扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验
实验七压阻式压力传感器的压力测量实验
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实验七压阻式压力传感器的压力测量实验一．实验目的了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法.二．基本原理扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P型或N型电阻条，接成电桥。
在压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力,电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化,我们把这一变化引入测量电路，其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。
三．需用器件与单元压力源（已在主控箱)、压力表、压阻式压力传感器、CGQ-002压力传感器实验模块、流量计、连接导管、电压表、直流稳压源±4V、±15V。
四．实验步骤1．根据图2-1连接管路和电路，主控箱内的气源部分，压缩泵、贮气箱、流量计已接好。
将硬管一端插入主控板上的气源快速插座中（注意管子拉出时请用手按住气源插座边缘往内压，则硬管可轻松拉出）。
另一端软导管与压力传感器接通.这里选用的差压传感器两只气咀中，靠右边一只为高压嘴，另一只为低压嘴。
本实验模块连接见图2—2，压力传感器有4端：3端VS接+4V电源，1端接地线,2端为V o+，4端为V o—。
1、2、3、4端顺序排列见图2-2。
图2-2 压力传感器压力实验接线图2．实验模块接入模块电源±15V（从主控箱引入），检查无误后，合上主控箱电源开关。
实验模块上Rw2用于调节零位,Rw1可调节放大倍数，按图2-2接线，模块的放大器输出V o2引到主控箱电压表表的V i插座。
实验二_压阻式压力传感器的压力测量实验
实验二压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的：了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。
二、基本原理：扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P型或N型电阻条，接成电桥。
在压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，我们把这一变化引入测量电路，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。
图一压阻式压力传感器压力测量实验三、需用器件与单元：主机箱、压阻式压力传感器、压力传感器实验模板、引压胶管。
四、实验步骤：1、将压力传感器安装在实验模板的支架上，根据图二连接管路和电路（主机箱内的气源部分，压缩泵、贮气箱、流量计已接好）。
引压胶管一端插入主机箱面板上气源的快速接口中（注意管子拆卸时请用双指按住气源快速接口边缘往内压，则可轻松拉出），另一端口与压力传感器相连。
压力传感器引线为4芯线： 1端接地线，2端为U0＋，3端接＋4V电源， 4端为Uo－，接线见图9-2。
2、实验模板上RW2用于调节放大器零位，RW1调节放大器增益。
按图9-2将实验模板的放大器输出V02接到主机箱(电压表)的Vin插孔，将主机箱中的显示选择开关拨到2V档，合上主机箱电源开关，RW1旋到满度的1／3位置(即逆时针旋到底再顺时针旋2圈)，仔细调节RW2使主机箱电压表显示为零。
3、输入气压，压力上升到4Kpa左右时调节调节Rw2（低限调节），，使电压表显示为相应的0.4V左右。
再仔细地反复手捏气泵压力上升到19Kpa左右时调节差动放大器的增益电位器Rw1（高限调节），使电压表相应显示1.9V左右。
4、再使压力慢慢下降到4Kpa，调节差动放大器的调零电位器，使电压表显示为相应的0.400V。
再仔细地反复手捏气泵压力上升到19Kpa时调节差动放大器的增益电位器，使电压表相应显示1.900V。
5、重复步骤4过程，直到认为已足够精度时仔细地逐步调节流量计旋钮，使压力在4－19KPa之间变化，每上升3KPa气压分别读取电压表读数，将数值列于表1。
