电子特种气体基础知识
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特种设备安全教育和基础知识培训(115页)
按工作介质不同可分为：以水为介质的蒸汽锅炉、热 水锅炉，以导热油为介质的有机热载体锅炉；
按结构形式可分为：立式锅炉、卧式锅炉；锅壳锅炉、 水管锅炉、组合锅炉，快装、组装和散装锅炉等。
按制造许可级别分为A、B、C、D四级（《锅炉压力容 器制造监督管理办法》总局22号令）：
A级锅炉 ――参数不限 B级锅炉――额定蒸汽压力P≤2.5MPa的蒸汽锅炉；额
安全附件、阀门仪表和附属设备：主要包括安全阀、压力 表、水位表、温度计、自动控制联琐保护装置；各类阀门、 测控仪表、给水设备、送风机、引风机、除尘器、输煤与 出渣设备等。
通常，也把锅炉分为本体（锅筒、水冷壁管、集箱、过热 器、再热器和省煤器、炉膛、炉墙、钢架等）和辅机（给 水设备、送风机、引风机、除尘器、输煤与出渣设备等） 两大部分。
锅炉产生蒸汽或热水需要以下三个过程： ◦ 燃料的燃烧过程：燃料在炉膛内燃烧放出热量的过程。 ◦ 传热过程：燃料燃烧后产生的热量，通过受热面传递给 锅内的水或蒸汽的过程。 ◦ 水的加热、汽化、分离和蒸汽的过热过程：锅内的水吸 收热量转换成具有一定温度和压力的热水或蒸汽以及蒸 汽进一步转变成过热蒸汽的过程。
定义：是指盛装气体或者液体，承载一定压力的
密闭设备。其范围规定为最高工作压力大于或者 等于0.1ＭＰａ（表压）的气体、液化气体和最高
工作温度高于或者等于标准沸点的液体、容积大 于或者等于30L且内直径大于或者等于150mm的
固定式容器和移动式容器；盛装公称工作压力大 于或者等于0.2ＭＰａ（表压），且压力与容积的 乘积大于或者等于1.0ＭＰａ.Ｌ的气体、液化气 体和标准沸点等于或者低于６０℃液体的气瓶； 氧舱等。
压力表 显示压力就是锅炉的工作状态，提示操 作人员采取措施。压力表应每半年校验一次。
按结构形式可分为：立式锅炉、卧式锅炉；锅壳锅炉、 水管锅炉、组合锅炉，快装、组装和散装锅炉等。
按制造许可级别分为A、B、C、D四级（《锅炉压力容 器制造监督管理办法》总局22号令）：
A级锅炉 ――参数不限 B级锅炉――额定蒸汽压力P≤2.5MPa的蒸汽锅炉；额
安全附件、阀门仪表和附属设备：主要包括安全阀、压力 表、水位表、温度计、自动控制联琐保护装置；各类阀门、 测控仪表、给水设备、送风机、引风机、除尘器、输煤与 出渣设备等。
通常，也把锅炉分为本体（锅筒、水冷壁管、集箱、过热 器、再热器和省煤器、炉膛、炉墙、钢架等）和辅机（给 水设备、送风机、引风机、除尘器、输煤与出渣设备等） 两大部分。
锅炉产生蒸汽或热水需要以下三个过程： ◦ 燃料的燃烧过程：燃料在炉膛内燃烧放出热量的过程。 ◦ 传热过程：燃料燃烧后产生的热量，通过受热面传递给 锅内的水或蒸汽的过程。 ◦ 水的加热、汽化、分离和蒸汽的过热过程：锅内的水吸 收热量转换成具有一定温度和压力的热水或蒸汽以及蒸 汽进一步转变成过热蒸汽的过程。
定义：是指盛装气体或者液体，承载一定压力的
密闭设备。其范围规定为最高工作压力大于或者 等于0.1ＭＰａ（表压）的气体、液化气体和最高
工作温度高于或者等于标准沸点的液体、容积大 于或者等于30L且内直径大于或者等于150mm的
固定式容器和移动式容器；盛装公称工作压力大 于或者等于0.2ＭＰａ（表压），且压力与容积的 乘积大于或者等于1.0ＭＰａ.Ｌ的气体、液化气 体和标准沸点等于或者低于６０℃液体的气瓶； 氧舱等。
压力表 显示压力就是锅炉的工作状态，提示操 作人员采取措施。压力表应每半年校验一次。
特种设备安全基础知识
特殊设备安全基础知识一、特殊设备（一）特殊设备的种类和分类，特殊设备安全性工作原理及特点，特殊设备的安全强度概念及承压设备用材料、焊接安全特点，承压设备承载介质安全特点；特殊设备种类和分类：有锅炉、压力容器(含气瓶)、压力管道、电梯、起重机械、客运索道、大型游乐设施等共七类。
其中锅炉、压力容器(含气瓶)、压力管道属于承压类，电梯、起重机械、客运索道、大型游乐设施属于机电类。
特殊设备安全性工作原理及特点：锅炉安全工作特性：(1)爆炸危险。
