硅片生产工艺技术流程
单晶硅片制作工艺流程

单晶硅电磁片生产工艺流程(一)•1、硅片切割,材料准备:•工业制作硅电池所用的单晶硅材料,一般采用坩锅直拉法制的太阳级单晶硅棒,原始的形状为圆柱形,然后切割成方形硅片(或多晶方形硅片),硅片的边长一般为10~15cm,厚度约200~350um,电阻率约1Ω.cm的p型(掺硼)。
•2、去除损伤层:•硅片在切割过程会产生大量的表面缺陷,这就会产生两个问题,首先表面的质量较差,另外这些表面缺陷会在电池制造过程中导致碎片增多。
因此要将切割损伤层去除,一般采用碱或酸腐蚀,腐蚀的厚度约10um。
••3、制绒:•制绒,就是把相对光滑的原材料硅片的表面通过酸或碱腐蚀,使其凸凹不平,变得粗糙,形成漫反射,减少直射到硅片表面的太阳能的损失。
对于单晶硅来说一般采用NaOH加醇的方法腐蚀,利用单晶硅的各向异性腐蚀,在表面形成无数的金字塔结构,碱液的温度约80度,浓度约1~2%,腐蚀时间约15分钟。
对于多晶来说,一般采用酸法腐蚀。
•4、扩散制结:•扩散的目的在于形成PN结。
普遍采用磷做n型掺杂。
由于固态扩散需要很高的温度,因此在扩散前硅片表面的洁净非常重要,要求硅片在制绒后要进行清洗,即用酸来中和硅片表面的碱残留和金属杂质。
•5、边缘刻蚀、清洗:•扩散过程中,在硅片的周边表面也形成了扩散层。
周边扩散层使电池的上下电极形成短路环,必须将它除去。
周边上存在任何微小的局部短路都会使电池并联电阻下降,以至成为废品。
目前,工业化生产用等离子干法腐蚀,在辉光放电条件下通过氟和氧交替对硅作用,去除含有扩散层的周边。
扩散后清洗的目的是去除扩散过程中形成的磷硅玻璃。
•6、沉积减反射层:•沉积减反射层的目的在于减少表面反射,增加折射率。
广泛使用PECVD淀积SiN ,由于PECVD淀积SiN时,不光是生长SiN作为减反射膜,同时生成了大量的原子氢,这些氢原子能对多晶硅片具有表面钝化和体钝化的双重作用,可用于大批量生产。
•7、丝网印刷上下电极:•电极的制备是太阳电池制备过程中一个至关重要的步骤,它不仅决定了发射区的结构,而且也决定了电池的串联电阻和电池表面被金属覆盖的面积。
多晶硅片生产工艺流程

多晶硅片生产工艺流程引言多晶硅片是太阳能电池等光电子器件的重要材料之一,其制备工艺具有关键性的影响。
本文将介绍多晶硅片的生产工艺流程,包括原料准备、硅熔炼、晶体生长、切割和清洗等环节。
一、原料准备多晶硅片的原料主要是硅石,经过粉碎、磁选等工艺,得到符合要求的硅石粉末。
硅石粉末中的杂质含量需要经过化学分析确定,以保证最终硅片的质量。
在原料准备阶段,还需要准备其他辅助材料,如硅片生长所需的石墨坩埚、保护板等。
二、硅熔炼硅熔炼是多晶硅片生产中的关键工艺环节。
首先,将准备好的硅石粉末放入炉中,加入适量的还原剂和助熔剂。
然后,将炉温逐渐升高到适宜的熔点。
在熔融过程中,还需要对炉膛中的气氛进行控制,以防止氧化和杂质的混入。
熔融后的硅液通过特定的铸锭装置冷却凝固,形成硅锭。
三、晶体生长晶体生长是将硅锭中的硅液形成单晶体的过程。
首先,将硅锭放入晶体生长炉中,在适宜的温度下进行升温。
随着温度升高,硅液从硅锭顶部逐渐下降,形成固态的硅单晶体。
