中国硅材料产业现状分析
我国有机硅产业发展现状与展望

发展 到 了 目 前生产 效率较高 的流化床
工 艺。
2 O 世 纪末 , 江 西 星火 化工 厂 的万
料、 H级 有 机 硅 电绝 缘 漆和 甲基 氯 硅
烷等 。 其 中, 甲基氯 硅烷 等制品是 由原 沈 阳化 工综 合研 究 所 ( 现在 的 沈 阳化
的产品 。
家 美国公司更是 委托鑫谷公 司利 用
该 技术贴牌加工热硫 化硅橡胶产 品。
二 有机硅产业存在问题
目前 , 有机硅 制 品在 中国的 消费 总 量 增 速 已超 过GDP的 增 速 。 2 0 1 1 年, 国 内有机 硅 表 观 消 费量 是 近 5 年
化工 有 限公 司、 浙 江 新安化 工集 团股 份有 限公司 、 浙 江合 盛硅 业有 限公司 、
新脚料 产业 N O . 1 2 0 1 3■ 日 囝
东岳集 团有 限公 司 、 山东金 岭集 团有 限公 司 、 江苏 宏达 新材 料股份 有 限公 司、 唐 山三友集 团有 限公司 、 浙江 中天 氟硅材料有 限公司 、 山西三佳集 团、 江 苏 弘博新 材料 有 限公司 、 湖 北兴 发化 学集 团有 限 公司 、 浙江 恒业 成有 机硅 有 限公 司、 四川 省硅 峰有 机硅材 料有 限公司。 截 至2 0 1 0 年, 这 些 企 业 甲基 氯 硅 烷 的总产 能 达 到 了 1 9 0 万t , 2 0 1 0 年 甲基 氯 硅烷 实 际产量 约 1 0 0 万t , 折 合 初级 形 式聚硅 氧烷 ( 即 甲基 氯硅 烷 中主 馏 分 二 甲基 二 氯 硅 烷 的水 解 产 物 : D4 , DM C) 约5 0 万t , 2 0 1 1 年 实 际 产量约4 0 多万t 。 这其中, 民营 企业 贡 献 了很大 的份 额 , 功 不可没 。
硅产业现状和发展趋

未来工业硅产业发展方向
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政策是硅产业发展的关键
我国硅产业正处于转型时期,政策的引导方向将直接决定整个产业的发展与未来。
但是在硅产业全球化的今天,我国硅企业不仅将面对国内同行的竞争,还将应对国际巨头企业的挑战。技术进步、节能减排将是我国硅产业发展、提高企业竞争力的核心。
技术是硅产业发展的核心
“十二五”期间硅产业发展趋势及建议
工业硅产业发展建议 1.1、立足国内市场,限制出口 工业硅产品作为“高载能、高排放、资源性”产品,应以满足国内市场需求为主,采取多种措施,限制工业硅的无序出口。在控制工业硅出口的同时,加强出口管理,不妨对工业硅出口实行资质管理和出口招标管理。完善出口税号,防止高质低报现象的蔓延。 1.2、企业规模化、大型化,提高产业集中度 针对目前工业硅行业内部低水平重复建设和无序竞争的现状,对于现有企业加强管理,应提升新企业准入门槛,加强准入企业的审核力度。进一步完善政策措施,推进企业重组,完善公司治理结构,提高企业管理水平。对大型企业跨省区联合重组的技术进步和技术改造项目给予优先支持,提高行业集中度,实现产业升级。到2015年年产量在5万吨以上的企业工业硅产量在全国的占比提高到50%。
2006-2010年期间,我国汽车、光伏、建筑、电力电子等行业都实现了高速发展。其中,国内汽车产量从2006年的72.4万辆增加至2010年的183.3万辆,年均增速达到26.1%;同期太阳能光伏电池片的产量从438MW增长至10.5GW,年均增速超过106%;在此期间,我国国内固定资产投资一直稳定在25-29%之间高速增长。受此拉动,从工业硅、有机硅到多晶硅的我国硅产业市场需求实现了强劲增长。
1、产业集中度低,企业规模小
中国硅产业发展中存在的问题
目前,我国硅产业依旧处于发展初期,国内硅产业的企业规模仅为国际水平的十分之一到六分之一,同时从集中度角度看更是有较大的差距。