西安科技大学电阻压力传感器物理实验报告
西安科技大学电阻压力传感器物理实验报告西安科技大学电阻压力传感器物理实验报告一、实验目的了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。
二、基本原理扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P 型或N 型电阻条，接成电桥。
在压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，我们把这一变化引入测量电路，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。
三、实验器材主机箱、压阻式压力传感器、压力传感器实验模板、引压胶管。
四、实验步骤1、将压力传感器安装在实验模板的支架上，根据图4-1 连接管路和电路（主机箱内的气源部分，压缩泵、贮气箱、流量计已接好）。
引压胶管一端插入主机箱面板上气源的快速接口中（注意管子拆卸时请用双指按住气源快速接口边缘往内压，则可轻松拉出），另一端口与压力传感器相连。
压力传感器引线为4芯线：1端接地线，2端为U0＋，3端接＋4V电源，4端为Uo－。
图4-1 压阻式压力传感器测压实验安装、接线图2、实验模板上RW2用于调节放大器零位，RW1调节放大器增益。
按图4-1将实验模板的放大器输出V02 接到主机箱电压表的Vin插孔，将主机箱中的显示选择开关拨到2V 档，合上主机箱电源开关，RW1 旋到满度的1／3 位置（即逆时针旋到底再顺时针旋2圈），仔细调节RW2使主机箱电压表显示为零。
3、合上主机箱上的气源开关，启动压缩泵，逆时针旋转转子流量计下端调压阀的旋钮，此时可看到流量计中的滚珠向上浮起悬于玻璃管中，同时观察气压表和电压表的变化。
4、调节流量计旋钮，使气压表显示某一值，观察电压表显示的数值。
5、仔细地逐步调节流量计旋钮，使压力在2～18KPa之间变化，每上升1KPa 气压分别读取电压表读数，将数值列于表4-1。
表4-1P(KPa)2345678910Vo(p-p)P(KPa)1112131415161718Vo(p-p)6、画出实验曲线计算本系统的灵敏度和非线性误差。
实验二 扩散硅压阻式传感器模块 d1
实验二扩散硅压阻式压力传感器实验模块2.1实验目的：实验2.1.1：了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。
工作原理：是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。
单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。
压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的测量和控制。
转换原理：在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，，形成4个阻值相等的电阻条。
并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。
平时敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当传感器受压后芯片电阻发生变化，电桥将失去平衡，给电桥加一个恒定电压源，电桥将输出与压力对应的电压信号，这样传感器的电阻变化通过电桥转换成压力信号输出。
压阻效应:当力作用于硅晶体时，晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化，扰动了载流子纵向和横向的平均量，从而使硅的电阻率发生变化。
这种变化随晶体的取向不同而异，因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。
硅的压阻效应不同于金属应变计（见电阻应变计），前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化，后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化（应变），而且前者的灵敏度比后者大50～100倍。
实验2.1.2：了解利用压阻式压力传感器进行差压测量的方法。
