微流控技术的起源和展望

微流控技术的起源和展望
微流控技术的起源和展望

微流控技术的起源和展望

George M. Whitesides

摘要:微流控技术用在几十微米尺度的管道中操控流体。它已逐渐发展成为全新的领域,其影响延伸到化学合成、生物分析、光学、甚至信息技术。但是,微流控领域依然处在早期发展阶段。即使作为基础科学和技术示范,有些问题也必须得到解决:选择和关注最初的应用,制定循环发展的策略,也包括商业化。这些问题的解决还需要想象和创新。

什么是微流控?微流控是系统的科学技术,它使用几十到几百微米尺度的管道,处理或操控很少量的(10-9至10-18升,1立方毫米至l立方微米)流体。最初的微流控技术被用于分析。微流控为分析提供了许多有用的功能:使用非常少的样本和试剂做出高精度和高敏感度的分离和检测,费用低,分析时间短,分析设备的印记小[1]。微流控既利用了它最明显的特征——尺寸小,也利用了不太明显的微通道流体的特点,比如层流。它本质上提供了在空间和时间上集中控制分子的能力。

作为一项技术,微流控似乎好的不真实:至少在分析领域的主要应用中,它表现出太多的优点和太少的缺点。但是微流控还没有发展成为广泛使用的技术。为什么呢?为什么不是每个生物化学实验室都贴上“芯片实验室”的标签呢?为什么不是每个病人都用微流控家用检测系统监测自己的病情呢?答案还不明确。微流控的优势令人信服难以错过,我相信微流控技术将成为分子分析的主流方式,也许分子合成也是这样。话虽如此,微流控发展成为一项主流的新技术还需要时间和大环境的支持,这个问题的解答不仅对微流控领域是重要的,对那些正在努力去争取成功的新技术也同样重要。

微流控技术从四个领域发展而来:分子分析、生物防御、分子生物学和微电子学。首先来看分子分析。微流控技术最早起源于微量分析方法——气相色谱法,高压液相色谱法,以及用毛细管形式彻底革新了化学分析的毛细电泳法。这些方

法(结合光学检测中的激光技术)使得采用很小量的样本同时获得高敏感性和高分辨率成为可能。随着微量分析方法的大获成功,很明显需要把这些方法发展成为新的、更加紧凑、更加通用的形式,并为这些微尺度方法在化学和生物化学领域寻找新的应用。

发展微流控系统的第二个动力来自冷酷现实——冷战结束以后,生化武器成为主要的军事和恐怖主义威胁。为了应对这些威胁,美国国防部国防高等研究计划署(DARPA)在90年代支持了一系列项目,设计和开发可现场部署的微流控系统用作生化探测器。正是这些项目刺激了微流控领域学术研究的快速发展。

第三个推动来自分子生物学领域。80年代爆发的基因研究,以及随后出现的分子生物学相关的其它微量分析领域,例如高通量DNA测序,都要求新的分析方法具备更大的吞吐率、更高的敏感性和强大的分辨率,这些要求比先前生物学领域的预期要大得多。微流控技术提供了克服这些问题的方法。

微电子学是微流控技术发展的第四个促进。微流控领域最初希望直接使用光刻法和相关技术——它们在硅微电子学和微机电系统中大获成功。微流体系统最早的几个工作实际上确实是使用硅和玻璃,不过这些物质大部分已经被塑料取代了。为了在水中分析生物样本,用玻璃或硅制造设备通常是不必要的或不合适的。特别是硅,既昂贵又不透可见光和紫外线,因此不能和传统的光学检测法一起使用。相比刚性材料,采用弹性合成材料制造微量分析系统所需的泵和阀门等元件要更容易。玻璃和硅都缺少一些性质,难以和活体动物细胞协同工作,特别是透气性。

因此,微流控装置没有按照硅微电子器件的形式发展。微流控系统的大量探索性研究是基于聚合物——聚乙烯或PDMS——其性质完全不同于硅材料[2,3]。PDMS是透明的软弹性材料。到微流控器件最终被广泛使用时,是否还用PDMS 或某种工程塑料(如聚碳酸酯或聚烯烃)还要走着瞧。不过,新的想法很容易用PDMS测试(如气动阀门),这使得PDMS成为探索性研究和早期工程研究中的关键材料。但是,微电子技术对于微流控的发展仍然是不可或缺的。随着微流控的发展,玻璃、钢和硅再一次成为制造那些需要化学和热稳定的专用系统的材料。硅和玻璃的力学稳定性对于刚刚诞生的纳米流控也非常有用。这个领域中流体所处的管道是纳米级别的,一般小于50纳米尺度,其中刚性的管壁用途广泛[4,5]。

微流控领域注意到了快速发展的新制造方法和组件,例如作为管道使用的微通道和那些构成阀门[6,7]、混合器[8-10]和泵[11]的微结构,这些组件是在芯片上建立微化学工厂的基本单元。然而,它对科学还没有产生革命性的影响。技术上的革命既需要广泛的不同类型的组件和子系统,也需要把它们整合成完整的功能系统的方法。微流控领域处在发展的早期,仍然缺少这些基本的需求,也缺少将组件集成到可供非专业人员使用的系统。作为一个领域,它包含了无限的希望、小问题和不完全的承诺。现在正是这个领域激动人心的时刻,但是我们依然不能精确预期当它发展壮大后会是什么样子。

现状

一个微流控系统必须包括一系列的通用组件:一种导入试剂和样品的方法(很可能是流体,虽然在理想情况下可选用粉末);多种在芯片上移动、组合和混合流体的方法;以及各种各样的装置(例如大多数微量分析用到的检测器和为化学合成系统提纯产品的组件)。到目前为止,这个领域仍然专注于演示这些组件的概念。两个特别重要的贡献是:可作为生产原型器件方法的软光刻技术在PDMS上的发展;基于软光刻技术制造气动阀门、混合器和泵的简单方法的发展。这些方法可以在很短时间内制造出原型器件,以用于测试新的想法,从设计到工作器件的典型时间少于两天,这远小于非专业人员用硅材料制造器件一般要花费一个月以上的时间。Quake气动阀门是特别重要的组件,它们使设计和检验复杂的装置成为可能,并打开了多个应用领域(Fig. 1)。Quake阀门利用了在压力作用下流体通道受到临近通道的约束,其操作依靠PDMS的弹性体特性。硅和玻璃(或刚性的工程聚合物,如聚碳酸酯)之类的刚性材料没有(也不可能)制造类似的装置。

流体在大通道中流动的物理性质和在微米级通道中有根本的差别。结合新的制造方法,微流控技术已经有能力利用这些差异[14-16]。Janasek等人描述了连接(或区分)宏观系统和微流控系统的尺度关系,特别强调了对芯片实验室装置的影响(374页)。这些差异中,最重要的是湍流(或湍流的缺席:层流)。在大尺度下,流体以对流的方式混合:例如,牛奶搅入咖啡时的混合或烟离开烟囱混

入空气。这类混合折射出的事实是,在宏观流体中,惯性经常比粘度更重要。在微系统中,用水作为流体会出现相反的情况:流体不会对流混合,他们平行的流动,没有漩涡或乱流,仅有的混合是穿过流体界面的分子扩散的结果。虽然这类被称为层流的流动需要开发特别的装置或组件,用来在需要的时候混合流体,但是在许多情况下,它也被证明是一个有利条件(也是微流控系统的一个特征)。惯性力对粘性力的比值采用雷诺数表示,雷诺数是用于研究流体的许多无量纲数中的一个。