在晶体生长过程中,需要控制炉温、拉速等参数,以获得理想的晶体结构和形状。
四、切割切割是将生长好的硅单晶体切成薄片的过程。
首先,在硅单晶体的表面进行纹理化处理,以提高光的吸收效率。
然后,将硅单晶体切割成薄片,通常采用金刚石线锯或者刀片进行切割。
切割后的硅片需要经过多次精密的平整和清洗工艺,以保证其表面的光洁度和纯净度。
五、清洗多晶硅片在生产过程中容易受到各种污染,因此清洗是不可或缺的环节。
首先,将切割好的硅片浸泡在溶剂中去除表面的油污和杂质。
接着,采用酸洗和碱洗的方法,去除硅片表面的氧化物和有机物。
最后,通过纯水冲洗,彻底去除残留的杂质和化学物质。
清洗后的硅片需要进行干燥处理,以保证表面的干净和光洁。
六、总结多晶硅片的生产工艺流程包括原料准备、硅熔炼、晶体生长、切割和清洗等环节。
每一个环节的控制都对最终的多晶硅片的质量和性能起着重要的影响。
通过不断优化和改进工艺流程,可以提高多晶硅片的生产效率和质量,推动光电子器件产业的发展。
单晶硅生产工艺及单晶硅片生产工艺

单晶硅生产工艺及单晶硅片生产工艺单晶硅是一种广泛用于各种电子和光伏应用的材料,它的生产过程需要高度的技术和专业知识。
以下是单晶硅生产工艺的一般步骤:1.提纯:首先,需要将原材料硅提纯。
这个过程包括化学方法,如歧化、精馏和还原等,以去除硅中的大部分杂质。
最终得到的硅纯度可达99%以上。
2.沉积:提纯后的硅被熔化并倒入模具中,形成一个圆柱形的硅锭。
这个过程中,硅锭的形状和大小取决于模具的形状和大小。
3.切片:硅锭被冷却并使用线锯或激光切片技术切割成一定厚度的硅片。
切片过程中需要控制硅片的厚度和形状,以确保其符合特定应用的要求。
4.清洗和抛光:切割后的硅片表面可能会存在杂质或损伤,因此需要进行清洗和抛光以去除这些缺陷。
清洗过程包括化学浸泡、冲洗和干燥,而抛光则使用机械研磨或化学腐蚀的方法来平滑硅片的表面。
5.检测和包装:清洗和抛光后的硅片需要进行质量检测,以确保其满足客户的要求。
检测过程可能包括观察硅片的表面质量、测量其尺寸和厚度、检查其强度和韧性等。
最后,合格的硅片被包装并发送给客户。
单晶硅片生产工艺是指将单晶硅棒切割成一定形状和大小的硅片,这些硅片通常用于制造太阳能电池板或其他电子设备。
以下是单晶硅片生产工艺的一般步骤:1.切片:将单晶硅棒切成一定厚度的硅片。
这个过程通常使用专业的切片机或线锯来完成。
2.分选和清洗:切好的硅片可能存在大小、形状、厚度和表面质量等方面的差异。
为了满足应用要求,需要对硅片进行分选和清洗。
分选过程可能包括人工或自动检测,根据检测结果将硅片分成不同等级。
清洗过程包括化学浸泡、冲洗和干燥,以去除硅片表面的污垢和其他杂质。
3.加工和抛光:对于一些特定的应用,需要对硅片进行加工和抛光。
加工可能包括切割、磨削或钻孔等,而抛光则使用机械研磨或化学腐蚀的方法来平滑硅片的表面。
加工过程中需要注意控制硅片的形状和质量,以避免出现裂纹、变形或损伤等问题。
4.检测和包装:加工和抛光后的硅片需要进行质量检测,以确保其满足客户的要求。
光伏硅片工艺流程

光伏硅片工艺流程
光伏硅片的工艺流程包括以下步骤:
多晶相关工序:将原生硅料以及循环硅料在铸锭炉内生产成为多晶硅锭。
