精编电子特气基础知识
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(汇总)电子特气基础知识.ppt
9600 11
1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
1250
5
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
控制方法：
➢ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ➢ 对氟气应用系统进行金属钝化 ➢ 远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓压力 ✓毒性 ✓腐蚀性 ✓自燃性 ✓燃烧性 ✓氧化性 ✓窒息性 ✓深冷性
3ห้องสมุดไป่ตู้
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
➢废物处理
6
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓腐蚀性气体
对人体组织器官的破坏：
➢皮肤 ➢眼睛 ➢呼吸道 ➢组织器官
腐蚀性气体中毒的途径：
➢呼吸 ➢皮肤接触 ➢消化系统
分类：
➢酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ➢碱性 : NH3
7
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA
PPM
1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
控制方法：
➢ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ➢ 对氟气应用系统进行金属钝化 ➢ 远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓压力 ✓毒性 ✓腐蚀性 ✓自燃性 ✓燃烧性 ✓氧化性 ✓窒息性 ✓深冷性
3ห้องสมุดไป่ตู้
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
➢废物处理
6
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓腐蚀性气体
对人体组织器官的破坏：
➢皮肤 ➢眼睛 ➢呼吸道 ➢组织器官
腐蚀性气体中毒的途径：
➢呼吸 ➢皮肤接触 ➢消化系统
分类：
➢酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ➢碱性 : NH3
7
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA
PPM
厂务大宗气体及特殊气体系统知识
()：
利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氩气，因氩气在空气中含量仅0.93﹪，生产成本相对较高。
2 ()：
利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氢气。另外可由水电解方式解离H2＆O2，制程廉价但危险性高易触发爆炸，液化后易于运送储存。
()：
简单知识基本掌握
第一章气体概述
由于制程上的需要，在半导体工厂使用了许多种类的气体，一般我们皆依气体特性来区分，可分为一般气体（）与特殊气体（）两大类。
前者为使用量较大之气体，如N2、等，因用量较大，一般气体常以大宗气体称之。
后者为使用量较小之气体•一般指用量小,极少用量便会对人体造成生命威胁的气体，如4、3等
系
统
基
础
知
识
概述
专业认知
一、厂务系统定义
乃是藉由连接以传输使机台达到预期的功能。是将厂务提供的(如水,电,气,化学品等),经由预留之连接点( ),藉由管路及电缆线连接ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ机台及其附属设备( )。
机台使用这些,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物(如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。项目主要包括∶，，，，，，，, .
2.（配件）
3.（阀件）
4.（调压阀）
5.（逆止阀）
6.（过滤器）
7.（真空产生器）
8.其他
2.1.2选料依据：
•气体种类,气体特性
*影响材料使用的等级– / / / /….
•业主需求及预算
*有无指定厂牌或规格
•依机台所需用量及本身接点选定料件尺寸
*影响材料使用的尺寸–¼”/¾”/15A/…….
利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氩气，因氩气在空气中含量仅0.93﹪，生产成本相对较高。
2 ()：
利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氢气。另外可由水电解方式解离H2＆O2，制程廉价但危险性高易触发爆炸，液化后易于运送储存。
()：
简单知识基本掌握
第一章气体概述
由于制程上的需要，在半导体工厂使用了许多种类的气体，一般我们皆依气体特性来区分，可分为一般气体（）与特殊气体（）两大类。
前者为使用量较大之气体，如N2、等，因用量较大，一般气体常以大宗气体称之。
后者为使用量较小之气体•一般指用量小,极少用量便会对人体造成生命威胁的气体，如4、3等
系
统
基
础
知
识
概述
专业认知
一、厂务系统定义
乃是藉由连接以传输使机台达到预期的功能。是将厂务提供的(如水,电,气,化学品等),经由预留之连接点( ),藉由管路及电缆线连接ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ机台及其附属设备( )。
机台使用这些,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物(如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。项目主要包括∶，，，，，，，, .