2.2实验设备和元件：2.2.1 实验设备：实验台所属各分离单元和导线若干。
2.2.2 其他设备：2号扩散压阻式压力传感器实验模块，14号交直流，全桥，测量，差动放大实验模块，数显单元20V，直流稳压源+5V，+_12V电源。
2.3实验内容：2.3.1扩散压阻式压力传感器一般介绍：单晶硅材料在受到外力作用产生极微小应变时（一般步于400微应变），其内部原子结构的电子能级状态会发生变化，从而导致其电阻率剧烈变化（G因子突变）。
传感器实验部分
实验一金属箔式应变片一一单臂电桥性能实验一、实验目的：了解金届箔式应变片的应变效应，单臂电桥工作原理和性能。
二、基本原理：电阻丝在外力作用下发生机械变形时，其电阻值发生变化，这就是电阻应变效应，描述电阻应变效应的关系式为：：R/ R = K ;式中AR/R为电阻丝电阻的相对变化，K为应变灵敏系数，&=A l/l为电阻丝长度相对变化，金届箔式应变片就是通过光刻、腐蚀等工艺制成的应变敏感元件，通过它转换被测部位的受力状态变化，电桥的作用是完成电阻到电压的比例变化，电桥的输出电压反映了相应的受力状态。
单臂电桥输出电压U OI =EK&/4。
三、需用器件与单元：应变式传感器实验模块、应变式传感器、石去码、数显表、士5V电源、也V电源、万用表（自备）。
四、实验步骤：1、根据图1-1应变式传感器已装丁应变传感器模块上。
传感器中各应变片已接入模块的左上方的R l、R2、R3、R4O加热丝也接丁模块上，可用万用表进行测量判别，R1= R2= R3=R4=350Q，加热丝阻值为50 Q左右。
应变片托盘图1-1应变式传感器安装示意图2、接入模块电源i15V（从主控箱引入），检查无误后，合上主控箱电源开关，将实验模块调节增益电位器RW3顺时针调节大致到中间位置，再进行差动放大器调零，方法为将差放的正、负输入端与地短接，输出端与主控箱面板上的数显表电压输入端Vi相连，调节实验模块上调零电位器R W4,使数显表显示为零（数显表的切换开关打到2V档）。
关闭主控箱电源。
3、将应变式传感器的其中一个应变片 R 1 （即模块左上方的R i ）接入电桥作为一 个桥臂与R 5、R 6、R 7接成直流电桥（R 5、R 6、R 7模块内已连接好），接好电桥调零电 位器Rw i,接上桥路电源&V （从主控箱引入）如图1-2所示。
检查接线无误后，合 上主控箱电源开关。
调节 Rw i,使数显表显示为零。
O 。
加热4、在电子秤上放置一只石去码，读取数显表数值，依次增加石去码和读取相应的数显 表值，直到500g （或200g ）石去码加完。
扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验
实验十一 扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的：了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法; 二、实验仪器压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+5V 、±15V; 三、实验原理在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法,摩托罗拉公司设计出X 形硅压力传感器如下图所示：在单晶硅膜片表面形成4个阻值相等的电阻条;并将它们连接成惠斯通电桥,电桥电源端和输出端引出,用制造集成电路的方法封装起来,制成扩散硅压阻式压力传感器;扩散硅压力传感器的工作原理：在X 形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流i ,当敏感芯片没有外加压力作用,内部电桥处于平衡状态,当有剪切力作用时,在垂直电流方向将会产生电场变化i E ⋅∆=ρ,该电场的变化引起电位变化,则在端可得到被与电流垂直方向的两测压力引起的输出电压Uo;i d E d U O ⋅∆⋅=⋅=ρ 11-1 式中d 为元件两端距离;实验接线图如图11-2所示,MPX10有4个引出脚,1脚接地、2脚为Uo+、3脚接+5V 电源、4脚为Uo-；当P1>P2时,输出为正；P1<P2时,输出为负;图11-1 扩散硅压力传感器原理图四、实验内容与步骤1．接入+5V 、±15V 直流稳压电源,模块输出端V o2接控制台上数显直流电压表,选择20V 档,打开实验台总电源;4．