透明导电膜分类
蒸镀-电子束蒸镀原理及透明导电膜沉积介绍
课题：
第一节：蒸发原理介绍 第二节：ITO透明导电膜介绍
第一节：蒸发原理介绍
电子束蒸发分类
• 按用途分：功能镀膜（导电膜，液晶薄膜，薄膜电容和切削刀具镀 膜）、装饰镀膜（卫浴、五金、各类产品外壳）和包装镀膜（包装材 料） • 按设备类型分：电子束蒸镀机(EVAPROTATON)、溅镀机(Sputter)以及 离子镀机(Ion plating)、乌舟镀膜机 • 按反应类型分：化学镀膜和物理镀膜 • 真空镀膜技术就是在真空环境下，通过化学、物理方式将反应物或者 靶材沉积到基板上的薄膜气象沉积技术。
问题：
1、镀膜用于在生活中哪些方面？
2、目前我公司使用的镀膜机台有哪些？
电子束原理介绍： 利用高压电使钨丝线圈产生电子后，利用加速 电极将电子引出，再透过磁偏转线圈，将电子束弯 曲270o，引导打到坩埚内的金属源上，使其局部熔 融。因在高真空下(4×10-6torr)金属源之熔点与 沸点接近，容易使其蒸发，而产生金属的蒸气流， 遇到芯片时即沉积在上面。在坩埚四周仍需有良好 的冷却系统，将电子束产生的热量带走，避免坩埚 过热融化，形成污染源。
ITO蒸镀机 可置2"片 坩埚数
离子蒸镀机 载片方式 作用
金属蒸镀机
电子束蒸发
210pcs
40cc*4
公自转正放式
？
ITO蒸镀机
电子束蒸发 电子束+离子 源蒸发
180pcs
40cc*4
公自转正放式
？
离子蒸镀机
141pcs
40cc*10
公转背方式
？
第二节
ITO透明导电膜介绍
ITO膜定义
ITO膜 (即掺 SnO2的In2O3膜)具有优良的 导电性、较高的可见光区透过率，同时对 衬底具有很好的附着性和稳定性, 且容易 刻蚀形成透明电极图形；目前,ITO 靶是 制造高性能透明导电膜的最好材料，还没 有其他材料可代替。
透明导电薄膜(TCO)之原理及其应用发展课件
透明导电薄膜
金属化合物薄膜(TCO)
泛指具有透明导电性之氧化物、氮化物、氟化物
a.氧(氮)化物：In2O3、SnO2、ZnO、CdO、TiN b.掺杂氧化物：In2O3:Sn (ITO)、ZnO:In (IZO)、ZnO:Ga (GZO) ZnO:Al (AZO)、SnO2:F、TiO2:Ta
c.混合氧化物：In2O3-ZnO、CdIn2O4、Cd2SnO4、Zn2SnO4
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
2.TCO的导电原理
3.TCO的光学性质
4. TCO薄膜之市场应用及未来发展
什么是透明导电薄膜?
在可见光波长范围内具有可接受之透光度
������ 以flat panel display而言透光度愈高愈好 ������ 以solar cell而言太阳光全波长范围之透光度及热稳定性
透明导电薄膜(TCO) 之原e
1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
2.TCO的导电原理
3.TCO的光学性质
4. TCO薄膜之市场应用及发展
1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍
特点：1.ZnO矿产产能大。 2.价格比ITO便宜(> 200% cost saving) 。 3.部分AZO靶材可在100%Ar环境下成膜，制程控制容易。 4.耐化性比ITO差，通常以添加Cr、Co于ZnO系材料中来 提高其耐化性。
1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
������ 2000年代，主要的透明导电性应用以ITO材料为主，磁控溅镀ITO成为 市 场上制程的主流.