2.（配件）
3.（阀件）
4.（调压阀）
5.（逆止阀）
6.（过滤器）
7.（真空产生器）
8.其他
2.1.2选料依据：
•气体种类,气体特性
*影响材料使用的等级– / / / /….
•业主需求及预算
*有无指定厂牌或规格
•依机台所需用量及本身接点选定料件尺寸
*影响材料使用的尺寸–¼”/¾”/15A/…….
电子基础知识培训资料
电容器的允许误差有用百分数的，也有用误差等级的。 对应关系：±1%---00级；±2%---0级； ±5%---Ⅰ级； ±10% ---Ⅱ级； ±20%---Ⅲ级。
2、额定工作电压
额定工作电压是指电容在电路中长期可靠地工作允许 的最高直流电压。电容工作在交流电路中时，交流电压的 峰值（最大值）不得超过额定工作电压。
code value code value code value code value code value code value code value code value 01 100 13 133 25 178 37 237 49 316 61 422 73 562 85 750 02 102 14 137 26 182 38 243 50 324 62 432 74 576 86 768 03 105 15 140 27 187 39 249 51 332 63 442 75 590 87 787 04 107 16 143 28 191 40 255 52 340 64 453 76 604 88 806 05 110 17 147 29 196 41 261 53 348 65 464 77 619 89 825 06 113 18 150 30 200 42 267 54 357 66 475 78 634 90 845 07 115 19 154 31 205 43 274 55 365 67 487 79 649 91 866 08 118 20 158 32 210 44 280 56 374 68 499 80 665 92 887 09 121 21 162 33 215 45 287 57 383 69 511 81 681 93 909 10 124 22 165 34 221 46 294 58 392 70 523 82 698 94 931 11 127 23 169 35 226 47 301 59 402 71 536 83 715 95 953 12 130 24 174 36 232 48 309 60 412 72 549 84 732 96 976
2、额定工作电压
额定工作电压是指电容在电路中长期可靠地工作允许 的最高直流电压。电容工作在交流电路中时，交流电压的 峰值（最大值）不得超过额定工作电压。
code value code value code value code value code value code value code value code value 01 100 13 133 25 178 37 237 49 316 61 422 73 562 85 750 02 102 14 137 26 182 38 243 50 324 62 432 74 576 86 768 03 105 15 140 27 187 39 249 51 332 63 442 75 590 87 787 04 107 16 143 28 191 40 255 52 340 64 453 76 604 88 806 05 110 17 147 29 196 41 261 53 348 65 464 77 619 89 825 06 113 18 150 30 200 42 267 54 357 66 475 78 634 90 845 07 115 19 154 31 205 43 274 55 365 67 487 79 649 91 866 08 118 20 158 32 210 44 280 56 374 68 499 80 665 92 887 09 121 21 162 33 215 45 287 57 383 69 511 81 681 93 909 10 124 22 165 34 221 46 294 58 392 70 523 82 698 94 931 11 127 23 169 35 226 47 301 59 402 71 536 83 715 95 953 12 130 24 174 36 232 48 309 60 412 72 549 84 732 96 976