(2)容易损坏。
(3)使用的普遍性。
(4)连续运行。
压力容器的安全工作特性：和锅炉有相似之处，例如，由于高温和高压，存在爆炸风险和脆弱性。
此外，还可能由于介质易燃、有毒或腐蚀性，当发生泄漏时，可引发火灾、大面积中毒等严重事故。
电梯的安全工作特性：电梯可能存在的危险通常是：人员被挤压、剪切、撞击和发生坠落；人员被电击、轿厢超过极限行程并发生碰撞；轿厢超速或因断绳造成坠落；由于材料失效、强度丧失而造成结构破坏等。
起重机械的安全工作特性：起重机械包括轻型和小型起重设备、起重机、升降机三类，其工作特点可概括为以下7点：(1)起重机械通常具有庞大的结构和相对复杂的机构，能完成一个起升运动、一个或几个水平运动。
(2)有很多种重物需要吊起，载荷是变化的。
(3)大多数起重机械，需要在大范围内操作，活动空间较大。
(4)有些起重机械，需要直接载运人员在导轨、平台或钢丝绳上的提升运动(如电梯、升降平台等)，其可靠性直接影响人身安全。
(5)暴露的、活动的零部件较多，经常与起重作业人员直接接触(如吊钩、钢丝绳等)，潜在许多偶发的危险因素。
(6)复杂的工作环境。
(7)在手术中经常需要许多人合作，共同进行一个操作。
上述许多风险因素的存在，决定了起重伤害事故较多。
大型娱乐设施和客运索道：由于载人且运动范围较大，任何由电气或机械故障引起的运动状态变化都可能导致人员伤亡。
承压设备用材：钢材，按化学成分可分为碳钢和合金钢，按金相组织分可分成珠光体钢、贝氏体钢、奥氏体钢、铁素体钢。
机电类特种设备基础知识
04
节能环保发展趋势
01
节能技术：提高能源利用效率，降低能耗
02
环保技术：减少污染物排放，降低环境污染
03
绿色制造：采用环保材料，减少生产过程中的污染
04
智能控制：实现设备的智能控制，提高能源利用效率
05
循环经济：实现资源的循环利用，减少资源浪费
06
清洁能源：推广使用清洁能源，减少化石能源的消耗
安全可靠性发展趋势
智能化发展趋势
智能化控制：通过传感器、控制器等设备实现设备的自动控制和调节
01
预测性维护：利用大数据和人智能技术对设备进行预测性维护，降低设备的故障率和维修成本
03
远程监控与诊断：通过网络技术实现设备的远程监控和诊断，提高设备的运行效率和安全性
02
自动化与无人化：通过机器人技术和自动化技术实现设备的自动化和无人化操作，提高生产效率和安全性
04
特种设备的分类
锅炉：用于生产蒸汽或热水的设备，包括蒸汽锅炉、热水锅炉等。
压力容器：用于储存、运输、使用气体或液体的设备，包括储气罐、储油罐等。
压力管道：用于输送气体或液体的设备，包括输气管道、输油管道等。
起重机械：用于起重、搬运、装卸的设备，包括起重机、电动葫芦等。
客运索道：用于运送乘客的设备，包括缆车、索道等。
03
定期对设备进行维护保养，确保设备安全可靠
05
安装过程中，应严格按照安装说明书进行，确保安装质量
02
使用过程中，应按照操作规程进行操作，确保安全使用
04
发现设备异常情况，应立即停止使用，并通知专业人员进行检查和维修
06
维护保养安全
定期检查：定期对特种设备进行检查，确保设备安全运行
节能环保发展趋势
01
节能技术：提高能源利用效率，降低能耗
02
环保技术：减少污染物排放，降低环境污染
03
绿色制造：采用环保材料，减少生产过程中的污染
04
智能控制：实现设备的智能控制，提高能源利用效率
05
循环经济：实现资源的循环利用，减少资源浪费
06
清洁能源：推广使用清洁能源，减少化石能源的消耗
安全可靠性发展趋势
智能化发展趋势
智能化控制：通过传感器、控制器等设备实现设备的自动控制和调节
01
预测性维护：利用大数据和人智能技术对设备进行预测性维护，降低设备的故障率和维修成本
03
远程监控与诊断：通过网络技术实现设备的远程监控和诊断，提高设备的运行效率和安全性
02
自动化与无人化：通过机器人技术和自动化技术实现设备的自动化和无人化操作，提高生产效率和安全性
04
特种设备的分类
锅炉：用于生产蒸汽或热水的设备，包括蒸汽锅炉、热水锅炉等。
压力容器：用于储存、运输、使用气体或液体的设备，包括储气罐、储油罐等。
压力管道：用于输送气体或液体的设备，包括输气管道、输油管道等。