多晶开方:把粘在操作台上的硅锭制成符合检测要求的硅块,开方包括单晶棒及多晶锭的粘接、加工、清洗、称重、检测等。
切磨工序:把已开方的多晶硅块通过去头尾及平面、倒角、滚圆等操作加工成符合各项检测要求的硅块和准方棒。
粘胶工序:把硅块用粘胶剂粘结到工件板上,为线切工序做准备。
砂浆工序:用碳化硅微粉和悬浮液按一定比例混合而成,是决定硅片切割质量的重要因素之一,浆料区域的主要工作就是为线切机配置及更换砂浆。
线切工序:用多线切割机将硅棒或硅块切割成符合要求的硅片,线切割是由导轮带动细钢线高速运转,由钢线带动砂浆形成研磨的切割方式。
清洗工序:将线切工序生产的硅片进行脱胶、清洗掉硅片表面的砂浆,包括三项工作内容,预清洗、插片、超声波清洗。
以上就是光伏硅片的工艺流程,仅供参考。
光伏硅片的工艺流程举例如下:
原料准备:光伏硅片的主要原料是硅,通常使用单晶硅或多晶硅。
这些硅原料需要经过精炼和纯化处理,以确保硅片的质量和纯度。
晶体生长:在光伏硅片制作的第一步,硅原料被熔化成液态,并通过特定的方法进行晶体生长。
单晶硅的晶体生长通常采用Czochralski法或区域熔化法,而多晶硅则采用溶液凝固法。
切割:晶体生长后,硅块需要被切割成薄片,即光伏硅片。
切割通常使用钻石线锯或切割盘进行,以保证切割的精度和平整度。
以上只是部分举例,光伏硅片的工艺流程还包括表面制绒、等离子刻蚀、镀减反射膜、丝网印刷等步骤。
这些步骤都是为了提高光伏电池的光电转换效率,确保光伏电池的性能和质量。
硅片生产工艺流程

硅片生产工艺流程
《硅片生产工艺流程》
硅片是集成电路、太阳能电池以及其他电子设备中不可或缺的组件之一。
它是由高纯度的硅材料制成,经过一系列复杂的工艺流程才能生产出来。
下面将介绍硅片的生产工艺流程。
首先,硅片的制造过程通常从硅矿石提炼开始。
硅矿石经过冶炼、气化和还原等步骤,最终得到高纯度的多晶硅块。
接着,多晶硅块要经过液相扩散法或气相扩散法来制备单晶硅。
在这一步骤中,需要将多晶硅块放入炉中加热,然后缓慢冷却,使得硅晶体按照单晶结构生长。
接下来,单晶硅需要进行切割,这一步骤称为切片。
将单晶硅块放入线锯或者电子束切割机中,切割成薄薄的硅片。
硅片切割后,需要进行多次的抛光和清洗,确保表面光洁度和无尘污。
之后,硅片要进行掺杂和扩散工序,以调节硅片的电学性能,比如电导率和电子迁移率等。
在这一步骤中,需要将硅片暴露在高温的炉内,以使得掺杂原子能够渗透到硅片内部,从而改变其电学特性。
最后,硅片还需要进行薄膜沉积、光刻、蚀刻和清洗等步骤,以在硅片表面形成电路图案和其他必要的结构。
最终,生产出的硅片将会被检测和测试,以确保其质量和性能符合要求。
总的来说,硅片的生产工艺流程是一个十分复杂的过程,它需
要经历多个步骤和环节,才能最终得到高质量的硅片产品。
这些工艺流程的不断发展和改进,将有助于提高硅片的生产效率和质量,推动整个电子产业的发展。
{生产工艺流程}半导体硅片生产工艺流程及工艺注意要点

{生产工艺流程}半导体硅片生产工艺流程及工艺注意要点半导体硅片生产工艺是制造半导体器件的关键步骤之一、下面是具体的半导体硅片生产工艺流程及工艺注意要点:1.硅原材料准备:选择高纯度的硅块或硅片作为原料,去除杂质,进行融化和析出纯净硅。