中国金属硅(工业硅)行业现状分析

中国金属硅(工业硅)行业现状分析一、金属硅(工业硅)产业链金属硅,又称结晶硅或工业硅,其主要用途是作为非铁基合金的添加剂。
金属硅是由石英和焦炭在电热炉内冶炼成的产品,主成分硅元素的含量在98%左右(近年来,含Si量99.99%的也包含在金属硅内),其余杂质为铁、铝、钙等。
二、全球金属硅(工业硅)产量及产能《2021-2027年中国金属硅行业市场运营格局及未来前景展望报告》数据显示:2020年受到新冠肺炎疫情的时候,下游端需求减少从而导致产量随之下跌;2020年全球金属硅(工业硅)总产量为303万吨,同比下降5.9%;2020年全球金属硅(工业硅)产能为623万吨,同比增长0.5%。
根据中国有色金属工业协会硅业分会数据,2020年全球金属硅(工业硅)产能为623万吨,其中中国金属硅(工业硅)产能为482万吨,约占全球产能的77%,位列第一位。
三、中国金属硅现状1、金属硅产量及产能金属硅冶炼属于高耗能生产,中国的金属硅生产已由来已久,随着国家能源政策的收紧和节能减排的开展,以及对新能源的提倡,金属硅冶炼已经成为初级的产品和工艺,很多国内新兴的能源企业建设了金属硅,多晶硅,单晶硅,太阳能电池等一系列的循环产业链条。
2020年中国金属硅(工业硅)产量为210万吨,同比下降4.5%;中国金属硅(工业硅)产能为482万吨。
据中国有色金属工业协会硅业分会数据,其中中国金属硅(工业硅)产能最多地区为新疆170万吨,占中国金属硅(工业硅)的35.3%。
2020年中国金属硅(工业硅)产量主要省份有云南、新疆、四川等,其中新疆地区金属硅(工业硅)产量为88万吨,占中国产量的41.9%。
2、金属硅(工业硅)进出口从工业硅进出口数量来看,出口数量对于进口数量。
其中2020年中国工业硅出口数量为60.71亿吨,同比下降11.9%;工业硅进口数量为0.05亿吨,同比下降70.6%。
据中国海关数据,2020年中国工业硅出口金额为11.13亿美元,同比下降7.6%;工业硅进口金额为0.01亿美元,同比下降66.7%。
中国有机硅(聚硅氧烷)行业现状及主要企业经营分析

中国有机硅(聚硅氧烷)行业现状及主要企业经营分析一、有机硅产业链有机硅,即有机硅化合物,是指含有Si-C键、且至少有一个有机基是直接与硅原子相连的化合物,习惯上也常把那些通过氧、硫、氮等使有机基与硅原子相连接的化合物也当作有机硅化合物。
其中,以硅氧键(-Si-O-Si-)为骨架组成的聚硅氧烷,是有机硅化合物中为数最多,研究最深、应用最广的一类,约占总用量的90%以上。
二、有机硅(聚硅氧烷)产量据中国海关数据,2020年中国有机硅(聚硅氧烷)出口数量为24.3万吨,同比增长8.5%;有机硅(聚硅氧烷)进口数量为15.2万吨,同比增长11.8%。
三、有机硅企业现状1、经营情况2020年国内外经济形势严峻,特别是受到“新冠”疫情影响,全球主要经济体复苏动力进一步减弱。
2020年合盛硅业营业收入为89.68亿元,同比增长0.34%;和盛硅业营业成本为64.42亿元,同比下降15%。
中国硅基新材料行业中业务链最完整、生产规模最大的企业之一,也是行业内为数不多的能同时生产工业硅和有机硅,从而形成协同效应的企业之一;工业硅及有机硅生产技术处于国内领先地位。
2020年和盛硅业有机硅营业收入为499588.6万元,同比增长31.4%;有机硅营业成本为348981.7万元,同比增长37.8%,有机硅毛利率为30.15%。
据公司年报数据,2020年和盛硅业有机硅设计产能为53万吨;产能利用率为105.29%。
2、产销情况2020年合盛硅业110生胶产量为15.59万吨,同比增长30.9%;107胶产量为9.21万吨,同比增长61%;混炼胶产量为4.05万吨,同比下降6.3%;环体硅氧烷产量为18.83万吨,同比增长40.7%;气相法白炭黑产量为0.93万吨,同比增长82.4%。
