晶体硅太阳能电池的丝网印刷技术详解
3.丝网印刷和烧结工序介绍

丝网印刷和烧结工序介绍对于晶体硅太阳电池来说,丝网印刷和烧结是最后两个工序。
为输出电池光电转换所获得的电能,必须在电池上制作正、负两个电极。
所谓电极,就是与电池p-n结形成紧密欧姆接触的导电材料。
一般用丝网印刷的方法制作电极,然后再经过烧结工艺,干燥硅片上的浆料,燃尽浆料的有机组分,使浆料和硅片形成良好的欧姆接触。
电极与硅基体粘接的牢固程度,是太阳能电池性能的主要指标之一。
这两个工序对于太阳能电池的效率以及成本有着重要的影响,网版浆料的选择在整个太阳能电池的生产中都有着重要的低位。
下面我们针对丝网印刷和烧结工序进行一下基本的介绍:一、丝网印刷基本介绍1.丝网印刷的原理丝网印刷是把带有图像或图案的模版被附着在丝网上进行印刷的。
通常丝网由尼龙、聚酯、丝绸或金属网制作而成。
当承印物直接放在带有模版的丝网下面时,丝网印刷油墨或涂料在刮刀的挤压下穿过丝网中间的网孔,印刷到承印物上。
丝网上的模版把一部分丝网小孔封住使得颜料不能穿过丝网,而只有图像部分能穿过,因此在承印物上只有图像部位有印迹。
换言之,丝网印刷实际上是利用油墨渗透过印版进行印刷的。
对太阳能电池而言,丝网印刷是通过刮刀的运动将浆料印刷到硅片上的一种印刷方式,是太阳能电池制造过程中最常用的制作正负电极的方式。
相比较其他的方式(如溅射等)具有以下优点:①设备简单,易于实现②成本较低2.丝网印刷的设备及作用丝网印刷中,每道都使用不同的网版,网版的设计对银浆的耗量以及效率的影响有着重要的作用,下面针对网版的各项参数做一下重点介绍。
二、丝网印刷网版参数介绍一般情况下,太阳能电池使用网版的外形如下图所示,是由不锈钢丝网编织而成。
丝网印刷网版主要参数指标包括以下几个方面:1.网版目数:网版目数的是每平方厘米(cm2)丝网所具有的网孔数目。
用来表征网版网孔的大小,目数越大,网孔越小,其他条件相同情况下下墨量越小。
同时目数大小对应网版的疏密程度,影响网版的使用寿命。
太阳能电池制造中的丝网印刷技术

太阳能电池制造中的丝网印刷技术【天意数字快印】一太阳能电池制作工艺1.太阳能电池的精密丝网印刷从太阳能电池制作工艺流程(图一)中我们可以清楚地看到:太阳能电池的主要制作工艺为五次精密丝网印刷。
流程图中的1为CdS膜的精密丝网印刷;4为CdTe膜的精密丝网印刷;5为C电极的精密丝网印刷;7为Ag+In电极的精密丝网印刷;8为Ag电极的精密丝网印刷。
2.特种功能性油墨在丝网印刷的功能性油墨中,太阳能电池油墨(姑且如此称谓)又是一种新颖的别具一格的功能性油墨,应该说这些特种功能性油墨的研究、开发和商品化是太阳能电池制造技术中最基本也是最关键的因素。
它们是:(1)CdS油墨主剂:CdS高纯度粉末(5N),粉末粒径为2~3μm。
助剂:CdCl2粉末9.1%(wt)。
粘结剂:丙烯、乙二醇(适量)。
(2)CdTe油墨主剂:Cd粉末(5N)与Te粉末(6N)等量加入,其粉末粒径为0.5μm。
助剂:CdCl2粉末0.5%(wt)。
粘结剂:丙烯、乙二醇(适量)。
(3)碳(C)油墨在碳油墨中加入10~50ppm的铜杂质。
(4)Ag+In油墨在Ag油墨中加入20%(wt)的In粉末。
(5)Ag油墨Ag油墨市场有售,购买时特别需要关心其金属银含量。
二、有关高科技丝网印刷的思考1.从太阳能研究发展趋势看高科技丝网印刷根据太阳能研究开发计划,太阳能电池的发展趋势是,从地面用大规模集中型向小规模分散型发展,进而开发宇宙发电站用太阳能电池。
据太阳能电池研究专家的权威意见,开发太阳能电池的关键是降低成本,为此,他们提出三条意见:(1)降低硅材料的生产成本;(2)继续新技术、新工艺、新材料的研究与开发,大幅度降低生产成本;(3)提高特种印刷的技术水平,实现大批量、高质量印刷。