2.半导体晶圆生长:将纯净硅液体预浇铸,通过升温和降温控制,使其在晶体棒内逐渐生长。
3.硅薄片切割:将生长出来的硅单晶棒切割成薄片,通常为0.3~0.7毫米。
4.清洗与退火:将切割出来的硅片进行清洗去除表面杂质,并通过高温退火处理提高晶格结构的完整性。
5.硅片抛光:使用机械或化学机械方法对硅片表面进行抛光,使其表面更加光滑。
6.光刻:将硅片涂上感光剂,并通过曝光、显影等步骤,将期望的结构图案转移到硅片表面,形成光刻图形。
7.侵蚀与沉积:使用化学腐蚀液体对未被光刻图案保护的硅片进行侵蚀,去除不需要的硅材料;同时使用化学气相沉积方法向图案区域沉积材料,形成所需的薄膜。
8.金属化:在硅片表面涂上金属材料,并通过电镀或蒸镀方法,形成导电层或接触层。
9.接触敏化与刻蚀:进行接触敏化处理,将金属化层覆盖的区域暴露出来,并进行刻蚀,以达到电极与器件区域的电气连接。
10.封装:将硅片进行切割、测试、打包等步骤,以便于使用和保护。
在半导体硅片生产工艺中,需要注意以下几个要点:1.纯度控制:硅原材料要选择高纯度的硅块或硅片,以避免杂质对器件产生不良影响。
2.温度控制:硅单晶生长和退火过程中,需要控制好温度,以确保晶格结构稳定和完整。
3.抛光质量:硅片表面抛光要充分平整,光滑度要符合制程要求,避免表面缺陷。
4.光刻精度:光刻过程中,需要控制好曝光和显影的参数,避免图案的失真和误差。
5.化学腐蚀和沉积:侵蚀和沉积过程中,需要注意腐蚀剂和沉积气体的选择和浓度控制,以确保图案的准确与均匀。
6.金属化质量:金属化过程中,需要控制好金属薄膜的厚度和均匀度,以确保良好的电气连接和导电性能。
总之,半导体硅片生产工艺是一个非常精细和复杂的过程,需要严格控制每个步骤的参数和质量要求,以保证半导体器件的制造质量和性能。
硅片切片生产工艺

硅片切片生产工艺一、引言硅片是半导体行业中不可或缺的材料,用于制造集成电路和太阳能电池等。
硅片的质量和性能直接影响着半导体器件的性能。
硅片切片生产工艺是硅片制造的关键环节之一,本文将介绍硅片切片的工艺流程和技术要点。
二、硅片切片工艺流程硅片切片工艺主要包括硅锭修整、切割和抛光三个步骤。
1. 硅锭修整硅锭是硅片的原材料,通常是由单晶硅材料通过晶体生长技术制备而成。
在硅锭修整过程中,首先需要对硅锭进行外观检查,排除表面缺陷和杂质等不良区域。
然后,通过切割硅锭的两个端面,使其成为一个圆柱体。
最后,对硅锭进行磨削和抛光,以获得平整的硅锭表面。
2. 切割切割是硅片切片工艺的核心步骤。
在切割过程中,硅锭被切割成厚度通常为几百微米的硅片。
切割硅锭的主要方法有线锯切割和内径切割两种。
线锯切割是最常用的硅片切割方法。
在线锯切割中,硅锭被固定在切割机上,通过高速旋转的金刚石线锯进行切割。
线锯切割的优点是切割速度快,适用于大规模生产。
然而,线锯切割的缺点是切割损耗大,切割面不够平整,需要进行后续的抛光处理。
内径切割是一种新兴的硅片切割方法。
在内径切割中,硅锭被放置在一个旋转的切割盘上,通过内径切割盘上的多个切割刀具进行切割。
内径切割的优点是切割损耗小,切割面平整度高,不需要进行后续的抛光处理。