起重机械：用于起重、搬运、装卸的设备，包括起重机、电动葫芦等。
客运索道：用于运送乘客的设备，包括缆车、索道等。
03
定期对设备进行维护保养，确保设备安全可靠
05
安装过程中，应严格按照安装说明书进行，确保安装质量
02
使用过程中，应按照操作规程进行操作，确保安全使用
04
发现设备异常情况，应立即停止使用，并通知专业人员进行检查和维修
06
维护保养安全
定期检查：定期对特种设备进行检查，确保设备安全运行
气体设备的基础知识
25
34
1.65 2.8
3
3.4
32
42.7 1.65 2.8
3
3.6
40
48.6 1.65 2.8
3
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50
60.5 1.65 2.8 3.5 3.9
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76.3
2.1
3
3.5 5.2
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2.1
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5.5
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5.7
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114.3 2.1
3
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125
小流量），低压气动KITZ VLD8C（中小流量），低压手动KITZ VLD4MS（小流量），低压气动KITZ VLD4C（小流量）。 ➢ VCR Fitting：对于gland，Mini Elbow ，Mini Tee一般采用TK生产的SS316 EP级。Hamlet生产的 VIM+VAR EP级。VCR Gasket现在全部采用NI材质的EP级。 ➢ 调压阀：在GC中一般选择AP1410TS，VMB中选择AZ1010S。
阀门结露 流量开关
Page No. 5
BSGS
可选项简述 2、UV/IR火焰 3、感温装置 4、感烟装置
这三个选项根据介质的属性判断是否使用， 一旦气体泄漏，发生危险时，立即发出警告，信号给到 控制器，关断使用设备，避免更多的危害产生
感温探测器
火焰侦测器 感烟探测器
Page No. 6
BSGS
可选项简述 5、管线伴热
Page No. 21
Swagelok，let-lok，卡套
• 卡套接口是Swagelok公司发明的一种连接方式，因此又称为Swagelok连接方 式，我们也说let-lok连接方式
(汇总)电子特气基础知识.ppt
9600 11
1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
1250
5
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
控制方法：
➢ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ➢ 对氟气应用系统进行金属钝化 ➢ 远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓压力 ✓毒性 ✓腐蚀性 ✓自燃性 ✓燃烧性 ✓氧化性 ✓窒息性 ✓深冷性
3ห้องสมุดไป่ตู้
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
➢废物处理
6
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓腐蚀性气体
对人体组织器官的破坏：
➢皮肤 ➢眼睛 ➢呼吸道 ➢组织器官
腐蚀性气体中毒的途径：
➢呼吸 ➢皮肤接触 ➢消化系统
分类：
➢酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ➢碱性 : NH3
7
