真空泵开机注意事项

阿尔卡特高真空技术(上海)有限公司
Alcatel Vacuum Technology (Shanghai) Co., Ltd.
真空泵开机注意事项
ADS602H 前视图 控制面板（用于控制泵运行及参数设定）
红色指示灯 （出错） 泵停止运行 黄色指示灯（报警）不停泵 绿色指示灯（正常）一切正常
K．急停按钮（按下泵停止）
后视图
F．电控箱位置 G. 急停接头（J1 OEM 接 头）
A． 主开关
B. 主电源线 C． 电控连接界面 D． 辅助设施连接界面 E． 排气口 H． 远程控制
I． 氮气快速接头
J． 冷却水快速接头
上海市张江高科技园区祖冲之路 887 弄 82 号底楼
Ground Floor, No. 82, Lane 887, Zuchongzhi Rd., Zhangjiang Hi-Tech Park, Shanghai Phone: +86-21-50270628 / Fax#: +86-21-38953815
An Alcatel-Lucent Company

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1. 确定泵的高低压 打开真空泵电控箱（F），观察变压器接线，确定高低压 220 伏或 380 伏。
变压器
电控箱
2. 真空泵加油 ADP（下方泵体）有一个加油孔（4），ROOTS（上方泵体）两个加油孔（1,7）。图中（2， 5,8）为窥视孔，用于检查油位。3、6、9 为排油孔。
Roots 罗茨泵
ADP 干泵
加油量 型号 ADS602H ADP 油箱 0.35 Roots 齿轮端 0.45 Roots 马达端 0.25 1.05L（3 罐） 总油量
警告！新真空泵发运时并没有加油，油和泵分开发运，未加油前请千万不能启动真空泵，否 则会造成泵内严重损伤甚至损坏。 真空泵出厂测试时使用 Alcatel A113 合成油。 矿物油与合成油不能混在一起使用，我们建议用户依然使用 A113 合成润滑油。 润滑油加至窥视孔一半即可。
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3. 检查水电气接头是否完备 泵背面需要连接 7 个部分 3.1 电源接头（B），开机前需要连接电源 3.2 J1 EMO 短接头（G），开机前需要插上短接头 3.3 J14 信号短接头（H），在本地控制模式（手持遥控器控制）下需要连接短接头 3.4 氮气快速接头 （I），开机前需要连接氮气 3.5 进水、出水快速接头（J），开机前需要通冷却水 3.6 排气管道 （E），开机前需要确认排气口通畅，或者连接尾气处理系统 4. 拔开紧停按钮 K，打开主电源开关 A 5. 控制面板设定 当手动遥控器连接到真空泵上时，监控系统自动识别该真空泵。按“ENTER”键使系统初 使化。第一次连接，必须按“CONTROL”键获得对于真空泵的控制权：一个星号显示在屏 幕的左上方。
控制键
设置键
菜单选择键
确认键
泵启动键
泵停止键
罗茨泵启动键
“SET”
“DEFINITION MENU”
“ENTER”
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“ENTER” 菜单内容 可选项 描述 初始设置 主要选项设定 SYSTEM SELECT：ADS 602 ROOTS CMD（罗茨泵单独启动命令）：DISABLED（不激活） PURGE CMD（气体吹扫单独启动命令）DISABLED（不激） N2 STANDBY(2)（N2 待机）：DISABLED（不激活） “SET” “SETTING” “ENTER” “ENTER” “+” 菜单内容 可选项 选择范围 初始设置 主要选项设定 PURGE WARNING(4) (only with MFS)吹扫报警（仅MFS）：35slm INPUT VALUE（输入值）ADP：100℃ 6. 启动真空泵确定正反转 按“START”键启动真空泵 如显示器上 Pressure 显示为逐步上升，最后 稳定在 1000mbar 左右，则转向是正确的。 如显示器上Pressure不升反而下降至500mbar，则立即关闭真空泵，并且更换主电源插座1 2 3中 的任意两相即可。 切忌长时间反转开启真空泵 7. 真空泵基本参数设置 7.1 ADP 温度 100℃ 7.2 N2 50slm 7.3 水流量 80L/h
水流量计 质量流量计（测量 氮气流量） 压力调节阀（调节 氮气流量）
针阀 （调节水流量）
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