然而,内径切割的缺点是切割速度较慢,适用于小规模生产。
3. 抛光切割后的硅片表面通常不够平整,需要进行抛光处理。
抛光的目的是去除切割过程中产生的划痕和裂纹,并获得平整的硅片表面。
抛光过程中使用的研磨液一般是硅碳化颗粒和氢氧化钠的混合物,通过旋转的抛光盘和压力控制进行研磨。
抛光时间和压力的控制对于获得理想的抛光效果至关重要。
三、硅片切片工艺的技术要点硅片切片工艺需要注意以下技术要点:1. 切割损耗控制:切割硅片时会产生一定损耗,如刀宽和切割线间距等因素都会影响切割损耗。
合理调整这些参数可以降低切割损耗,提高硅片的利用率。
2. 切割面平整度控制:切割面平整度直接影响着后续工艺步骤的成功与否。
光伏硅片生产工艺流程

光伏硅片生产工艺流程光伏硅片是太阳能电池板的主要组成部分,其生产工艺流程包括原料准备、硅片生长、硅片切割、电池片制作等多个步骤。
下面将详细介绍光伏硅片的生产工艺流程。
首先,光伏硅片的生产需要准备原料。
主要原材料为硅矿石,通过选矿加工后得到高纯度金属硅,然后将金属硅经过冶炼、电解等步骤制得硅片使用的衬底材料。
第二步是硅片生长。
硅片生长主要有Czochralski法和浮区法两种方法。
Czochralski法将高纯度硅坯料放入石英坩埚中,加热至高温并搅拌,通过向下拉出硅坯料,使其在液体硅溶液中逐渐凝固形成硅单晶。
而浮区法则是将硅块悬挂在石英管内,通过向上拉出硅块,使其在高温条件下逐渐凝固,并保持整体的纯净性。
这些硅单晶然后被切割成较薄的硅片。
第三步是硅片切割。
硅片切割是将硅单晶切割成薄片的过程。
通常采用金刚石线锯或切割盘进行切割。
在切割硅片之前,需要对硅单晶进行晶向取向,以确定切割的方向。
切割后的硅片经过清洗和检验后,就可以用于制作太阳能电池片了。
第四步是电池片制作。
电池片制作主要有清洗、扩散、光学及反射膜涂布、黄光烧结、扩散、阳极氧化、金属化等多个步骤。
首先需要对硅片进行清洗,将硅表面的杂质去除。
接着,通过扩散工艺在硅表面形成p型或n型电导性。
然后,进行光学及反射膜的涂布,以提高光吸收能力。
接着,进行黄光烧结,使电池片更加稳定。
扩散是为了形成pn结,阳极氧化是为了保护电池片表面。
最后,通过金属化将正负极引出,形成太阳能电池片。
以上就是光伏硅片的主要生产工艺流程。
虽然每个工艺都有多个步骤,但每个步骤的作用都是为了提高光伏硅片的效率和稳定性。
随着光伏技术的不断进步,工艺流程也在不断地改进,以适应太阳能市场的需求。
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顺大半导体发展有限公司太阳能用硅单晶片生产技术目录一、硅片生产工艺中使用的主要原辅材料1、拉制单晶用的原辅材料,设备和部件:2、供硅片生产用的原辅材料,设备和部件:二、硅片生产工艺技术1、硅单晶生产部(1)、腐蚀清洗工序生产工艺技术对处理后原材料质量要求(2)、腐蚀清洗生产工艺流程①多晶硅块料,复拉料和头,尾料处理工艺流程②边皮料酸碱清洗处理工艺流程③埚底料酸清洗处理工艺流程④废片的清洗处理工艺流程(3)、硅单晶生长工艺技术(4)、单晶生长中的必备条件和要求①单晶炉②配料与掺杂(5),单晶生长工艺参数选择(6)、质量目标:(7)、硅单晶生长工艺流程2、硅片生产部(1)、硅片加工生产工艺技术(2)、硅片加工工艺中的必备条件和要求①切割机②切割浆液(3)、质量目标(4)、硅片加工工艺技术流程①开方锭生产工艺流程②切片生产工艺流程(5)、硅片尺寸和性能参数检测前言江苏顺大半导体发展有限公司座落于美丽的高邮湖畔。