2020年合盛硅业110生胶销量为12.73万吨,同比增长39.3%;107胶销量为8.93万吨,同比增长55%;混炼胶销量为3.89万吨,同比下降7.6%;环体硅氧烷销量为2.76万吨,同比增长173.3%;气相法白炭黑销量为0.69万吨,同比增长86.5%。
云南硅产业发展现状及未来趋势分析

云南硅产业发展现状及未来趋势分析云南位于中国西南部,拥有丰富的硅资源,硅产业在这个地区具有巨大的发展潜力。
本文将分析云南硅产业的现状,并展望其未来的发展趋势。
云南硅产业的现状云南地区拥有丰富的硅矿资源储量,其中富硅矿的储量较为突出。
云南地区的硅矿主要分布在红河、玉溪、大理、楚雄等地。
这些硅矿资源的丰富性给云南硅产业的发展提供了坚实的基础。
目前,云南硅产业已经形成了一定的规模。
主要的硅产业集中在硅矿开采、炼硅和硅材料加工领域。
云南硅矿开采企业数量相对较多,产能较大;炼硅企业主要集中在玉溪、红河等地;而硅材料加工企业则分布在昆明和大理等地。
云南硅产业的发展得益于政府的支持和优惠政策。
云南省政府出台了一系列鼓励硅产业发展的政策,包括降低税费负担、提供资金支持和加强科研合作等。
这些政策的出台促进了硅产业的快速发展,吸引了一批重点企业进入云南市场。
云南硅产业的未来趋势未来,云南硅产业有望进一步发展壮大。
以下是几个可能的发展趋势:1. 多元化发展:云南硅产业将逐渐从传统的硅矿开采、炼硅和硅材料加工转变为多元化的产业链。
随着技术的进步和市场需求的变化,云南硅产业将进一步向硅材料、硅光电子、硅新材料等高附加值领域延伸。
2. 绿色发展:随着环保意识的增强和环境法规的严格执行,云南硅产业将更加注重环保和可持续发展。
硅产业企业将加大技术创新力度,推动绿色生产和资源循环利用。
3. 加强科研合作:云南硅产业未来将加强与科研机构和高校的合作,共同开展技术研发和创新。
通过科研力量的支持,云南硅产业能够更有效地应对技术挑战,提高产品的竞争力。
4. 拓展国际市场:随着一带一路倡议的推进和区域经济一体化的加强,云南硅产业将积极拓展国际市场。
通过与周边国家和地区的合作,云南硅产业能够进一步扩大市场份额,提高在国际市场的竞争力。
总结云南硅产业具有丰富的资源优势和政策优势,目前已经形成了一定规模的产业链。
未来,云南硅产业有望实现多元化发展,注重绿色发展,加强科研合作,拓展国际市场。
有机硅行业基本情况及发展趋势分析 (一)

有机硅行业基本情况及发展趋势分析 (一)有机硅是一种可以在有机化合物的分子中引入硅原子的化学物质。
有机硅广泛应用于化工、电子、医药和涂料等领域,是目前全球领先的特种化学品之一。
本文将对有机硅行业的基本情况及发展趋势进行分析。
一、有机硅行业基本情况1.产业链有机硅产业链涉及硅材料、有机硅原料、有机硅材料及产品的制造、有机硅产品及应用等环节。
这一产业链的主要参与者包括硅材料厂家、有机硅原料厂家和有机硅生产企业。
2.市场规模近年来,全球有机硅市场规模不断增长,2018年有机硅市场规模达65亿美元,预计到2025年将达到120亿美元。
其中,亚太地区是全球有机硅市场的主要消费区域。
据预测,未来几年亚太地区有机硅市场的增长将保持高速增长,特别是中国市场有望成为亚太地区的主要增长点。
3.产品结构有机硅产品主要包括硅烷、硅油、硅橡胶和聚硅氧烷等。
其中,硅油是有机硅产业的重要组成部分,其用途广泛,例如在化妆品、液晶、橡胶、涂料、电子等领域都有着广泛的应用。
二、有机硅行业发展趋势1.技术进步有机硅产业技术不断向前发展,越来越多的新技术得到应用。
其中,低温等离子体技术是目前发展最为迅速的技术之一,通过该技术可以生产出更高纯度、更高品质的有机硅材料。
2.市场需求有机硅产品应用范围越来越广泛,市场需求不断上升。
特别是汽车、建筑、电子、医疗等行业对有机硅产品的需求增长快速,将成为有机硅产业的新的增长点。
