金刚石超薄切割片制造方法研究_郭铁峰

根据刀具厚度、使用精度要求以及金刚石刀具 原理, 确定使用的金刚石为优质微单晶, 试验时使用 粒径 10 Lm 国产碎晶金刚石微粉, 实用阶段选用粒 径 5 Lm 高品级微单晶。选购的金刚石采用溶液沉
降法严格筛选。 3. 2 化学转化膜的制备 3. 2. 1 化学转化膜及其要求
化学转化膜是电沉积前在阴极基片上制备的特 种导电膜。其要求是:
收稿日期: 2001- 10- 23 作者简介: 郭铁峰( 1962- ) , 男( 汉族) , 辽宁昌图人, 吉林大学应用技术学院超硬材料研究 所所长, 副教授, 探矿工程专业, 博士在读, 从事 超 硬材料应用的科研、生产与教学工作, 吉林省长春市南岭大街 22 号, ( 0431) 8621701, guot iefeng@ sohu. com。
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探矿工程( 岩土钻掘工程)
2002 年第 1 期
35 Lm。存在的问题是要严格控制/ 结瘤0, 已有专 利的工艺方法解决沉积层的/ 结瘤0问题。 3. 3. 3 剥离
采用加热剥离技术, 方法已包含在专利中。 3. 3. 4 冷冲
将剥离下来的薄片在冷冲成形机上用专用的硬 质合金冲头冲压成型, 产品如图 1 所示。 3. 3. 5 托架安装
( 1) 有较好的导电性, 使电沉积过程顺利进行; ( 2) 防止电沉积材料与基片强力结合, 便于镀层 的剥离。 经过多类试验, 结果表明, 以奥氏体不锈钢的磷 酸盐化学转化膜为最好。 3. 2. 2 制备 磷酸盐化学转化膜配方为( g/ L ) : 草酸 5, 磷酸 15, 草酸钠 4, 磷酸二钠 10, 氯酸钠 5。 操作条件为: 环境温度 20 e , 工作时间 5 min。 3. 3 刀片生产方法 3. 3. 1 片体电镀 用复合电沉积方法, 在制备好转化膜的不锈钢 阴极基片上沉积 Ni- Co- 金刚石微粉薄片。 镀液配 方为( g/ L ) : 硫 酸镍 220~ 240, 硫 酸钴 15~ 30, 硼酸 25~ 35, 氯化钠 10~ 20, 专利添加剂 1 号 016~ 018, 专利添加剂 2 号 0108~ 011, 金刚石微 粉 5~ 10。 操作条件为: 电镀温度 45~ 50 e , pH 值 411~ 415, D k= 2 A / dm2, 气泵搅拌, 间歇时间 10 min。 3. 3. 2 厚度控制 采用单板机厚度 控制仪精确控制产品厚度为
除了技术交流与研讨外, 建 设部质 量安 全司的 朱长喜 处长通 报 了全国建筑市场安全大检查的情况, 其中存在许多 问题, 同时也希 望 计算机的应用发展能解决其中的一些问题。建设 部综合勘察研究 设 计院的顾宝和大师介绍了5建筑地基处理技术规范6 、5岩土工程勘 察 规范6 等 4 个行业规范的修订情况。
/ 第二届全国岩土工程计算机应用研讨会0在杭州召开
本刊讯 本次会议由 中国建筑 学会工 程勘察 分会、全 国建筑 工 程勘察科技情报网、中国土木工程学会土工测试学术 委员会、( 水利 ) 工程地质计算机应用技术协作网、5岩土工程界6 杂 志社共同主办, 由 上 海华岩软件有限公司承办, 于 2001 年 11 月 27~ 30 日在杭州召开, 共有来自全国各地的 140 余位代表参加了会议。
切割片直接装夹在由空气轴承带动的法兰盘上 使用。自带托架的切割片在专用的涂装机上用胶粘 剂将切割片粘着在铝合金法兰盘上, 如图 2 所示。
4 产品使用效果 选出产品 20 件, 在吉林市半导体厂进行生产试
验, 结果见表 1。
刀具 类型 进口片 试验片
表 1 超薄切割片试验效果
表面 锋利度 打刀
状况
事故
无结瘤 锋利 无

无结瘤 锋利 无
切割集成块 平均槽宽/ Lm
[ 40 [ 50
售价 / ( 元#片- 1)
300 200
试验结果满足切割要求, 成本下降, 受到厂家欢 迎。目前, 该产品正在进行产业化。
5 结语 本研究确定了用于制造金刚石超薄切割片的金
刚石参数以及电镀切割片时基片上化学转化膜的有 效制备方法, 完善了该类切割片的复合电镀法制造 工艺, 并依此制造出生产上使用合格的产品。该研 究的产业化前景广阔。
云南交通建设将有大动作
云南省交通厅日前 表示, 到 2005 年, 云南省铁路、公路及 航空机 场的建设将有一系列大动 作, 昆明市 与市郊 各卫星 城市之 间的交 通 将有大改观, 公路建设将 完成/ 三纵 三横、九 大通道0 , 同时 还将建 成 连通各著名旅游景点的直升机场。
据介绍, 未来 5 年, 云南省铁路将建成内 昆铁路安边( 水 富) ) 梅 花山段, 成昆铁路云南段电气化及昆明火车客运站 的改造工程, 盘 西 支线铁路电气化改造工程; 争取开工建设国家云南 出境通道, 或大 理 ) 丽江铁路、贵昆铁路沾益 ) 昆明东电气化复线工程; 将做好 以昆明 为中心同时辐射安宁、嵩明、宜良等卫星城市之间 的快捷市郊列车 体
会上, 有 20 余位作者 就计算机在工程勘察、水利勘测、工程地 质 制图、桩基及基坑支护设计等领域的应用进行了交 流研讨, 交流的 内 容既有专业软件公司如华岩、理正等研制开发的 应用较普遍的软 件, 还有各岩土工程单位根据不同的工作需要而研制 开发的具有自己 特 性的软件, 也有用户在使用各种软件中积累的好经验。
图 1 金刚石超薄切割片
图 2 带托架的切割片
参考文献:
[ 1] 郭铁峰. N i- Co- SiC 复合镀层机械性能及 其用于金刚石工 具 制造的研究[ D] . 北京: 中国地质大学, 1993.
