JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书
电子显微镜操作流程
电子显微镜学习心得及简单的操作流程1月12、13号进行了由天美科学仪器有限公司派到敝公司的维修工程师为期两天的电子显微镜安装。
随后的1月16、17号两天我们所有的新老技术都参加了电子显微镜的培训。
通过培训我们了解到了电子显微镜的结构、工作原理、工作条件、以及一些日常的维护保养，电子显微镜被广泛应用于高分子材料、金属材料、陶瓷、治金、生物、地质、半导体、仿生学等各个领域。
通过电子显微镜可以方便地观察到物质的微观结构，晶体生长规律，检测各种材料的老化及其疲劳损害程度，分析各种材料中的各种成分的分布规律及其各种元素之间的比例关系。
能谱分析（EDS）的使用方法：选择合适的试样位置后，开始采集，待采集完成后，选择适合的谱图进行计算，从而得到试样中相应元素的定量分析数据，并且还具有线、面分析功能及其粒度分析统计功能。
下面就这几天的学习简单制作了如下操作流程，仅供大家参考！处，启动电子显微镜。
把钥匙拧到START 2. 1.开启电源开关。
键泄出里面的真空气体。
AIR点击 4. 3.待电脑开启之后，点击OK键注意手的位置。
6. 双手轻轻拉出真空罩，*5.等待字样的进度条完全消失，电脑连续“嘟”三声，说明样品台里面真空气体完全泄出。
进度条7.用手轻轻取出样品。
8.用碳胶带把样品贴在样品台上，注意不要用手直接接触样品台。
10.把样品台放入轻轻放入。
9.以样品的最高点为基准，测出高度。
待样品台自动调整到指定的位置，12.输入尺寸和高度，点击Stage Move 11. OK然后点击一只手轻轻搭住真空罩，另一只手14. 13.把样品台轻轻推入真空罩，样品台的高度必须低于真空罩口的高度。
点击EV AC键，开始抽真空。
键，自动调整亮度。
点击B/C 16. ON15.点击键，加高压。
调整后的图像。
18. ，自动聚焦。
FOCUS点击17.放大图像、聚焦、调整亮度对比的20.控制图像横向、纵向移动的操作台19. X为横轴，Y为纵轴。
电子显微镜使用说明书
GAOSUO Digital MicroscopeUser Manual（中文）首先非常感謝貴司（您）購買了GAOSUO數碼顯微鏡數碼顯微鏡應用範圍非常廣泛主要有以下方面.1工業方面：a 、工業檢視，例如電路板、精密機械等b 、印刷檢視，SMT焊接檢查c 、紡織檢視d、IC表面檢查2美容方面A、皮膚檢視B、發根檢視C、紅外理療（特定產品）3生物應用A、微生物觀察B、動物切片觀察4其他A、擴視器，協助視障人士閱讀B、寶石鑒定GAOSUO數碼顯微鏡使用簡單，只需要同電腦USB介面連接就可以使用，本產品還配備測量軟體，可做簡單的量測，非常的方便。
為了更詳細的介紹本產品，敬請耐心的閱讀產下面的產品介紹，使用方法，注意事項。
規格：傳感器：高性能感光晶片主控晶片：專用主控16Bit DSP放大倍率：200X.300X .600X. 500X.800X (各款機型)拍照/錄影：內置輔助光源：8顆白光LED燈靜態解析度：640x480 最高可達1600x1200(可按需定制)數碼變焦：多段式成像距離：手動調節0~無限遠影像解析度：標準640*480固定底座：配用升降支架光盤：內含驅動，測量軟體，說明書支援系統：WIN XP/VISTA；WIN 7 32位和64位電源：USB（5V DC)電腦介面：USB 3.0、2.0 & USB 1.1 相容動態幀數: 30f/s Under 600 LUX Brightness照度範圍：0 ~ 30000LUX線控可調硬體需求：奔騰主頻700M Hz或以上；1G硬碟CD ROM 光碟機；64MB 記憶體支援語言：中文（簡）中文（繁體）英(其他語言需要定制)產品顏色：磨砂黑色，其他顏色可定制主體尺寸112 mm ( 長) 33 mm ( 外徑)單機包裝重量380g安全警告及注意事項1. 勿自行拆解本產品，以避免靜電擊穿精密晶片。
2. 勿用酒精等有機溶劑清潔產品。
3. 勿用手指觸摸鏡頭，以免表面造成刮痕和贓汙。
JSM-6700f_扫描式 电子显微镜操作规程
6700F操作规程早上来时，打开tool界面，查看电镜状态，并先计录下SIP1、SIP2的值。
（只需计早上开机时的值，中午和晚上无需计）打开自动控制器侧面的开关。
一、 放进样品：1．确认高压处于关闭状态，高压开关按钮为蓝色或黑色。
2．点击打开窗口，从窗口中选择和要使用的样品座相对应的图形（用鼠标左键点击）。
点击下方“Exchange”或“Home”按钮。
3．调整样品台Z轴为8mm，T轴为0°（唯一的）。
Z轴T轴X轴Y轴4．确认样品交换室操作面板上“EXCH POSN”灯点亮。
样品座卡抓5．按“VENT”按钮，此时样品交换室进氮气，“VENT”闪烁，待交换室达到大气压后，“VENT”点亮。
6．松开交换室锁扣，打开样品交换室，将已固定好样品的样品座，按箭头方向放到送样杆末端的卡抓内。
样品台固定方法：首先将样品固定在样品台上，再将样品台放到样品座的圆筒槽内，调节样品座下方的螺丝，调整样品表面与样品座圆筒槽上表面齐平。
调好后，拧紧样品座上的固定螺丝，将样品台固定。
样品表面样品座圆筒槽表面样品表面样品座圆筒槽表面样品表面样品座圆筒槽表面样品台样品座圆筒槽样品台高度调节螺丝样品座7．关闭样品交换室门，扣好锁扣。
8．按“EV AC”按钮，开始抽真空，“EV AC”闪烁，待真空达到一定程度时，“EV AC”点亮。
9．将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，停留1秒钟，确认“HLDR”灯点亮。