从专家提出的这三点意见中,作为丝网印刷工作者,我们应该很高兴同时也很自豪地告诉从事太阳能电池研究的朋友们,所谓“特种印刷”(即丝网印刷),今天无论从设备、工艺和技术上已经具备了高速度、大批量、高质量完成各种高精度丝网印刷(当然包括太阳能电池丝网印刷)的能力。
太阳能电池制造中的丝网印刷技术概述

太阳能电池制造中的丝网印刷技术概述摘要太阳能电池连接技术的最重要的部分就在硅衬底金属化制造。
这个方法是一项先进的印刷工艺,这个技术能够在很大程度上决定太阳能电池的能量转换效率。
这项工艺被大规模用于太阳能电池的批量化生产,是第三代太阳能电池制造过程中最重要的环节。
关键词丝网印刷;晶体硅;电极;质量控制太阳能电池是利用光电效应将光能转化成电能的装置。
它是太阳能发电的基础和核心。
目前,光伏电池生产有二个主要难题。
第一,怎么增加太阳能电池的转换效率,以加大电池板组件一平方米范围内的发电量。
第二,在加大投入成本之前,怎样通过现有技术使太阳能电池的制造力得到加强。
丝网印刷技术在制造太阳能电池片背电场和正电极的生产中越来越成熟运用,逐渐变成了现在光伏电池生产的最为流行的技术。
1 太阳能电池丝网印刷1.1 丝网印刷在光伏电池制造过程中的位置制造晶体硅光伏电池的过程有印刷背电极、铝背场和正电极。
电极印刷的好坏很大程度上决定了电池片性能的好坏。
所以它是光伏电池制造过程的一个主要环节。
利用丝网印刷技术,在硅片上印刷一种化学活性很高的金屬浆料,通过烘干将金属浆料固化,然后在高温状态下快速烧结。
在具有化学活性的金属浆料作用下,金属和硅晶体生成了一个合金层,从而形成良好的接触以及铝背场。
1.2 丝网印刷技术丝网印刷是采用压印的方式将预定的图形印刷在基板上,该设备由电池背面银铝浆印刷、电池背面铝浆印刷和电池正面银浆印刷三部分组成。
其工作原理为:利用丝网图形部分网孔透过浆料,用刮刀在丝网的浆料部位施加一定压力,同时朝丝网另一端移动。
浆料在移动中被刮刀从图形部分的网孔中挤压到基片上。
由于浆料的黏性作用使印迹固着在一定范围内,印刷中刮板始终与丝网印版和基片呈线性接触,接触线随刮刀移动而移动,从而完成印刷行程,得到印制的丝网图形。
丝网印刷技术,是把包含金属的混合导电浆料通过网状孔压入,压在晶体硅片上生成新的电路和电极,并由光伏电池衍生出光电子。
太阳能电池片丝网印刷

烘干和烧结
烘干和烧结的目的
烘干和烧结是为了使印刷在硅片表面的油墨或涂料干燥并 固定在适当的位置,同时使油墨或涂料发生必要的物理和 化学变化。
烘干和烧结工艺
烘干和烧结工艺应根据油墨或涂料的特性和太阳能电池片 的材料特性进行合理控制,包括温度、时间和气氛等参数。
烘干和烧结设备
烘干和烧结设备可以采用隧道式烘干机或烘箱,设备应具 备温度控制和时间控制功能,以确保烘干和烧结效果的一 致性和稳定性。
丝网质量
01
丝网的材质、目数、开口尺寸等参数直接影响印刷质量,选用
高质量的丝网是保证印刷精度的前提。
印刷参数
02
印刷压力、速度、刮刀角度和硬度等参数的设置对印刷线条的
宽度、高度和均匀性有触变性、干燥速度等性能参数对印刷效果和固化
过程有直接影响。
质量检测方法
目视检测
检测与修复
检测目的
检测与修复是为了确保太阳能电池片丝网印刷的质量和可靠性,及 时发现并处理存在的缺陷和问题。
检测方法
检测方法包括目视检测、自动光学检测和X射线检测等,应根据印 刷品的特性和质量要求选择适当的检测方法。
修复工艺
对于发现的缺陷和问题,可以采用适当的修复工艺进行处理,如局部 热处理、激光修复等,以确保太阳能电池片的质量和性能符合要求。
03 太阳能电池片丝网印刷工 艺流程
涂布感光胶
涂布感光胶