ITO膜的主要性能参数
ITO膜的主要性能参数ITO膜（Indium Tin Oxide film）是一种广泛应用于光电子器件中的透明导电薄膜材料。
在过去的几十年里，ITO膜已经成为一种非常重要的材料，特别是在液晶显示器、智能手机、光伏电池和触摸屏等领域。
以下是ITO膜的主要性能参数。
1.透明性能：ITO膜具有很高的透明性，可以高达90%以上。
透射率对于光电子器件的正常工作至关重要，因为ITO膜通常用作透明电极，需要保持较高的透光性。
2. 电阻率：ITO膜的电阻率是指电流在薄膜内的电阻能力。
低电阻率是ITO膜的重要特点，通常在10-4到10-3Ω·cm范围内。
较低的电阻率意味着较低的电阻，这对于电子器件的正常工作和高效率非常重要。
3.厚度均匀性：ITO膜的均匀厚度是其正常工作的关键之一、ITO膜的厚度通常在100到500纳米之间，要求薄膜的厚度在大面积内是均匀的，以确保光电子器件的性能稳定和一致性。
4.光学透射率：ITO膜的光学透射率是指光在通过薄膜时的能量损失程度。
ITO膜具有较高的光学透射率，可以实现高亮度和清晰度的显示效果。
此外，ITO膜还具有较低的散射能力，有助于提高光电子器件的光背景和对比度。
5. 导电性能：ITO膜是一种导电薄膜材料，可以进行电导。
ITO膜的导电性能主要体现在电导率上，电导率通常为10^3到10^4 S/cm。
高导电能力对于电子器件的快速响应和高效能输入输出是必要的。
6.机械稳定性：ITO膜需要具有较强的机械稳定性，以确保其在实际应用中的持久性和可靠性。
这意味着ITO膜需要具有较高的耐磨损性和抗划伤性，以及对化学和环境介质的抗腐蚀性。
7.热稳定性：ITO膜需要具有良好的热稳定性，以承受高温处理和应用中的温度变化。
在一些情况下，ITO膜可能需要承受较高的温度，而不会发生膜的破裂、变形或失效。
8.耐久性：ITO膜需要具有较长的使用寿命，以确保光电子器件的长期稳定性和可靠性。
它需要具有良好的抗氧化性和抗退火性能，以及对环境因素（如湿度、光照等）的较好的耐受性。
汇聚“透光性”与“导电性”的透明导电薄膜
汇聚“透光性”与“导电性”的透明导电薄膜作者：赵秀萍李妍来源：《今日印刷》2015年第11期透明导电薄膜的概述透明导电薄膜是指在可见光范围内具有高透光性、具有金属一般高的导电性以及在红外范围内高反射性的一类薄膜，其禁带宽度大于3ev，可见光范围的平均透过率大于80%，并且电阻率小于0.001？/cm。
日常生活中，提及透明往往联想到水、玻璃等导电性差的物质；而对于高导电性物质，通常是金属等一系列透明性极差的物质。
透明性和导电性如矛盾一般对立统一的出现在透明导电薄膜中，这一有效的结合使得透明导电薄膜从最初的发明到近年来的发展一直得到极高的关注。
透明导电薄膜材质种类繁多，主要包括金属膜系、金属氧化膜系、透明氧化膜系、高分子膜系其他化合物膜系以及多层复合膜系等。
在这其中金属膜系和金属氧化物膜系这两种材质研究较深，使用范围较广。
氧化铟锡是金属氧化膜系中的代表，其在薄膜晶体管、太阳能电池透明电极以及发光显示器等众多领域具占有重要的组成部分，也由于其特性使得在商业领域的应用中增长了经济效益。
但是氧化铟锡由于资源的稀缺使得制备成本高，对大量的生产生活的使用造成了困扰，也由于其自身的脆性限制了在柔性设备中的使用。
氧化锌基透明导电薄膜尤其是氧化锌铝透明导电薄膜在制备成本上大大降低，特别是其环保性、在空气中材料性能的稳定性强，正在逐步替代氧化铟锡。
除此以外，石墨烯薄膜、碳纳米等基材的薄膜也开发适用之中。
由于材质的不断更新，薄膜的厚度在不断变薄，但是对于透明导电薄膜其导电性能不可忽视。
因此，具有一定网格形状透明导电薄膜，其网格形状的设计需要通过实验进一步探究。
透明导电薄膜的常用制备方法当前制备透明导电薄膜的方法主要有溶胶一凝胶法、化学气相沉积、真空蒸发沉积、磁控溅射法、喷雾热解法等多种方法，其中制备氧化铟锡中经济效益较好的有溶胶—凝胶法、磁控溅射法等。