10．将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外（非常重要，否则易引起送样杆损坏），将送样杆竖起卡好。
导板末端台阶末端台阶导板二、 样品的移动：1．用鼠标右键点击需要观察的区域，该区域即移动到屏幕中心。
2．使用操纵杆：通过左右倾斜操纵杆控制样品水平左右移动，通过前后倾斜操纵杆控制样品水平上下移动，通过扭拧操纵杆控制样品水平旋转。
Y方向X方向三、 图像调整及保存：1．观察条件：5.14-E-004样品放入样品室后，打开“PVG”，查看真空度，达到后，且“HT”变蓝时，才可以准备加高压。
扫描电子显微镜(SEM)标准操作规程
1. S—4300F型扫描电子显微镜操作规程：①将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。
推紧预抽室门按下EV AC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1推入样品后关闭MV1；②换样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1取出样品，关闭MV1重复第一步；③打开主机面板上display power 开关，接通操作系统开关，按照计算机提示进入WINDOWS操作界面；④点击桌面上的PC—SEM文件夹，进入扫描电镜操作平台；⑤打开LOCK开关，拨向AOUT OPEN方向，点击SEM操作界面上的vacc打开高压对话框。
将电流设置在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节，调节范围1kv~20kv，点击ON，打开高压系统；⑥调节样品位置，选择所需结构。
利用桌面上AUTO按钮调节图像的对比度和亮度，调节扫描速度，得到一幅满意的图像。
打开光路调节键，利用Beam、Aperture、StigX、StigY、STIGMATOR/ALIGNMENT相互配合调节光路系统；⑦选择选区扫描速度，调节高倍像中的像散，最终得到一幅高清晰图像，⑧存图像数据：点击Speed 3，点击M键，关闭Image窗口选择Yes，确定存储路径点击Save完成图像的抓取；2.注意事项：①换样品时样品杆只能在X方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等；②样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；③样品台锁定系统打开后，样品台只允许X、Y向的移动，不得做其他运动；③每次更换样品前后必须观察P1、P2、P3三级离子泵的真空情况，其中P1、P2不得小于3*10/-7，P3不得小于7*10/-7，如低于上述标准不得加高压；④如使用数码打印机打印图像，必须使SEM操作平台提前检索到打印机；⑤磁性材料的测试必须提前和管理人员联系，弱磁性材料必须经管理人员认可后方可上机实验，强词性材料不得上机测试，否则将停止其上机资格；⑥粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜；。
JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书.doc
JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书目錄l.i 的............................................................... . (2)2•範圍............................................................... . (2)3權責............................................................... . (2)4.參考資料............................................................... .. (2)5.儀器介紹............................................................... .. (2)6 •操作程序...............................................................7 •注意事項............................................................... .. (8)■1•目的本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡Z工作原理及操作方法等基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。
2•範圍HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。
3•權責3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。
修訂方式亦同。
3.2本工作指導書供相關操作人員參考。
4•參考資料捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。