在丝网印刷前,需要在硅片表面涂布 一层感光胶,以增强丝网印刷的附着 力。
涂布方式
涂布厚度
感光胶的厚度应均匀,且需根据丝网 印刷的精度要求来控制,一般而言, 较薄的涂布厚度可以提高印刷线条的 精度。
感光胶可以采用喷涂、刷涂或浸涂的 方式进行涂布,具体涂布方式应根据 感光胶的特性和生产工艺要求而定。
太阳能电池-丝网印刷

4.4 刮刀压力
当刮刀压力增大时,丝网更加紧密地压在基 板上,因此产生的膜更加薄一点;但压力增大时, 刮刀与网版、承印物会成面接触,将导致印刷后 的图文变得模糊,即印刷线条变粗。印刷压力通 常由一个弹簧或者一个气动压力气缸提供。刮刀 的压力通常应该调整到丝网可以接触基板,当刮 刀过去以后丝网上没有残余浆料。典型的设置大 约在每厘米0.2kg。为了获得更好的均匀一致的印 刷效果可以增加到0.3或0.4kg。
聚酯丝网具有较好的柔韧性,可用来在平面度较差的 基板上印刷。特被当它与硬度较低的刮刀配合使用,刮刀 以60°角印刷时,可以获得较好的印刷效果。同时聚酯丝 网那个具有较好的弹性,因此当刮刀压过后,丝网能顺利 地进行剥离。聚酯的弹性优于尼龙,远远优于不锈钢,柔 韧性不如尼龙,但仍由于不锈钢。印刷的面积与丝网的尺 寸应相互匹配,必须保证印刷图像的定位及图像的清晰度。 丝网间隙不应太大,否则会改变图像的尺寸,使印出图像 变形。丝网的规格,乳剂层的厚度以及印刷乳剂应与被印 图像相匹配。聚酯丝网具有良好的图像定位性和清晰度可 满足大部分厚膜印刷的要求。
7)印刷工序所用的三种浆料银铝浆、铝浆、正面 银浆不可混淆,三道印刷所用的刮刀、搅拌器等物品 也不要混淆。 8)不同厂家的浆料或同一厂家的不同型号的浆料 也不要相互混用 9)浆料的选用型号不经工艺人员允许不能随意更 改。 10)不同厂家、型号浆料的更换或试用,一定要做 好记录。
二、理论部分
1、丝网印刷定义 丝网印刷是利用印版非图文部分丝网孔封闭而不能 透过油墨、图文部分丝网孔通透能透过油墨的原理进 行印刷的。将丝网张紧并牢固地固定在网框上,采用 手工或者光化学的方法,在丝网上制作出能透过油墨 的图文部分和网孔封闭不能透过油墨的非图文部分。 印刷时将油墨放于印版一侧,用刮墨板(刮刀)在丝 网印版上的油墨部位施加一定压力,同时向丝网的另 一端移动。在此过程,油墨在刮刀的挤压下从图文部 分的丝网通孔中漏至承印物上,从而完成一色印刷。
太阳能电池丝网印刷简介

IV区旳构成
IV区主要涉及丝网印刷、烧结和 测试这三部分,成品电池片在这一道 工序完毕。
丝网印刷目旳
▪ 利用丝网印刷,将具有金属旳导电浆料透过丝 网网孔压印在硅片上形成电路或电极,将光生 电子导出电池。把金属浆料印在已形成p-n结 旳多晶硅硅片上,分别印刷背面银铝浆,形成 背电极,有利于组件旳焊接。第二道印刷铝浆 进行重掺杂,形成P+层。铝背场降低载流子复 合,搜集正电荷,增大开压。第三道印刷银浆, 有利于电荷旳搜集,形成上电极。
试机直接与分选机通讯,经过分选机把电池片放置在预先拟定 旳目旳仓中。
BERGER系统旳构成:
1. 灯 2. 灯电源 3. 电池测试盒 4. 测温组件
电流-电压曲线
蓝线为灯发光强度E=1000W/m2旳测量曲线 红线为灯发光强度E=500W/m2旳测量曲线
电流-电压曲线参数简介
Isc 短路电流 Voc 开路电压 Pmpp 最大功率 Vmpp 最大功率相应旳最大电压 Impp 最大功率相应旳最大电流 Rs 串联电阻 FF 填充因子 Rsh 并联电阻
• 该功能举起上部到它最高旳位置。这是唯一旳使在丝网和印刷巢中 间有足够旳空间来清洗丝网旳下腹。该操作区域旳LED表白:
• 绿色:设备处于清洗位置。 • 灰色:设备没有处于清洗位置。