在微系统中流动的流体还具有许多有趣和有用的特点,其中只有一部分被开发利用。一个特别有用的特点是电渗流(EOF)[17]。当离子流体(例如水)被放置在微通道中,通道的表面固定上电荷(比如二氧化硅或表面被氧化的PDMS),并沿着通道施加一个电势,流体会像塞子一样移动,而不是采用压力输送流体时的抛物线式的流动。EOF将许多压力驱动系统中出现的样品栓塞增宽问题减少到最小,允许以非常高的分辨率分离不同种类的离子。这对于在微通道中实现DNA的电泳法分离是一个关键。第二个潜在的有用特性是纳米流控技术在微通道中操控水的能力,微通道的尺度近似Debye长度。实际上,我们还不清楚这个尺度下流体的特点,纳米流控系统为了解流体物理的新现象打开了一扇窗。

当前的应用

目前,已经有了充足的制造方法和种类丰富的元件,这使得应用微流控系统解决实际问题成为可能,而不仅仅是简单的演示原理。发展最好的应用可能是用于蛋白质结晶的筛查条件(例如PH值,离子强度和成分,助溶剂和浓缩等)(Fig.2)[20-22]。这些过程有能力筛查大量的条件,将晶体的成核与生长分开,极大地减小了晶体成型后再处理所造成的损害。现在,这类技术有些已经投入商业使用。其它有实验演示的应用包括耦合了质谱分析的分离方法[23],药品研发中的高通量筛查[24,25],生物分析[26],检验和操控单细胞[27,28]或单分子[29,30]组成的样品,为正电子发射断层扫描(PET)合成F-labelled有机化合物[18,31]。单分子领域的研究在Craighead的主题中讨论(387页)。

微流控系统的另一个长处是操控多相流。它有能力在连续的液体流动中产生和操控单个分散的气泡或液滴[32-37],为生产聚合物颗粒、乳剂和泡沫提供了新的方法[38]。液滴也可以用作研究快速有机反应的隔离室。微通道内的流体可构成新的光学系统的基础——从两层低折射液体夹一层高折射率液体构成的导波管到流体在镜头和Bragg镜子中的应用,这一系列的系统都是基于微流控技术[39-44]。Psaltis、Yang和Quake详细描绘了这个区域以及他的发展潜力(381页)。

微流控系统为细胞生物学的研究带来了新的能力。Jensen等人(403页)介绍了几种看上去无疑对细胞生物学家很有用处的新工具,以及细胞生物学家希望得到的功能。真核细胞在附着和传播的时候,其线性大小约为10~100微米。当前的微流控装置正好用于这个尺度的研究。PDMS具有出色的透明度、低毒性和对氧和二氧化碳的高渗透率,有可能成为独一无二的材料,用于建造观察细胞生长的微室(Fig. 4)[45-48]。PDMS微流控系统在细胞生物学的大量研究中使用,包括细胞骨架[49],细胞对其附着的基板施加的力[50],细胞的容量(降到单细胞水平)[27,51],分离活动和不动的细胞[52],胚胎[53-55],等等。

化学合成(尤其是有机化学和药物化学)似乎是一个天生就适合应用微流控系统的领域,但是在接受微流体结构作为新功能的发展策略方面还是落后了。(deMello讨论了微系统中化学反应的一些特点,394页)。两个因素造成了这个落后的局面。首先,微流控系统目前还不具备传统仪器的灵活性。其次,PDMS 作为微流控学术研究中最常用的物质,会在许多常见的有机溶剂中溶解或膨胀[56]。虽然硅、玻璃、钢或者除PDMS之外的聚合物既可以解决这个问题[57-60],又允许高温高压的化学反应,但是用这些材料制造微流控装置要比采用PDMS 困难的多。采用钢铁等刚性物质制造泵和阀门需要特别的技巧,和使用PDMS 的方法完全不同。

实用微量分析系统的发展[61-65]——特别是针对生物分析——一直是快速的,尽管还没有达到预期中的广泛日常应用。部分原因是由于分析周期中的两个环节——样品制备和检测——存在技术限制。生物样本——尤其是临床样本(例如血液或粪便)——经常是稀释的或复杂的。在这些样本能够被微流控装置分析之前,它们必须被转化成分析所要求的特定形式,然后才能导入分析装置。完成这个任务的方法和样本有关,而且不必是微尺度的。在制备完成、进入分析装置

并被处理之后,接下来就要对样本进行检测。这个检测通常是采用芯片外的显微镜完成的。如果一个系统的样本导入和检测过程比芯片操作复杂得多,那么只把微流控芯片作为系统的一个小部分使用可能在某些情况下是合适的,但是这确实降低了微流控装置的潜在优势。还有一些规范问题,比如泵、阀门和芯片试剂的存储,也需要比现在更好的解决方案。

展望

微流控要想成为主流的新技术还有哪些需求必须满足呢?那些人们在微流控的构想时期所憧憬的希望会实现吗?微流控技术还没有实现它早期宣称的功能,这个实际情况并不令人吃惊。微流控发展到目前水平既符合新技术的发展特点,也提示我们下一步要集中在哪些工作领域。

引进新技术时的一般问题

微流控最初是希望发展成为一种实用技术,能够在众多不同应用中被广泛的使用,这一点仍然是我们当中的许多人在这个领域工作的动力。我有信心这个希望会最终实现,但是和其它的新技术一样,必须先期解决几个问题。首先,它必须在商用方面取得成功,而不只是停留在以概念演示和学术论文为基础的圈子里。微流控系统造成的影响只有当人们都在用的时候才会变得明朗,这和激光、NMR(核磁共振)光谱仪以及扫描探针显微镜的发展是一样的。微流控技术必须能够为流体物理或纳米光刻专家以外的人解决问题,这些人可以使临床医生、细胞生物学家、警官或公共健康官员。为了这些应用,科研团体必须承担起重任——把合适的系统变得到处可用而且廉价。

和那些正在从大学实验室转变到工业化的技术一样,“谁拥有所有权?”的问题,即知识产权,必须得到解决。对于价值很高的技术,例如生物制药和信息处理系统,知识产权问题通常采用专利协商、预付款或股权等形式解决。然而,最有趣的微流控应用是那些需求量大、价格低廉的应用,例如公共健康监视和环境监视中的装置,以及用于发展中地区医疗系统的设备。在这些领域中,大学和工业届对技术估值的历史差异会成为一个严重问题:如果大学对一项发明的要价

太高,那么工业界在把它发展成为商用技术时就会无利可图。

还有被称为“第一个用户溢价”的问题。在引进新技术时,第一个商用用户会支付过多的开发成本,并承担过多的开发风险。如果这个应用是非常吸引人的,如果它具有很高的潜在价值(杀手级应用),那么这些费用和风险就更容易被接受。虽然生物研究的市场正在发展起来,但是微流控的杀手级应用还没有出现。

高价值的应用

理论上讲,微流控系统中有一些高价值的应用,但是开发这些应用需要微流控和生物医药两方面的创新——一次做两件事情总是很困难的。开发新的生物测定方法用于监控病人的治疗效果就是一项高价值的应用;开发新的测试方法用于家庭检测或在疾病的早期阶段用在医生办公室中是另一项高价值应用。两者都似是而非的在生物制药领域发展,但是都要深入理解已经高度发展的疾病生物标记技术和微流控系统。将来,保健行业几乎肯定会从疾病治疗中脱离出来。这个可预见的保健行业需要广泛的、敏感的、经常的筛查和检测。微流控系统看上去是这些检测最合适采用的技术。

制药业的工具

制药工业的技术复杂而精细,理论上讲,它们也有能力采用复杂而精细的新技术。工业界也正经历着生产能力的危机,极其需要新工具来引导新药品的开发,特别是从动物和细胞的表现预测潜在的新药在人体中的效果。微流控在生物制药中的用于一些分析系统似乎是直截了当的(例如,用分析系统监控和优化抗体药物等蛋白质药物的生产)。其它的(例如基于原代细胞的实验能够预言人体临床试验的表现)应用技术上更复杂,但至少在一些实例中是可行的。在这两种应用中,试验必须用高可再生的、容易操控的方式对微系统打包(几乎肯定是微流控系统),而且打包方式要能够被技术员熟练地运用。

