蔡司扫描电镜EVO 10技术参数
EVO操作规范注意事项
EVO-18扫描电镜操作注意事项
1.高度严格要求在20mm以内，同一批样品高度尽量统一，
最大高度差不能超过5mm。
样品宽度和长度不能超过样品台宽度20mm，换样品和做能谱调样品高度距离时，以最高样品高度为基准，在TV模式下进行。
2.Fill target 灯丝电流不能超过2.8A,学生不允许私自拉动，
若不慎拉动，一定将其调到2.5-2.6A之间。
3.做能谱时，要求工作距离在调好聚焦情况下在10-15mm
之间，高低样品差距较大的尤其要注意高度调节。
进行能谱分析时，I-probe 数值拉动到700-800PA即可，一定不能超过1nA。
做完能谱分析后将电流再调回扫描状态下的数值，50-100PA。
4.样品换样放气时，减压阀已经调好气流量，不允许未经老
师同意私自加大气流量，容易造成能谱铍窗损坏。
5.将样品粘好之后，再进行样品室放气步骤，严禁将样品室
暴露于空气当中，再进行样品制备。
6.如若操作违规，造成设备损坏，将严格追究到个人责任。
7.未尽事宜可以再另外附加。
EVO10电镜安装须知——【蔡司安装】
EVO10电镜安装须知
1、装箱：两个木箱
较小木箱：约长宽高150*120*120，重288KG，装零部件，十字螺丝钉(难开)；
大木箱：约长宽高150*150*220，重820KG，电镜主机重六百多公斤无轮子。
快拆装置。
2、搬运
卸车前确认箱体上平衡指示装置。
锯齿标识应在30°，环形标识应在中间。
需叉车和地牛，木箱落地和电镜主机落地均需要。
大木箱一面可向下半侧开，对面一面可全开作为出口。
1
地牛宽度以55cm（小于59cm）为宜，电梯门大于80cm；地牛若大于60cm宽，最宽不可超过75cm，此时电镜主机可侧着拉，要求过道宽度105cm以上，较难操作，容易挤压线。
1
放置距墙约90cm。
左侧或右侧放置桌子，大约需要130cm空间。
桌子100*115cm。
电镜序列号（2个，以10位数字）在机身后面
1。
蔡司Cirrus HD-OCT参数
Cirrus HD-OCT参数
莱卡M844手术显微镜技术参数
显微镜优点介绍：
•灵活摆位
•电磁锁
•使用方便快捷简单
•最大伸展距离1496mm
•手术显微镜可选择将控制系统固定
•最新专利的阻尼系统工作更加稳定
•显微镜移动顺畅
•包括摄像头控制器支架
•内置附件电源
•持续可调的线性平衡系统
•可选择与手术灯整合
•显微镜马达电动调节高度上下高度达500mm。
•徕卡率先推出独创的APO OptiChromeTM（复消色差技术）。
•QuadZoomTM（四光路光学系统），电动6：1变倍，2×2光路设计为每个人提供最佳视觉效果。
•在始终同步的情况下为主刀及其助手提供100%的立体视效果和照明。
•OttoFlexTM II提供更高对比度的明亮的全角度双光路眼底红光反射。
•新型超低角度双目镜筒UltralowTM II，提供理想的“目镜-视野”距离。
•具有二合一功能的控制器和视频监视屏。
•StepCycleTM -半自动手术功能。
•电动XY平移，可自动调节速度或手动重置。
扫描电镜要点总结(蔡司Gemini450电镜各模式和探头使用参数介绍)
扫描电镜要点总结（蔡司Gemini450电镜各模式和探头使用参数介绍）扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope, SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面的电子束来获取高清晰度的图像。
蔡司Gemini 450是一种常见的扫描电子显微镜，拥有多种模式和探头，下面将对其各模式和探头的使用参数进行介绍。
1.高真空模式：-工作距离：3-20毫米之间可调。
-放大倍率：高达1,000,000倍。
-检测器：二次电子检测器、能量分散X射线（EDX）探测器等。
高真空模式适用于大多数样品，特别是金属、半导体等导电材料。
该模式下的电子束会扫描样品表面，从而产生二次电子图像。
EDX探测器可用于进行元素成分分析。
2.低真空模式：-气压范围：从10到130帕斯卡（Pa）。
-工作距离：5-25毫米之间可调。
-放大倍率：高达100,000倍。
低真空模式适用于非导电材料以及生物样品等需要避免高真空环境的样品。
低真空模式下，可以使用水冷样品冷凝器来减少样品的水膜蒸发。
3.非接触模式：-工作距离：约为30微米。
-放大倍率：高达100,000倍。
非接触模式使用非接触方式扫描样品表面，减少了对样品的损伤。
它适用于对样品表面要求严格的情况下，如软性材料或纳米材料等。
4.电子背散射模式：-工作距离：约为3毫米。
-放大倍率：高达300,000倍。
电子背散射模式用于观察样品的表面形态和材料本身的晶体结构。
通过背散射电子来获取高对比度的图像。
探头是扫描电镜中十分重要的组成部分，蔡司Gemini 450电镜提供了多种探头供选择，具有不同的特点和应用范围。
1.热阴极电子枪：-适用于常规高真空模式下的成像。
-具有较高的亮度和小的发射面积。
2.场发射电子枪：-适用于较低真空模式下的成像。
-具有更小的亮度和更小的发射面积。
3.高抛射场发射电子枪：-适用于非接触模式。
-具有更大的发射面积，可以提供更高的电子流，为非接触模式下的成像提供更好的性能。
扫描式电子显微镜技术参数