❖ 该功能用于携带刮刀机构,上部和丝网单元到它们各自旳基准位置。 基准位置是能够开启自动模式旳位置。操作区域旳LED表白如下:
丝网印刷旳定位
。经过网板固定架上旳三个轴(X轴及两角旳旋转轴)自动调整网 板旳位置,使其与硅片对正
旋转轴1
X 轴
旋转轴2
印刷旳有关参数
印刷压力:用于在印刷时提供给刮刀垂直力,以确保在印刷过程 中能把浆料经过网孔刮到硅片上。刮刀压力越小,填入网孔 旳墨量就越多。
太阳能电池丝网印刷简介

行电池位置的视觉检查。该操作区域的LED表面:
• •
绿色:中间传送带上有一个太阳电池并且位于印刷巢。 灰色:中间传送带上没有太阳电池。
该功能放低设备上部(印刷头)到印刷位置。当一个太阳电池在原位时,该功能只能 在参数菜单内执行,因为禁止印刷到空的印刷台。但是如果没有电池在位置上,在 OPS菜单放低上部是可能的,因为对于调整丝网这是必须的。当在OPS菜单上将上部放 低,丝网位置将自动调整,以便使丝网的基准在摄像头的视野中可见。该操作区域的 LED表明:
硅片经过三次印刷工序后的效果图
背银印刷
背铝印刷
正银印刷
IV区生产流程
上料→边缘碎片检测→背电极印刷→人
工检测→烘干→缓冲存储器→背面铝印 刷→人工检测→烘干→缓冲存储器→翻 转电池片→正银栅线印刷→自动检测→ 烧结→缓冲存储器→冷却→测试→分类 →包装
丝网印刷原理
丝网印刷由五大要素构成,即丝网、刮刀、浆料、工作台以及基
刮刀截面:对刮刀的截面形状来说,刮刀边越锐利,线接触越细, 出墨量就越少;边越圆,出墨量就越多。
4. 水平烘干炉 (ICS03H)
烘干炉有五个不同的红外加热区,电池片经过预热,加热,冷却后传送到下 道工序。
烘干: 烘干金属浆料中的有机溶剂,通过共融
烧结使得金属电极和硅材料形成良好的 接触
硅片传送采用金属网带;加热采用红外加热管;烘干炉上部有排风管
5. 堆栈存储单元 (SMP01)
此设备配备有一个可以容纳最多60片电池片的花篮,在下游设备出现故障时 有时,电池片可存入缓冲器,在上游设备出现故障时,花篮中存有的电池片 可继续向下游传送,起到了缓冲作用,提高了印刷生产线的效率。在正常生 产时此设备作普通传送带用。
晶体硅太阳能电池丝网印刷工艺培训

21
粘网
• 产生原因
1. 印刷压力过小。 2. 丝网间隙过小。 3. 浆料黏度过大。 4. 刮胶角度过小或刮胶刃口
磨损。 5. 印刷速度过快。 6. 网版张力不够。 7. 印刷台面真空吸力不够。
• 解决方法
1. 加大印刷压力。 2. 加大丝网间隙。 3. 浆料搅拌适当时间。 4. 重新安装或更换刮胶。 5. 降低印刷速度。 6. 更换网版。 7. 调大真空吸力。
隐裂。
• 解决方法 1. 降低印刷压力。 2. 调松定位夹具。 3. 清理台面。 4. 切换合格硅片。 5. 查找具体原因。
印刷偏移
• 产生原因 1. 网版未对准。 2. 定位夹具精度不够。 3. 硅片尺寸不一。 4. 硅片重量差异过大。
• 解决方法 1. 重新对网版。 2. 调整定位夹具。 3. 切换合格硅片。 4. 切换合格硅片。
浆料
浆料是由功能组份、粘结组份和有机载体组成的一 种流体,功能组份一般为贵金属或贵金属的混合物。载 体是聚合物在有机溶剂中的溶液。功能组份决定了成膜 后的电性能和机械性能。载体决定了厚膜的工艺特性, 是印刷膜和干燥膜的临时粘结剂。功能组份和粘结组份 一般为粉末状,在载体中进行充分搅拌和分散后形成膏 状的厚膜浆料。烧结后的厚膜导体是由金属与粘结组份 组成。
缺印
• 产生原因 1. 浆料未及时添加。 2. 丝网间隙过大。 3. 印刷压力过小。 4. 硅片表面有异物。 5. 硅片厚薄不均。
• 解决方法 1. 及时添加浆料。 2. 降低丝网间隙。 3. 加大印刷压力。 4. 清除异物。 5. 切换合格硅片。