5.儀器介紹5.1External view of JSM-6700F5.2General view of column6 •操作程序6.1 開啟SEM OPE switch6.2打開SEM電腦主機&螢幕6.3點選操作軟體視窗-JEOL PC-SEM 6700（桌面）6.4確認SEM操作前步驟0K,檢視以下數值：a・氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力上5Kgc.確認tilt 位］［在0b・確認EDS及BEI detector已伸出chamber夕卜d・確認STAGE ± WD在8mm及螢幕上WD在8mme・確認STAGE 歸至原位X=35.00> Y二25.00、R=0.00（Soft:stage/exchange一選擇holder ・-exchange）f・確認放大倍率縮至最小（250倍）g・確認加速電壓是否在10KVh・確認ROTATION與BEAM SHIFT是否已歸位i・確認Probe Current是否在7j・確認EXCHANGE CHAMBER抽真空k・確認I.close （橘色燈亮）6.5將樣品置入試片載台a.試片大小需符合JEOL specimen holders,將試片處理完後放置於樣品holder ±,試片高度不可超過樣品holder ±方0.5公分，並確認試片己固定好。
(整理)电子显微镜使用说明书
GAOSUO Digital MicroscopeUser Manual（中文）首先非常感謝貴司（您）購買了GAOSUOX數碼顯微鏡數碼顯微鏡應用範圍非常廣泛主要有以下方面.1工業方面：a 、工業檢視，例如電路板、精密機械等b 、印刷檢視，SMT焊接檢查c 、紡織檢視d、IC表面檢查2美容方面A、皮膚檢視B、發根檢視C、紅外理療（特定產品）3生物應用A、微生物觀察B、動物切片觀察4其他A、擴視器，協助視障人士閱讀B、寶石鑒定GAOSUO數碼顯微鏡使用簡單，只需要同電腦USB介面連接就可以使用，本產品還配備測量軟體，可做簡單的量測，非常的方便。
為了更詳細的介紹本產品，敬請耐心的閱讀產下面的產品介紹，使用方法，注意事項。
規格：傳感器：高性能感光晶片主控晶片：專用主控16Bit DSP放大倍率：1X ~ 500X拍照/錄影：內置輔助光源：8顆白光LED燈靜態解析度：640x480 最高可達1600x1200(可按需定制)數碼變焦：多段式成像距離：手動調節0~無限遠影像解析度：標準640*480固定底座：萬向金屬底座(可選配用升降支架)光盤：內含驅動，測量軟體，說明書支援系統：WIN XP/VISTA；WIN 7 32位和64位電源：USB（5V DC)電腦介面：USB 2.0 & USB 1.1 相容動態幀數: 30f/s Under 600 LUX Brightness照度範圍：0 ~ 30000LUX線控可調硬體需求：奔騰主頻700M Hz或以上；1G硬碟CD ROM 光碟機；64MB 記憶體支援語言：中文（簡）中文（繁體）英(其他語言需要定制)產品顏色：磨砂黑色，其他顏色可定制主體尺寸112 mm ( 長) 33 mm ( 外徑)單機包裝重量380g安全警告及注意事項1. 勿自行拆解本產品，以避免靜電擊穿精密晶片。
2. 勿用酒精等有機溶劑清潔產品。
3. 勿用手指觸摸鏡頭，以免表面造成刮痕和贓汙。
JSM-6700F操作规程
JSM-6700F 场发射扫描电镜操作规程1 试样准备1.1 样品要求：表面导电，固态，无磁性，无挥发性气体,干燥样品，最大高度差3mm 。
体相样品可以直接测量，粉末样品需分散固定在一定的介质上。
非导电样品利用离子溅射仪对表面喷镀金属使其导电。
1.2 试样处理：利用双面胶将样品固定在样品托上，进行镀金（导电样品可以省略），然后利用导电胶或导电胶带将样品表面与样品台短接，导电胶需要彻底干燥后方可进行测试。
1.3 样品台安装：将样品托放入样品台内，调节其高度与样品台上表面平行，固定样品托。
2 进样操作2.1 点击工具栏上的样品台更换Stage Exchange 按钮，在弹出的窗口中点击Exchange 。
2.2 按充气按钮VENT 向样品交换室充气，至橙色指示灯长亮。
2.3 打开舱门，把样品台平面向内沿轨道推到底，检查密封圈是否脱落后关闭舱门。
2.4 按抽气按钮EVAC 对样品交换室抽真空，至橙色指示灯长亮。
2.5 将进样杆拉到水平状态，缓缓送入仪器内部。
推到底后确认样品台就位灯HLDR 点亮，即可抽出进样杆（一定要全部拉出后，才可向上复位）。
2.6 点击工具栏上PVG 按钮显示真空计窗口，当真空度值小于5×10-4 Pa 时开始加高压，设定好高压值后点击HT 按钮，使其由篮转绿。
2.7 当电流值达到10 µA 时，打开截止阀 ，按钮灯熄灭后开始测试。
3 取样操作3.1 关闭截止阀 ，按钮灯亮。
3.2关闭高压HT ，按钮颜色由绿转篮。
3.3 点击工具栏上的样品台更换Stage Exchange 按钮，在弹出的窗口中点击Exchange ，等待样品台中置灯 点亮(如果不亮进行样品台矫正Maintenance －Stage －Calibtation －Auto )。
3.4 此时把进样杆拉到水平状态，缓缓送入仪器内部。
推到头后再缓缓抽出进样杆。
（一定要拉到底，方可向上复位）此时样品台就位灯HLDR 应该熄灭3.5 按充气按钮VENT 为样品交换室充气，至橙色指示灯长亮3.6 打开舱门，把样品台沿轨道取出后关闭舱门（检查密封圈是否脱落）。
JEOL JSM-6500 F 扫描电子显微镜使用手册说明书