扫描式电子显微镜技术参数1.★总体要求设备要采用国际上同行业中先进设计思想，成熟的制造技术，必须具有优良的品质和可靠性，必须具有良好的操作性和方便的维修性以及安全性，设备型号必须在制造厂商官网上可查阅到。
2. 主要用途可用于对各类样品表面微区进行形貌观察和成份含量分析。
3. 工作条件3.1 工作温度及相对湿度：20°C ± 5°C；80﹪以下；3.2 电源：220V ( ±10% ) 单相，50Hz；3.3 相对湿度<65%；3.4 仪器运行的持久性：长时间连续工作。
4. 扫描电镜★4.1 分辨率二次电子探测器分辨率：<3.0 nm （30 KV）；<8nm (3 KV )，背散射电子探测器分辨率：<3.5nm（30kv )。
★4.2 放大倍数：最低倍率可达到1倍，最高倍率可达到1000,000。
4.3 真空系统★4.3.1 具有高低真空功能,高低真空自动转换；★4.3.2 样品室真空度：高真空可达到5×10-4 Pa；低真空范围不小于5-500Pa；4.4 电子光学系统4.4.1 电子枪：钨灯丝，具有自动加热及对中的功能，可现实灯丝使用时间；4.4.2 聚光镜具有自动可变焦功能；4.4.3 加速电压:200V-30kV，10V步进可调；4.4.4电子探针束流：最大束流不小于2uA，并连续可调。
★4.4.5电子光学镜筒采用中间镜设计，全自动自动调节，无需机械对中装置，包括电子光路合轴，电子光学设置和校准，可以精确控制束流和束斑尺寸；4.5 样品室和样品台★4.5.1 样品台尺寸：装载直径≥200mm样品；★4.5.2全自动五轴优中心台：具有全自动五轴马达驱动功能样品台移动范围：X=130 mm，Y=130mm，Z=100 mm旋转：360度连续倾斜：-30度到+90度更换样品后抽真空时间：< 3.5分钟4.5.3 样品台具有报警与自动停止功能，具有样品位置感知功能。
拍照式扫描仪产品技术参数
参数规格
1
拍照式
扫描仪
一套
设备满足以下环境长期稳定地工作。
(1)工作环境：
环境温度：5βC-40℃
温度变化最大值：11°C∕h
光照强度：0.1万〜1万IX(1UX)(相当于没有太阳的室外)
相对湿度：10%—95%(无冷凝)
(2)供电系统：
电压：220V±10%,单相
频率：50Hz±2%
用电设备要求接地可靠
24
扫描软件需包含以下功能
▲测量数据采集和项目管理扫描头的调整和标定是通过软件来进行的实时显示扫描图像在线显示扫描头位置标定过程中会有提示和自动监测功能三维坐标，通过参考点或表面特征可以自动拼接，自动计算网格输出ST1格式的扫描数据拟合元素（最大内切元素和最小外接元素，高斯计算和切比雪夫计算）多截面（根据轴线平行、放射形和沿曲线截面）距离、角度和虚拟卡尺相交、投影、垂直投射、平均值标称/实际元素的比较，输入标准格式的CAD数据：IGES,STEPjST1o
3
相机及像素：
★对称工业级CCD相机，具有三重扫描成像功能(投标时需提供功能实现说明及证明材料)，相机像素不低于800万像素，镜头带有独立的专用外置保护罩
4
★投影光栅：
光栅能够采集半径为0.5mm的点云数据。
5
▲蓝光均衡功能：
具有蓝光均衡器控制功能，使测量范围内所有区域蓝光分布均匀，确保边缘数据质量清晰，精度可靠。
25
检测功能
▲能实现自动预对齐、最佳拟合、RPS对齐、局部坐标系在CAD上定义公差对比实际数据和标称数据色彩偏差图，可选择内置图例或自定义图例截面色彩偏差图，可进行偏差标注，材料厚度计算，智创键：使分配测量原理和进行检测更方便，根据局部坐标系进行尺寸标注,根据DINISOI1O1和ASMEY14.5标准检测形位公差，报告模块，生成报告（表格、截图、画中画、目录、封面）显示对齐信息，输出报告形式：CSV表格，PNG和PDF。
第十扫描电子显微镜演示文稿
扫描电镜原理示意图
光学显微镜、TEM、SEM成像原理比较
第十一页，共26页。
9.3.2扫描电镜的构造
（1）电子光学系统 ► 该系统的组成：由电子枪、
电磁透镜、光阑、样品室 等部件组成
► 该系统的作用：仅仅用 来获得电子束
第十二页，共26页。
► 扫描线圈：使电子做光栅状扫描，并保证电 子束在样品上的扫描与显象管上的扫描同步。 该扫描线圈与显象管内的扫描线圈由同一锯齿
第二十四页，共26页。
9.4二次电子表面形貌衬度原理 及应用
9.4.1 表面形貌衬度的原理
► 二次电子的产额强烈的依赖于 入射束与试样表面法线间的夹 角
► 大的面，，逸出表面的二次 电子数目多，在荧光屏上的 亮度大;反之， 小的面，对 应的荧光屏的亮度小
二次电子形貌衬度示意图
第二十五页，共26页。
第四页，共26页。
（2）背散射电子
定义：背散射电子是指入射电子与样品相互作用(
弹性和非弹性散射)之后，再次逸出样品表面的 高能电子，其能量接近于入射电子能量( E。)。 背射电子的产额随样品的原子序数增大而增加 ，所以背散射电子信号的强度与样品的化学组 成有关，即与组成样品的各元素平均原子序 数有关。
第二十六页，共26页。
信号 二次电子 背散射电子 吸 收 电 特 征 X 俄歇电子
子
射线
分 辨 5~10 50~200 100~ 100~ 5~10
率
1000 1000
第二十二页，共26页。
（2）放大倍数
放大倍数M
M Ac AS
► Ac---显象管荧光屏尺寸 ► As ---试样表面扫描距离（幅度）
► 通常荧光屏尺寸是固定的，所以在扫描电镜中M
德国蔡司钨灯丝扫描电镜EVO MA10技术说明