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA
PPM
1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
1250
5
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
控制方法：
➢ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ➢ 对氟气应用系统进行金属钝化 ➢ 远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓压力 ✓毒性 ✓腐蚀性 ✓自燃性 ✓燃烧性 ✓氧化性 ✓窒息性 ✓深冷性
3ห้องสมุดไป่ตู้
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
➢废物处理
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓腐蚀性气体
对人体组织器官的破坏：
➢皮肤 ➢眼睛 ➢呼吸道 ➢组织器官
腐蚀性气体中毒的途径：
➢呼吸 ➢皮肤接触 ➢消化系统
分类：
➢酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ➢碱性 : NH3
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA
PPM
高压试验-第二章 电气绝缘基础知识
电弧放电
放电电流密度大，温度高，具有亮而细长放电 弧道，弧道电阻小，似短路 放电回路阻抗大，放电时断时续
500千伏线路进行短路试验
火花放电
20
外电路阻抗大，压降大，间隙多次被击穿
电气绝缘基础知识
第一节 气体介质的绝缘特性
八、气体放电的不同形式
极不均匀电场环境中
电晕放电
空气间隙电场极不均匀，在电极附近强电场处 出现的局部空气游离发光现象，电流小，整个 空气间隙并未击穿，仍能耐受电压作用 电晕放电后压力增大，产生刷状放电
26
电气绝缘基础知识
第二节 液体介质的绝缘特性 电气设备对液体介质的要求 电气性能好：如绝缘强度高、电阻率 高、介质损耗及介电常数小（电容器则要 求介电常数高）； 散热及流动性能好：即粘度低、导热 好、物理及化学性质稳定、不易燃、无毒 等。
27
电气绝缘基础知识
第二节 液体介质的绝缘特性
一、液体绝缘介质的种类
矿物油
29
电气绝缘基础知识
第二节 液体介质的绝缘特性
一、液体绝缘介质的种类
有些纯净的植物油也具有良好的电气绝缘性能。 例如蓖麻油，由于其绝缘性能好，介电系数 ε 较 高，因此也可用作电力电容器的浸渍剂，此外， 如广泛使用的绝缘漆，也是由植物液体加工制成， 在变压器等电气设备中普遍使用。 由人工合成的液体绝缘材料。由于矿物绝缘油是 多种碳氢化合物的混合物，难以除净降低绝缘性 能的成分，且制取工艺复杂，易燃烧，耐热性低， 因而人们研究、开发了多种性能优良的合成油。 如有机硅油和十二烷基苯等。
流注理论：
前部电场加强Leabharlann 碰撞游离 反击发 复合电子崩
中部电场减弱 尾部电场加强
两侧
崩尾 产生光子
气体充装安全技术第一至第三
低压液化气体 临界温度大于70℃的气体。如氨、 液化石油气、氯等。（丙烷为92.67 ℃）
溶解气体 在压力下溶解于瓶内溶剂中的气体。如 溶解于瓶内丙酮中的乙炔。（我国只有一种）
吸附气体 吸附于气瓶内吸附剂中的气体。这是一种 以固态形式替代压缩状态或深泠液化状态形式贮 运的气体，目前只有氢气一种。
瓶装气体 以压缩、液化、溶解、吸附形式装瓶贮运 的气体。
一、燃烧性与爆炸性 ㈠燃烧、爆炸的基本概念 1、燃烧、爆炸的共同点
燃烧和爆炸本质上都是可燃物质的氧化反应。
可燃物质、助燃物、点火源三个基本条件互相 作用，燃烧才能发生。火源是指一定温度和热量 的能源。三个基本条件又称燃烧三要素。
2、燃烧与爆炸的异同点
⑴燃烧与爆炸的区别在于氧化速度的不同。
⑵决定氧化速度的因素是在点火前可燃物质与助燃 剂的混合程度。
㈡临界压力
气体在临界温度下，使其液化所需最小压力， 称为临界压力。通常用符号“PC”来表示。 ㈢临界密度