研究

新技术的引入和发展经常会得到一些推动,这些推动来自于那些对作用巨大、成本不敏感的用途的研究:用于处理和分析DNA和RNA的设备是最近的例证。为基因组学、蛋白质组学和代谢组学发展新的微流控工具正在实验室里快速进行,并且会刺激大范围的成果产出。

大容量微分析工具

在微流控系统种最有趣和最重要的潜在应用正是它的最初目标:生物医学和相关应用,这些应用需要小剂量的样品、未经训练的人员就能掌握的常规操作和低成本(Fig. 5)。大量的这类应用具有一个吸引人的共性,而且适合分析的数量可能是巨大的(每年几亿次的检测)。这组应用会包括发展中地区医疗保健的投递和监控,发达地区的家庭医疗保健和用在医生办公室内,用于国土安全和反恐,用于第一响应(警察,医务人员和消防部门),以及食品安全监控。用于发展中地区的诊断系统要求低成本、适应性强的微流控技术,Yager等人介绍了这个快速发展的领域(412页)。

这些应用也遭受着“先有鸡还是先有蛋”的困扰:如果分析的成本很低而且检验的发展状态很高,使用量一定会很大;如果使用量很大,成本就一定会很低。

新的科学和技术

微流控技术的发展才刚开始。许多因素表明微系统的许多早期应用都含有流体,包括流体光学和细胞的探测,微通道系统中新型有机合成的发展,基于大阵列探测器和高通量筛查技术的持续发展,使用液压系统基于微流控技术制造机器人系统,使用流体的微电子机械系统,以及带有微流控组件的仿生系统的产品。将微流控系统扩展为纳米流控,其中通道的尺寸和壁面附近结构化流体层的厚度相仿。这使探测表面附近水的性质以及离子和电解质的在这个界面上的传输成为可能。PDMS的生物兼容性表明,在某些类型的生物医药相关分析中,把微流控系统嵌入活体最终是可以实现的。单细胞和单分子分析要求技术可以使用小剂量的样品,可用来检验细胞生物学、分子化学和分子生物学的基本假设。

微流控装置的设计和制造

微流控商业化的一个重要方面是微流控制造技术的发展。最终,可能会存在多种制造技术,但是在微流控发展的早期阶段,确定一组材料和过程用于将实验演示转换到商用设备是重要的一步。应该使用聚脂薄膜、PDMS或聚碳酸酯发展微流控装置吗?处理巨大量的技术有多重要?密封和打包技术发展的怎么样?

结论

那么,微流控带来的是什么呢?微流控即是科学也是技术。它给未来提供了新的强大的功能——甚至是革命性的。它还只是个初生儿,在超越“学术研究的活跃领域”之前还有大量的工作需要完成。然而,这个领域的基础非常牢固:世界上大量的技术需要操控流体,当探索和利用新的微尺度流体现象时,将这些操控技术扩展到小尺度并配合精确的动态浓度控制肯定是非常重要的。

(译于2015年9月3日,即抗日战争胜利70周年纪念日,闻炳海)

微流控技术平台在IVD中的运用

一、微流控平台的定义和特点 微流控是一项融合了微电子学、材料科学、生物科学、制药以及临床医学等众多领域的综合性技术,需要跨领域跨学科的深入交流和合作。什么是微流控芯片?微型+集成+自动化。微流控芯片顺应分析仪器的发展趋势(微型化/集成化与便携化),很大程度缩短样本处理时间,并通过精密控制液体流动,实现试剂耗材的最大利用效率,把整个化验室的功能,包括采样、稀释、加试剂、反应、分离、检测等集成在微芯片上,且可以多次使用。 微流控芯片的发展正呈现三个基本特征:1)平台研究多学科交叉,2)应用研究多领域渗透,3)产业迅速崛起将成为新一代即时诊断(POCT)的主流技术;微流控反应筛选芯片在高通量药物筛选、材料合成、模拟和单细胞测序等领域显示了巨大潜力;而微流控细胞/器官芯片则有望应用于药物毒理和药理作用研究,部分替代医药研究试验动物,是细胞及微环境操控最重要的技术平台。 微流控芯片的最大特点是在一个芯片上可以形成多功能集成体系和数目众多的复合体系的微全分析系统。微流控芯片内部集成的单元部件越来越多,且集成的规模也归来越大,使着微流控芯片有着强大的集成性。同时可以大量平行处理样品,具有高通量的特点,分析速度快、耗低,物耗少,污染小,分析样品所需要的试剂量仅几微升至几十个微升,被分析的物质的体积甚至在纳升级或皮升级。 原则上,微流控芯片作为一种“微全分析技术平台可以应用于各个分析领域,如生化医疗诊断、食品和商品检验、环境监测、刑事科学、军事科学和航天科学等重要应用领域,其中生物医学分析是热点。目前来看,体外诊断是微流控技术的最大的应用场景,而在体外诊断中,微流控技术应用的重点在于化学发光(免疫诊断)和分子诊断中。 二、微流控的研究及产业化 微流控的理论研究兴起于20多年前,目前,理论研究准备已经非常成熟,在此,不再赘述。下面我们主要看看产业化之路 对比国内外商业化的微流控产品,国外在生化免疫、分子领域均有相对成熟的产品,其中不乏重磅级代表品种(雅培的i-STAT、Illumina的测序仪系列等);国内微流控产品的商业化相对落后,最早上市的微点生物mlabs系列等。 在产业化中,微流控一般分为以下几大类型:气压推动式微流控,离心力推动式微流控,液滴微流控,数字化微流控,纸质微流控等。 气压推动式微流控主要利用气压来推动流体在芯片中的运动,在微流控产业化中出现的最多,像生物梅里埃的filmarray, 罗氏诊断的cobas Liat PCR System,Atlas Genetics的io,博晖创新的HPV分子诊断全自动分析仪,华迈兴微的M2微型化学发光分析系统等等都是。 离心微流控是利用离心力来实现微流控芯片中的芯片的推动,在微流控产业中也占据着重要地位,比如美国爱贝斯(Abaxis)Piccolo Xpress?即时生化检测仪,天津微纳芯科技的pointcare M,杭州霆科生物的微流控芯片农残速测仪等等。