电子基础知识培训教材
40
三极管（又称三极体、电晶体）
集电极
发射极 基极
集电极
HMBT2222A/NPN 贴片三极管
发射极
基极 HSD1616A/NPN 插件三极管 MJD112/NPN 贴片三极管
41
三极管表示之方法
符号 TR （Transistor的缩写）或Q
电路符号
c b
e
NPN型三极管
c b：基极
b
c：集电极
2.2 µF、100V、 1206型贴片电容
27
贴片电容要注意
▲此类电容一定要通过隔离、标示对其加以保存， 万一混在一起可以通过大小、颜色或使用万用表测 其容值加以区分。
▲贴片电容之型号分类同贴片电阻，如“0603#”、 “0805#”、“1206#”，电容无功率之分。 ▲如何用万用表测一未知容值电容：
将万用表调至电容档“Cx”，并尽量调到较大的 档位，电容两极引出插入对应之孔位，若其读数很 小，则换用较小之档位；若读数很大甚至无读数， 调至最大档位。注意其单位有两种：nF/ µF。
28
3、电感
符号 L（Inductance）
单位 H （亨利）
电路符号
一般符号
带铁心型
1H=1000mH
1mH=1000µH
介电容、电解电容、有机薄膜电容等。
24
电容的表示方法
符号 C（Capacitor的缩写）
单位 F （法拉）
电路符号
一般符号
）
国际标准
电解电容
1F=1000mF 1mF=1000µF 1µF=1000nF 1nF=1000pF
25
认识电解电容
■我们所见到的插件电容即为 电解电容。
■电解电容有极性。 ■如何判断其正负极：
三极管（又称三极体、电晶体）
集电极
发射极 基极
集电极
HMBT2222A/NPN 贴片三极管
发射极
基极 HSD1616A/NPN 插件三极管 MJD112/NPN 贴片三极管
41
三极管表示之方法
符号 TR （Transistor的缩写）或Q
电路符号
c b
e
NPN型三极管
c b：基极
b
c：集电极
2.2 µF、100V、 1206型贴片电容
27
贴片电容要注意
▲此类电容一定要通过隔离、标示对其加以保存， 万一混在一起可以通过大小、颜色或使用万用表测 其容值加以区分。
▲贴片电容之型号分类同贴片电阻，如“0603#”、 “0805#”、“1206#”，电容无功率之分。 ▲如何用万用表测一未知容值电容：
将万用表调至电容档“Cx”，并尽量调到较大的 档位，电容两极引出插入对应之孔位，若其读数很 小，则换用较小之档位；若读数很大甚至无读数， 调至最大档位。注意其单位有两种：nF/ µF。
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3、电感
符号 L（Inductance）
单位 H （亨利）
电路符号
一般符号
带铁心型
1H=1000mH
1mH=1000µH
介电容、电解电容、有机薄膜电容等。
24
电容的表示方法
符号 C（Capacitor的缩写）
单位 F （法拉）
电路符号
一般符号
）
国际标准
电解电容
1F=1000mF 1mF=1000µF 1µF=1000nF 1nF=1000pF
25
认识电解电容
■我们所见到的插件电容即为 电解电容。
■电解电容有极性。 ■如何判断其正负极：
电子特气基础知识
按物理状态分类
电子特气可分为气态、液态和固态。 气态电子特气主要是指常温常压下呈 气态的气体，如氧气、氮气等；液态 电子特气主要是指低温液化或加压液 化后存储的气体，如液氧、液氮等； 固态电子特气主要是指加温后呈气态 的气体，如二氧化碳等。不同物理状 态的电子特气具有不同的储存和使用 要求。
02 电子特气的应用领域