SEM Instructions (JEOL JSM-6500 F)User: emc-userPw: (See System Administrator)Domain: CVMBSDOMA) Sample Preparation3 holders:1)holds 1 stub, most tilt2)bulk holder – deepest, use for pin stubs3)2BH: multiple samples (eight 10 mm stubs or six 12 mm stubs)- wear powder free gloves, use C sticky tape to attach samples- height adjustments are on the holder bottoms; top of sample should be as tall as the holder B) Loading a SampleOpen program, select specimen exchange window (6th from the right)Select holderPress exchange 1 if exchange position light is not on. This will modify x, y and the rotation to their exchange positions. Adjust tilt and z manually- Specimen exchange position: tilt – 0 (manual), z – 10 mm (manual), x and y – 4(motorized)- make sure the specimen exchange position button is lit and the gun valve is closed- press vent chamber button until it lights- unclip door- load sample holder so that ÅÆ axis is parallel to the axis of insertion (points into chamber)- check o-ring and lock door- press evacuation button. Will flash in pre-evac, lit continuously when it’s operating- turn on chamberscope screen and light- to load the sample: drop black handle to the horizontal with a slow, smooth, continuous motion, slide in. Hldr button will light when it’s in. Make sure pin on bottom of rod is not twisted! Pull arm out all the way- until you can see the red line, lift up into original position.- when the chamber is < 2e-4 Pa, open the gun valve – now you are imaging, and start being charge for time ($42/hour)C) SettingsHT- high tension. Use a low kV for delicate samples (ie. 1kV for PDMS), change by stepping by increments of 5 (bottom of screen)SEI detector- turn on: turn off when changing specimensCol mode: SEMOL aperture: 4Mode: 3Focus: z working distance, start at 10.Probe current: spot size, start at medium (6-13); small (1-6), large (13-18)Scan rotation: initially offDFC (dynamic focus control): offD) Alignment- start at ~1400x mag. Focus- press align button(1)gun alignment: probe current at 13; turn HT wobbler on (separate box); reduced image,pick a feature. Minimize x and y motion of center of screen by tuning x and y knobs:image should appear to be moving in and out (but not up and down or side to side); HT wobbler off.(2)ol aperture: probe current at 7; turn HT wobbler on (separate box); small view, pick afeature. Minimize x and y motion of center of screen by tuning x and y knobs: imageshould appear to be moving in and out (but not up and down or side to side); HT wobbler off.