微电子技术的发展历史与前景展望

微电子技术的发展历史与前景展望 姓名:张海洋班级:12电本一学号:1250720044 摘要:微电子是影响一个国家发展的重要因素,在国家的经济发展中占有举 足轻重的地位,本文简要介绍微电子的发展史,并且从光刻技术、氧化和扩散技术、多层布线技术和电容器材料技术等技术对微电子技术做前景展望。 关键词:微电子晶体管集成电路半导体。 微电子学是研究在固体(主要是半导体)材料上构成的微小型化电路、电路及系统的电子学分支,它主要研究电子或粒子在固体材料中的运动规律及其应用,并利用它实现信号处理功能的科学,以实现电路的系统和集成为目的,实用性强。微电子产业是基础性产业,是信息产业的核心技术,它之所以发展得如此之快,除了技术本身对国民经济的巨大贡献之外,还与它极强的渗透性有关。 微电子学兴起在现代,在1883年,爱迪生把一根钢丝电极封入灯泡,靠近灯丝,发现碳丝加热后,铜丝上有微弱的电流通过,这就是所谓的“爱迪生效应”。电子的发现,证实“爱迪生效应”是热电子发射效应。 英国另一位科学家弗莱明首先看到了它的实用价值,1904年,他进一步发现,有热电极和冷电极两个电极的真空管,对于从空气中传来的交变无线电波具有“检波器”的作用,他把这种管子称为“热离子管”,并在英国取得了专利。这就是“二极真空电子管”。自此,晶体管就有了一个雏形。 在1947年,临近圣诞节的时候,在贝尔实验室内,一个半导体材料与一个弯支架被堆放在了一起,世界上第一个晶体管就诞生了,由于晶体管有着比电子管更好的性能,所以在此后的10年内,晶体管飞速发展。 1958年,德州仪器的工程师Jack Kilby将三种电子元件结合到一片小小的硅片上,制出了世界上第一个集成电路(IC)。到1959年,就有人尝试着使用硅来制造集成电路,这个时期,实用硅平面IC制造飞速发展.。 第二年,也是在贝尔实验室,D. Kahng和Martin Atalla发明了MOSFET,因为MOSFET制造成本低廉与使用面积较小、高整合度的特点,集成电路可以变得很小。至此,微电子学已经发展到了一定的高度。 然后就是在1965年,摩尔对集成电路做出了一个大胆的预测:集成电路的芯片集成度将以四年翻两番,而成本却成比例的递减。在当时,这种预测看起来是不可思议,但是现在事实证明,摩尔的预测诗完全正确的。 接下来,就是Intel制造出了一系列的CPU芯片,将我们完全的带入了信息时代。 由上面我们可以看出,微电子技术是当代发展最快的技术之一,是电子信息产业的基础和心脏。时至今日,微电子技术变得更加重要,无论是在航天航空技术、遥测传感技术、通讯技术、计算机技术、网络技术或家用电器产业,都离不开微电子技术的发展。甚至是在现代战争中,微电子技术也是随处可见。在我国,已经把电子信息产业列为国民经济的支拄性产业,微电子信息技术在我国也正受到越来越多的关注,其重要性也不言而喻,如今,微电子技术已成为衡量一个国家科学技术进步和综合国力的重要标志,微电子科学技术的发展水平和产业规模是一个国家经济实力的重要标志。

微电子导论论文--发展及历史

中国微电子技术发展现状及发展趋势 论文概要: 介绍了中国微电子技术的发展现状,并阐述对微电子技术发展趋势的展望。针对日前世界局势紧张,战争不断的状况,本文在最后浅析了微电子技术在未来轻兵器上的应用。 一.我国微电子技术发展状况 1956年7月,国务院科学专业化规划委员会正式成立,组织数百各科学家和技术专家编制了十二年(1965—1967年)科学技术远景规划,这个著名的《十二年规划》中,明确地把发展计算机技术、半导体技术、无线电电子学、自动化和遥感技术放到战略的重点上,我国半导体晶体管是1957年研制成功的,1960年开始形成生产;集成电路始于1962年,于1968年形成生产;大规模集成电路始于70年代初,80年代初形成生产。但是,同世界先进水平相比较,我们还存在较大的差距。在生产规模上,目前我国集成电路工业还没有实现高技术、低价格的工业化大生产,而国外的发展却很快,美国IBM 公司在日本的野洲工厂生产64K动态存贮器,1983年秋正式投产后,每日处理硅片几万片,月产量为上百万块电路,生产设备投资约8000万美元。日本三菱电机公司于1981年2月开始动土兴建工厂,1984年投产,计划生产64K动态存贮器,月产300万块,总投资约为1.2亿美元。 此外,在美国和日本,把半导体研究成果形成工业化生产的周期也比较短。在美国和日本,出现晶体观后,形成工业生产能力是3年;出现集成电路后形成工业生产能力是1—3年;出现大规模集成电路后形成工业生产能力是1—2年;出现超大规模集成电路后形成工业生产能力是4年。我国半导体集成电路工业长期以来也是停留在手工业和实验室的生产方式上。近几年引进了一些生产线,个别单位才开始有些改观,但与国外的差距还是相当大的。 从产品的产值和产量方面来看,目前,全世界半导体与微电子市场为美国和日本所垄断。这两国集成电路的产量约占体世界产量的百分之九十,早期是美国独占市场,而日本后起直追。1975年美国的半导体与集成电路的产值是66亿美元,分离器件产量为110多亿只,集成路为50多亿块;日本的半导体与集成电路的产值是30亿美元,分离器件产量为122亿只,集成电路为17亿块。1982年美国的半导体与集成电路的产值为75美元,分离器件产量为260多亿只,集成电路为90多亿块;日本的半导体与集成电路的产值为38亿美元,分离器件产量300多亿只,集成电路40多亿块。我国集成电路自1976年至1982年,产量一直在1200万块至3000万块之间波动,没有大幅度的提高,1982年我国半导体与集成电路的产值是0.75亿美元,产量为1313万块,相当于美国1965年和日本1968年的水平。(1965年美国的半导体与集成电路的产值是0.79亿美元,产量为950万块;1968年日本的半导体与集成电路的产值为0.47亿美元,产量为1988万块)。 在价格、成本、劳动生产率、成品率等方面,差距比几十倍还大得多,并且我国小规模集成电路的成品率比国外低1—3倍;中规模集成电路的成品率比国外低3—7倍。目前中、小规模集成电路成品率比日本1969年的水平还低。从经济效益和原材料消耗方面考虑,国外一般认为,进入工业生产的中、小规模集成电路成品率不应低于50%,大规模集成电路成品率不应低于30%。我国集成电路成品率的进一步提高,已迫在眉睫,这是使我国集成电路降低成本,进入工业化大生产、提高企业经济效益带有根本性的一环。从价格上来看,集成电路价格是当前我国集成电路工业中的重大问题,产品优质价廉,市场才有立足之地。我国半导体集成电路价格,长期以来,降价较缓慢,近两三年来,集成电路的平均价格为每块10元左右,这种价格水平均相当于美国和日本1965

微流控技术

微流控技术及其应用 摘要:微流控技术广泛应用于生化分析、疾病诊断、微创外科手术、环境检测等领域。微通道结构设计与制造、微纳尺度流体的驱动与控制、微流控器件及系统的集成与封装是该领域的3大关键技术。本文综述了微流控技术在这3个方面的发展现状及在不同领域中的应用,展望了微流控技术的发展前景,指出多相微流体的介观传输理论及跨尺度流体的性质将是今后研究的重点与热点。 1、微流控技术简介: 微流控技术是指在至少有一维为微米甚至纳米尺度的低维通道结构中控制体积为皮升至纳升的流体进行流动并传质、传热的技术,可广泛应用于生化分析、免疫分析、微创外科手术、环境监测等众多领域。根据美国两院院士、哈佛大学乔治·怀特塞兹(George Whitesides)教授2006年刊登在国际顶级科学期刊《科学》上的文章中的定义,微流控(Microfluidics)是指针对极微量体积流体(10-9L~10-18L)进行操控的科学与技术。实现微流体操控的主要方法就是将流体限制在一个微米甚至纳米尺度的通道中,而这些通道的制作手段起源于制作微电子处理芯片的半导体工艺流程。最早提出微流控这个概念的是1990年在瑞士Ciba-Geigy公司做研究的Andreas Manz教授,他最初的设想是将微机电(MEMS)与分析化学相结合,从而做出一个类似芯片能将各种功能集成在一起的微型分析仪器。当时,这样的系统被称为微全分析系统,英文是Miniaturized totalanalysis systems,简称为MicroTAS或μTAS。1998年,微流控技术被评为世界十大科技进展之一,发展至今,微流控已经演变成一个十分独特的前沿科学领域。微流控技术还有另一个十分形象化的名字,芯片实验室(Labonachip),就好比将实验室里对样品的各种操作流程都集成在一块小芯片上。 2001年,英国皇家化学学会为此专门推出了《芯片实验室》(LabonChip)期刊,如今该期刊已经成为国际微流控领域的顶级期刊。 2、微流控技术应用 微流控芯片的显著特点:所需样品试剂量很小,分析速度快,易于阵列化从而能够实现高通量检测、系统集成化、微型化、自动化和便携式;在单细胞或单分子研究领域,微流控芯片有着明显的优势。此外,由于样品在微纳尺度下的特殊效应,使用微流控芯片也能够开展一些独特的前沿研究。其被用于航空航天、医学、农业、生物工程、材料加工、化工工业等众多领域。 2.1 生物医学领域的应用 微纳尺度下,流体间的传质、传热和反应过程高效、易控,主要是因为: 1)短程分子扩散有利于控制化学反应进程并且能够快速达到平衡状态; 2)相对较大的界面有利于促进界面反应; 3)反应发生时只需要少量热能,散热和加热过程都容易实现,能精确控制反应温度; 4)待分析的溶液或物质需求量极微小,可以节省贵重药品消耗或有毒物质的挥发。这些特点使微流控技术应用于萃取提纯口“、病毒及细胞或大分子的分离与检测以及疾病的快速诊断口方面具有显著的优势。 2.2层流微加工技术 层流微加工是利用微流体的层流特性,通过精确地控制化学反应试剂在微通道中的传输过程,在微通道中特定区域加工或合成化学物质的新型微加工技术。

