浅论微型机械加工技术及其应用
微米加工技术的研究和应用
微米加工技术的研究和应用微米加工技术是一种以纳米级的精度处理材料的先进制造技术。
通过微米加工技术，可以在材料的表面或内部制造出具有纳米级尺寸的微小结构，从而实现对材料性能的精确控制。
微米加工技术在电子、光学、生物医学等领域具有广泛的应用前景。
首先，微米加工技术在电子领域的应用非常广泛。
微米加工技术可以用于制造计算机芯片中的微电子元器件，如电阻器、电容器和电感器等。
通过微米加工技术，可以将这些元器件制造得更小、更精密，从而提高电子设备的性能和可靠性。
此外，微米加工技术还可以制造出具有纳米级线宽的集成电路，实现电子元器件的功能集成和高密度集成，进一步提升电子设备的性能。
其次，微米加工技术在光学领域也有着重要的应用。
通过微米加工技术，可以制造出具有微米级结构的光学器件，如微透镜阵列、光学波导和光学光栅等。
这些微米级结构可以对光的传播和分布进行精确控制，实现光信号的调制和分光，从而应用于光通信、光传感和光信息处理等领域。
此外，微米加工技术还可以制造出具有纳米级尺寸的光子晶体和纳米光学材料，这些材料具有特殊的光学性质，可以用于制造具有特定功能的光学器件。
另外，微米加工技术在生物医学领域也有着广阔的应用前景。
微米加工技术可以制造出具有微米级尺寸的生物芯片和生物传感器，用于检测生物分子的浓度和活性等信息。
通过微米加工技术，可以将这些生物芯片和生物传感器制造得更小、更灵敏，从而提高生物分析的效率和准确性。
此外，微米加工技术还可以制造出具有纳米级尺寸的纳米药物载体和纳米探针，用于药物传递和疾病诊断。
这些纳米级材料可以通过微米加工技术制备得更精细，从而提高药物的治疗效果和诊断准确性。
总的来说，微米加工技术的研究和应用具有重要的科学意义和实际价值。
通过不断深化对微米加工技术的研究，可以推动微米加工技术的进一步发展和创新。
通过广泛应用微米加工技术，可以开拓新的科学领域和产业领域，推动科技创新和经济发展。
因此，加强对微米加工技术的研究和应用具有重要的现实意义和发展前景。
机械制造中的微加工技术研究
机械制造中的微加工技术研究随着科技的进步和社会的发展，人们对微加工技术的需求越来越高。
微加工技术是指对微细尺寸的物体进行加工和制造的一种技术。
它能够在微米级别下进行精密加工，因此在机械制造领域有着广泛的应用。
本文将探讨机械制造中的微加工技术研究的现状和未来发展趋势。
一、微加工技术的概述微加工技术是一种高精度、高效率的加工方式，通过使用微纳尺度工具对微米级别的物体进行制造和加工。
与传统的机械加工方式相比，微加工技术具有更小的加工尺寸、更高的精度和更少的能量损失。
同时，微加工技术还可以实现对复杂结构的加工，例如微型芯片、微型机械零件等。
二、微加工技术在机械制造中的应用1. 微型零件的制造微加工技术在制造微型零件方面具有重要的应用。
传统的机械加工方法往往无法满足对微型零件高精度和高质量的要求，而微加工技术则可以通过控制微纳尺度工具的运动轨迹和力的大小，来实现微型零件的精密制造。
2. 微纳加工技术的开发微纳加工技术是微加工技术的一种重要分支，它主要研究如何利用光、电、激光等技术对微米级别的物体进行加工和制造。
微纳加工技术的开发不仅可以满足对微型零件高质量加工的要求，还可以应用于生物医学、光电子、纳米材料等领域。
3. 微加工技术在测量仪器制造中的应用微加工技术在测量仪器制造中有着广泛的应用。
通过微加工技术可以制造出高精度的光学元件、传感器、微流控芯片等，在科研、医学和工业等领域起到了重要的作用。
三、微加工技术研究的挑战和发展趋势尽管微加工技术在机械制造领域有着广泛的应用，但在实际应用中仍面临着许多挑战。
首先，微加工技术的加工尺寸要求越来越小，这对加工设备和工具的精度和稳定性提出了更高的要求。