公司始创生产太阳能电池用各种尺寸的单晶和多晶硅片。
拥有国内先进的拉制单晶设备104台,全自动单晶炉112台。
年产量可达到××××吨。
拥有大型先进的线切割设备×××台。
并且和无锡尚德形成了合作联盟(伙伴),每×可以向尚德提供×××硅单晶片。
同时河北晶于2004年,占地面积××××。
公司现在有×××名员工,从事澳、南京等光伏组件公司都和顺大形成了长年的合作关系。
为了公司的进一步发展,扩大产业链,解决硅单晶的上下游产品的供需关系,2006年在扬州投资多晶硅项目,投资规模达到××亿。
工程分两期建设,总规模年产多晶硅6000吨。
2008年底首期工程已经正式投入批量生产,年产多晶硅×××吨。
太阳能用硅片生产工艺十分复杂,要通过几十道工序才能完成,只有发挥团队精神才能保证硅片的最终质量。
编写该篇壮大资料的目的:首先让大家了解整个硅片生产过程,更重要的是让各生产工序中的每一位操作人员明确自己的职责,更自觉地按操作规程和规范做好本职工作,为顺大半导体发展有限公司的发展,尽自己的一份力量。
一、硅片生产工艺中使用的主要原辅材料和设备1 、拉制单晶硅生产部(1)、供单晶生产用的原辅材料质量要求和验收:1)原料:多晶硅,边皮料,锅底料,复拉料(包括头尾料)以及废硅片料等组成。
拉直太阳能电池硅单晶用的原材料纯度,质量以及决定太阳能电池的性能和转换效率。
为此,对多晶硅等原材料来源,纯度,外观形貌和后处理工序中物料洁净处理质量等因应具有严格的要求并制定出相应的厂内标准。
原料,特别是多晶硅进厂时应按下列程序进行验收:产品厂家,产品分析单,包装袋有无破损。
自家公司采用西门子法生产的多晶硅,经实际应用证明,具有比较高的纯度,质量可靠。
边皮料,锅底料,复拉料,头尾料以及废片料等均来自本单晶和硅片各生产工序。
进洗料库时,应按如下所列要求进行检查和验收。
表1 对原材料质量要求·辅助材料:用于腐蚀清洗硅原料和单晶棒料的化学试剂以及掺杂剂(杂质元素)等质量要求如表2所示:表 2 化学试剂的质量要求(2)、供单晶生产需要的主要部件:·籽晶与籽晶夹头:由两种材料制成。
表3 籽晶与籽晶夹头的材质和尺寸籽晶在使用前需要经过5;1HF和HNO3混合液轻腐蚀,清洗,烘干后用塑料袋装好备用。
籽晶需要延续用多次时,表面有污物,需要腐蚀时,只能腐蚀籽晶下部,以免改变固定夹头部的尺寸。
·对石墨,碳毡等材料的主要部件:对石墨,碳毡等材料的质量要求:石墨和碳毡主要是用作加热,隔热,保温等部件材料。
根据部件的用途,对其质量要求也有所不同。
用于制备加热器,反射板,导流筒,坩埚,坩埚轴等部件的石墨材质应具备致密度好,机械强度高,纯度高,灰分少等特点的等静压石墨材料,在工作期间性能稳定。
如果材料经高温氯化煅烧,质量就更好了。
用于制备保温筒,保温盖,炉盘等部件应具有纯度比较高和灰分比较少的中粗石墨材料。