电子特气的储存和运输存在一定的安全隐患，高纯度电子特气对储存和运输的条件要求较高， 需要严格控制温度、湿度、压力等条件。解决方案：加强储存和运输环节的安全管理，制定 严格的操作规程和安全管理制度，确保电子特气的安全储存和运输。
THANKS FOR WATCHING
感谢您的观看
酸碱性质
02 部分电子特气呈酸性或碱性，如氯化氢和氨气等。
氧化还原性质
03
一些电子特气具有氧化性或还原性，如氧气和氯气等
。
电子特气的稳定性与纯度
稳定性
电子特气在储存和使用过程中应保持 稳定，避免与空气中的氧气、水蒸气 等物质发生反应。
纯度要求
电子特气需要高纯度，以避免杂质对 电子器件性能的影响。纯度通常以9N、 99.9999999%等表示。
05 电子特气的安全与环保
电子特气的安全特性
低毒性
01
电子特气中的大部分气体都是低毒或无毒的，对操作人员的健
康影响较小。
稳定性
02
电子特气在常温常压下不易与其他物质发生化学反应，具有较
好的稳定性。
惰性
03
部分电子特气如氩气、氦气等具有很强的惰性，不易与其他物
质发生化学反应。
电子特气的储存与运输安全
电子特气基础知识
目录
• 电子特气的定义与分类 • 电子特气的应用领域 • 电子特气的物理化学性质 • 电子特气的生产工艺与技术 • 电子特气的安全与环保 • 电子特气的发展趋势与挑战
特气
第二节特殊气体前言在半导体集成电路制造过程中使用种类繁多的特种气体,这些气体大都具有易燃,易爆,有毒等危险特性,所以我们必须要充分了解这些特性,根据它们的安全特性制定不同操作方法,才能安全地使用它们。
即使发生安全事故,我们也必须知道怎么样去正确处置。
2-1半导体制造用特殊气体在搬送上的注意事项(1)气瓶的使用必须在指定的场所进行,其它场所严禁(2)与气瓶配套使用的阀门,压力计,流量计等部品必须专用,严禁各气体间混用(3)气瓶使用前需确认气瓶是否固定好,H2气瓶最好有接地装置(4)处置发生气体泄漏后气瓶时,为了避免残存有害气体的伤害,首先进行有效的通风,处置人员必须穿着空气呼吸器,并且把可燃物品清除出去(5)其它方面的注意事项同有毒,可燃性气体的处置注意事项相同2-2气体的保管,使用,运输2-2-1保管(1)气体存放地方需取得相关部门的认证(2)气瓶的存放处周围2米内火源,易燃物严禁放置(3)为了避免气瓶上方重物坠落损伤气瓶及阀门,所以气瓶放置处上方严禁悬挂重物,另外气瓶需用金属绳给予固定(4)气瓶的保管温度应在40℃以下(5)在特气放置处附近为了防止火源接近,必须悬挂”禁烟”“严禁烟火”“危险”等安全警示标示(6)特气放置处必须配备有效的消防设施(碳酸灭火器,消火栓等)(7)特气放置处还需配备毒气吸收剂,中和剂及防毒面具,空气呼吸器等装置2-2-2气体使用过程中的注意事项(1)特气使用场所应保证室温在40℃以下(2)为了防止气瓶翻倒,需对气瓶进行固定,如固定用链条,固定架等(3)气瓶的阀门在开启和关闭时动作要轻,使用后的气瓶在关闭阀门后需盖上保护罩(4)在气瓶使用前,必须对阀门,配管,压力计等拆装部分用检漏液进行检漏(5)易燃气体使用在减压设备时,气瓶与设备之间必须要有逆止法(6)特气相关的作业过程中必须两人同时进行2-2-3气体的移动(1)在搬送易燃性和有毒性气体时,需严格遵守国家的相关法律及法规(2)特气运输车在运输气体时,必须配备消防设备,防毒器具,吸收剂,保护眼镜(3)在气瓶使用现场搬送气瓶时应使用专用搬送小车,避免碰伤气瓶2-3特气分类(1)可燃性气体(2)有毒性气体(3)卤素类气体(4)非金属类化合物(5)碱性气体(6)酸性气体(7)无机酸气体(8)惰性气体2-4异常事故处置2-4-1火灾2-4-1-1一般注意事项(1)火灾发生时重点处置对策内容(a)气体爆炸(b)有毒气体中等(c)气瓶阀门损坏，气瓶破裂(2)与火灾发生相关对策(a)火灾发生时要及时通知周围的人及安全管理主任者(b)较大的火灾应及时通知消防部门(C)当发生严重的毒气泄漏时，消防部门，医疗救护部门等相关部门要进行联合调查处置(3)参加灭火人员应具备危险气体的消防知识2-4-1-2火灾周边的处置(1)可移动的气瓶迅速转移到安全场所(2)如果气瓶不可移动，要对气瓶进行冷却处理防止气瓶发生爆裂(3)危险的易