可以检测到较大的漏孔，并且操作简单、灵敏度高。
但是，压力法可能会对被检测部件造成一定损伤，需要小心操作。
5.粘滞液体法粘滞液体法是通过将粘滞液体（如硅油）涂抹在被检测部件表面，然后在一定压力的氦气或氮气等气体环境中观察是否有气泡产生来判断是否存在漏孔的方法。
粘滞液体法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。
但是，粘滞液体法的操作比较复杂，需要小心操作避免产生假阳性结果。
压力容器氦质谱检漏法介绍
被检件漏孔检漏方法介绍压力容器氦质谱检漏法介绍一、概述检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。
采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。
根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法：1、吸入法——确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。
检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。
吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。
2、喷吹法——确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。
当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。
下图是喷吹法原理示意图。
喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不吸枪检漏仪装有氦气的压力容器装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。
3、 背压法——测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。
检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。
若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。
用这种方法测得的漏率也是总漏率。
图1－7为背压法检漏示意图。
4、 真空箱法真空箱法是一种比较复杂的方法。
检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。
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书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
常用的几种氦质谱检漏方法(1)
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法, 要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。
1、测定漏点型氦质谱检漏方法确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。
1.1、喷氦法氦质谱检漏方法这是最常用的一种方法,通常用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷氦,如图4 所示,假如被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置; 再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,因此喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。
图4 喷氦法检漏示意图
在检测较大部件时要借助机械泵进行真空预抽,就可以提高检漏效率和时间,如图5 所示,喷氦法在检查那些结构比较复杂的,密封口和焊缝又比较多而且挤在一起的小容器时,由于氦喷出后会很快扩散开来,往往不容易准确地确定漏隙所在的部位,要采取从不同角度喷氦,仔细观察反应时间上的差别和将已发现的漏孔用真空封泥暂时封起来等办法,就可以把漏孔逐个检出。