微电子技术的发展

什么是集成电路和微电子学 集成电路(Integrated Circuit,简称IC):一半导体单晶片作为基片,采用平面工艺,将晶体管、电阻、电容等元器件及其连线所构成的电路制作在基片上所构成的一个微型化的电路或系统。 微电子技术 微电子是研究电子在半导体和集成电路中的物理现象、物理规律,病致力于这些物理现象、物理规律的应用,包括器件物理、器件结构、材料制备、集成工艺、电路与系统设计、自动测试以及封装、组装等一系列的理论和技术问题。微电子学研究的对象除了集成电路以外,还包括集成电子器件、集成超导器件等。 集成电路的优点:体积小、重量轻;功耗小、成本低;速度快、可靠性高; 微电子学是一门发展极为迅速的学科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向; 衡量微电子技术进步的标志要在三个方面:一是缩小芯片器件结构的尺寸,即缩小加工线条的宽度;而是增加芯片中所包含的元器件的数量,即扩大集成规模;三是开拓有针对性的设计应用。 微电子技术的发展历史 1947年晶体管的发明;到1958年前后已研究成功一这种组件为基础的混合组件; 1958年美国的杰克基尔比发明了第一个锗集成电路。1960年3月基尔比所在的德州仪器公司宣布了第一个集成电路产品,即多谐振荡器的诞生,它可用作二进制计数器、移位寄存器。它包括2个晶体管、4个二极管、6个电阻和4个电容,封装在0.25英寸*0.12英寸的管壳内,厚度为0.03英寸。这一发明具有划时代的意义,它掀开了半导体科学与技术史上全新的篇章。 1960年宣布发明了能实际应用的金属氧化物—半导体场效应晶体管(metal-oxide-semiconductor field effect transistor ,MOSFET)。 1962年生产出晶体管——晶体管逻辑电路和发射极耦合逻辑电路; 由于MOS电路在高度集成和功耗方面的优点,70年代,微电子技术进入了MOS电路时代;随着集成密度日益提高,集成电路正向集成系统发展,电路的设计也日益复杂、费事和昂贵。实际上如果没有计算机的辅助,较复杂的大规模集成电路的设计是不可能的。 微电子发展状态与趋势 微电子也就是集成电路,它是电子信息科学与技术的一门前沿学科。中国科学院王阳元院士曾经这样评价:微电子是最能体现知识经济特征的典型产品之一。在世界上,美国把微电子视为他们的战略性产业,日本则把它摆到了“电子立国”的高度。可以毫不夸张地说,微电子技术是当今信息社会和时代的核心竞争力。 在我国,电子信息产业已成为国民经济的支柱性产业,作为支撑信息产业的微电子技术,近年来在我国出现、崛起并以突飞猛进的速度发展起来。微电子技术已成为衡量一个国家科学技术进步和综合国力的重要标志。 1.微电子发展状态 1956年五校在北大联合创建半导体专业:北京大学、南京大学、复旦大学、

一文解析微流控技术原理及起源

一文解析微流控技术原理及起源 微流控技术的起源微型化、集成化和智能化,是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统(MEMS )技术的发展,电子计算机已由当年的”庞然大物”演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统,甚至是一部微型的智能手机。MEMS技术全称Micro Electromechanical System ,MEMS设想是由诺贝尔物理学奖获得者Richard Feynman教授于1959年提出,其基本概念是用半导体技术,将现实生活中的机械系统微型化,形成微型电子机械系统,简称微机电系统。 1962年全球第一款微型压力传感器面世,这一创新产品后来被应用于汽车安全(轮胎压力检测)和医疗(有创血压计),开启了MEMS时代。今天MEMS技术在军事、航天航空,生物医药、工业交通及消费领域扮演核心技术的角色,智能手机中就嵌入了多个MEMS 芯片,如麦克风,加速度计,GPS定位等。 微流控技术原理微流控(microfluidics )是一种精确控制和操控微尺度流体,以在微纳米尺度空间中对流体进行操控为主要特征的科学技术,具有将生物、化学等实验室的基本功能诸如样品制备、反应、分离和检测等缩微到一个几平方厘米芯片上的能力,其基本特征和最大优势是多种单元技术在整体可控的微小平台上灵活组合、规模集成。是一个涉及了工程学、物理学、化学、微加工和生物工程等领域的交叉学科。 微流控是系统的科学技术,它使用几十到几百微米尺度的管道,处理或操控很少量的(10*至10~18升,1立方毫米至1立方微米)流体。最初的微流控技术被用于分析。微流控为分析提供了许多有用的功能:使用非常少的样本和试剂做出高精度和高敏感度的分离和检测,费用低,分析时间短,分析设备的印记小。微流控既利用了它最明显的特征一一尺寸小,也利用了不太明显的微通道流体的特点,比如层流。它本质上提供了在空间和时间上集中控制分子的能力。 基于微流控芯片的代表性关键技术1、微流控分析芯片是新一代床旁诊断(Point of care

浅谈我对微电子的认识

[键入公司名称] 浅谈我对微电子的认识 [键入文档副标题] X [选取日期] [在此处键入文档摘要。摘要通常为文档内容的简短概括。在此处键入文档摘要。摘要通常为文档内容的简短概括。]

我是电子信息科学与技术专业的学生,考虑到微电子对我们专业知识学习的重要性,我怀着极大的热情报了《微电子入门》这门选修课。希望通过这门课的学习,使我对微电子有更深入的认识,以便为以后的专业课学习打下基础。 微电子是一门新兴产业,它的发展关系着国计民生。它不仅应用于科学领域,也被广泛应用于国防、航天、民生等领域。它的广泛应用,使人们的生活更见方便。现代人的生活越来越离不开电子。因此,对电子的了解显得十分重要。微电子作为电子科学的一个分支,也发挥着日益重要的作用。通过几周的学习,我对微电子有了初步的认识。 首先,我了解了微电子的发展史,1947年晶体管的发明,后来又结合印刷电路组装使电子电路在小型化的方面前进了一大步。到1958年前后已研究成功以这种组件为基础的混合组件。集成电路的主要工艺技术,是在50年代后半期硅平面晶体管技术和更早的金属真空涂膜学技术基础上发展起来的。1964年出现了磁双极型集成电路产品。 1962年生产出晶体管——晶体管理逻辑电路和发射极藉合逻辑电路。MOS集成电路出现。由于MOS电路在高度集成方面的优点和集成电路对电子技术的影响,集成电路发展越来越快。 70年代,微电子技术进入了以大规模集成电路为中心的新阶段。随着集成密度日益提高,集成电路正向集成系统发展,电路的设计也日益复杂、费时和昂贵。实际上如果没有计算机的辅助,较复杂的大规模集成电路的设计是不可能的。70年代以来,集成电路利用计算机的设计有很大的进展。制版的计算机辅助设计、器件模拟、电路模拟、逻辑模拟、布局布线的计算辅助设计等程序,都先后研究成功,并发展成为包括校核、优化等算法在内的混合计算机辅助设计,乃至整套设备的计算机辅助设计系统。 微电子技术是随着集成电路,尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,微电子技术是微电子学中的各项工艺