气体在临界温度和临界压力下的密度，称为 临界密度。通常有符号“ρc”来表示。因为不同 气体的临界温度和临界压力各不相同，所以它们
近似的地反映实际气体的性质。
㈣理想气体
严格遵从玻-马定律、查理定律和盖·吕萨克定律 的气体，称为理想气体。
1000Pa=103Pa=1KPa 1000000Pa=106Pa=1MPa（兆帕）=1N/mm2
㈢常见的几种压力单位及其换算
目前，常见的压力单位有：
⑴标准大气压。标准大气压又称物理大气压，单位 符号为“atm”。物理学上把纬度45°的海平面上 大气压1.033kgf/m2或760毫米汞柱（mmHg）称为1 个标准大气压。它与Pa的关系是： 1atm=0.101325MPa
溶解气体 在压力下溶解于瓶内溶剂中的气体。如 溶解于瓶内丙酮中的乙炔。（我国只有一种）
吸附气体 吸附于气瓶内吸附剂中的气体。这是一种 以固态形式替代压缩状态或深泠液化状态形式贮 运的气体，目前只有氢气一种。
瓶装气体 以压缩、液化、溶解、吸附形式装瓶贮运 的气体。
一、燃烧性与爆炸性 ㈠燃烧、爆炸的基本概念 1、燃烧、爆炸的共同点
燃烧和爆炸本质上都是可燃物质的氧化反应。
可燃物质、助燃物、点火源三个基本条件互相 作用，燃烧才能发生。火源是指一定温度和热量 的能源。三个基本条件又称燃烧三要素。
2、燃烧与爆炸的异同点
⑴燃烧与爆炸的区别在于氧化速度的不同。
⑵决定氧化速度的因素是在点火前可燃物质与助燃 剂的混合程度。
㈡临界压力
气体在临界温度下，使其液化所需最小压力， 称为临界压力。通常用符号“PC”来表示。 ㈢临界密度
气体在临界温度和临界压力下的密度，称为 临界密度。通常有符号“ρc”来表示。因为不同 气体的临界温度和临界压力各不相同，所以它们
近似的地反映实际气体的性质。
㈣理想气体
严格遵从玻-马定律、查理定律和盖·吕萨克定律 的气体，称为理想气体。
1000Pa=103Pa=1KPa 1000000Pa=106Pa=1MPa（兆帕）=1N/mm2
㈢常见的几种压力单位及其换算
目前，常见的压力单位有：
⑴标准大气压。标准大气压又称物理大气压，单位 符号为“atm”。物理学上把纬度45°的海平面上 大气压1.033kgf/m2或760毫米汞柱（mmHg）称为1 个标准大气压。它与Pa的关系是： 1atm=0.101325MPa
机电类特种设备基础知识
定期检验与检查
特种设备应按照国家规定进行定 期检验，确保其安全性能符合标 准。同时，使用单位应定期对设 备进行检查，发现问题及时处理 。
操作人员培训
操作特种设备的人员必须经过专 业培训，掌握设备的结构、性能 、操作规程等知识，并取得相应 的操作资格证书。
事故原因分析与预防措施
01
机械故障与预防措施
压力容器维护保养
压力容器的安全使用与维护保养
01
定期对容器进行检查、清洗、的外观、附件、紧固
件等。
03
对发现的问题及时采取措施进行维修或更换。
压力管道的安全使用与维护保养
压力管道使用前的准备 检查管道是否符合设计要求，管道的支架、支撑和固定是否牢固可靠。 检查管道是否有损伤、变形、泄漏等现象。
环境因素与预防措施
环境因素也可能导致特种设备事故的发生。为预防环境因 素，使用单位应加强对设备的维护保养，确保设备的适应 性和稳定性。同时，建立完善的环境监测系统，及时发现 和处理环境问题。
事故案例分析
案例一
某钢铁企业一台高压蒸汽管道发生爆炸 事故，造成多人伤亡和重大财产损失。 经调查发现，该设备存在严重安全隐患 ，未及时进行检查和维护保养是导致事 故发生的主要原因之一。
工作原理
场（厂）内机动车辆主要通过发动机提供动力，通过传动系统将动力传递到车轮，从而实现车辆的行驶和转向。
04
机电类特种设备的安全使用与 维护保养
压力容器的安全使用与维护保养
01
压力容器使用前的准备
02
认真检查容器是否符合使用条件，如容器是否清洁 、容器和附件是否完好等。
03
按照容器上标明的压力等级和介质使用，不得超压 、超温使用。
在生产过程中，特种设备能够承担各种重型、精密、危险 性作业，提高生产效率和质量，对于企业来说是不可或缺 的生产工具。