电池片的电性能数据
Uoc
Isc
Eff
FF
2020/10/11
厚薄不均
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晶体硅太阳能电池的丝网印刷技术详解
生产晶体硅太阳能电池最关键的步骤之一是在硅片的正面和背面制造非常精细的电路,将光生电子导出电池。
这个金属镀膜工艺通常由丝网印刷技术来完成——将含有金属的导电浆料透过丝网网孔压印在硅片上形成电路或电极。
典型的晶体硅太阳能电池从头到尾整个生产工艺流程中需要进行多次丝网印刷步骤。
通常,有两种不同的工艺分别用于电池正面(接触线和母线)和背面(电极/钝化和母线)的丝网印刷。
【表1】
表1:晶体硅太阳能电池的制造需要进行多次丝网印刷步骤。
应用材料公司Baccini产品可以帮助实现绿色框中的步骤。
多年来,太阳能丝网印刷设备在精度和自动化方面有了很大进步,具备了在微米级尺寸上重复进行多次印刷的能力。
这一发展开创了全新的先进应用,如双重印刷和选择性发射极金属镀膜。
Baccini公司在20世纪70年代在微电子领域开发了丝网印刷技术,并在20世纪80年代将这一技术扩展到太阳能金属镀膜领域。
今天,Baccini公司已成为应用材料公司Baccini集团,以多项先进技术引领业界的发展。
基本的太阳能丝网印刷
印刷过程从硅片放置到印刷台上开始。
非常精细的印刷丝网固定在网框上,放置在硅片上方;丝网封闭了某些区域而其它区域保持开放,以便导电浆料能够通过【图2】。
硅片和丝网的距离要严格地控制(称为印刷间隙)。
由于正面需要更加纤细的金属线,因此用于正面印刷的丝网其网格通常比用于背面印刷的要细小得多。
表2:印刷丝网上包含打开和闭合的区域,通过打开的区域,导电浆料可以被印刷到硅片上。
把适量的浆料放置于丝网之上,用刮刀涂抹浆料,使其均匀填充于网孔之中。
刮刀在移动的过程中把浆料通过丝网网孔挤压到硅片上【图3】。
这一过程的温度,压力,速度和其他变量都必须严格控制。
表3:在丝网一端放置导电浆料,用刮刀在将浆料涂抹于丝网,并从网孔中挤压到硅片上。
每次印刷步骤后,硅片被放入烘干炉,使导电浆料凝固。
接着,硅片被送入另一个不同的印刷机,在其正面或背面印制更多的线路。
所有印刷步骤完成后,将硅片放入高温炉里烧结。
硅片正面和背面的印刷
每块太阳能电池的正面和背面都有通过丝网印刷淀积的导线【图4】,它们的功能是不同的。
正面的线路比背面的更细;有些制造商会先印刷背面的导
电线,然后将硅片翻过来再印刷正面的线路,从而最大程度地降低在加工过程中可能产生的损坏。
在正面(面向太阳的一面),大多数晶体硅太阳能电池的设计都采用非常精细的电路(“手指线”)把有效区域采集到的光生电子传递到更大的采集导线——“母线”上,接着再传递到组件的电路系统中。
正面的手指线要比背面的线路细得多(窄到80μm)。
正因为如此,正面的印刷步骤需要更高的精度和准确性。
图4:印刷后硅片正面会有大小不同的导线,用来从有效区域采集电能。
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硅片的背面和正面的印刷要求是不同的,技术上也不那么严格。
背面印刷的第一步工序是淀积一层以铝为基础的导电材料,而不是非常细的导电栅。
同时,能够将没有捕捉到的光反射回电池上。
这一层也能“钝化”太阳能电池,封闭多余分子路径,避免流动电子被这些空隙所捕捉。
背面印刷的第二步是制造母线,和外部电路系统相连接【图5】。
图5:背面的母线通过焊接可以实现和外部的连接。
新一代丝网印刷的应用
如今晶体硅太阳能电池的平均转化效率是15%,业界的发展目标是将转化效率提高到20%以上,丝网印刷设备能够提供多种方法帮助实现这一目标。