3.产业整合为了更好地应对市场挑战和提高自身竞争力,有机硅企业不断进行产业整合。
这种整合不仅仅是企业之间的合并,而且包括产业链中各个环节之间的深度合作。
这种合作模式可以有效降低成本,提高效益。
总之,随着技术进步和市场需求的不断增长,有机硅产业将迎来更加广阔的发展前景。
企业需要积极应对市场变化,加强技术研发,注重产业整合,以提升自身竞争力,实现可持续发展。
2023年全球及中国工业硅市场供需现状分析

2023 年全球及中国工业硅市场供需现状分析一、工业硅的应用工业硅的三大用途分别是生产有机硅、制取高纯度的晶体硅材料,以及配置有特别用途的硅铝合金。
其中,有机硅产品涵盖了硅油、硅橡胶、硅树脂、硅烷偶联剂及气象白炭黑,涉及到建筑材料、电子电器和日化纺织等常见领域;晶体硅产品主要包括太阳能电池片、芯片,主要用于光伏和半导体产业;而铝合金产品是指添加了少量工业硅的铝产品,最重要的用途是汽车制造业。
二、中国工业硅行业进展政策背景依据国家的能源进展目标,到2030 年,我国的非化石能源消费比重,将到达25%左右;届时,晶硅光伏等清洁能源,将成为发电的主要构成之一。
估量到2025 年,全球增的光伏装机容量将超过400GW,国内装机容量可达150GW。
估量到2030 年和2050 年,全球年增装机量将分别突破1000GW 和1500GW,晶硅光伏发电马上迎来前所未有的进展机遇。
三、工业硅行业产业链工业硅产业链上游原料包括硅石和碳质复原剂,使用石墨电极将以上原料加热到2023 摄氏度以上,从而将硅石中的二氧化硅复原生成工业硅液体,经过浇铸、冷却、裂开等步骤生成硅块或硅粉。
工业硅中硅元素的含量大于98%,主要用于生产有机硅、制取高纯度的晶体硅材料以及配置有特别用途的硅铝合金,并广泛应用于汽车交通、建筑材料、光伏、半导体等领域中四、全球工业硅行业市场现状分析1、产能产量全球工业硅产能产量方面,据统计,2023-2023 年全球工业硅产能产量增长缓慢,截至2023 年全球工业硅产能为632 万吨,产量为412 万吨,绝大局部的增长来自中国产能产量的扩张。
2、区域分布全球工业硅供给中我国产能、产量占据确定地位,2023 年我国产量占比由66%提升至77%,剩下的则少量来源于巴西、美国、挪威等地。
五、中国工业硅行业供需现状分析1、硅资源分布我国的硅石储量虽然丰富,但整体质量并不高;硅石纯度品位的凹凸,直接打算产成品工业硅的品质;硅石的主要成分是二氧化硅,包括石石英岩、自然石英砂、英砂岩、脉石英等;我国常见的硅石资源有石英砂岩、石英岩、自然石英砂岩,三者总和占硅石矿资源的99.07%,但高品质的脉石英仅占石英矿资源的0.93%。
工业硅行业现状

工业硅行业现状简介工业硅是一种在工业生产中广泛使用的重要原材料,被广泛应用于钢铁冶炼、铸造、合金制备、有色金属冶炼等领域。
本文将对工业硅行业的现状进行详细分析,包括市场规模、产业结构、问题与挑战以及发展前景等方面。
市场规模工业硅在许多工业领域都起到至关重要的作用,其需求量不断增长。
根据国际市场研究机构的数据,全球工业硅市场规模在近几年持续稳定增长,预计将在未来几年内进一步扩大。
主要的需求驱动因素包括建筑业的发展、汽车工业的增长以及新兴行业的兴起。
在建筑业方面,工业硅主要用于混凝土的制备,以提高混凝土的强度和耐水性能。
随着全球城镇化进程的加速和基础设施建设的扩大,对工业硅的需求将持续增长。
在汽车工业方面,工业硅是制造汽车零部件的关键原材料之一。
随着汽车消费市场的扩大,对工业硅的需求也将显著增加。
此外,随着新兴产业的不断崛起,如节能环保产业、新能源产业等,对工业硅的需求也将逐步增加,进一步推动工业硅市场的发展。
产业结构目前,全球工业硅市场呈现出多元化的产业结构。
主要生产工业硅的国家有中国、美国、巴西、挪威等。
其中,中国是全球最大的工业硅生产国。
中国的工业硅企业主要分布在江苏、山东、云南等地,形成了一定的产业集聚效应。