德国蔡司钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO MA10北京欧波同光学技术有限公司2017年09月07日目录一、聚焦CARL ZEISS (3)二、产品概述 (4)三、技术参数 (5)四、计划进度及培训 (7)五、环境要求 (8)六、质保及其他服务 (9)一、聚焦CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业—德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。
积扫描电镜领域50年及透射电镜领域60多年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：•第一台静电式透射电镜(1949)•第一台商业化扫描电镜(1965)•第一台数字化扫描电镜(1985)•第一台场发射扫描电镜(1990)•第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)•第一台具有Koehler照明的200kV 场发射透射电镜(2003)•第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、扫描离子显微镜等全系列解决方案。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
欧波同有限公司做为Carl Zeiss 集团显微镜事业部的战略合作伙伴，在北京，上海，广州，鞍山、济南、郑州、西安等地设有营销机构和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。
二、产品概述扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背散射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。
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钨灯丝扫描电子显微镜EVO MA 10/LS 10
详细描述：
品牌：卡尔·蔡司 型号：EVO MA 10/LS 10
制造商：德国卡尔蔡司公司 经销商：欧波同纳米技术有限公司
免费咨询电话：800-8900-558
【品牌故事】
世界顶级光学品牌，可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥），积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：
第一台静电式透射电镜 (1949)
第一台商业化扫描电镜 (1965)
第一台数字化扫描电镜(1985)
第一台场发射扫描电镜(1990)
第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992)
第一台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜(2003)
第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)
CARL ZEISS以其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有电镜制造最核心最先进的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、是全球唯一为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案的电镜制造企业。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
【总体描述】
EVO系列电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。
MA 10用于材料领域,LS 10用于生命科学领域。
该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有业界领先的X射线分析技术。
革命性的Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。
样品台为五轴全自动控制。
标准的高效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。
【技术参数】
分辨率： 3.0nm@ 30KV(SE and W) 4.0nm@ 30KV(VP with BSD)
加速电压：0.2—30KV
放大倍数：7—1000000x
探针电流：0.5PA-5μA
X-射线分析工作距离：8.5mm 35度接收角
低真空压力范围：10—400Pa (LS10:10-3000Pa)
工作室：310mm(φ)×220mm(h)
5轴优中心自动样品台：X=80mm Y=100mm Z=35mm T=0-90°R=360°
最大试样高度：100mm，最大试样直径：200mm
系统控制：基于Windows XP 的SmartSEM操作系统
【产品应用】
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。
在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。