实现更高的转化效率可以从以下两个方面入手:电池工艺(创造出能够将光能转化为电能的有效区域)和金属镀膜(形成导电金属线)。
双重印刷
电池正面导电线路的一个负面效应是阴影:导线阻挡了少量阳光,使其无法进入电池的有效区域,从而降低了转化效率【图6】。
为了将这种阴影效应降到最低,导线必须尽可能做到最窄。
然而,为了保持足够的导电性,线条的高度必须增加,这样才能保持同样的横截面积。
实现更细,更高导线横截面的解决方案就是将多条导线重叠印刷。
这就意味着丝网印刷机必须能够高准确度、高重复性地印刷非常细小的线条——当前的标准线条小到80μm——相当于人类一根头发丝的平均厚度。
图6:导线阻挡光线,使其无法到达电池有效区域
现在大多数导线烧结后的尺寸是110-120μm宽,12-15μm高。
这样尺寸的线条由于阴影效应带来的转化效率损失大约为1.29%。
要减少这一损耗,导线宽度必须降低;同时,需要增加导线横截面的高度,以此优化导电性能。
【图7】。
导线横截面尺寸从110μm宽/12μm高转变为80μm宽/30μm高之后,潜在的转化效率绝对增益为0.5%。
图7:降低线条宽度减少了有效区域的阴影,从而提高潜在转化效率
应用材料公司Baccini的方法是用两台不同的印刷机将两种材料进行重叠印刷。
这一最新的工艺在实际生产环境下实现了80μm宽、平均30μm高的导线横截面尺寸。
这种方法减少了大约20%的阴影损失,相应的也降低了电阻系数。
通过在现有生产线上增加一台额外的丝网印刷机和烘干炉,就能非常方便地以一种具有成本效益的方式实现多次印刷工艺。
导线双重印刷(和其它的先进印刷应用)最关键的一点在于对准精度,因为第二层印刷物必须非常精准地置于第一层之上。
应用材料公司Baccini的最新研发成果使第二层印刷物的对齐精度达到+/‐15μm。
这一技术采用了新型的高分辨率照相机和新的软件算法,具有自动调整程序,并可以在印刷初始阶段进行额外控制。
此外,浆料配方和丝网设计必须经过仔细的共同优化,从而最大限度地实现丝网印刷的硬件和工艺效能。
选择性发射极
另外一个新兴的应用是选择性发射极技术——在丝网印刷的金属线下精确地制造一个重度掺杂的n+区域,以便进一步降低接触电阻,从而实现转化效率的提高。
【图8】
图8:选择性发射极是一个直接位于金属线下的重度掺杂区域
制作这些发射极区域有好几种技术。
每一种都要求高精度和高重复性的多重印刷步骤。
此外,发射极区域必须略宽于上方的金属线:对于100μm宽的金属线来说,最优化的发射极区域宽度为150μm左右。
很关键的一点是后续的金属线必须非常精确地直接放置在发射极区域之上,否则,就会失去它的效率优势。
应用材料公司Baccini的丝网印刷技术在成熟度、对准精度、低成本和高速度方面都具有优势,是实现这种电池工艺的理想选择。
丝网印刷的生产力
随着太阳能光伏产业的生产规模越来越大、工艺步骤越来越多(以获取更高效率),很多问题——包括高产量和处理更薄硅片的能力等——变得越来越重要。
目前,晶体硅太阳能电池工厂的产量约为1500硅片/小时(每条生产线),业界的目标是在不久的将来实现至少3000硅片/小时。
这需要使用非常先进的机械自动化技术以最小的破片率高速处理硅片。
这就意味在丝网印刷工艺中如丝网放置,浆料涂布和刮刀移动都需要以更快的速度进行,同时,线条的宽度和对齐方式必须保持原有精度甚至更加精确。
硅片越来越薄(因此更加易碎)的趋势推动了“软”处理技术的发展,以此保持低破片率和高良率。
应用材料公司Baccini以其高速软处理技术和最低破片率成为享誉业界的领导者。
拥有数十年经验的工程师团队正致力于开发多项技术创新,从而保持Baccini丝网印刷设备在超薄硅片处理领域的领导地位。
结论。