燃和有毒气体应优先转移到安全场所(4)相关人员迅速实施避难2-4-1-3着火气瓶的处置(1)为了防止二次火灾发生，将着火气瓶移动到其他场所进行灭火(2)在处置着火气瓶时，一定要注意易燃，有毒气瓶的爆裂和泄漏(3)一定要佩带保护用具，并且在灭火时一定要在上风方向(4)用水冷却是最为有效的救火方法，但也可根据情况使用灭火器和灭火沙2-4-2受伤人员的处置2-4-2-1一般注意事项(1)被害者迅速转移到安全场所(2)对被害者进行紧急救护(3)与紧急救护医院进行联络2-4-2-2紧急处置对策（1）当吸入有毒性气体后，首先将被害人转移到空气新鲜的场所休息，松开衣扣，并且盖上保暖物，如有必要可进行吸氧。
电子特气基础知识_2022年学习材料
电子特气基础知识电子特气基础知识
第一章：电子特种气体基础知识-■1.电子特种气体分类：-可燃气体-SiH4;CH4;PHa;B2He;As a;GeH4;H2;CH2F2;SiH2Cl2;SiHCl3.......-√氧化性气体-O2;NF3;N O;Cl2;CIF3;NO.....-√腐蚀性气体-HCl;HBr;BCl3;BF3;SiCl4;NH3: F6;Cl2;SiHCl3;SiH2Cl2.....-√惰性气体-N2;He;Ar;Kr;Xe;CF4;C F6;C3F8;CHF3......-2.电子特种气体的危害-般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛 或运输，每种气体-都有一种或两种以上的危害性.
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-可燃气体的燃烧范围-Gas-SiH4-NH32-C2H2-CH4-ห้องสมุดไป่ตู้H3-B2H6-GeH4-Flammable Range-1.496%-15-27 -4-75%-2.5-82%-5-15%1.6~98%-0.8-98%-N/A-10
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-氧化性气体：-●定义：-能够加速燃烧或使可燃物 燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性-●例如：-Oxygen 02-Fluorine F2-Chlorin CL2->Nitrous OxideUnstableNOX-Nitrogen Oxide NO-Chlo ine Trifluoride CLF3->Nitrogen Trifluoride NF3-●控制方法： >尽量洁净无油，油脂，或有机物->对氟气应用系统进行金属钝化->远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧 11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-特种气体毒性比较表-TLV-TWA-STELEL-IDLH-LC50-LD50-Gas-PPM-PPM/4 hour-mg/kg-CF4-N/A-NH -20-35-300-350-SiH4-9600-PH3-0.3-11-GeH4-0.2-1380-125 -B2H6-0.1-15-29-AsH3-0.05-BCH33-7
第一章：电子特种气体基础知识-■1.电子特种气体分类：-可燃气体-SiH4;CH4;PHa;B2He;As a;GeH4;H2;CH2F2;SiH2Cl2;SiHCl3.......-√氧化性气体-O2;NF3;N O;Cl2;CIF3;NO.....-√腐蚀性气体-HCl;HBr;BCl3;BF3;SiCl4;NH3: F6;Cl2;SiHCl3;SiH2Cl2.....-√惰性气体-N2;He;Ar;Kr;Xe;CF4;C F6;C3F8;CHF3......-2.电子特种气体的危害-般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛 或运输，每种气体-都有一种或两种以上的危害性.
