半导体物理第3章
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半导体物理第3章载流子的统计分布

非热平衡状态下的载流子浓度
01
在非热平衡状态下,载流子浓度不再由费米分布函数
决定,而是受到外部因素的影响,如光照、电场等。
02
光照条件下,光子激发电子从价带跃迁到导带,产生
光生载流子,导致载流子浓度增加。
03
电场作用下,载流子将受到电场力的作用,产生漂移
运动,导致载流子浓度和分布发生变化。
温度对载流子浓度的影响
N型半导体中的载流子浓度
N型半导体中,多数载流子是电子,其 浓度远高于空穴。
电子浓度主要由掺杂浓度决定,通常通过引 入施主杂质实现。
在绝对零度以上,由于热激发,会 有少量空穴产生。
P型半导体中的载流子浓度
P型半导体中,多数载流子是空穴,其浓度远高于电子。 空穴浓度主要由掺杂浓度决定,通常通过引入受主杂质实现。 在绝对零度以上,由于热激发,会有少量电子产生。
半导体物理第3章载流子的统计分 布
目 录
• 引言 • 载流子种类 • 载流子分布函数 • 载流子浓度与温度的关系 • 载流子浓度与掺杂的关系 • 结论
01 引言
主题概述
载流子
在半导体中,载流子是指能够导电的粒子,通常为电 子和空穴。
统计分布
载流子的统计分布是指载流子在不同能态上的分布情 况,它决定了半导体的导电性能。
新材料
半导体物理的发展也促进了新材料的发现和应用,如石墨烯、氮化镓 等新型半导体材料在电子器件领域具有广阔的应用前景。
02 载流子种类
电子
01
电子是带负电的粒子,是半导体的主要载流子之一。
02
在半导体中,电子可以在价带和导带之间跃迁,形成导电电 流。
03
电子的浓度和行为受温度、掺杂等因素影响。
半导体物理第三章半导体中的载流子统计分布

电子浓度:单位体积内导带中的电子数(单位:1/cm3)
20
导带中电子都聚集在 导带底 价带中空穴都聚集在 价带顶
21
计算电子:
单位体积中
dN = f (E)gc (E)dE
( ) =
V 2π
2
2me* h3
3/ 2
(E
−
EC
)1/ 2
exp⎜⎜⎝⎛ −
E − EF kBT
⎟⎟⎠⎞dE
( ) dn =
m
3 2
pl
+
3
m
2 ph
⎤ ⎥⎦
3
3
gv(E) =
V
2π 2
(2mdp ) h3
2
(Ev
1
− E) 2
mph 和mpl分别是重空穴和轻空穴的有效质量。由于mph>>mpl, 重空穴带的态 密度显著大于轻空穴带的态密度。所以空穴主要分布在重空穴带中。
§ 3.2 费米能级和载流子的统计分布
费米分布函数 玻尔兹曼分布函数 导体中的电子浓度和价带中的空穴浓度
gv (E)
=
V
2π 2
(
2
m
* p
)
3
2
h3
(Ev
1
− E) 2
实际情况:在价带顶有两种空穴
gv (E ) = gvl (E ) + gvh (E )
3
3
=
V
2π 2
⋅ (2m pl ) h3
2
1
(Ev − E) 2
+
V
2π 2
⋅ (2m ph ) h3
2
(Ev
1
− E) 2
半导体物理第三章 共102页PPT资料

Kz
2 n z L
(nz
0,1,2, )
(1-18)
k空间中,由一组整数(nx,ny,nz)决定一个波矢k,代表电子的一个允许 能量状态。这些允许量子态在k空间构成一个点阵。
k在空间分布是均匀的,每个代表点的坐标沿坐标轴方向都是2/L的 整数倍,对应着k空间中一个体积为83/V的立方体。
温度升高,电子占据能量小于费米能级的量子态的概率下降, 而占据能量大于费米能级的量子态的概率增大。
20
Hunan University of Science and Technology
§3.2.2 玻耳兹曼分布函数
f E
1
1exp(EEF )
k0T
量子态为电子占据的概率很小,泡利原理 失去作用,两种统计的结果变成一样了
(3-8)
10
Hunan University of Science and Technology
表明: 导带底(价带顶)附近单位能 量间隔内的量子态数目,随着 电子(空穴)的能量增加按抛 物线关系增大。即电子(空穴) 的能量越大,状态密度越大。
状态密度与能量的关系
11
Hunan University of Science and Technology
电子如何按照能量分布
允许量子态按能量的分布
状态密度g(E)
电子在允许量子态中的分布
费米和玻耳兹曼分布f(E)
g(E)
f(E)
能量
量子态分布
电子在量子态中分布
E到E+dE之间被电子占据的量子态f(E)g(E)dE
6
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半导体物理学-第三章-半导体中载流子统计分布