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4. 化学危害：
D毒性气体：
z中毒形式：
•急性 – 短期的, 高浓度，即时的效果．中毒很快发生并对人体 立即造成伤害．如： CO; AsH3; PH3; Cl2…… •几种术语:
TLV: TLV-TWA: STEL: LC50: LD50:
•慢性 – 长期反复接触造成的中毒效果，通常经过很长时间才会 慢慢显现出来．
z 氢气- 特别注意
¾ 低激发能源 ¾ 宽的燃烧范围 ¾ 通常情况下视为自燃气体 ¾ 快的扩散速度
z 控制方法( 防止火三角的ignition形成)
应距离可燃物, 氧化剂,激发能源至少20英尺. ¾ 限制;可燃物; 氧化剂; 激发能源 ¾ 气体泄漏探测系统 ¾ 通风良好
9
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
¾ 当氧含量少于１２％时，会导致快速失去知觉甚至死亡. ¾ 在正常大气压力下, 氧气浓度不应低于 19.5% ¾ 例如:
• Nitrogen • Argon • lium • Sulfur Hexafluoride, etc.
¾ 气体浓度在其燃烧范围内; ¾ 氧化介质如：空气或氧气; 及： ¾ 激发能源
z 燃烧极限：
¾ 燃烧下限( LFL):4.0% （对于氢气）
¾ 燃烧上限 (UFL):75% （对于氢气） z 例如：
¾ Hydrogen, Carbon Monoxide; Methane; Propane; Ethylene, Acetylene
z 定义: 能够加速燃烧或使可燃物质燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性．
z 例如:
¾ Oxygen ¾ Fluorine ¾ Chlorine ¾ Nitrous Oxide( Unstable) ¾ Nitrogen Oxide ¾ Chlorine Trifluoride ¾ Nitrogen Trifluoride
3
LC50
PPM/4 hour
N/A
9600 11 1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
1250
5
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
z中毒方式
¾呼吸 ¾皮肤吸收 ¾消化系统
z控制中毒的方法
¾控制库存 ¾充分通风
¾正常通风（开放式，自然通风） ¾Emergency（风机或排风扇强制通风） ¾监测系统 ¾环境监测器 ¾医疗检测 ¾个人防护用具
z 控制方法：
¾ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ¾ 对氟气应用系统进行金属钝化 ¾ 远离有机物质，，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 窒息性气体：
z 普通窒息性气体 (惰性气体) 定义: 毒性很低或根本无毒，但能取代空气，导致氧气缺乏的气体，也称做 惰性气体或不燃气体
z 控制方法: 同燃烧气体, 另外还有：
¾ 可能情况下用惰性气体稀释 ¾ 控制库存 ¾ 采取流量控制并采用充分的通风 ¾ 系统设计防止回流
8
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 燃烧气体：
z DOT 定义: 同空气混合形成浓度不超过１３％的可燃气体混和物的压缩气体，或其 空气混合物的燃烧范围不少于１２％的压缩气体，而不考虑其燃烧下限 ． 引燃燃烧气体需要同时具备三个条件:
9压力 9毒性 9腐蚀性 9自燃性 9燃烧性 9氧化性 9窒息性 9深冷性
3
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
D压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可 承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释 放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