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-可燃气体的燃烧范围-Gas-SiH4-NH32-C2H2-CH4-ห้องสมุดไป่ตู้H3-B2H6-GeH4-Flammable Range-1.496%-15-27 -4-75%-2.5-82%-5-15%1.6~98%-0.8-98%-N/A-10
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-氧化性气体：-●定义：-能够加速燃烧或使可燃物 燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性-●例如：-Oxygen 02-Fluorine F2-Chlorin CL2->Nitrous OxideUnstableNOX-Nitrogen Oxide NO-Chlo ine Trifluoride CLF3->Nitrogen Trifluoride NF3-●控制方法： >尽量洁净无油，油脂，或有机物->对氟气应用系统进行金属钝化->远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧 11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-特种气体毒性比较表-TLV-TWA-STELEL-IDLH-LC50-LD50-Gas-PPM-PPM/4 hour-mg/kg-CF4-N/A-NH -20-35-300-350-SiH4-9600-PH3-0.3-11-GeH4-0.2-1380-125 -B2H6-0.1-15-29-AsH3-0.05-BCH33-7
集成电路及半导体行业特气安全培训
特气间布局图
H/LPN2
LPN2
H/LPN2
H/LPN2
HBr HBr
危化品间 BCl3 BCl3
NH3
SiH4
NH3
SiH4
C3H8 C3H8
毒腐间 NH3(BSGS) 5%SiH4 易燃易爆间 NH3(BSGS) 5%SiH4
C2H4 C2H4
H2纯化间
TCS
NH3(BSGS) 10%PH3
TCS
CF4
介电质工艺Clean gas
ETCH and CVD
......
......
...... 7
Part 3 特气安全 事故案例
特气爆炸事故案例
时间：2005年11月23日 地点：台南生产太阳能电池的MOTECH工厂 事故：硅烷钢瓶发生爆炸 损失：一人当场烧死，所有气柜、面板及管线烧毁，直接经济损失130万美金。 经过：硅烷气柜泄漏报警，操作工过去检查，打开气柜瞬间发生爆炸。
9
特气泄露中毒事故案例
RH化工氯气泄漏事故
10
瓶装特气事故视频
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普通气瓶事故视频
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Part 3 特气安全风险
特气安全风险
危害因素 压力 热膨胀 缺氧 易燃性 氧化性 毒性 腐蚀性 低温 包装重
风险 爆炸 爆炸 窒息 火灾、爆炸 火灾、爆炸 中毒 腐蚀、灼烧 冻伤 砸伤
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房通风换气率不应低于18m³/(h.m²)。 2. 特种气体气瓶柜、阀门箱应设置机械排风装置。 3. 大宗特种气体站房应设置事故通风，事故通风量宜根据事故泄漏量计算确定，但房间
换气次数不应小于12次/h。事故通风应与特种气体站房环境探测器进行联锁，并应在 特种气体站房外设置事故通风紧急按钮。 4. 特种气体站房宜设置空调系统，室内温度、湿度设计参数应满足气瓶柜的要求，当气 瓶柜无具体要求时，室内设计参数宜满足温度为 23℃±5℃，湿度为30%～70%的环 境要求。
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9600 111380 29 NhomakorabeaLD50
mg/kg
N/A 350
1250
5
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
氢气- 特别注意
➢ 低激发能源 ➢ 宽的燃烧范围 ➢ 通常情况下视为自燃气体 ➢ 快的扩散速度
控制方法( 防止火三角的ignition形成)
应距离可燃物, 氧化剂,激发能源至少20英尺. ➢ 限制;可燃物; 氧化剂; 激发能源 ➢ 气体泄漏探测系统 ➢ 通风良好
9
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
➢废物处理
6
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓腐蚀性气体
对人体组织器官的破坏：
➢皮肤 ➢眼睛 ➢呼吸道 ➢组织器官
腐蚀性气体中毒的途径：
➢呼吸 ➢皮肤接触 ➢消化系统
分类：
➢酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ➢碱性 : NH3
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
控制方法：
➢ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ➢ 对氟气应用系统进行金属钝化 ➢ 远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
电子特气基础知识
第一章：电子特种气体基础知识 1. 电子特种气体分类：
✓ 可燃气体 • SiH4;CH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3…….