微流控技术的起源和展望

微流控技术的起源和展望 George M. Whitesides 摘要:微流控技术用在几十微米尺度的管道中操控流体。它已逐渐发展成为全新的领域,其影响延伸到化学合成、生物分析、光学、甚至信息技术。但是,微流控领域依然处在早期发展阶段。即使作为基础科学和技术示范,有些问题也必须得到解决:选择和关注最初的应用,制定循环发展的策略,也包括商业化。这些问题的解决还需要想象和创新。 什么是微流控?微流控是系统的科学技术,它使用几十到几百微米尺度的管道,处理或操控很少量的(10-9至10-18升,1立方毫米至l立方微米)流体。最初的微流控技术被用于分析。微流控为分析提供了许多有用的功能:使用非常少的样本和试剂做出高精度和高敏感度的分离和检测,费用低,分析时间短,分析设备的印记小[1]。微流控既利用了它最明显的特征——尺寸小,也利用了不太明显的微通道流体的特点,比如层流。它本质上提供了在空间和时间上集中控制分子的能力。 作为一项技术,微流控似乎好的不真实:至少在分析领域的主要应用中,它表现出太多的优点和太少的缺点。但是微流控还没有发展成为广泛使用的技术。为什么呢?为什么不是每个生物化学实验室都贴上“芯片实验室”的标签呢?为什么不是每个病人都用微流控家用检测系统监测自己的病情呢?答案还不明确。微流控的优势令人信服难以错过,我相信微流控技术将成为分子分析的主流方式,也许分子合成也是这样。话虽如此,微流控发展成为一项主流的新技术还需要时间和大环境的支持,这个问题的解答不仅对微流控领域是重要的,对那些正在努力去争取成功的新技术也同样重要。 微流控技术从四个领域发展而来:分子分析、生物防御、分子生物学和微电子学。首先来看分子分析。微流控技术最早起源于微量分析方法——气相色谱法,高压液相色谱法,以及用毛细管形式彻底革新了化学分析的毛细电泳法。这些方

(完整版)微电子技术发展现状与趋势

本文由jschen63贡献 ppt文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT,或下载源文件到本机查看。 微电子技术的发展 主要内容 微电子技术概述;微电子发展历史及特点;微电子前沿技术;微电子技术在军事中的应用。 2010-11-26 北京理工大学微电子所 2 2010-11-26 北京理工大学微电子所 3 工艺流程图 厚膜、深刻蚀、次数少多次重复 去除 刻刻蚀 牺牲层,释放结构 多 工艺 工工艺 2010-11-26 工 5 微电子技术概述 微电子技术是随着集成电路,尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和;微电子学是一门发展极为迅速的学科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向;衡量微电子技术进步的标志要在三个方面:一是缩小芯片中器件结构的尺寸,即缩小加工线条的宽度;二是增加芯片中所包含的元器件的数量,即扩大集成规模;三是开拓有针对性的设计应用。 2010-11-26 北京理工大学微电子所 6 微电子技术的发展历史 1947年晶体管的发明;到1958年前后已研究成功以这种组件为基础的混合组件; 1962年生产出晶体管——晶体管逻辑电路和发射极耦合逻辑电路;由于MOS电路在高度集成和功耗方面的优点,70 年代,微电子技术进入了MOS电路时代;随着集成密度日益提高,集成电路正向集成系统发展,电路的设计也日益复杂、费时和昂贵。实际上如果没有计算机的辅助,较复杂的大规模集成电路的设计是不可能的。 2010-11-26 北京理工大学微电子所 7 微电子技术的发展特点 超高速:从1958年TI研制出第一个集成电路触发器算起,到2003年Intel推出的奔腾4处理器(包含5500 万个晶体管)和512Mb DRAM(包含超过5亿个晶体管),集成电路年平均增长率达到45%;辐射面广:集成电路的快速发展,极大的影响了社会的方方面面,因此微电子产业被列为支柱产业。

微电子的技术发展方向

1 微电子技术发展方向 21世纪初微电子技术仍将以尺寸不断缩小的硅基CMOS工艺技术为主流;随着IC设计与工艺水平的不断提高,系统集成芯片将成为发展的重点;并且微电子技术与其他学科的结合将会产生新的技术和新的产业增长点。 1.1 主流工艺——硅基CMOS电路 硅半导体集成电路的发展,一方面是硅晶(圆)片的尺寸愈来愈大,另一方面是光刻加工线条(特征尺寸)愈来愈细。 从硅片尺寸来看,从最初的2英寸,经过3英寸、4英寸、5英寸、6英寸发展到当今主流的8英寸。据有关统计,目前世界上有252条8英寸生产线,月产片总数高达440万片,现在还在继续建线。近几年来又在兴建12英寸生产线,硅晶片直径达12英寸(300mm),它的面积为8英寸片(200mm)的2.25倍。1999年11月下旬,由Motorola与Infineon Technologies联合开发的全球首批300mm 晶片产品面市。该产品是64M DRAM,采用的是0.25μm工艺技术,为标准的TSOP 封装。据介绍,300mm晶片较200mm晶片,每个芯片的成本降低了30%~40%。到目前,已经达到量产的12英寸生产线已有6条,它们是: (1)Semiconductor 300公司,位于德国德累斯顿,开始月产1500片,由0.25μm进到0.18μm。 (2)Infineon公司,位于德国德累斯顿,0.14μm,开始月产4000片。 (3) TSMC公司,位于我国台湾新竹, Fab12工厂生产线,由0.18μm进到0.15μm以至0.13μm,开始月产4500片。 (4)三星公司,位于韩国,Line 11生产线,0.15/0.13μm,开始月产1500片。 (5)Trecenti公司,位于日本那珂N3厂,月产能7000片,0.15/0.13μm。 (6)Intel公司的D1C厂,开始月产4000片,0.13μm。 此外,已经建厂,开始试投的也已有9条线;正在建的有4条线。 采用12英寸晶片生产的IC产品,据报道已有:韩国三星公司批量生产512M 内存(DRAM);美国Altera公司在台湾TSMC公司加工生产可编程逻辑器件(PLD),采用0.18μm技术;美国Intel公司在2001年3月份宣布,在当年采用0.13μm 技术建12英寸生产线量产CPU。其余各线主要做存储器电路,DRAM、SRAM或Flash。 在光刻加工线条(特征尺寸)方面,如前所述,在主流0.25μm技术之后,已有0.18μm、0.15μm以至0.13μm技术连续开发出来并投入使用。