工业硅的生产主要依赖于硅矿资源。
全球硅矿资源分布广泛,主要集中在中国、巴西、美国等地。
然而,由于工业硅产业的特殊性,硅矿并不等同于工业硅,其需要经过炉石化、冶炼等工艺转化才能得到工业硅。
因此,硅矿资源的分布并不能直接决定工业硅的生产布局。
当前,工业硅行业的竞争程度较高,主要体现在产品品质、生产成本以及技术创新等方面。
一些企业通过提高产品质量、降低生产成本、加大技术创新力度来提升市场竞争力。
同时,由于工业硅市场的广泛应用,一些企业也通过不同领域的深度布局来拓展市场。
问题与挑战虽然工业硅行业发展迅速,但也面临一些问题和挑战。
首先,工业硅市场竞争激烈,行业内企业数量庞大。
这导致产品价格竞争激烈,企业利润空间受到压缩。
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中国硅材料产业现状分析有研半导体材料股份有限公司供稿硅材料是制造半导体器件和太阳能电池的关键材料,面对着两个发展着的产业,一个是半导体产业,一个是太阳能光伏产业。
半导体产业已经从原来周期性大起大落,平均增速达17%左右,步入一个增速减缓、起伏不大的新时代。
而光伏产业正处在以平均30%的年增长速度迅猛发展的时代。
作为这两大产业的主要原料,多晶硅紧缺的局面近期内仍将持续。
1 半导体硅片产业(1)全球半导体硅产业全球硅片材料生产,主要集中在日、美、德三国,其他还有韩国、马来西亚、芬兰、中国大陆和中国台湾地区。
生产的硅片主要有抛光片、外延片、回收片、SOI片及非抛光片等。
根据SEMI硅制造商团体(SEMI SMG)最新统计,2007年世界半导体用硅片的产量为86.61亿平方英寸(1英寸=25.4毫米)销售额为121亿美元,产量和销售额增长率分别为8%和21%。
世界硅片出货量经历了连续6年的增长。
2002-2007年世界硅片的产量和销额如表1所示:表1 2002-2007年世界硅片的产量和销售额2002 2003 2004 2005 2006 2007销售额/亿美元 55 58 73 79 100 121产量/亿英寸246.81 51.49 62.62 66.45 79.96 86.61其中: 抛光片 35.21 38.21 46.57外延片 9.43 11.11 13.63 14.44 18.21 非抛光片 2.17 2.26 2.42 2.25 2.54注:抛光片包括正片、陪片,但不包括回收片。
从表1可见,在全球硅硅片总交货面积中抛光片约占75%,硅外延片约占20%,而区熔硅片仅占5%左右。
硅外延片数量约为硅抛光片的1/3,而价格约为其1.5倍以上。
全球硅片市场在2005年以前为四大和三小厂商所控制,四大即信越、SUMCO、MEMC、瓦克,而三小为小松、东芝陶瓷、LG。
2006年SUMCO和小松合并,四大厂商的份额已占全球硅片80%以上。
四大硅片厂商规模都很大,年销售额都在10多亿美元以上,最大的信越公司年销售额更在30亿美元以上。
为保证长期安全生产,四大厂商背后均有财力更大的公司或财团支持,并且为保证自己原材料多晶硅的供应都在多晶硅的生产上占有一定股份。
由于半导体硅片领域门槛较高,存在经济和技术上的挑战,近期不大可能有新的大公司进入该领域。
而另一方面,从事小直径硅片和其他适当市场的许多小公司也会进入该领域,但这不会改变半导体硅片市场总的格局。
日本是世界硅片最大的生产国,所生产的硅片占世界硅片市场份额60%以上。
硅片按直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸和12英寸等规格。
随着历史的发展,1980年代是4英寸硅片占主流,1990年代6英寸占主流,2000年代8英寸占主流,但目前正在从8英寸向12英寸过渡,12英寸硅片增长成为硅片市场增长的主要动力。