✓ 氧化性气体 • O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO……
✓ 腐蚀性气体 • HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4;NH3; WF6; Cl2; SiHCl3; SiH2Cl2……
定义: 能够加速燃烧或使可燃物质燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性．
例如:
➢ Oxygen O2 ➢ Fluorine F2 ➢ Chlorine CL2 ➢ Nitrous Oxide( Unstable) NOX ➢ Nitrogen Oxide NO ➢ Chlorine Trifluoride CLF3 ➢ Nitrogen Trifluoride NF3
✓ 自燃气体：
定义: 同环境空气接触能自行点火并燃烧的物质． 自燃物质的自燃
点通常低于环境温度． 例如:
➢ Disilane乙硅烷:低于54°C (130°F) ➢ Silane硅烷:极低 ➢ Phosphine磷化氢:100°C (212°F) ➢ Diborane乙硼烷： 40 to 50°C (104-122°F)
✓压力 ✓毒性 ✓腐蚀性 ✓自燃性 ✓燃烧性 ✓氧化性 ✓窒息性 ✓深冷性
3
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
控制方法: 同燃烧气体, 另外还有：
➢ 可能情况下用惰性气体稀释 ➢ 控制库存 ➢ 采取流量控制并采用充分的通风 ➢ 系统设计防止回流
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓ 燃烧气体：
DOT（美国运输部） 定义: 同空气混合形成浓度不超过１３％的可燃气体混和物的压缩气体，或其 空气混合物的燃烧范围不少于１２％的压缩气体，而不考虑其燃烧下限 ． 引燃燃烧气体需要同时具备三个条件:
✓ 惰性气体 • N2; He; Ar; Kr; Xe; CF4; C2F6; C3F8; CHF3……
2. 电子特种气体的危害
一般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛装或运输，每种气体 都有一种或两种以上的危害性．
2
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体的主要危险和危害性如下 :
4. 化学危害：
毒性气体：
中毒形式： •急性 – 短期的, 高浓度，即时的效果．中毒很快发生并对人体立即造成伤害．如 ： CO; AsH3; PH3; Cl2…… •几种术语:
TLV (Threshold Limit Value) 人体可长时间承受的化学物质在空气中的浓度 STEL( Short Term Exposure Limit ):人体短时间内所能接触化学物的最大浓度
可燃气体的燃烧范围
Gas
SiH4 NH3 H2 C2H2 CH4 PH3 B2H6 GeH4
Flammable Range 1.4~96% 15~27% 4~75% 2.5~82% 5~15% 1.6~98% 0.8~98% N/A
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓ 氧化性气体：
LC50(Lethal Concentration 50):50%死亡率的致命浓度PPM级 LD50(Lethal Dose 50 )50%死亡率的致命浓度(mg/kg)
•慢性 – 长期反复接触造成的中毒效果，通常经过很长时间才会慢慢显现出来．
4
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
➢ 气体浓度在其燃烧范围内; ➢ 氧化介质如：空气或氧气; 及： ➢ 激发能源
燃烧极限：
➢ 燃烧下限( LFL):4.0% （对于氢气）
➢ 燃烧上限 (UFL):75% （对于氢气） 例如：
➢ Hydrogen, Carbon Monoxide; Methane; Propane; Ethylene, Acetylene
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA
PPM
CF4
N/A
NH3
20
SiH4
5
PH3
0.3
GeH4
0.2
B2H6
0.1
AsH3
0.05
B(CH3)3
7
STEL
PPM
N/A 35
1
PEL
PPM
N/A
0.3 0.2 0.1 0.05
IDLH
PPM
N/A 300
50
15 3
LC50
PPM/4 hour
N/A
mg/kg
N/A 350
1250
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
氢气- 特别注意
➢ 低激发能源 ➢ 宽的燃烧范围 ➢ 通常情况下视为自燃气体 ➢ 快的扩散速度
控制方法( 防止火三角的ignition形成)
应距离可燃物, 氧化剂,激发能源至少20英尺. ➢ 限制;可燃物; 氧化剂; 激发能源 ➢ 气体泄漏探测系统 ➢ 通风良好
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
➢废物处理
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓腐蚀性气体
对人体组织器官的破坏：
➢皮肤 ➢眼睛 ➢呼吸道 ➢组织器官
腐蚀性气体中毒的途径：
➢呼吸 ➢皮肤接触 ➢消化系统
分类：
➢酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ➢碱性 : NH3
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
控制方法：
➢ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ➢ 对氟气应用系统进行金属钝化 ➢ 远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
电子特气基础知识
第一章：电子特种气体基础知识 1. 电子特种气体分类：
✓ 可燃气体 • SiH4;CH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3…….