因此，需要不断研发和改进更精密和稳定的微加工设备和工具。
其次，微加工技术在加工过程中存在着较大的能量损失和热量积聚的问题。
这可能导致加工的不均匀性和加工表面的质量下降。
因此，需要研究更合理的加工策略来解决这些问题。
最后，微加工技术的应用领域日趋广泛，对加工材料的多样性和耐用性提出了更高的要求。
机械工程中微机械技术的加工与应用研究
机械工程中微机械技术的加工与应用研究近年来，随着科技的飞速发展，微机械技术逐渐成为机械工程领域的研究热点。
微机械技术是一种以微米级别为尺度的机械加工技术，通过精密的加工方法，在微小的尺寸范围内制造远远小于人类头发丝的微型零部件。
本文将探讨微机械技术在机械工程中的加工方法和应用领域。
首先，微机械技术的加工方法多种多样，其中最常见的是光刻法。
光刻法是利用光敏胶材料，通过光源照射胶层，通过光源的照射形成的阴影效应来形成图形。
通过控制光源的位置和光照时间，可以在微米级别上进行精确的图形制作。
光刻法广泛应用于微机械传感器、微型机械结构等领域，在集成电路和微机械加工领域有着重要作用。
除了光刻法，还有电化学加工方法。
电化学加工方法是利用电化学反应进行加工，通过控制电解液中的电位和电流密度，可以在金属材料表面进行精确的零件制造。
电化学加工方法常被应用于微电机和微传感器的制造，其优势是在加工过程中不受限于材料硬度，具有很大的灵活性和可塑性。
除了加工方法，微机械技术在机械工程中的应用也非常广泛。
一个重要的应用领域是微机械传感器。
微机械传感器是一种利用微机械技术制造的传感器，可以测量微小物理量的变化，并将其转换为电信号输出。
微机械传感器在医疗、环境监测等领域有着广泛的应用，例如用于测量血糖、血压等生物参数，或者用于测量土壤温度、空气湿度等环境参数。
微机械传感器的小型化和高灵敏度使得其在这些领域中具有巨大的潜力。
另一个重要的应用领域是微机械驱动器。
微机械驱动器是一种利用微机械技术制造的驱动器，可以实现微小零件的精确控制和运动。
微机械驱动器在精密机械装置、光学仪器、生物医学等领域中有着广泛的应用。
例如，在显微镜中使用微机械驱动器可以实现对样本的精确定位和旋转，提高显微镜观察的准确性；在生物医学领域，微机械驱动器也可以用于精确控制微型药物输送装置，从而实现精准的药物治疗。
值得注意的是，微机械技术的发展还面临一些挑战。
首先是制造成本的问题。
微机械制造技术及应用
微机械制造技术及应用摘要：介绍了微机械的制造技术和应用实例，并透视了微机械的市场前景。
一、对微机械的认识随着超精加工、精细加工和硅集成电路技术的不断提高，微机械制造技术迅速发展，应用越来越广泛。
尽管日前微机械有很多名称，但所指的都是同一领域对微型机械的尺寸，世界上并没有统的标准。
日本的些人十所作的划分是：1～100mm为“小型机械”; 10µm～10m 为“微型机械”; 10nm～10µm为“纳米机械或分子机械”。
一股统称为微型机械。
美国最早研究并试制成功微机械，在微机械的基础研究与产品开发方面都处于世界领先。
微机械在美国通常被称为微型机电系统MEMS(Micro Electric Mechanical System)。
日本称之为微型机械(Micromachine) ，欧洲称之为微型系统(Microsystem)。
美国所说的MEMS侧重于用集成电路可兼容技术加工元器件，把微电子和微机械集成在一起，或者说它是把微机构及其致动器、控制器、传感器、信号处理以及接口、通讯和电源等集成在一个微小的空间内，发挥机械功能的集成型机电一体化系统。
MEMS并不是传统机械电子的直接微型化，而是在物质结构、尺度、材料、制造工艺和工作原理等方面都远远超出了传统机械电子的概念和范畴。