(3)Stig center X: turn wobbler on- on panel (not HT wobbler). Adjust so image is notmoving(4)Stig center Y: same as aboveOnce sample is aligned in reduced image, chose fine view in full screen mode, a hit freeze to take a picture.E) Saving Images- save as .tif, bitmaps or jpegs on d driveExport images (retains scale bar, simply saving them does not)-- move files to server (L drive) when finishedF) Shutdown- gun valve closed- rbei out (retract backscatter detector, if relevant)- leave at low kV (3) and high magnification (less stress on scan gen)- SEI det. off-species exchange window: exchange 1, z=10, tilt=0 etc (exchange position light on), retrieve sample-push “vent” (closes gate valve-remove sample from instrument-press “evac”-exit program (don’t save stage points)-log off-turn IR chamberscope off。
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目錄
1.目的 (2)
2.範圍 (2)
3.權責 (2)
4.參考資料 (2)
5.儀器介紹 (2)
6.操作程序 (4)
7.注意事項 (8)
.
1.目的
本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之工作原理及操作方法等基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。
2.範圍
HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。
3.權責
3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。
修訂方式亦同。
3.2本工作指導書供相關操作人員參考。
4.參考資料
捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。
5.儀器介紹
5.1 External view of JSM-6700F
5.2 General view of column
6.操作程序
6.1 開啟SEM OPE switch
6.2 打開SEM電腦主機&螢幕
6.3 點選操作軟體視窗-- JEOL PC-SEM 6700(桌面)
6.4 確認SEM操作前步驟OK，檢視以下數值：
a.氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力≥5Kg
b.確認EDS及BEI detector已伸出chamber外
c.確認tilt位置在0
d.確認STAGE上WD在8mm及螢幕上WD在8mm
e.確認STAGE歸至原位X=35.00、Y=25.00、R=0.00
(Soft:stage/exchange—選擇holder --exchange)
f.確認放大倍率縮至最小(250倍)
g.確認加速電壓是否在10KV
h.確認ROTATION 與BEAM SHIFT是否已歸位
i.確認Probe Current是否在7
j.確認EXCHANGE CHAMBER抽真空
k.確認
l.close (橘色燈亮)
6.5 將樣品置入試片載台
a.試片大小需符合JEOL specimen holders，將試片處理完後放置於樣品
holder上，試片高度不可超過樣品holder上方0.5公分，並確認試片已固
定好。
b.洩真空，按SPECIMEN EXCHANGE CHAMBER(約一秒
鐘聽到“喀”一聲)
前室真空腔的扣型開關打開。
c.依holder上標示箭號將試片座放置於試片彈簧夾中固定，並用手將試片座前端輕輕下壓，同時檢查艙門之O-ring及電線，再關閉前室真空腔門。
d.抽真空，按CHAMBER
(約一秒鐘，
爍)(此
時前室真空腔和真空腔之間的
閥門會打開)，將試片傳送桿拉
下至水平，緩緩將試片座推入真空腔(
)。
e.將試片傳送桿緩緩拉出到底卡住簧片後，再將其往上推使之歸位。
6.6 設定加速電壓及WD (依試片及實驗需求而定)。
6.7 檢視真空腔中的壓力()，等候PVG 值達到9.63×10-5 Pa 。
6.8
由藍色轉變成綠色)，待電流值達到設定值(一般設定值為10μA )。
6.9 (
)
，
Gun 和真空腔中的閥門即會打開。
6.10 調整影像
a.