[ 2] 郭鹤桐, 张三元. 复合镀层[ M ] . 天津: 天津大学出版社, 1991. [ 3] 曾华梁, 等. 电镀工艺手册[ M ] . 北京: 机械工业出版社, 1989.
达到 30 km/ 100 km2, 高等 级 公路 在整 个路 网中 的比 例达 31 7% 以
上。
民航机场将由 10 个增加到 12 个, 将开工建设 昆明新机场、红 河
机场、文山机场, 完成西双版 纳、思茅 机场的 改造, 完 成泸沽 湖、老 君
山、腾冲等旅游机场的建设工程。
( 据 中国公路网)
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金刚石超薄切割片制造方法研究
郭铁峰, 杨燕军
( 吉林大学 应用技术学 院, 吉林 长春 130022)
摘 要: 介绍了一种化学转化膜的制备及金刚石 超薄切割片制造的工艺方法, 列出了有关的配方和产品 试验效果。 关键词: 金刚石超薄切割片; 化学转化膜; 配方 中图分类号: T G717 文献标识码: A 文章编号: 1000- 3746( 2002) 01- 0061- 02 Study on the Manuf acturing Method of Hyper- thin Diamond Cutting Blades/ G UO T ie-f eng, YA N G Yan-j un ( Jilin U niversity, Changchun Jilin 130022, China) Abstract: T he preparation o f a chemical conver ting membrane and the manufacturing method of hyper- thin diamond cutt ing blades are described with some relev ant formulae and product test ing r esults listed. Key words: hyper- thin Diamond cutting blade; chemical conver ting membrane; formulae
1 概述 金刚石超薄切割片在国际上广泛用于大规模集
成电路块、计算机芯片材料及其它贵重半导体材料 的切割。过去我国上海某研究所试制过该产品, 但 由于当时的实验条件限制未见过相关的产品。金刚 石超薄切割片目前主要由美国和日本生产, 与进口 切割设备配套使用, 切割转数在 30000 r/ m in 以上, 由空气轴承支持。切割对象对切口要求严格, 容易 打刀。我们经 过广泛的调研及 艰苦的实验研 究工 作, 利用复合电镀法成功研制出生产上使用合格的 产品, 获得国家专利。
除了大会交流外, 还就目前 岩土工 程计 算机软 件行业 所面临 的 问题进行了研讨。讨论中与 会代表普 遍认为, 目前 国内岩 土工程 计 算机软件的开发虽然达到了较高的水平, 应用普及 程度也较高, 但 面
对加入 WT O 后所面临的国际竞争, 还存在很多问题需要解决。如 软 件的开发需要结合使用者 的个性; 岩 土工程 理论深 度已达 到较高 的 水平, 如何转化到软件上 去; 软件开发 企业应 降低/ 门槛0 , 让尽可 能 多的人先把软件用起来, 再考虑回报的问题; 软件 的开发还处于小 规 模重复阶段, 造成了很大的资源浪费, 希望各软件 开发单位能够互 相 协作, 广泛交流信息, 进行资源整合, 战略规划, 在 软件开发上形成 规 模, 进一步提高软件的开发水平。
2 试验研究的关键点 ( 1) 确定使用的金刚石参数; ( 2) 制备一种特殊的化学转化膜; ( 3) 精确控制刀片厚度 [ 40 Lm; ( 4) 刀体表面光滑, 不结瘤; ( 5) 必须使刀片具有足够的强度和韧性, 保证在
超高转速下不打刀、不偏摆, 刀口宽度 [ 50 Lm 。
3 工艺方法 3. 1 金刚石参数的确定
系的前期工作, 先期实施利用米轨城市段石咀 ) 呈贡的改造。
公路建设将完成/ 三纵三横0 、/ 九大通道0 部 分路段的改造升 级,
使云南省路网等级有较大提 高。公路 总里程 突破 11. 4 万 km, 其 中
高 速公路 1300 km , 一级公路 250 km, 二级公路 2700 km, 使路网密度