·主要部件用石墨材料质量参数:表4 对石墨材质的要求加热器:根据单晶炉的炉型,设计了并且目前正在采用和运行的有三种尺寸的全部由高机械强度,纯度比较高的石墨材质加工的:17英寸加热器,拉制6英寸单晶,18英寸加热器,拉制6英寸单晶,20英寸加热器,拉制6或8英寸单晶,主要部件结构如下:反射板:双层石墨夹碳毡层结构,导流筒:双层石墨夹碳毡层结构,坩埚:三瓣结构,坩埚轴,与金属坩埚轴直径尺寸相同,长度根据要求而定。
上述部件全部由高机械强度,纯度比较高,灰分少的石墨材质加工而成的。
·石英坩埚:石英坩埚直接与多晶硅料接触,并伴随单晶生长过程在高温下经受长时间的烘烤并与硅熔体发生反应和溶解,因此,应具有耐高温,坯料(二氧化硅)纯度高,和外形尺寸标准,无气泡,无黑点等质量特点。
根据大装料量单晶生长工艺要求,在石英坩埚内壁还要求涂有均匀的耐高温氧化钡膜。
根据本炉型配置了17,18和20英寸三种标准尺寸的石英坩埚。
验收时特别注意检察:外形尺寸是否标准,是否存在气泡,黑点,破损,边缘损伤等缺陷。
·掺杂剂(杂质元素)和液氩:用于单晶生长工艺中的化学试剂,掺杂剂(杂质元素)和液氩(Ar)等质量要求如表5所示;表5 掺杂剂(杂质元素)和液氩等质量要求(3)、供单晶生产需要的设备:·供腐蚀清洗工序需要的设备表6 腐蚀清洗硅原料和单晶棒料的设备(4)、供硅单晶生产需要的主要设备:表7 生产单晶用设备2、硅片生产部(1)、供硅片生产需要的辅助材料;表8 供硅片生产需要的原辅材料(2)、供硅片生产用的主要设备:表9 生产硅片需要的设备硅单晶生产部二、硅片生产工艺技术(1)、腐蚀清洗工序生产工艺技术•对腐蚀清洗工序要求物料来源不同,摆放有序,以免出现混料事故,洗料间严禁采用金属制品用具,洗料间经常清扫,随时保持清洁。
·安全防护:在处理工艺中会使用大量强酸(HF,HNO3)和强硷(KOH,NaOH)等物质。
这些物质对人身具有很大伤害作用,一定要有安全防护意识,严防与强酸和强硷与人体皮肤和指甲接触。
进行硅料酸腐蚀时,操作人员一定在通风橱内操作。
操作人员在进入操作间前必须穿好工作服和工作鞋(胶胶),带好工作冒,胶皮手套和眼镜等防护等。
一旦出现事故,应及时用水冲洗等进行初步处理,同时通报相关领导。
提供给拉制硅单晶用的原材料来源不同,计有本公司采用西门子法生产的多晶硅,硅片生产过程中切下的边皮料,复拉料,单晶棒的头尾料以及埚底料等。
由于在运输,加工等过程中,其表面沾污或沾接一些其它物质,对硅单晶正常生长会造成极为不利的影响。
为此作为制备硅单晶用的原材料,在进入单晶生长工序后,对其表面需要进行严格的去污处理(用去离子水冲洗或丙酮和无水乙醇擦)。
根据原材料来源不同,表面状态和污染情况皆不相同,故对来源不同的原料应采用分别单独处理工艺。
• 对处理后原材料质量要求:表面光亮, 无斑点(包括酸斑),无印迹(包括手印), 无黄色酸斑,无夹杂物等。