调节Rw2到适当位置并保持不动,用导线将差动放大器的输入端Ui 短路,然后调节Rw3使直流电压表200mV 档显示为零,取下短路导线;5．气室1、2的两个活塞退回到刻度“17”的小孔后,使两个气室的压力相对大气压均为0,气压计指在“零”刻度处,将MPX10的输出接到差动放大器的输入端Ui,调节Rw1使直流电压表200mv 档显示为零;6．保持负压力输入P2压力零不变,增大正压力输入P1的压力到,每隔记下模块输出Uo2的电压值;直到P1的压力达到；填入下表1;7．保持正压力输入P1压力不变,增大负压力输入P2的压力,从每隔记下模块输出Uo2的电压值;直到P2的压力达到；填入下表2;8．保持负压力输入P2压力不变,减小正压力输入P1的压力,每隔记下模块输出Uo2的P1-Uo2曲线图P1/kPU o 2/V电压值;直到P1的压力为；填入下表3;9．保持负压力输入P1压力0Mpa 不变,减小正压力输入P2的压力,每隔记下模块输出Uo2的电压值;直到P2的压力为；填入下表;10．实验结束后,关闭实验台电源,整理好实验设备; 五、实验数据记录与分析表1用matlab 绘制P1-Uo2曲线图如下图所示2、保持正压力输入P1压力不变,增大负压力输入P2的压力表2用matlab 绘制P2-Uo2曲线图如下图所示0.0050.010.0150.020.0250.030.0350.040.0450.050.0550.060.0650.070.0750.080.0850.09减小P2-Uo2曲线P2/ kPU o 2/ V0.0050.010.0150.020.0250.030.0350.040.0450.050.0550.060.0650.070.0750.080.0850.09减小P1-Uo2曲线图P1/kPU o 2/ V3、保持负压力输入P2压力不变,减小正压力输入P1的压力表3用matlab 绘制P1-Uo2曲线图如下图所示0.0050.010.0150.020.0250.030.0350.040.0450.050.0550.060.0650.070.0750.080.0850.09减小P2-Uo2曲线P2/ kPU o 2/ VP1-Uo2拟合直线P1/kPU o 2/V表4用matlab 绘制的P2-Uo2曲线图如下图所示5、灵敏度及非线性误差计算线性拟合直线的斜率即为所求的灵敏度,故对上面的曲线图依次进行线性拟合,如下图所示红色为拟合直线,并由此算出其灵敏度和非线性误差;灵敏度L=ΔU/ΔP =拟合直线斜率 非线性误差δf =Δm/y F..S ×100％ Δm 为输出值与拟合直线的最大偏差,y F ·S 为满量程输出平均值1P2-Uo2曲线图气压P2/kPU o 2/ V减小P1-Uo2曲线图P1/kPU o 2/ Vy = p1x + p2 p1 = p2 = 由图读出Δm=故 灵敏度S ＝L=ΔU/ΔP =p1=kp非线性误差δf = ×100％=% 2y = p1x + p2 p1 = p2 = 由图读出Δm= 故 灵敏度L=ΔU/ΔP =p1= v/kp 非线性误差δf = ×100％=% 3y = p1x + p2 p1 = p2 = 由图读出Δm= 故 灵敏度L ＝ΔU/ΔP =p1=kp 非线性误差δf = ×100％=%减小P2-Uo2曲线P2/ kPU o 2/ V4y = p1x + p2 p1 = p2 = 由图读出Δm= 故 灵敏度L ＝ΔU/ΔP =p1=kp 非线性误差δf =×100％=%六、实验报告1．根据实验所得数据,计算压力传感器输入PP1-P2—输出Uo2曲线;计算灵敏度L=ΔU/ΔP,非线性误差δf ;图11-2 扩散硅压力传感器接线图。
扩散硅压力传感器(MPX)实验
福建江夏学院
《传感器技术》实验报告
姓名班级学号实验日期
课程名称传感器技术指导教师成绩
实验名称：扩散硅压力传感器（MPX）实验
一、实验目地：
1. 掌握扩散硅压阻式传感器的工作原理
2. 了解扩散硅压阻式传感器的电路连接
二、实验原理：
MPX压阻式传感器芯片是用集成工艺技术在硅片上制造出四个呈X型的等值电阻组成的电路，它用激光修正，温度补偿，所以线性好，灵敏度高，重复性好，其工作原理及实验接线如图（22）
（图22）
本实验中所用的压阻式传感器为差压式，无外加压力时电路平衡输出出，受压时则输出与压力大小成正比的电压信号。
三、实验环境：
MPX压力传感器，公共电路模块（三）、气压源、胶管、电压表