本文主要针对以聚对苯二甲酸乙二醇酯基质，其上的金属网格是通过纳米压印光刻技术完成的，除此之外还可以选择喷墨印刷、丝网印刷来完成金属网格的印刷。
透明导电膜
一、透明导电膜透明导电膜是既有高的导电性，又对可见光有很好的透光性，而对红外光有较高反射性的薄膜。
透明导电膜主要有金属膜和氧化物半导体膜两大类。
（1）金属透明导电薄膜当金属膜的厚度在约20nm以下时对光的反射和吸收都较小。
由于金属薄膜中存在自由电子，因此在膜很薄时也具有很好的导电性，且在基片温度较低时就可制备出低电阻膜。
常见的金属透明导电膜有金、银、铜、铝、铬等。
为了制备平滑连续的膜，需要先镀一层氧化物做衬底，再镀金属膜。
金属膜的强度较低，其上面常要再镀一层保护层如SiO2或Al2O3等。
（2）氧化物半导体透明导电膜这类导电膜主要有SnO2、In2O3、ZnO、CdO、Cd2SnO4等，它们都是n型半导体。
对这种导电膜要求禁带宽度在约3eV以上，且通过掺杂可使其具有高的载流子浓度以得到高的导电率。
目前，应用最广泛的是SnO2和In2O3薄膜。
作为半导体材料，化学计理比的SnO2膜电导率很低，为增加电导率需要加入一些高价离子如Sb5+、P5+等。
这样得到的膜导电性好，对可见光有优异的透光性，强度和化学稳定性都很好，加之成体低，因而得到广泛应用。
根据不同要求可采用CVD、PVD乃至喷涂法来制备。
经过掺杂的In2O3的透光性和导电性均优于SnO2，因而近年来得到比SnO2更为广泛的应用。
化学计量比的In2O3膜，其电导率也很低，为增加电导率需要添加一些锡，通常将这种膜称为ITO（铟锡氧化物）薄膜，主要是用真空蒸镀或溅射等PVD法来制备，以在较低温度得到高性能膜。
透明导电膜（主要是SnO2和ITO）具有很广泛的用途，例如用于液晶显示器件及太阳能电池的透明电极，由于对红外线具有反射能力而被用作防红外线膜、太阳能集热器的选择性透射膜、玻璃上的防霜透明发热膜等。
1. SnO2透明导电薄膜（1）工艺特点利用超声雾化热解淀积工艺，将SnO2:F透明导电薄膜制备于耐高温的衬底之上。
本工艺突出的优点是：所需设备简单，工艺周期短，原材料价格低廉，可制备出与物理淀积方法性能相当的高质量薄膜，尤其可将SnO2:F透明导电薄膜均匀地制备于管状衬底的内壁。
ito膜工作原理
ito膜工作原理ITO膜是一种常见的透明导电薄膜，广泛应用于电子信息、光电显示和太阳能电池等领域。
它的工作原理主要涉及到膜的结构以及导电性能。
首先，ITO膜的结构是多层复合膜结构，通常由几层不同的材料构成。
其中，导电层主要采用氧化铟锡（In2O3-SnO2，简称ITO）材料，由于其具有良好的导电性和透明性，成为电子信息、光电显示器件的首选导电材料。
除此之外，ITO膜还包括缓冲层、透明层等部分，不仅起到保护导电层的作用，还能增加膜的透过度和稳定性。
其次，ITO膜的导电性能与其晶格结构和表面形貌有很大关系。
ITO材料是一种多晶结构，其晶格结构和掺杂方式会直接影响其导电性能。
一般来说，在ITO膜制备过程中，采用掺铟掺锡方式，通过调控工艺参数（如温度、气压等）可以得到具有高导电性能的ITO膜。
同时，通过改变溶液浓度、热处理方式等，还可以影响ITO膜的表面形貌和晶格结构，从而得到不同性能的ITO膜。
最后，ITO膜在设备中的工作原理涉及到其导电性能。
由于ITO膜的优异导电性能和透射性能，它可以作为电极，参与光电器件的电荷传输和能量转换过程。
以光电显示器为例，ITO膜制成的电极和具有特定结构的液晶分子，可以实现电场调制显示。
而在太阳能电池中，ITO膜作为透明电极，可以使光能尽量透过，以激发太阳能电池的电荷传输和转换。
综上所述，ITO膜的工作原理主要与其结构、导电性能和设备应用有关系。