广义的微机械除了包含MEMS之外，还应包括微缩后的传统机械，如微型机床、微型汽车、微型飞机等。
微机械日益受到人们关注，是因为具有诱人的特点：①体积小、重量轻、结构坚固、精度高；②能耗小、响应快、灵敏度高；③性能稳定、可靠、一致性好；④多功能化和智能化，既能感知又能控制环境；③适于大批量生产，成本低廉；而易于更换和设备维修。
二、微机械的制造技术自上世纪80 年代中期微静电电机研制成功以米，微机械的制造技术迅速发展，制造工艺向多样化、实用化、低成本方向发展，下面介绍几种典型的微机械的制造工艺。
1 小型机械的制造技术这种微机械的尺寸在1～100mm之间，可以看成是传统机械的微缩。
微纳加工技术在机械领域中的应用
微纳加工技术在机械领域中的应用近年来，随着科技的迅猛发展，微纳加工技术在机械领域中的应用逐渐得到重视。
微纳加工技术是一种通过控制微观尺度的制造过程来制作微小装置的方法。
它利用纳米级的精确加工技术，将机械元件加工到微小尺寸，应用在机械领域中，具有广阔的应用前景。
首先，微纳加工技术在机械工程中的应用得到了广泛的关注。
通过微纳加工技术，传统机械元件可以被制造成微小尺寸的装置，从而提高机械系统的性能和效率。
例如，微型马达是微纳加工技术在机械工程中的一种应用，它可以用于纳米机器人、微型摄像头等微型设备中，具有体积小、功耗低等优势。
此外，微纳加工技术还可以应用于微机械系统，如微机械传感器和微机械臂等。
这些微机械系统可以精确控制微小物体的位置和方向，应用于医学、环境监测等领域。
其次，微纳加工技术在制造业中的应用也越来越受到重视。
对于传统的机械加工而言，往往需要大型设备和复杂的流程，而微纳加工技术可以通过一系列精确的制造流程来加工微小尺寸的机械元件，从而大大简化了制造的过程。
这使得制造业可以更加高效地生产出微小尺寸的产品。
例如，在电子制造业中，微纳加工技术可以用来制造电子芯片、纳米传感器等微小尺寸的产品，提高产品的性能和质量。
此外，微纳加工技术还可以应用于光学制造中，制造出高精度的光学元件，如微透镜阵列，用于光学通信、成像等领域。
与此同时，微纳加工技术在微纳米领域的研究也取得了一系列突破。
通过微纳加工技术，研究人员可以制造出纳米级的材料和器件，对其进行研究和应用。
例如，在纳米材料方面，微纳加工技术可以用来制备纳米颗粒、纳米线等，这些纳米材料具有许多特殊的物理和化学性质，对材料科学领域的发展起到了重要的推动作用。
在纳米器件方面，微纳加工技术可以制造出纳米传感器、纳米电子器件等，这些器件可以应用于生物医学、能源储存等领域，具有巨大的潜力。
总的来说，微纳加工技术在机械领域中的应用具有广泛的前景。
它可以提高机械系统的性能和效率，简化制造过程，推动纳米材料和器件的研究发展。
微细机械制造技术的研究与应用
微细机械制造技术的研究与应用微细机械制造技术是一门涉及计算机科学、控制工程、材料科学、机械工程和微电子工程多个学科的综合技术。
在现代制造业中，微细机械制造技术已成为新型制造业的重要组成部分，其涵盖的技术范畴极广，涵盖了工业和军事领域、医学和生物离子等多个领域。
这门技术的应用前景巨大，已经吸引了大量的研究和投资。
那么，什么是微细机械制造技术呢？其实，微细机械制造技术是一种将纳米级、毫米级的器件组装在一起，形成功能强大而微型化的设备的技术。
这种技术可以通过微纳米制造技术、光学技术、电子技术、物理技术、化学技术和材料科学等领域的互补研究和发展而实现。
简单来说，微细机械制造技术是一种将微型器件与传感器、操控部件及其他设备组合在一起，以实现更准确有效领域控制的技术，同时也可以实现微型化制造。
那么，微细机械制造技术的研究和应用有哪些方面呢？在医学领域，微细机械制造技术得到了很好的应用。