9 自燃气体：
z 定义:
同环境空气接触能自行点火并燃烧的物质． 自燃物质的自燃 点通常低于环境温度．
z 例如:
¾ Disilane:低于54°C (130°F) ¾ Silane:极低 ¾ Phosphine:100°C (212°F) ¾ Diborane： 40 to 50°C (104-122°F) ¾ Germane:极低
9 惰性气体 • N2; He; Ar; Kr; Xe; CF4; C2F6; C3F8; CHF3……
2. 电子特种气体的危害
一般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛装或运输，每种气体 都有一种或两种以上的危害性．
2
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体的主要危险和危害性如下 :
可燃气体的燃烧范围
Gas
SiH4 NH3 H2 C2H2 CH4 PH3 B2H6 GeH4
Flammable Range 1.4~96% 15~27% 4~75% 2.5~82% 5~15% 1.6~98% 0.8~98% N/A
10
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 氧化性气体：
4
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA STEL
PEL
IDLH
PPM
PPM
PPM
PPM
CF4
N/A
N/A
N/A
N/A
NH3
20
35
300
SiH4
5
PH3
0.3
1
0.3
50
GeH4
0.2
0.2
B2H6
0.1
0.1
15
AsH3
0.05
0.05
¾废物处理
6
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9腐蚀性气体
z对人体组织器官的破坏：
¾皮肤 ¾眼睛 ¾呼吸道 ¾组织器官
z腐蚀性气体中毒的途径：
¾呼吸 ¾皮肤接触 ¾消化系统
z分类：
¾酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ¾碱性 : NH3
7
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
电子特种气体 基础知识
第一章：电子特种气体基础知识
1. 电子特种气体分类：
9 可燃气体 • SiH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3…….
9 氧化性气体 • O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO……
9 腐蚀性气体 • HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4; WF6; Cl2; SiHCl3; SiH2Cl2……
D毒性气体：
z中毒形式：
•急性 – 短期的, 高浓度，即时的效果．中毒很快发生并对人体 立即造成伤害．如： CO; AsH3; PH3; Cl2…… •几种术语:
TLV: TLV-TWA: STEL: LC50: LD50:
•慢性 – 长期反复接触造成的中毒效果，通常经过很长时间才会 慢慢显现出来．
z 氢气- 特别注意
¾ 低激发能源 ¾ 宽的燃烧范围 ¾ 通常情况下视为自燃气体 ¾ 快的扩散速度
z 控制方法( 防止火三角的ignition形成)
应距离可燃物, 氧化剂,激发能源至少20英尺. ¾ 限制;可燃物; 氧化剂; 激发能源 ¾ 气体泄漏探测系统 ¾ 通风良好
9
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
¾ 当氧含量少于１２％时，会导致快速失去知觉甚至死亡. ¾ 在正常大气压力下, 氧气浓度不应低于 19.5% ¾ 例如:
• Nitrogen • Argon • lium • Sulfur Hexafluoride, etc.