当 E-EF>>k0T时,
fB E e x E p k E F T e x E kF p T e x k E p T
费米和玻耳兹曼分布函数
三、空穴的分布函数
空穴的费米分布函数和波尔兹曼分布函数
当 EF-E>>k0T时,
1 fE e x E F p E e x E F p e x E
整个价带的空穴浓度为
p0 NVexpEFk 0TEV NV称为价带的有效状态密度.
价带空穴浓度可理解为:全部空穴集中在价带 顶EV上,其上空穴占据的状态数为NV个.
对于三种主要的半导体材料,在室温(300K)状 况下,它们的有效状态密度的数值列于下表中.
导带和价带有效状态密度(300K)〔见课本P77〕
一、费米〔Fermi〕分布函数与费米能级
1.费米分布函数
电子遵循费米-狄拉克〔Fermi-Dirac〕 统计分布规律。能量为E的一个独立的电 子态被一个电子占据的几率为
K0玻尔兹曼常数,T确定温度,EF费米能级
费米能级的物理意义:化学势
EF (N F)T
当系统处于热平衡状态,也不对外界做功的状 况下,系统中增加一个电子所引起的系统的自 由能的变化等于系统的化学势也即为系统的费 米能级
在导带中,E-EF>>k0T,则导带中的电 子听从波尔兹曼分布,且随着E的增大, 概率快速削减,所以导带中绝大多数电子 分布在导带底四周
在价带中,EF-E>>k0T,则空穴听从波 尔兹曼分布,且随着E的增大,概率快速 增加,所以价带中绝大多数空穴分布在价 带顶四周。
听从Boltzmann分布的电子系统 非简并系统
§3.1 状 态 密 度
假设在能带中能量E与E+dE之间的能量间 隔dE内有量子态dZ个,则定义状态密度g 〔E〕为:
半导体物理非热平衡状态下的半导体

• 作业: • 3-1、2、3
§3.2 复合理论
• 一、直接辐射复合 定义
• 1、直接辐射复合过程中的复合率和产生率
R rnp r :复合系数源自由热平衡状态下复合率等于热产生率,得
G
rn0
p0
rn2 i
2、直接辐射复合过程决定的少子寿命
由净复合率
Ud
RG
r(np n2) i
得
p
1
U d r(n0 p0 p)
激发电子
吸收光子 发射光子
复合中心
发射声子
表面复 合中心
发射声子
激发空穴
表面
(a) 直接辐射复合(产生)与直接俄歇复合 (b) 间接复合(产生)
(c) 表面复合(产生)
少子寿命 表面复合(产生)速度 图 5-1 半导体中载流子的复合(产生)过程及过程中的能量释放形式
差别在于复合中心的来源及其空间分布
p(t) / p(0) et /
p(20) / p(0) e20 /10 e2 0.135
p(0) G 10 106 1016 1011
四、非平衡状态下的载流子统计
• 1、准平衡状态 • 在整个系统处于非平衡态的情况下,价带和导带子系统中的
空穴与电子各自仍基本处于平衡态,有各自的费米能级,称 之为子系统的 “准费米能级”,分别用EFn和EFp表示 。 • 这样,统计分布函数分别对子系统仍然适用。
间接禁带半导体的少子寿命较长。
锗、硅、砷化镓相比,锗的少子寿命最长,硅次之,砷化 镓少子寿命最短。
同种材料的少子寿命在不同状况下变化范围也很大。
一块n型半导体样品的少子寿命 =10s,今用光照在
其中均匀注入额外载流子,产生率为1016cm-3s-1。问 光照撤销后20s时刻其额外载流子密度衰减到原值的 百分之几?还有多大?
半导体物理与器件第3章