2000年12英寸硅片在世界硅片中仅占1%,2003年占7%,2005年占20%,预计到2008年将占30%,而8英寸将下降到54%,6英寸将占11%。
近年来,硅材料加工技术取得了许多重要进展。
硅晶体生长方面最重要的进展之一是12英寸硅单晶生长技术已经成熟。
世界主要硅单晶生产商,包括信越、SUMCO、MEMC、瓦克等均采用适合于12英寸硅单晶生长的单晶炉,大都采用磁场直拉法,每炉装料量达300-350公斤,主要应用28或32英寸坩埚和热场进行硅单晶生产。
其主要前沿技术包括:1)热场设计技术,即利用计算机模拟技术,模拟晶体生长时热场的温度及其梯度的分布情况,达到晶体质量的改善;2)热屏技术,即利用热屏减少热辐射和热量损失,减少热对流,加快蒸发气体的挥发,加快晶体的冷却;3)双加热器技术,即利用上、下两加热器,保证固液界面有合适的温度梯度;4)磁场技术,即应用磁场控制熔体的对流、抑制熔体表面温度的起伏和降低硅单晶体内间隙氧的浓度;5)籽晶技术,由于大直径硅单晶的重量愈来愈重,开发出二次抓肩技术、无缩颈籽晶技术等。
此外,也开发出直拉单晶的再装料和连续加料技术。
硅晶体生长方面另一重要进展是有效控制了晶体中原生颗粒(COP)缺陷的形成。
COP缺陷的尺寸在100纳米左右,在8英寸硅片中早已存在,但随着线宽变小到100纳米以下时,这个问题变得更加突出。
由于COP缺陷会引起栅极氧化物完整性的退化和隔离的失效,MEMC公司首先开发了这种技术,之后其他主要硅片制造厂商也开发出类似技术。
这些技术根据最佳拉晶速率和固-液交界面处的最佳温度,在晶锭的整个长度和直径上抑制两类高度有害缺陷的形成。
用这些技术拉制的硅单晶制备的硅抛光片可完全满足器件的要求,因而大大提高了器件的成品率,降低了成本。
在硅片加工方面,12英寸硅单晶抛光片加工技术已经成熟。
信越公司从1996年开始,随后其他主要硅片生产商都加入12英寸硅片加工技术的开发。
这些技术包括:1)线切割技术,可以大批量切割出硅片,大大减少刀缝损失和表面机械损伤,降低生产成本;2)双面及单面磨削技术,改善了硅片的板形和提高了硅片总厚度变化(TTV)的精度;3)硅片抛光技术是硅片加工中最关键的技术之一,如何改善抛光片的局部平整度的技术是其核心问题,开发出满足0.10微米以下局部平整度要求的双面抛光技术,使12英寸硅片既有很高的平整度,又避免了有蜡抛光的蜡污染。
而双面抛光加CMP精抛的工艺,可以达到65纳米的局部平整度;4)硅片清洗技术是硅片加工中另一关键技术,目前国际上已开发出各式各样的清洗技术,如利用各种改进的RCA工艺除去表面金属和有机物沾污,利用超声加兆声(兆赫级)技术除去表面的颗粒沾污,利用各式各样的Marangoni干燥技术进行干燥处理。
以便使硅片最终的表面颗粒和金属杂质浓度低于用户要求的标准。
开发了硅片退火技术及热处理技术。
根据退火气氛不同,有氢退火、氩退火和氮退火等技术。
这些技术可以除去硅片近表面的大多数氧,从而降低硅片的体微缺陷(BMD)密度及改善栅极氧化物完整性。
此外,开发出结合内吸杂的快速热处理技术,这些技术包括MEMC研制出MDZ(魔术洁净区)硅片,WACKER开发的FlashWafer(闪存硅片),均有高的吸杂效率,都获得了有效的表面洁净区。
在外延方面,发展了外延优化衬底( EOS, Epi-Optimized Substrates)技术,大大降低外延片的成本。
成本降低主要通过几方面来实现:硅单晶拉制速度可提高几倍、硅单晶的利用率提高、抛光步骤简化、无需吸杂工艺等。
在硅单晶拉制速度提高后,晶体内缺陷尺寸减小,所需的外延层厚度也可以减小,EOS外延成本也将比普通外延低。
(2)中国半导体硅产业中国半导体硅材料行业经过四十多年发展已取得相当大的进展, 从事半导体硅单晶材料生产的单位约40余家。