微电子行业前景与就业形势

微电子行业前景与就业形势 当前,我们正在经历新的技术革命时期,虽然它包含了新材料、新能源、生物工程、海洋工程、航空航天技术和电子信息技术等等,但是影响最大,渗透性最强,最具有新技术革命代表性的乃是以微电子技术为核心的电子信息技术。 自然界和人类社会的一切活动都在产生信息,信息是客观事物状态和运动特征的一种普通形式,它是为了维持人类的社会、经济活动所需的第三种资源(材料、能源和信息)。社会信息化的基础结构,是使社会的各个部分通过计算机网络系统,连结成为一个整体。在这个信息系统中由通讯卫星和高速大容量光纤通讯将各个信息交换站联结,快速、多路地传输各种信息。在各信息交换站中,有多个信息处理中心,例如图形图像处理中心、文字处理中心等等;有若干信息系统,例如企事业单位信息系统,工厂和办公室自动化系统,军队连队信息系统等等;在处理中心或信息系统中还包含有许多终端,这些终端直接与办公室、车间、连队的班排、家庭和个人相连系。像人的神经系统运行于人体一样,信息网络系统把社会各个部分连结在信息网中,从而使社会信息化。海湾战争中,以美国为首的多国部队的通讯和指挥系统基本上也是这样一个网络结构,它的终端是直接武装到班的膝上(legtop)计算机,今后将发展到个人携带的PDA(Person-al Date Assistant)。 实现社会信息化的关键部件是各种计算机和通讯机,但是它的基础都是微电子。当1946年2月在美国莫尔学院研制成功第一台名为电子数值积分器和计算器(Electronic Numlerical Inte-grator and Computer)即ENIAC问世的时候,是一个庞然大物,由18000个电子管组成,占地150平方米,重30吨,耗电140KW,足以发动一辆机车,然而不仅运行速度只有每秒5000次,存储容量只有千位,而且平均稳定运行时间才7分钟。试设想一下,这样的计算机能够进入办公室、企业车间和连队吗所以当时曾有人认为,全世界只要有4台ENIAC就够了。可是现在全世界计算机不包括微机在内就有几百万台。造成这个巨大变革的技术基础是微电子技术,只有在1948年Bell实验室的科学家们发明了晶体管(这可以认为是微电子技术发展史上的第一个里程碑),特别是1959年硅平面工艺的发展和集成电路的发明(这可以认为是微电子技术第二个里程碑),才出现了今天这样的以集成电路技术为基础的电子信息技术和产业。而1971年微机的问世(这可以认为是微电子技术第三个里程碑),使全世界微机现在的拥有率达到%,在美国每年由计算机完成的工作量超过4000亿人年的手工工作量。美国欧特泰克公司总裁认为:微处理器、宽频道连接和智能软件将是下世纪改变人类社会和经济的三大技术创新。 当前,微电子技术发展已进入“System on Chip”的时代,不仅可以将一个电子子系统或整个电子系统“集成”在一个硅芯片上,完成信息加工与处理的功能,而且随着微电子技术的成熟与延拓,可以将各种物理的、化学的敏感器(执行信息获取的功能)和执行器与信息处理系统“集成”在一起,从而完成信息获取、处理与执行的系统功能,一般称这种系统为微机电系统(MEMS:Micro Electronics Machinery System),可以认为这是微电子技术又一次革命性变革。集成化芯片不仅具有“系统”功能,并且可以以低成本、高效率的大批量生产,可靠性好,耗能少,从而使电子信息技术广泛地应用于国民经济、国防建设乃至家庭生活的各个方面。在日本每个家庭平均约有100个芯片,它已如同细胞组成人体一样,成为现代工农业、国防装备和家庭耐用消费品的细胞。集成电路产业产值以年增长率≥13%,在技术上,集成度年增长率46%的速率持续发展,世界上还没有一个产业能以这样高的速度持续地增长。1990年日本以微电子为基础的电子工业产值已超过号称为第一产业的汽车工业而成为第一大产业。2000年电子信息产业,将成为世界第一产业。集成电路的原料主

微电子技术的发展

微 电子技术的发展 摘要:微电子技术是科技发展到一定阶段的时代产物,是对当今社会经济最具影响力的高新技术之一。本文主要对微电子技术的概念、发展及其在社会各大产业中的应用进行了浅析的探讨。 【关键词】微电子技术发展应用 微电子技术的核心技术是半导体集成电路,微电子技术的发展及应用影响我们生产生活的方方面面。对促使经济发展,人类的进步有着巨大的影响力。随着社会经济的发展,为了达到社会经济的发展对微电子技术的需求,实现社会经济在技术支持下快捷稳定发展,我们必须要不断地对微电子技术进行优化和改进,积极地探索更深层次的微电子技术知识,使微电子技术更好地服务于社会经济发展。相信微电子技术不仅是在当今,乃至未来社会发展中微电子技术必将是促使社会发展进步的主导产业。 1微电子技术的概念 微电子技术是信息化时代最具代表性的高新技术之一,它的核心技术半导体集成电路技,术由电路设计、工艺技术、检测技术、材料配置以及物理组装等购置技术体系。微电子技术基于自身集成化程度高,反应敏捷、占用空间较小等优势特点目前在有关涉及电子产业中得以广泛的应用。 2 微电子技术的发展现状 国外微电子的发展 自1965年发明第一块集成电路以来,特别是过去的十年中,全球微电子产业一直处于高速发展的时期,推动着信息产业的高速发展。集成电路产业及其产品是带动整个经济增长的重要因素。集成电路已发展到超大规模和甚大规模、深亚微米μ

m)精度和可集成数百万晶体管的水平,现在已把整个电子系统集成在一个芯片上。人们认为:微电子技术的发展和应用使全球发生了第三次工业革命。1965年,Intel 公司创始人之一的董事长Gorden Moore在研究存贮器芯片上晶体管增长数的时间关系时发现,每过18~24个月,芯片集成度提高一倍。这一关系被称为穆尔定律(Moores Law),一直沿用至今。自从20 世纪50 年代后期集成电路问世以来, 就一直追求在芯片上有更多的晶体管, 能够完成更多的功能, 从一代到下一代芯片的基本价格变化却很小, 这是由于较高的集成度导致完成每项功能的价格降低。这是驱动芯片发展的最基本动力。现在还在向更小的工艺发展。技术飞速的进步, 促使人们不断探究现代半导体器件最终的物理极限。 国内微电子发展 早在1965年,我国的集成电路就开始起步,而此时世界上最著名的芯片制造商英特尔还没有成立。由于体制等众多的原因,我国在这一领域与国外差距越来越大。目前,我国集成电路产业已具备了一定的发展规模,形成了从电路设计、芯片制造和电路封装三业并举,与集成电路有关的主要材料、测试设备、仪器等支持业也相继配套发展,在地域上呈现相对集中的格局,京津、苏浙沪、粤闽地区成为集成电路产业较为发达的区域。。我国集成电路设计业在过去的几年中有了长足的进步,高等院校、科研院所、企业从事集成电路设计的单位越来越多。然而国内集成电路设计企业规模,设计人员的平均数量还未达到国际同类公司的水平。随着信息时代的到来,微电子技术得以快速发展,在信息时代中扮演中重要角色,是影响时代发展的关键技术之一。从微电子技术的发展历程来看,上世纪五十年代贝尔实验室发明了晶体管,晶体管的面世标志着微电子技术的诞生。在随后的几年内经过科学家的不断努力,又发明了集成电路。集成电路的发明为后来的微型计算机的发明奠定了坚实的技术基础。直至上世纪七十年代,集成电路在微型计算机中的成功应用,标志着微电子技术的发展达到了空前的高度。随着微电子技术的进一步发展,以集成电路为核心的微电子技术经过科学家的优化和改进,较上世界刚诞生的微电子技术集成化程度足足提高了近500 万倍,另外在微电子技术产品体积方面也大大地缩小。一个微小的单独的集成片就能集成几千万个集体管。自改革开发以来,国家对微电

