超纯水工艺流程
超纯水系统操作说明书
超纯水系统工艺操作使用说明书84T/H M M F+U F+2R O+E D I+S M B超纯水系统（18MΩ²C M超纯水系统）目录一. 工艺流程 (2)二. 操作条件 (3)三．安全 (3)四．工艺说明 (3)五. 系统设备清单 (9)六．单体设备操作说明 (11)七. 安装说明 (67)八. 仪表校正与更换 (69)九. 控制说明 (69)十．耗材及加药明细 (70)本系统主要是对原水进行预处理及精处理，以达到去除水中的有机物、无机物、胶体、溶解性离子、颗粒物，满足终端用户超纯水水质要求。
一、工艺流程根据用户原水水质要求，本系统所配工艺流程如下：二、操作条件1）操作人员必须经过专业的培训；2）设备、仪器、仪表等应检查合格并已及时排除故障；3）在运行前确认控制盘上的开关在正确位置；4）设备的手动阀应在正确位置；5）注意化学加药必须符合操作要求；6) 排水沟排水通畅；7）控制电源：220V±10%，动力电源：380V±10%；8）水箱氮封用高纯氮气：3-5bar，约30Nm3/h；9) 仪表用压缩空气：3-5bar,约150NM3/H；三、安全1）保持持车间内无灰尘杂质，尤其在超纯水系统的车间；2）保持通讯设施正常；3）现场必须有足够的经过检查的防火设施来保证设备及员工的安全；4）门窗及加热保温设施应该处于良好的情况下，以保证设备的安全；5）工作环境中的所有设施都必须保证状态良好；6) 清洁水源、毛巾、塑料手套、防护眼镜等应该常备在工作及相关人员容易得到的地方；7）室内光照明系统等应做到保证操作人员的安全以及操作的顺利进行；8）操作人员必须经过安全培训并且通过相关测试；9) 为了保证设备及员工的安全，当系统在运行过程中，应使用挂上“禁止乱操作”、“危险”、“系统带电”等标牌；10）禁止让工作无关人员进入工作现场，以免带来系统设备的危害与损失；四、工艺说明如下：原水箱（TK-UPW-01-A）用于储存原水进水，起到缓冲及调节水量的作用，防止进水压力或水量有波动，保证后续系统安全稳定的运行。
超纯水制作原理
超纯水制作原理超纯水是指除了水分子外，不含任何其他物质的水，其电导率常数小于0.055μS/cm。
超纯水的制作一直是化学、生物、半导体等领域研究的核心问题。
本文将介绍超纯水的制作原理及其工艺流程。
超纯水的制作主要通过两个关键步骤实现：去离子和电极反应。
去离子是指去除水中的离子，电极反应是指在水中加电解质使其发生电离反应，将其转化为离子，并在电极上反应，生成氢氧根离子和氢离子，最终进一步去除水中的离子。
二、超纯水制作工艺流程超纯水的制作过程一般分为预处理和纯水制备两个环节。
1. 预处理预处理的目的是去除水中的污染物和有机物，防止其对超纯水的制作和使用产生影响。
具体预处理过程如下：（1）杀菌：将水进行紫外线灭菌或加入过氧化氢进行杀菌处理，以保证水质清洁。
（2）滤除：用过滤器等对水进行过滤，去除颗粒物和悬浮物。
（3）除氯：加入还原剂或活性炭对水中的余氯进行去除。
（4）软化：通过离子交换剂软化水，去除碱性离子和钙、镁离子。
2. 纯水制备纯水制备过程主要分为离子交换和电极反应两个部分。
（1）离子交换：将水通过阴离子交换树脂和阳离子交换树脂进行去离子处理。
水先通过阳离子交换树脂的层，去除碳酸氢根离子、硫酸根离子、氯离子等阴离子，并释放出相应的氢离子；随后通过阴离子交换树脂的层，去除硝酸根离子、氯离子等阳离子，并释放出相应的氢氧根离子，使得水的离子浓度达到超纯水的标准。
（2）电极反应：将经过去离子处理的水通过电极间电离，使得水中的氢离子与氢氧根离子发生反应生成了水。
这个过程中一般采用两种方法：① 电解法：用电极将水加热至100℃左右，加入少量电解质，如NaOH或Na2CO3，使电解质发生电离，将其转化成离子，并在电极上与水中的氢离子和氢氧根离子反应形成水。
② 反渗透法：是一种低压、高效、无化学品的水脱盐技术。
这种技术是利用半透膜对水进行过滤，使得水中的大分子物质（如有机污染物、细菌等）和离子（包括阳离子和阴离子）被滤除，从而得到高质量的超纯水。
超纯水设备制水工艺及详细技术方案
超纯水设备制水工艺及详细技术方案超纯水设备合用范围：本系统合用于树胶业清洗和生产用纯水。
工程类别：水处理系统销售、安装、服务。
系统总进水量：5m3/hr系统产水量：2m3/hr@25℃系统回收率：55～70%产水水质：电导率≤0.2μs/cm@25℃运行方式：自动运行(并具有手动操作功能)。