¾ 气体浓度在其燃烧范围内; ¾ 氧化介质如：空气或氧气; 及： ¾ 激发能源
z 燃烧极限：
¾ 燃烧下限( LFL):4.0% （对于氢气）
¾ 燃烧上限 (UFL):75% （对于氢气） z 例如：
¾ Hydrogen, Carbon Monoxide; Methane; Propane; Ethylene, Acetylene
z 定义: 能够加速燃烧或使可燃物质燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性．
z 例如:
¾ Oxygen ¾ Fluorine ¾ Chlorine ¾ Nitrous Oxide( Unstable) ¾ Nitrogen Oxide ¾ Chlorine Trifluoride ¾ Nitrogen Trifluoride
3
LC50
PPM/4 hour
N/A
9600 11 1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
1250
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
z中毒方式
¾呼吸 ¾皮肤吸收 ¾消化系统
z控制中毒的方法
¾控制库存 ¾充分通风
¾正常通风（开放式，自然通风） ¾Emergency（风机或排风扇强制通风） ¾监测系统 ¾环境监测器 ¾医疗检测 ¾个人防护用具
z 控制方法：
¾ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ¾ 对氟气应用系统进行金属钝化 ¾ 远离有机物质，，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 窒息性气体：
z 普通窒息性气体 (惰性气体) 定义: 毒性很低或根本无毒，但能取代空气，导致氧气缺乏的气体，也称做 惰性气体或不燃气体
z 控制方法: 同燃烧气体, 另外还有：
¾ 可能情况下用惰性气体稀释 ¾ 控制库存 ¾ 采取流量控制并采用充分的通风 ¾ 系统设计防止回流
8
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 燃烧气体：
z DOT 定义: 同空气混合形成浓度不超过１３％的可燃气体混和物的压缩气体，或其 空气混合物的燃烧范围不少于１２％的压缩气体，而不考虑其燃烧下限 ． 引燃燃烧气体需要同时具备三个条件:
9压力 9毒性 9腐蚀性 9自燃性 9燃烧性 9氧化性 9窒息性 9深冷性
3
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
D压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可 承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释 放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
9 自燃气体：
z 定义:
同环境空气接触能自行点火并燃烧的物质． 自燃物质的自燃 点通常低于环境温度．
z 例如:
¾ Disilane:低于54°C (130°F) ¾ Silane:极低 ¾ Phosphine:100°C (212°F) ¾ Diborane： 40 to 50°C (104-122°F) ¾ Germane:极低
9 惰性气体 • N2; He; Ar; Kr; Xe; CF4; C2F6; C3F8; CHF3……
2. 电子特种气体的危害
一般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛装或运输，每种气体 都有一种或两种以上的危害性．
2
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体的主要危险和危害性如下 :
可燃气体的燃烧范围
Gas
SiH4 NH3 H2 C2H2 CH4 PH3 B2H6 GeH4
Flammable Range 1.4~96% 15~27% 4~75% 2.5~82% 5~15% 1.6~98% 0.8~98% N/A
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 氧化性气体：
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA STEL
PEL
IDLH
PPM
PPM
PPM
PPM
CF4
N/A
N/A
N/A
N/A
NH3
20
35
300
SiH4
5
PH3
0.3
1
0.3
50
GeH4
0.2
0.2
B2H6
0.1
0.1
15
AsH3
0.05
0.05
¾废物处理
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9腐蚀性气体
z对人体组织器官的破坏：
¾皮肤 ¾眼睛 ¾呼吸道 ¾组织器官
z腐蚀性气体中毒的途径：
¾呼吸 ¾皮肤接触 ¾消化系统
z分类：
¾酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ¾碱性 : NH3
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电子特种气体 基础知识
第一章：电子特种气体基础知识
1. 电子特种气体分类：
9 可燃气体 • SiH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3…….
9 氧化性气体 • O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO……
9 腐蚀性气体 • HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4; WF6; Cl2; SiHCl3; SiH2Cl2……