四、实验步骤：
1、连接主机与实验模块的电源线及探头连接线，胶管连接气源输出与压力传感器输入口（传感器另一接口感受大气压力）。
2、开启主机电源，调节电桥WD调平衡电位器，使实验模块输出为零，开启气源开
关，逐步加大气压，观察随气压上升模块电压输出的变化情况。
3、待到气压相对稳定后，调节模块增益使输出电压值与气压值成一比例关系，并记录P（p）值与Vmv值。
在坐标上作出V-P曲线，验证传感器的线性度与灵敏度。
注意事项：
如果无法通过WD调零，可以在B和地之间并联一个电阻，用以调整电桥。
气源平时应关闭，以免影响其它电路工作，胶管尽量避免油污，以免造成老化破损。
实验七 扩散硅压阻式压力传感器压力实验
自动化与电气工程类基础实验实验报告实验名称：压力传感器、电容式传感器实验指导老师：雷璐宁班级：智能电网0861202班成员：彭伟平2012212822、吴志辉2012212807实验七 扩散硅压阻式压力传感器压力实验一、实验目的了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。
二、实验仪器压力传感器、气室、气压表、差动放大器、电压放大器、电压温度频率表 三、实验原理在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，可以制备各种压力传感器。
摩托罗拉公司设计出X 形硅压力传感器，如图7-1所示，在单晶硅膜片表面形成4个阻值相等的电阻条。
将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。
扩散硅压力传感器的工作原理如图7-1，在X 形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流i ，当敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当有剪切力作用时（本实验采用改变气室内的压强的方法改变剪切力的大小），在垂直于电流方向将会产生电场变化i E ⋅∆=ρ，该电场的变化引起电位变化，则在与电流方向垂直的两侧得到输出电压Uo 。
i d E d U O ⋅∆⋅=⋅=ρ （7-1） 式中d 为元件两端距离。
实验接线图如图7-2所示，MPX10有4个引出脚，1脚接地、2脚为Uo+、3脚接+5V 电源、4脚为Uo-；当P1>P2时，输出为正；P1<P2时，输出为负（P1与P2为传感器的两个气压输入端所产生的压强）。
图7-1 扩散硅压力传感器原理图图7-2 扩散硅压力传感器接线图四、实验内容与步骤1． 按图7-2接好“差动放大器”与“电压放大器”，“电压放大器”输出端接电压温度频率表（选择U ，20V 档），打开直流电源开关。
（将“2~20V 直流稳压电源”输出调为5V）2．调节“差动放大器”与“电压放大器”的增益调节电位器到中间位置并保持不动，用导线将“差动放大器”的输入端短接，然后调节调零电位器使电压温度频率表显示为零。
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实验十一 扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验
一、实验目的:
了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。
二、实验仪器
压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+5V 、±１5Ｖ。
三、实验原理
在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法,摩托罗拉公司设计出X 形硅压力传感器如下图所示：在单晶硅膜片表面形成4个阻值相等的电阻条。
并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出,用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。
扩散硅压力传感器的工作原理：在X 形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流