25倍利用移
b.用搖桿控制
x 、y 位置或使用滑鼠右鍵點選位置到螢幕中心。
c.調整聚焦及像差至影像清楚(先切換到較高倍率，反覆調整焦距及像差x 、y ，直至影像清晰後再切回所需之倍率，可使用自動調整亮度及
形的情況發生，應先調整FOCUS 再調整像差x 、y 直到影像完全清楚)。
6.11 傾斜觀察：
根據試片使用的holder size及STAGE上的WD查詢對照表調整tilt角度，不可超過上限規定。
6.12 BEI觀察：
a.確認tilt=0、WD不得低於8mm。
b.
c.視窗右上方)，約3~7秒BEI detector會自動進入chamber，此時
1
d.影像調整至清楚狀態(在SEI或LEI模式下)，再點選Image Selector
e.調整亮度及對比，若訊號太弱，則增加Probe Current(ㄧ般設定值為10)。
6.13 儲存影像
a.有二段包括快掃及慢掃，可依需求自行選擇)，若經FINE
VIEW使影像凍結。
b.此模式可將SEM之操作參數一併存入)儲存
影像，檔案可存成bmp、tif、jpg。
6.14 實驗結束步驟
a.(此時燈會亮起；Gun和真空腔中的閥門關閉)。
b.由綠色轉變成藍色)。
c.若有執行BEI或EDS觀察分析者，應將其detector伸出chamber。
d.復原相關設定(ex. Freeze、Fine view、放大倍率、Probe Current…等)
e.確認tilt=0、STAGE上WD=8mm及螢幕WD設定8mm。
f .確認STAGE歸位X=35.00、Y=25.00、R =0.00
(Soft:stage/exchange—選擇holder --exchange)
g.
h.以試片傳送桿緩緩抽出試片座(()。
i.(約一秒鐘聽到“喀”一聲)
等到該燈不再閃爍後，將前室真空腔的扣型開關打開。
j.取出試片座，並檢查艙門之O-ring及電線。
k.(
閃爍)，使Specimen-exchange chamber維持真空。
l.填寫儀器使用記錄表及儀器使用檢查表。
7.注意事項
7.1 準備黏貼試片時請戴手套，並請ㄧ次戴好，以免手上的汗水和油脂污染
了手套，間接污染了試片座。
(請儘量保持手套的乾淨、勤更換之)
7.2 試片的前處哩，包含使用Pt coater或將試片黏貼於銅基座及固定等步
驟，請各持有License的操作者自己親自動手，勿假手於他人，並多留意試片的清潔度。
7.3 holder及90。
銅座請勿直接放入coater中鍍Pt。
如試片欲直接固定於holder
上或欲作90。
觀察時，鍍Pt請將試片以銅膠帶貼於載玻片上，再放入coater 中濺鍍，完成後在將其固定或貼於銅座上。
7.4 若試片不導電，需作鍍Pt處理時，請注意導電通路的製作。
7.5 試片就定位後，以空氣噴球或鎳子輕推試片確定其是否貼牢。
7.6 試片黏在試片載台上時最好對齊，試片座上的四顆固定試片載台的小螺
絲不可旋太出來（約伸出0.5mm即可），以免螺絲遺失，放入試片座進入試片室前，請在外面先確認各個試片的相對位置，以免放入chamber 後，找不到試片。
7.7 試片容易有Outgasing的現象或基板是多孔性的物質，請將試片預先以hot
plate於適當溫度預烤20分鐘以上，再置於coater中抽真空。
7.8 PVG的真空度未達9.63x10-5 Pa
7.9 的情形之下)如要短暫的離開，請務必將倍率放到最
7.10 觀測完畢，請留意試片數量是否與loading前相同，如試片不滲遺留在
chamber中，請通知技術員處理。
7.11 觀測完畢，請將試片取回自己保存，銅或碳膠帶請撕下，並以酒精小
心仔細地將銅座擦拭清潔乾淨。
7.12 所有工具使用完畢請放回原位、並請保持桌面及地板的清潔乾淨。