原水水源：自来水原水设计温度：25℃制水工艺：RO反渗透+EDI持续电除盐〔或IX树脂离子互换〕重要配置：预处理系统：原水箱、原水箱液位控制器、原水进水电磁阀、原水泵、PAM计量泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂计量泵、管路、阀门。
RO反渗透系统：高压泵、反渗透膜、反渗透膜壳、膜架、控制系统、进水电磁阀、冲洗电磁阀、调压阀、高压开关、低压开关、精密过滤器。
储存系统：液位控制器、中间水箱。
EDI系统：〔工艺1)给水泵、模块、电源、流量计、压力表、电磁阀、在线电导仪、在线电阻仪、自动控制系统、机架。
IX系统：〔工艺2〕给水泵、再生泵、树脂容器、离子互换树脂、管路、阀门、机架。
工艺简介：反渗透技术是一种高效率、低能耗能、无污染旳先进技术，重要应用于纯水制备与海水淡化。
反渗透技术是运用压力差为动力旳膜分离过滤技术，通过压力差将H2O与源水中旳无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质严格分离。
EDI是一种电渗析技术和离子互换技术相融合旳先进技术，系统可以通过电磁场通过阴、阳离子互换膜对阴、阳离子旳选择性透过作用与离子互换树脂对离子旳互换作用，在直流电场旳作用下实现离子旳定向迁移，从而完毕水旳深度除盐，系统可以完毕树脂持续不停旳自动再生，无需停机使用酸碱再生树脂，从而能持续制取高品质纯水。
可提供详细技术方案，内容如下：*项目分析：原水水质分析、施工规定分析;*引用水质原则;*超纯水处理方案：超纯水工艺阐明、详细工艺流程图; *施工处理方案;*设备技术参数;*系统配置及技术参数。
超纯水处理原理,工艺及技术简介
超纯水处理原理, 工艺流程及技术简介1.超纯水制备原理威立雅实验室超纯水器通常由原水预处理系统、反渗透纯化系统、超纯化后处理系统三部分组成。
预处理的目的主要是使原水达到反渗透膜分离组件的进水要求，保证反渗透纯化系统的稳定运行。
反渗透膜系统是一次性去除原水中98%以上离子、有机物及100%微生物(理论上)最经济高效的纯化方法。
超纯化后处理系统通过多种集成技术进一步去除反渗透纯水中尚存的微量离子、有机物等杂质，以满足不同用途的最终水质指标要求。
2.原水预处理系统预处理系统通常由聚丙烯纤维(PP)过滤器和活性炭(AC)过滤器组成。
对硬度较高的原水还需加装软化树脂过滤器。
PP滤芯可高效去除原水中5μm以上的机械颗粒杂质、铁锈及大的胶状物等污染物，保护后续过滤器，其特点是纳污量大, 价格低廉。
AC活性炭滤芯可高效吸附原水中余氯和部分有机物、胶体，保护聚酰胺反渗透复合膜免遭余氯氧化。
软化树脂可脱除原水中大部分钙镁离子，防止后续RO膜表面结垢堵塞，提高水的回收率。
3.反渗透纯化系统反渗透(Reverse Osmosis，简称RO)是以压力差为推动力的一种高新膜分离技术，具有一次分离度高、无相变、简单高效的特点。
反渗透膜“孔径”已小至纳米(1nm=10-9m)，在扫描电镜下无法看到表面任何“过滤”小孔。
在高于原水渗透压的操作压力下，水分子可反渗透通过RO半透膜，产出纯水，而原水中的大量无机离子、有机物、胶体、微生物、热原等被RO膜截留。
通常当原水电导率<200μS/cm时，一级RO纯水电导率≤5μs/cm，符合实验室三级用水标准。
对于原水电导率高的地区，为节省后续混床离子交换树脂更换成本，提高纯水水质，客户可考虑选择二级反渗透纯化系统，二级RO纯水电导率约1~5μS/cm，与原水水质有关。
4.超纯化后处理系统①混床离子交换纯化柱混床离子交换纯化柱由阴离子交换树脂和阳离子交换树脂按比例混合而成。
阳离子交换树脂用其H+交换去除水中的阳离子，阴离子交换树脂用其OH-交换去除水中的阴离子，在混床树脂中被交换出来的H+和OH-结合生成H2O，因此混床离子交换纯化柱可用来深度去除RO纯水中尚存的微量离子。
半导体清洗用超纯水设备工艺流程
现代人生活天天手中不离电子产品，近年来，随着中国科技发展迅速，其中电子行业是科技发展主力军，电子行业中半导体占有重要位置。
半导体清洗用超纯水设备主要应用在电子行业半导体清洗中，其出水水质均能达到国际半导体清洗用超纯水标准。
半导体清洗用超纯水设备工艺流程
半导体清洗超纯水设备整套工艺流程相当严谨，所以这就需要每个工序点配合默契。