通过控制ITO膜的制备工艺和表面形貌，可以得到具有不同性能的ITO膜，进而应用于不同领域的光电器件中，为人们的生活、生产带来便利和贡献。
什么是ITO
什么是ITO导电膜玻璃？提要：氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。
氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。
ITO作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。
因此，喷涂在玻璃，塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。
ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。
液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。
高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。
液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。
因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。
在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。
一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。
产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。
ITO导电膜的主要参数有：表面电阻、表面电阻的均匀性、透光率、热稳定性、加热收缩率、加热卷曲等。
其中光透过率主要与ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面电阻有关。
导电膜种类都有哪些,导电膜生产厂家有哪些
导电膜种类都有哪些？导电膜生产厂家有哪些？导电膜种类主要包括以下类别：导电膜的主要生产厂家有以下这些：1、东莞市恒升防静电用品有限公司主营：理疗电极TENS电极薄导电碳膜2、东莞市恒升防静电用品有限公司主营：聚乙烯黑色防静电膜3、东莞市恒升防静电用品有限公司主营：导电聚乙烯膜导电筒料导电卷膜黑胶4、东莞市恒升防静电用品有限公司主营：导电聚乙烯膜黑胶带5、深圳市金旭包装材料有限公司主营：手撕位导电胶/导电布生产厂家6、昆山乔伟新材料主营：派克固美丽AgF8导电膜7、北京成美嘉业电子有限公司主营：透明导电膜8、深圳市沙井创达胶粘制品行主营：导电泡棉9、东莞市酷尔包装有限公司主营：导静电薄膜10、五洲海盛集团货运有限公司主营：导电膜11、铭德包装材料有限公司主营：导电膜12、北京易安福科技有限公司主营：导电膜13、广州市力佳包装制品有限公司主营：导电膜14、无锡特晶科技有限公司主营：导电膜15、厦门玉通光电有限公司主营：导电膜16、无锡惠灵塑料厂主营：导电膜17、成都驰瑞鑫科技有限公司主营：导电膜18、瑞安市建升塑料包装机械厂主营：双面导电膜涂布机19、漳州市环宸包装制品有限公司主营：导电膜复合气泡袋20、金点塑胶颜料有限公司主营：五星行柔性透明导电膜因篇幅限制以及信息时效性原因，仅仅只上传前面的一部分排名靠前的导电膜知名企业。
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然侍卫之臣不懈于内，忠志之士忘身于外者，盖追先帝之殊遇，欲报之于陛下也。
诚宜开张圣听，以光先帝遗德，恢弘志士之气，不宜妄自菲薄，引喻失义，以塞忠谏之路也。
宫中府中，俱为一体；陟罚臧否，不宜异同。
若有作奸犯科及为忠善者，宜付有司论其刑赏，以昭陛下平明之理；不宜偏私，使内外异法也。