比如，在直接操控神经元和细胞上，利用微型机器人进行手术或治疗。
使用这种微型机器人可以实现微创手术，最终使得病人更快、更准确、更安全的治愈。
同时，微型机器人在生物医学领域内还有很多其他的应用，比如在药物传递方面，可以帮助精准传递药物到人体内指定部位；在检测方面，可以辅助医师检测人类身体里的更小更偏远的区域，实现精确检测。
在工业领域，微细机械制造技术的应用也非常广泛，比如在制造传感器和精密仪器方面。
利用微细机械制造技术，获得的是一种比传统方法更加小型化、更加灵活的、更加高效益的制造方式，可以使传感器或仪器得到更加精确的检测精度，同时也可以大量减少传统制造工艺的投入和成本。
此外，在军品制造领域，微细机械制造技术也被广泛应用。
比如，在军事高技术装备制造中，可以利用微型机器人来实现自动化加工，减少手工操作，实现更高质量的制造。
同时，还可以利用微型机器人在危险地区进行资源精准管理等工作。
随着科技的不断更新和发展，微细机械制造技术在未来的发展与应用上，还将呈现更为广阔的发展前景。
微纳加工技术在机械制造中的应用研究
微纳加工技术在机械制造中的应用研究引言：随着技术的不断进步和创新，微纳加工技术在机械制造中的应用逐渐成为研究的热点。
微纳加工技术能够实现对材料的精细处理，并可以制造出微小尺寸的零件和器件。
本文将探讨微纳加工技术在机械制造中的应用，并分析其优势和潜在的挑战。
第一部分：微纳加工技术的发展历程近年来，微纳加工技术迅速发展。
它起源于集成电路制造领域，用于制造微小尺寸的电子元器件。
随着技术的不断演进，微纳加工技术逐渐扩展到机械制造领域。
目前，微纳加工技术已广泛应用于制造精密机械零件、传感器和微流体器件等。
第二部分：微纳加工技术在机械制造中的应用2.1 精密机械零件制造微纳加工技术在制造精密机械零件方面具有巨大潜力。
通过利用激光刻蚀和电子束曝光辅助制造技术，可以实现对机械零件的高精度加工。
这种加工方式不仅可以减少材料的浪费，还能提高加工效率和产品质量。
2.2 传感器制造传感器在机械制造中扮演着重要的角色。
微纳加工技术能够制造出微小尺寸且高灵敏度的传感器。
利用微纳加工的方法制造传感器，可以大幅度减小尺寸并提高灵敏度和稳定性。
这对于机械制造行业来说是一个重大突破，能够实现更为精细和准确的测量。
2.3 微流体器件制造微纳加工技术在制造微流体器件方面也具有广泛的应用前景。
微流体器件通常用于实现微小尺寸的流体管理和探测。
通过微纳加工技术，可以制造出微流体器件的通道和结构，实现液体的精确控制和分析。
这为机械制造领域提供了新的方法和工具。
第三部分：微纳加工技术的优势和挑战3.1 优势微纳加工技术具有高精度、高效率和低成本等优势。
与传统的机械加工方法相比，微纳加工技术不需要大量的材料和能源，可以节约资源，并且具有更高的加工精度和工艺控制能力。
3.2 挑战微纳加工技术在机械制造中的应用还存在一些挑战。
首先，微纳加工技术的研究和开发需要投入大量资金和人力资源。
其次，微纳加工技术的制造过程需要高度的精细和稳定的工艺控制，这对于设备和工艺技术的要求很高。
微型加工技术在制造业中的应用
微型加工技术在制造业中的应用随着科技的不断发展，人们对于一个物体的尺寸要求越来越小，也就是所谓的微型化。
时至今日，在制造业中微型化已经成为了发展趋势，其中微型加工技术就显得尤为重要。
微型加工技术可以让整个生产过程更为精确、高效，且耗能更少，对于电子、医疗器械、钟表等领域来说，都有广泛的应用。
下面我想详细地阐述微型加工技术在制造业中的应用。
一、微型加工技术的定义及分类微型加工技术是一种高精度的机械加工技术，其精度在微米甚至纳米级别，常被用于研究、生产和开发微型工件等领域。
微型加工技术可以分为机械加工、电化学加工、激光加工、微电子加工和微流体加工等五种类型。