原水进入半导体清洗用超纯水设备后首先进入南方泵加压，加压后原水进入系统预处理装置，预处理过后通过反渗透水处理装置，此时的水可以作为纯水来使用，最后需经过过滤器进行深度过滤，使出水达到要求。
电子行业发生的变化给人们日常生活带来巨大影响，电子产品最不可缺少的配件半导体越来越受到人们关注。
电子行业超纯水设备对电子元件主要的生产起着至关重要的辅助作用。
电子行业超纯水设备中的RO膜孔径小至纳米级，采用双级反渗透之后出水标准超过国家半导体清洗用超纯水标准。
设备出水水质最高可达18.2兆，废水的回收率可以达到80%到90%以上。
超纯水制备技术工艺及其原理全面解析
超纯水制备技术工艺及其原理全面解析对于超纯水的需求随着半导体工业的发展，对超纯水质量要求提高，从而大大的推动了纯水技术的发展，膜技术得到了广泛的应用，微滤，超滤，电渗析和反渗透技术先进的水处理技术得到了飞速的发展，膜法制备纯水取代了传统的离子交换器系统，解决了TOC问题，满足了电子行业对纯水质量的要求。
超纯水制备工艺1.传统超纯水制备工艺流程：原水—多介质过滤器—活性炭过滤器—一级除盐—混床—超纯水2.膜法超纯水制备工艺流程：原水—超滤—反渗透—EDI—超纯水在膜法工艺中，超滤，微滤替代澄清，石英砂过滤器，活性炭过滤器，除去水中的悬浮物胶体和有机物，降低浊度，SDI，COD等，可以实现反渗透装置对污水回用的安全，高效运行，以反渗透替代离子交换器脱盐，进一步除去有机物，胶体，细菌等杂志，可以保证反渗透出水满足EDI进水的要求，以EDI代替混床深度脱盐，利用电而不是酸碱对树脂再生，避免了二次污染。
原水水质概论水中的杂质按存在的形态的不同可以分为悬浮物，胶体和溶解性固体三种，其中固体含量用总固体量作为指标，把一定量水样在105-110°烘箱中烘干到恒重，所得的重量及为总固含量。
第一类是悬浮物物指悬浮于水中的物质，颗粒直径在10-4mm 以上，如泥沙，粘土，动植物残骸，微生物，有机物，藻类等第二类是胶体，指水中带电荷的胶体为例，颗粒直径在10-5mm之间，胶体颗粒是许多分子或离子集合体，这种细小颗粒具有较大的比表面积，从而使他具有特殊的吸附能力，而被吸附的物质往往是水中的离子，因此胶体颗粒带有一定的电荷，如硅铁铝化合物及一些高分子有机物如腐殖质等，也有一些在此粒径范围的细菌，病毒等。
第三类是溶解物，只被水所溶解的，分子或离子状态的溶质或气体如氯化物，硫酸盐等。
悬浮物和胶体是使天然水产生浑浊的主要原因。
原水的预处理反渗透因为膜材料及元件的关系，对进水水质有一定的要求，预处理解决的问题是赌赛，结构，污染和波坏，堵塞时指水中的颗粒，悬浮物，胶体，铁氧化物沉淀等堵塞膜元件的流道，结垢是指难溶盐在浓水侧浓缩厚结晶析出，可预先除去或加阻垢剂。
超纯水系统工艺流程图
图 7 常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI+MB电子Ⅰ级超纯水系统组成图
适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000μs/cm,即TDS < 500ppm时，要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的纯水系统
图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统
图统工艺配置图
适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统
图 5 常用的一级RO+二级EDI电子+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统
图 6 常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统
超纯水生产工艺流程
超纯水生产工艺流程图
主要技术：
1．超滤技术：超滤技术是指采用微孔超滤膜，截留水中胶体大小的颗粒，而水和低分子量溶质则允许透过膜。
超滤的机理是指由膜表面机械筛分、膜孔阻滞和膜表面及膜孔吸附的综合效应，以筛滤为主。
2．反渗透技术：反渗透是一种以压力差为推动力，从溶液中分离出溶剂的膜分离操作。
对膜一侧的料液施加压力，当压力超过它的渗透压时，溶剂会逆着自然渗透的方向作反向渗透，从而在膜的低压侧得到透过的溶剂，即渗透液；高压侧得到浓缩的溶液，即浓缩液。