✓ 氧化性气体 • O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO……
✓ 腐蚀性气体 • HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4;NH3; WF6; Cl2; SiHCl3; SiH2Cl2……
定义: 能够加速燃烧或使可燃物质燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性．
例如:
➢ Oxygen O2 ➢ Fluorine F2 ➢ Chlorine CL2 ➢ Nitrous Oxide( Unstable) NOX ➢ Nitrogen Oxide NO ➢ Chlorine Trifluoride CLF3 ➢ Nitrogen Trifluoride NF3
✓ 自燃气体：
定义: 同环境空气接触能自行点火并燃烧的物质． 自燃物质的自燃
点通常低于环境温度． 例如:
➢ Disilane乙硅烷:低于54°C (130°F) ➢ Silane硅烷:极低 ➢ Phosphine磷化氢:100°C (212°F) ➢ Diborane乙硼烷： 40 to 50°C (104-122°F)
✓压力 ✓毒性 ✓腐蚀性 ✓自燃性 ✓燃烧性 ✓氧化性 ✓窒息性 ✓深冷性
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
控制方法: 同燃烧气体, 另外还有：
➢ 可能情况下用惰性气体稀释 ➢ 控制库存 ➢ 采取流量控制并采用充分的通风 ➢ 系统设计防止回流
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓ 燃烧气体：
DOT（美国运输部） 定义: 同空气混合形成浓度不超过１３％的可燃气体混和物的压缩气体，或其 空气混合物的燃烧范围不少于１２％的压缩气体，而不考虑其燃烧下限 ． 引燃燃烧气体需要同时具备三个条件:
✓ 惰性气体 • N2; He; Ar; Kr; Xe; CF4; C2F6; C3F8; CHF3……
2. 电子特种气体的危害
一般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛装或运输，每种气体 都有一种或两种以上的危害性．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体的主要危险和危害性如下 :
4. 化学危害：
毒性气体：
中毒形式： •急性 – 短期的, 高浓度，即时的效果．中毒很快发生并对人体立即造成伤害．如 ： CO; AsH3; PH3; Cl2…… •几种术语:
TLV (Threshold Limit Value) 人体可长时间承受的化学物质在空气中的浓度 STEL( Short Term Exposure Limit ):人体短时间内所能接触化学物的最大浓度
可燃气体的燃烧范围
Gas
SiH4 NH3 H2 C2H2 CH4 PH3 B2H6 GeH4
Flammable Range 1.4~96% 15~27% 4~75% 2.5~82% 5~15% 1.6~98% 0.8~98% N/A
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓ 氧化性气体：
LC50(Lethal Concentration 50):50%死亡率的致命浓度PPM级 LD50(Lethal Dose 50 )50%死亡率的致命浓度(mg/kg)
•慢性 – 长期反复接触造成的中毒效果，通常经过很长时间才会慢慢显现出来．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
➢ 气体浓度在其燃烧范围内; ➢ 氧化介质如：空气或氧气; 及： ➢ 激发能源
燃烧极限：
➢ 燃烧下限( LFL):4.0% （对于氢气）
➢ 燃烧上限 (UFL):75% （对于氢气） 例如：
➢ Hydrogen, Carbon Monoxide; Methane; Propane; Ethylene, Acetylene
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA
PPM
CF4
N/A
NH3
20
SiH4
5
PH3
0.3
GeH4
0.2
B2H6
0.1
AsH3
0.05
B(CH3)3
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STEL
PPM
N/A 35
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PEL
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N/A
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