每种类型都有其适用的领域，可以有效的满足客户的需求。
二、微型加工技术在电子领域的应用在电子产业中涉及到很多的微型电子元件。
这些元件的尺寸都非常小，常常只有数毫米甚至数微米之间。
这时，就需要微型加工技术来加工出这些特定的元件。
一般来说，微型加工技术可以分为三类:器件加工、元器件加工和电路加工。
器件加工是为了实现某些功能而设计的，比如氧化物场效应晶体管（MOS），晶体管，电容和电感等。
这些器件一般是通过制造许多微小的表面特征来实现的。
同时，使用微型加工技术还可以制造微型电指南针、微型机械加密、微型机械阀门和微型压力传感器等。
元器件加工是用于制造自定义的电路元件，以满足特定应用的需求。
比如：滤波器、操作放大器、振荡器等等。
这些元器件需要有超精密加工过程，需要生产出符合精度要求的高品质零件。
电路加工是通过微型加工技术来进行电路的制造和组装。
它可以使电路卡至于一起，每个卡片上都有一些电路元件，比如电子器件，电阻，电容和电感等。
同时，它还允许制造高度集成的电路，以便在更小的面积上实现更多的功能。
三、微型加工技术在医疗器械领域的应用在医疗器械领域，微型加工技术的应用也越来越广泛。
这个领域里面应用最多的是精密成型，也就是所谓的微切削加工。
这种技术可以制造出医疗芯片、医疗传感器、微型针头等。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
术一般采用万 向腐蚀剂 、异向腐蚀剂对单晶硅进行化学腐蚀 ，等到形成 不 同形状 的硅体后就移走腐蚀剂 ， 再利用薄膜喷镀 、晶体移植、粘合等 技术来增 添所需材料，从而制成各种所需的微型机械元件。采用整体微 加工技术制成的微型机械各元件之间相互联结而达到非常精确匹配的结 构性能 ， 但是单晶硅 内形成的元件都是薄膜型结构 （ 单簧、箔片、桥形 体等 ），或者是孔腔和 凹凸型结构（ 洞孔、曲边、槽道等） 。这些元件只 能制造各种传感器 ， 因而严重限制了微型机械的结构设计和应用潜力。 ２ 微型 机械 加工 技术 的应 用
１ 微型 机械 加工技 术
１１ 集成 电路 Ｊ －技 术 ． ｊｒ ｎ
集成 电路加工技术是一种制作大规模集成 电路的平 面加工技术 ，目 前 已经成为一种较成熟 、发展快 的微型机枕 ９工技术。这种技术的优点 口 在于 ：第一 ，它和集成 电路具有非常好 的相容性 ，所 以，目前它已经成 功地运用于微型机械的光显示器 、加速度传感器等。第二 ，在制作微型 机械零部件中 ，该技术可以将刻蚀深度 降到最低 ，只有数百纳米 。但其 局限性在于只能用来制作硅材料的零部件。
构件。键合加工技术用于硅一硅直接键合 ，最大好处就是省去了磨片减 薄、抛光等复杂的工艺 ，从而为制造微 型机械构件节省 了大量时间。同 时， 键合加工技术还可以进行硅—玻璃键合 ，并通过与其它加工技术 的 结合而形成了掩 映一无掩膜腐蚀技术 、片上封装技术 、防粘附技术等 ，
为制作多层结构的微型机械构件创造了十分有利 的条件。 １７ 整 体 微 机 械 加 工 技 术 － 采用整体微加工技术来进行微型机械加工时，一般选用硅材料，因 为硅的导电性 能、伸缩性能非常好 ， 适合制造 １ Ｏ 大小的零件 。该技 ｍ
由于微 型机械加工技术具有体积小 、重量轻、可靠性强、智能化程 度高等优点 ，为人类面临的环境 、资源和人 口等难题提供了可行的解决 办法 ，因而在医疗 、环保、军事等多个领域得到了很好的应用。
２１ 医 学 领 域 ．
光外延的二氧化硅材料中剥落 出与原掩膜 图形相 同的微型机械构件 ，如 曲轴、马达 、 齿轮等。该技术的优势在于可以使用 多晶硅 、 绝缘体 、合 金等多种材料 ， 而且制造出来的微型机械构件可以组成多种转动或摆动