(2)、腐蚀清洗生产工艺流程①、多晶硅块料,复拉料和头,尾料处理工艺流程多晶硅块料3(1﹕5)电阻≥15兆Ω频率为15兆Ω水温60015兆Ω去离子水,600C700C ,≥5小时间内进行内进行②、边皮料酸碱清洗处理工艺流程0C 温水泡(N a OH ),1200C腐蚀过程物料表面3(1﹕5) 不能与空气接触电阻≥10M Ω去离子水频率为10M Ω 去离子水水温60010M Ω去离子水,600C在相对洁净烘干温度700C ,≥1小时间内进行③、埚底料酸清洗处理工艺流程PN 结料时间达50-60,浓度50%进一步去除石英渣3(1﹕5)10兆Ω频率为 电阻≥10兆Ω 去离子水水温60010兆Ω去离子水,600C700C ,≥1小时间内进行建议:●埚底料经过HF酸锓泡后不应采用气味很浓的中水冲洗,而应改为自来水,最好为去离子水。
④、废片的清洗处理工艺流程去污泥去氧化膜加HF,搅拌搅拌,自来水在通风橱内操作(1﹕5),搅拌3电阻≥10兆Ω去离子水酸液环保处理搅拌,搅拌电阻≥10兆Ω去离子水搅拌烘干温度700C,≥1小时双层塑料袋封装建议:1 废片清洗相互沾接,难于清洗干净。
建议清洗处理后的废片最好用作铸锭料或复拉后作为直拉单晶原料。
2 该种废片应在原地经过初步清洗处理。
(3)、硅单晶生长工艺技术太阳能用硅单晶一般都采用的直拉法制备的。
该方法也称有坩埚法,为波兰科学家J Czochralski于1918年发明的,故又称切克拉斯基法,简称为CZ法。
于1950年美国科学家G. K. Teal和J. B. Little将该方法成功地移植到拉制锗单晶上。
之后又被G. 移植到拉制硅单晶上。
1960年Dash采用缩径方法拉制出无位错硅单晶。
该方法的主要特点:a、设备相对简单,便于操作和掺杂方便。
b、可拉制大直径单晶,Φ200 mm和Φ300 mm单晶已经商品化生产,更大直径的单晶,如Φ400mm单晶的制备正在研究中。
c、由于单晶氧含量高,机械强度优异,适于制造半导体器件。
不足之处:由于物料与石英坩埚发生化学反应,使硅熔体受到污染,单晶的纯度受到影响。
(4)、供单晶生产中需要的条件和要求①、单晶炉:单晶硅棒是在单晶炉内生长的,本公司现有不同型号和尺寸的,供拉制6英寸和供拉制8英寸单晶的单晶炉共计216台并全部配有带过滤网的70型真空机械泵。
:·加热系统(热场)热场系统组成的部件:它是由石墨加热器,石墨坩埚,保温筒,保温盖板,石墨电极,梅花托以及导流筒(热屏)等部件配置而成。
根据现有炉型配置了17英寸,18英寸和20英寸三种不同尺寸的热系统,并全部配置了导流筒(热屏)。
导流筒(热屏)有多层(两层石墨中间夹一层碳毡),单层二种。
,在单层中结构上又分单节和两节的。
附有导流筒的热系统是近年来随着单晶直径不断增大,加料量不断增加而兴起的,并已被众多单晶厂家所接受的热场。
其最大的特点:⑴、减少热辐射和热量损失,可降低热功率25%左右。
⑵、由于热屏对炉热的屏蔽使热场的轴向温度梯度增大,为提高单晶生长速度创造条件。
⑶、减少热对流,加快蒸发气体从熔体表面挥发,对降低单晶氧含量十分有利。
·配置的热场应附和如下要求:配置成功的热场不但要保持熔体和晶体生长所需要的,适宜的轴向温度梯度和径向温度梯度,而且又能得到比较低的所需要的加热功率和具有比较高的成晶率。
同时还要考虑气流的合理走向,以便减少杂质沾污和保证有一个良好的单晶生长环境。
除此之外,还能够符合由生产实际经验得出的,对引晶和晶体生长十分重要的参考数据:当加热达到化料功率时电压不能超过60伏。