微流控光学及其应用_梁忠诚

微流控光学及其应用 OptofluidicsandItsPotentialApplications 梁忠诚赵瑞 (南京邮电大学微流控光学技术研究中心,江苏南京210003) LiangZhongchengZhaoRui (CenterofOptofluidicTechnology,NanjingUniversityofPosts&Telecommunications,NanjingJiangsu210003,China) 1引言 采用液体作为光学器件结构元素的概念可以追溯到18世纪,那时人们曾将旋转汞池产生的球面反射镜用于天文观察[1],至今液体材料光学器件在光学技术中仍占有一席之地,例如油浸透镜、液晶显示等。但是,由于液体材料外型不定,难以操控,传统光学系统主要采用玻璃、金属和半导体等固体材料。随着光学技术的蓬勃发展,光学器件的微型化、集成化、可调化已成为光技术的重要发展方向,这时固态器件体积大、成本高、可调性差等问题日显突出,液体光学器件重又引起了研究者的兴趣[2]。现今,随着微流控光学(optofluidics)这一新学科的诞生和新技术的发展,流体器件将会在未来的光学技术领域扮演更加重要的角色。 微流控光学是现代光学、光电子学与微流控技术相结合而形成的新型交叉前沿学科与技术[3]。不同于20世纪60年代的射流技术(fluidics)以宏观机械控制为目标,微流控技术(microfluidics)意图实现微量化学或生物样品的合成与分析[4],而微流控光学技术则是在微观尺度上通过操控流体达到调节系统的光学 摘要微流控光学(optofluidics)通过融合微流控学和光学、光电子学技术合成新颖的功能器件和系统,微流控光学系统的主要特点在于结构的可调化、功能的集成化和系统的微型化。结构可调性为自适应光学提供 了新的技术途径,光学检测与微流分析功能的集成将促进微型全分析系统技术的应用和发展,光学与微 流控技术的融合则为传统光学器件的可调化和微型化提供了可能。介绍微流控光学这一前沿交叉学科 的基本概念和应用前景。叙述了微流控自适应光学、微流控光学检测、微流控激光器以及微流控光学集 成器件的近期研究成果和应用前景。 关键词微流控光学;微流控技术;自适应光学;微型激光器;光学集成器件 AbstractOptofluidicsisanewfrontierandinterdisciplinaryfieldwhichdevelopsdevicesandsystemsthroughthefusionofoptics,optoelectronicsandmicrofluidics.Thereconfigurability,integrationand minaturizationarethreemajoradvantagesassociatedwithoptofluidicsystems.Thestructural reconfigurabilityprovidesanewtechniquesolutiontoadaptiveoptics.Thefunctionalintegrationof opticaldetectionwithmicrofluidicanalysispromotestheapplicationsofmicrototalanalysissystem (MTAS).Thefusionofopticsandmicrofluidicsprovidesthepossibilityofminiaturizationof conventionalopticaldevices.Thebasicconceptandsomepotentialapplicationsofoptofluidicsare introduced.Therecentresearchandapplicationsofoptofluidicsaredescribedinthecategoriesof adaptiveoptics,microfluidicdetection,micro-laserandopticalintegrationdevices. Keywordsoptofluidics;microfluidics;adaptiveoptics;micro-laser;opticalintegrationdevice 中图分类号TN2;O43

基于微流控技术的功能型量子点的合成及应用

目录 摘要 ABSTRACT 目录 第一章绪论 (1) 1.1微流控芯片的简介 (1) 1.2微流控芯片的国内外研究进展概述 (1) 1.3微流控芯片在纳米合成上的应用研究发展现状 (2) 1.4量子点纳米材料简介 (8) 1.5量子点在生物光子学中的应用 (11) 1.5.1 与生物分子连接 (11) 1.5.2 量子点生物标记应用 (13) 1.5.3 量子点生物成像应用 (14) 1.5.4 在免疫学中的应用 (15) 1.5.5 其他应用 (15) 1.5.6 前景展望 (16) 第二章量子点的相关理论 (18) 2.1量子点的常用制备方法 (18) 2.1.1 有机相合成 (18) 2.1.2 水相合成 (18) 2.2微流控制备量子点方法的相关理论 (19) 2.3量子点的表征 (21) 2.3.1 透射电子显微镜 (21) 2.3.2 吸收光谱 (22) 2.3.3 荧光光谱 (22) 2.3.4动态光散射粒径分析 (23) 2.4量子点物化特性 (23) 2.4.1量子点的物理效应 (23) 2.4.2量子点的光学特性 (25) 2.4.3量子点的发光原理 (26) 2.4.4量子点的能级结构 (27) 第三章应用于量子点合成的微流控芯片的设计与制作 (29) 3.1引言 (29) 3.2微流控芯片的制作技术概述 (29) 3.2.1 微流控芯片的结构及特点介绍 (29) 3.2.2 微流控芯片的材料选取 (30) 3.2.3微流控芯片的成型方法 (31) 3.3微流控芯片的模拟仿真理论概述 (32) 3.4应用于合成量子点的微流控芯片的制作 (35) I

微流控技术在人体器官芯片的应用(上篇)

微流控技术在人体器官芯片的应用是一个比较前沿的的研究领域,上篇主要谈药物研发过程和面临的困难,微流控技术特点和人体芯片的基本概念,下篇主要聊人体芯片目前的研究成果。 药物研发的历史 人在一生中不可避免会生病。有些疾病不需要干涉便会自我恢复,而有些疾病则必须通过外界的治疗达到缓解或痊愈的目的。在各类外界治疗的手段中,服用药物进行治疗是最常见的一种。 使用药物的历史可以追溯到千年前人类早期的文明中。在那个时候,药物不单单是用来治病,更多的则是被宗教或部落用来进行心理上的治愈。这些药物的成分通常来自于植物。 由于当时缺少科学的研发步骤,药物的效用需要通过不停的试错和观察人和动物服用后的反应来决定。典型的例子就是我们熟知的,神农氏尝百草后写出的《神农本草经》。尽管在不同文化中传统药物具有很长的历史和很高的流传度,但这些药物很难被大规模开发出来,而且其真正的医疗价值尚值得商榷。 到了十九世纪末期,随着科学技术的提升,药物的发明开始从依靠口口相传的经验走向基于科学技术系统地研发。 第一次世界大战结束后,现代的制药产业开始形成,以规范的科学研究为指导进行的药物研发最终获得了广泛共识。 现代的药物研发过程 今天,每一款药物从实验室到用户手中都要经历长达数年之久且耗资巨大的研发过程。 一个标准的研发过程包括三个阶段: 基础研究(Basic Research & Drug Discovery)

临床前期试验(Preclinical Trials) 临床试验(Clinical Trials)。 基础研究包括对疾病和症状的研究,选择治疗目标和选择最优治疗方案。新药的研发成功与否取决于我们对目标疾病的了解程度。在具备了一定的背景知识后,实验人员会根据疾病的发生原理选择一个治疗目标(Drug target)。药物会和治疗目标发生反应,产生治疗效果。通常,研究人员会在体外细胞、组织或者动物身上进行研究,选择出最有希望的治疗目标进行下一步测试。在得到治疗目标之后,研究人员会使用不同的方式进行高通量的药物测试及筛选,选择出有潜力的候选药物。 临床前期试验是承前启后的一个阶段。其试验结果可以决定一款候选药物是否有价值进入之后的临床试验(概率为五千分之一)。 为了尽可能预测药物在人体内的各项指标,研究人员通常使用两种模型来模拟人体内的环境: 一)生物体模型,动物活体比如小白鼠; 二)生物体外模型,培养在玻璃试管中的活细胞。 一般来说,两种模型都会被使用。为了确保药物在人体实验中的安全性,药监局对临床前期试验这一步骤的要求是最严格的。研究人员需在此步骤评估和预测药物在人体中的多项指标,包括药物效应动力学(既药物对人体的作用),药物代谢动力学(既人体对药物的反作用)和毒性(包括短期和长期)。预测的结果可以帮助研究人员决定临床测试时使用的药物剂量。 临床试验是新药得到药监局批准前的最后一步,也是最艰难且最昂贵的一步(成功率为百分之五)。 临床试验分为三期,分别在不同类别和数量的人群中测试:

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