我国从事半导体硅单晶和硅片的生产和科研单位有:洛阳单晶硅责任有限公司、宁波立立电子股份有限公司(前身海纳)、有研半导体材料股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司(前身晶华)、上海申和热磁公司(日资)、无锡华润华晶微电子有限公司、峨嵋半导体材料厂、万向硅峰电子有限公司、华山半导体材料厂、上海通用硅材料有限公司、上海东洋炭素有限公司(日资)、中国电子科技集团公司第四十六研究所、天津市环欧半导体材料技术有限公司(属天津市半导体技术研究所)、珠海南科公司集团(台资)、昆山矽晶公司(台资)、上海卡姆丹克公司(美资)、新乡华丹电子有限责任公司、湖州新元泰微电子有限公司、北京建中宏发半导体材料有限公司、萧山金鹰电子材料有限公司、成都青洋电子材料有限公司、衡阳科晶微电子有限公司等。
从事硅单晶外延片生产和科研的单位有:河北普兴电子材料有限公司(属中电科集团13所)、南京国盛电子有限公司(属中电科集团55所)、宁波立立电子股份有限公司、华晶外延厂、中科院微电子中心、天津市半导体技术研究所等近10家。
2006年中国半导体用硅单晶产量达551.4吨(其中直拉475.1吨,区熔76.3吨)。
2001-2006年中国半导体单晶硅产量如表2所示:表2 2001~2006年中国半导体单晶硅产量年份 2001 2002 2003 2004 2005 2006半导体(直拉)/吨 233.9 307.7 331.2 499.3 693.5 475.1半导体(区熔)/吨 37.1 58.4 56.3 61.3 71 76.3 合计 271.0 366.1 387.5 560.6 764.5 551.4 数据来源:中国电子材料行业协会,2007-9-4 中国电子报我国半导体硅材料的产量2001~2006年增加2倍多,由于受到多晶硅材料的制约,2006年半导体直拉硅单晶产量反而有所下降。
在此期间,企业的规模也在逐渐壮大,目前国内半导体硅材料企业中年销售额较大的在7~8亿元人民币,但与国际上四大硅片厂商相比,还差得很多。
总的来看,全国销售额还不及信越一家公司销售额的1/3。
国内硅材料企业均是中小企业,存在着生产规模小、企业分散、产品档次不高的状况。
2006年我国半导体硅抛光片产量2.55亿平方英寸,外延片产量6229万平方英寸,而2006年需求量为4.3亿平方英寸。
中国半导体用硅片按各种尺寸的需求如表3所示。
表3 2006年我国半导体硅片市场对各种尺寸硅片的需求尺寸/英寸 3 4 5 6 8 12 合计半导体用需求量/亿0.55 0.750.360.91 1.64 0.07 4.28英寸2所占百分比例/% 12.85 17.528.4121.2538.32 1.64 100数据来源:赛迪顾问从表3可见,2006年我国半导体用硅片市场以8英寸需求最大,约占38%;6英寸需求次之,占21%。
下面分别简述我国各种抛光片生产经营情况:z4、5英寸抛光片在生产技术方面:单晶的电阻率、体缺陷、氧含量均可控制。
轻掺技术上已过关,重掺总体过关,但很低电阻率的单晶实收率不理想。
硅片加工在几何尺寸、表面质量上均可控制,但背封工艺不够成熟,背封后弯曲、翘曲的控制需进一步完善。
在经济方面:国内生产4、5英寸抛光片价格比国外低2~3美元,有一定竞争能力;付款周期长,在3个月以上,大部分原材料需进口,原材料采购成本较高,特别是多晶硅涨价,加上规模不大,采购成本比国外高。
此外,生产设备大都是二手设备,维修成本很高;由于科技投入少,只求节省成本,质量难以进一步提高。
总之,国内4~5英寸抛光片生产质量与国外水平相当,生产的硅片数量能满足国内需求。
但各生产企业利润很薄,举步维艰。
轻掺杂不赚钱,重掺杂稍好。
z6英寸抛光片在生产技术方面:硅片的有蜡抛光工艺中蜡膜厚度的控制需进一步提高;表面颗粒、缺陷、金属杂质的一致性需进一步改进。
在经济方面:6英寸价格比国外公司要低一些,有一定竞争力;付款比4~5英寸准时,但周期也在3个月以上,原材料采购成本比国外高,特别是多晶硅涨价带来较大影响。