i ，当敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当有剪切力作用时,在垂直电流方向将会产生电场变化i E ⋅∆=ρ，该电场的变化引起电位变化，则在端可得到被与电流
垂直方向的两测压力引起的输出电压Uo 。
i d E d U O ⋅∆⋅=⋅=ρ
（11-1)
式中ｄ为元件两端距离。
实验接线图如图11－２所示,MPX1０有4个引出脚,１脚接地、2脚为U ｏ＋、3脚接+5Ｖ电源、4脚为Uo-；当P1>Ｐ２时，输出为正;Ｐ1<P ２时，输出为负。
图11-1 扩散硅压力传感器原理图
四、实验内容与步骤
1．接入＋5V 、±15V 直流稳压电源，模块输出端Ｖｏ2接控制台上数显直流电压表,选择2０V 档,打开实验台总电源。
4.调节Rw2到适当位置并保持不动，用导线将差动放大器的输入端U ｉ短路,然后调节Ｒw3使直流电压表2０0ｍV 档显示为零，取下短路导线。
５．气室1、２的两个活塞退回到刻度“17”的小孔后，使两个气室的压力相对大气压均为0,气压计指在“零”刻度处，将MPX10的输出接到差动放大器的输入端U ｉ，调节R ｗ１使直流电压表200ｍv 档显示为零。
6．保持负压力输入Ｐ2压力零不变,增大正压力输入P1的压力到0.01M Ｐa,每隔0．005Ｍｐa 记下模块输出Uo2的电压值。
直到P1的压力达到0.095Mp ａ;填入下表1。
7．保持正压力输入P1压力0.０9５Ｍp ａ不变，增大负压力输入Ｐ2的压力,从0．01M Ｐa 每隔０.005Mpa 记下模块输出Ｕo2的电压值。
直到P2的压力达到0．０95Mpa ；填入下
P1-Uo2曲线图
P1/kP
U o 2/V
表2。
8.保持负压力输入Ｐ2压力0．0９5M ｐa 不变,减小正压力输入P1的压力,每隔0.005Ｍｐａ记下模块输出Uo2的电压值。
直到P1的压力为0.０05Ｍｐa ；填入下表3。
9.保持负压力输入Ｐ１压力0Ｍp ａ不变,减小正压力输入Ｐ2的压力,每隔0.005Mpa 记下模块输出U ｏ2的电压值。
直到P2的压力为0.00５M ｐa;填入下表。
10.实验结束后,关闭实验台电源，整理好实验设备。
五、实验数据记录与分析
(表1）
用matlab 绘制P1-Uo2曲线图如下图所示
２、保持正压力输入P １压力0.095Mpa 不变，增大负压力输入P2的压力
减小P2-Uo2曲线
P2/ kP
U o 2/ V
减小P1-Uo2曲线图
（表２)
用ｍatlab 绘制Ｐ2-Uo ２曲线图如下图所示
３、保持负压力输入P ２压力０.０９５M ｐa 不变，减小正压力输入P1的压力
(表3)
用matla ｂ绘制Ｐ1-Ｕｏ2曲线图如下图所示
减小P2-Uo2曲线
U o 2/ V
(表4)
用mat ｌab 绘制的Ｐ2-Uo2曲线图如下图所示
P1-Uo2拟合直线
P1/kP U o 2/V
P2-Uo2曲线图
气压P2/kP
U o 2/ V
5、灵敏度及非线性误差计算
线性拟合直线的斜率即为所求的灵敏度,故对上面的曲线图依次进行线性拟合,如下图所示(红色为拟合直线)，并由此算出其灵敏度和非线性误差。
灵敏度L=ΔU/ΔP=拟合直线斜率 非线性误差δf ＝Δｍ／y F ．.S ×１0０％
（Δm 为输出值与拟合直线的最大偏差，y F ·Ｓ为满量程输出平均值）
(1)
非线性误差δf ＝（0.３92/11.4) ×１00%＝3.5％
(2)
减小P1-Uo2曲线图
P1/kP
U o 2/ V
减小P2-Uo2曲线P2/ kP
U o 2/ V
ｙ = p1*x ＋ p2 p1 = -1１５．２4 p2 = 11.７６５ 由图读出Δm=0.65 故 灵敏度Ｌ＝ΔＵ/ΔP=p1＝-１15．２4 ｖ/kp 非线性误差δf =(０.６５/10.72） ×１00%=6.1％ （3)
y = p1*x + p2 p1 = 9１.4９8 p ２ = -9．3９2３ 由图读出Δm ＝0.4５ 故 灵敏度L=ΔU/ΔP =p1=９1.49８ｖ/kp
非线性误差δf =(0.45/8．８７) ×１00%=5．1％ （4)
ｙ ＝ p1*x + p2 p1 ＝ -９６．409 p2 = 0.23275 由图读出Δm=0.58
故灵敏度L=ΔU/ΔP=p1=-96.409v/kp
非线性误差δf=(0.5８／８.８4)×１０0％＝6.6%
六、实验报告
１．根据实验所得数据,计算压力传感器输入P(P1-Ｐ2)—输出Uo2曲线。
计算灵敏度L ＝ΔU／ΔP，非线性误差δf。
图1１-2 扩散硅压力传感器接线图。