科 技 与 生 活
２０第２ ０年 １ １ 期
应 用 科 学
１ ２ ９
浅论微型机械 加工 技术及其应用
齐 春 民
（ 深圳先进微 电子科技 有限公司 ，广东深圳 ５ ８ ８ ） １０ １
摘 要 微 型机械加 工技术 是 目前 世界上最 重要 的新 兴技术 之一 ，它具 有传统机 械加工技 术无法 比拟 的优 点 ，因而在多个领 域得到广泛 应 用。对微型机 械加 工技术及其应 用加 以探讨 。 关键 词 微 型机械 ；加工技 术 ；应用
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
中图分 类 号 Ｔ ２ 文献标 识 码 Ａ 文 章编 号 １７— ６ １（ １）６— １９Ｏ Ｈ１ ６３９７一２ ０ ２０２～ ｌ ０ ０
微型机械加工技术是一种制作微型机械部件 与结构的高科技加工技 术，它以体加工技术、硅平面加工技术为基础并发展成为一种世界上最 重要 的新兴技术 。微型机械加工技术 已在医疗 、军事 、航天、环保等领 域得到了广泛应用 。 本文对微型机械加工技术及其应用加 以探讨 。
的微型原动力机械和传动装置。 １４ 光刻电铸 （ ． ＵＧＡ）技术
光刻电铸技术一种从半导体光刻工艺派生出来的微 型机械构件加工 技术 ，该技术最先由德国研发出来 。光刻电铸技术用于制造微型机械构 件 主要 由三个工艺组成 ：深层ｘ 射线光刻 、电铸成型及注塑成型 ， 具体 的过程如下 ： 先把光刻胶 （ 如丙烯酸脂 ） 涂抹在基板 匕 接着把原先 已 ， 刻好 图形的金属掩膜盖到基板上 ，用ｘ 线使抗蚀层曝光 、显影 ，并溶解 掉抗蚀层上没有曝光成功的部分 ，从而在抗蚀层上制作 出微型机械构件 的结构图像 ，然后把镍 、铜或金等金属镀在结构图形 的间隙处 ，一直镀 到所需厚度 ，就制成 了一个与结构图形一模一样的金属模 ，最后 ， 把制 成 的金属模作为母模 ，注射塑料型芯 ， 并把型芯电铸成所需的微 型机械 构件。光刻电铸技术 的主要优点在于：它使用的是波长在ｎ ｍ ４ ｍ ２ ｍ 之间 的ｘ ，可将蚀刻深度 、刻线宽度降到最低 ，分别 为数百微米 、十分之 光 几微米以下 ，而且可在任何种类和数量 的材料上形成深层的大缩 比的微 型构件。但光刻电铸技术也存在不足 ：一方面，它所用的ｘ 光与集成电 路工艺的相容性不好 ；另一方面，ｘ 光要通过 同步辐射ｘ 光设备来获得，
１ 光刻技术 ． ２ 在目 前用的 比较多 的光刻技术 中，紫外准分子激光光刻技术 的成本 最低，是大批量生产的理想技术 ；电子束光刻技术的技术掌握程度是最 成熟的；离子束光刻技术 的分辨率最高 ； 此外 ，ｘ 射线光刻技术也可以 用来制造微 型构件。采用光刻技术来制造微 型结 构的过程一般是这样 的： 先把光刻胶涂抹到基质材料上 ；再采用分辩率超强的能量束对光致 蚀层的掩膜 图形进行光刻 ，通过显影 ，就会形成与掩膜图形一模一样 的 超微图像 ；然后再利用其它微型机械加工技术在工件材料上制造出精确 的微型构件。 １３ 表面超微加工技术 ． 在成功研发多 晶硅薄膜微型机械元件之后 ，可以把元件脱开硅基底 层 ，由此发展成表面微加工技术 。其加工机理是 ：采用过氧化法在多晶 硅基板上外延 出一层二氧化硅 ，在设计好的掩膜 图形 ，并利用ｘ 线或激
微型机械构件的成本很高，而且生产效率也偏低 。
１６键 合加工技 术 ． 键合加工技术用得最多、最成熟的是硅一硅直接键合 ，其加工方法 是 ：先在硅 片上注人氢埋层 ，接着将不 同硅 片进 行片片键合 ，再采用 热处理工艺来降低键合硅片的温度 ，使氢埋层上面的一层单晶硅 自 动剥 离， 最后通过形成较薄的表面单 晶硅薄层而制作出符合要求的微型机械