3．电去离子（EDI）技术：电去离子技术利用树脂吸附离子，提高膜间导电性，同时利用电能迫使水解离为氢离子和氢氧根离子，对树脂进行再生，因而实现树脂在进行离子交换的同时进行就地再生，并不产生额外的废酸碱污染，提高生产效率并减少污染排放。
4.自适应氮封技术：利用专有氮封装置，精密控制氮封水箱压力平衡，并保证在微正压下运行，防止空气污染超纯水的同时节省氮气消耗，在故障时自适应连通大气防止水箱损坏。
5.离子交换技术：离子交换技术是指水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子与交换柱中的阳树脂的H+离子和阴树脂的OH －离子进行交换，从而达到脱盐的目的。
离子交换器分为阳离子交换器（软化器）、阴离子交换器、混合离子交换器等。
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超纯水工艺流程
预处理----反渗透----CEDI膜块----抛光树脂
膜法超纯水制取设备工艺流程：原水—超滤(多介质过滤器、活性炭过滤器)—反渗透—EDI—超纯水
渗透/电去离子（RO/EDI）集成膜技术是近年来迅速发展成熟，并得到大规模工业应用的最新一代超纯水制造技术，在国际上已逐渐成为纯水技术的主流。
RO/EDI的集成膜技术在电子企业用水，实验室纯水系统，电厂用水等方面具有独特的优势。
自来水进入原水箱，通过原水泵增压，经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器，到达反渗透单元，经两级反渗透过滤进入EDI单元，达到电阻率15MΩ.cm（25℃）进入纯水水箱。
纯水供水设计为循环方式，经纯水供水泵增压，通过紫外线消毒器、抛光混床、0.22微米过滤器接入纯水供水管，到达使用点。
1.1预处理单元
采用石英砂过滤、活性炭过滤、保安过滤作为两级反渗透的预处理。
1.2膜系统单元
膜系统单元是本系统的核心，负责去除水中大部分的有害物质，保证终端产水达到标准要求。
本设计中采用辅以pH值调节的两级反渗透作为初级脱盐工艺，EDI模块作为深度脱盐工艺。
1.2.1反渗透模块
反渗透膜是以压力差为驱动力的液相膜分离方法，可以看作是渗透的一种反向作用。
在压力推动下，溶液中的水分子透过膜，而其它分子、离子、细菌、病毒等被截留，从而实现脱盐效果，达到纯化目的。
整个反渗透系统由高压泵、反渗透膜、压力容器以及相应的仪器、仪表、阀门、机架、管道及管件等组成；此外还有独立的化学清洗装置。
1.2.2EDI模块
EDI技术是将膜法和离子交换法结合起来的新工艺，基本原理主要包括离子交换、直流电场下离子的选择性迁移及树脂的电再生。
水中的离子首先通过交换作用吸附于树脂颗粒上，再在电场作用下经由树脂颗粒构成的“离子传输通道”迁移到膜表面并透过离子交换膜进入浓室。
由于离子的交换、迁移及离子交换树脂的电再生相伴发生，犹如边工作边再生的混床离子交换树脂柱，因此可以连续不断地制取高质量的纯水、高纯水。
EDI系统由增压泵、膜堆、电源以及相应的仪器、仪表、阀门、机架、管道等组成。
1.3供水单元
纯水供水循环采用254nm紫外线杀菌、抛光混床脱盐、0.22微米过滤，达到用户的纯水水质要求。
为保证纯水的品质以及生物学指标，在纯水制备的终端设置精度为0.22μm的微滤膜过滤器，用于截留去除脱盐设备出水中的微粒以及细菌尸体。
由于0.22μm的微滤膜膜过滤器为整个脱盐工艺的最后一道处理设备，因此又称终端过滤器。
过滤器内装折叠式微孔滤膜，过滤精度0.22μm，过滤器出口设置压力表。
过滤器经过一段时间的运行后，滤膜表面截留了大量杂质，使滤膜堵塞，导致工作压力增加，当进出口压力差增大到某一设定值时，更换滤膜。
终端过滤器由罐体、0.22μm滤芯、压力表组成。
1.4主要设备
主要设备：原水箱、原水增压泵、砂滤器，炭滤器罐体、多路阀、阻垢剂计量泵、阻垢剂(氨基三甲叉膦酸ATMP)药罐、保安过滤器、保安过滤滤芯、一级RO高压泵、一级RO膜、二级RO高压泵、二级RO膜、膜壳、PH值调整计量泵、EDI增压泵、EDI模块、超纯水水箱、纯水增压泵、抛光混床罐、抛光树脂、0.22微米过滤器、0.22微米滤芯等。
电控单元自制，采用设备包括三菱PLC、Proface触摸屏、联想计算机、西门子电气元件等。
另需要电导率检测仪、压力表、高低压传感器、机械流量计、电磁阀，电磁开关流量计、球阀等配件若干。