35
kT
T = 0K 时,
(1) E > EF , 分母中 exp(+∞) → fF(E)= 0 ◆能量高于费米能级的量子态是空的 (2) E < EF , 分母中 exp(-∞)= 0 → fF(E)= 1 ◆能量低于费米能级的量子态是满的 (3) E = EF , 分母中 exp(0)= 1 → fF(E)= 1/2 ◆能量等于费米能级的量子态被电子
大量包含多个电子的原子靠得很近形成晶体材料之 后,原来相同的电子能级发生分裂的情况。
原子靠近→电子云发生重叠→电子之间存在相互作用→分立 的能级发生分裂形成能带
大量硅原子(N)形成硅晶体的电子能级分裂示意图
T=0K
价带
s, p轨道杂化
k=2π/λ
3
硅晶体形成过程中发生的 sp3轨道杂化,形成填 满电子的价带和没有电子的导带,二者之间为禁带 宽度Eg。
3.3 三维扩展
三维情况下各方向势场不同
电子在不同 方向上运动 会遇到不同 的势场,从 而产生不同 的k空间边 界。
31
硅和砷化镓的k空间能带图
直接带隙半导体:价带 间接带隙半导体:价带
能量最大值和导带能量 能量最大值和导带能量
最小值的K坐标一致 最小值的K坐标不一致
32
3.5 统计力学
在一定温度下,半导体中的大量电子不停地 作无规则热运动,从一个电子来看,它所具 有的能量时大时小,经常变化。但是,从大 量电子的整体来看,在热平衡状态下,电子 按能量大小具有一定的统计分布规律性,即 电子在不同能量的量子态上统计分布几率是 一定的。
温度升高时,共价键中的个别电子可能会获得足够 大的能量,从而克服共价键的束缚,进入导带。
3.2固体中电的传导 3.2.4空穴的运动
kT
T = 0K 时,
(1) E > EF , 分母中 exp(+∞) → fF(E)= 0 ◆能量高于费米能级的量子态是空的 (2) E < EF , 分母中 exp(-∞)= 0 → fF(E)= 1 ◆能量低于费米能级的量子态是满的 (3) E = EF , 分母中 exp(0)= 1 → fF(E)= 1/2 ◆能量等于费米能级的量子态被电子
大量包含多个电子的原子靠得很近形成晶体材料之 后,原来相同的电子能级发生分裂的情况。
原子靠近→电子云发生重叠→电子之间存在相互作用→分立 的能级发生分裂形成能带
大量硅原子(N)形成硅晶体的电子能级分裂示意图
T=0K
价带
s, p轨道杂化
k=2π/λ
3
硅晶体形成过程中发生的 sp3轨道杂化,形成填 满电子的价带和没有电子的导带,二者之间为禁带 宽度Eg。
3.3 三维扩展
三维情况下各方向势场不同
电子在不同 方向上运动 会遇到不同 的势场,从 而产生不同 的k空间边 界。
31
硅和砷化镓的k空间能带图
直接带隙半导体:价带 间接带隙半导体:价带
能量最大值和导带能量 能量最大值和导带能量
最小值的K坐标一致 最小值的K坐标不一致
32
3.5 统计力学
在一定温度下,半导体中的大量电子不停地 作无规则热运动,从一个电子来看,它所具 有的能量时大时小,经常变化。但是,从大 量电子的整体来看,在热平衡状态下,电子 按能量大小具有一定的统计分布规律性,即 电子在不同能量的量子态上统计分布几率是 一定的。
温度升高时,共价键中的个别电子可能会获得足够 大的能量,从而克服共价键的束缚,进入导带。
3.2固体中电的传导 3.2.4空穴的运动
半导体物理第三章

p0 = ∫
价带底能量
Ev
/ Ev
gv (E) [1 − f ( E )] dE V ( 2m ) h
* 3/ 2 p 3
= 4π
∫
Ev
/ Ev
e
E − EF kT 0
( Ev − E ) dE
1/ 2
令x = ( Ev − E ) /(k0T ) ( Ev − E )1/ 2 = (k0T )1/ 2 x1/ 2 d ( Ev − E ) = −(k0T )dx x' = ( Ev − Ev' ) /(k0T )
导带中大多数电子是在导带底附近,而价带中大多数空穴 则在价带顶附近。 1. 导带中电子浓度 在能量E~(E+dE)之间有: 量子态:dZ=gc(E)dE 电子占据能量为E的量子态的概率: 则电子数为:
29
f B (E) = e
E − EF − kT 0
dN = dZ ⋅ f B ( E ) ( 2m ) = 4πV h
利用前述方法可得:
k12 + k 2 2 k3 2 h E ( k ) = Ec + + 2 mt ml
2
电子态 密度有 15 效质量
2. 价带顶状态密度 在实际Si、Ge中,价带中起作用的能带是极值相重合的 两个能带,与这两个能带相对应的有轻空穴有效质量(mp)l和 重空穴有效质量(mp)h,因此价带顶附近状态密度应为这两个 能带的状态密度之和,称为价带顶空穴的状态密度有效质量 价带顶空穴的状态密度有效质量 (空穴态密度有效质量 空穴态密度有效质量)。价带顶状态密度式子与球形等能面情 空穴态密度有效质量 况下的价带状态密度式(5)有相同的形式,
半导体物理学-第3章

在一个额外载流子的产生机构(例如光照)和复合机 构并存,且稳定发挥作用的情况下,该系统在产生率等于 复合率时进入稳定的非平衡状态,具有不变的额外载流子 密度p。
根据U=G,知 半 导 体 物 理 学
p G
三、额外载流子密度随时间衰减的规律
设在t=0时刻突然去除光照,∆p将随时间而减少。
dp (t ) p (t ) dt
半 导 体 物 理 学
二、非热平衡状态下的载流子统计
对非简并半导体,即有
EFp E E EFn f n ( E ) exp , f p ( E ) exp . kT kT
2015/5/7 Prof.LEI 17
半导体的非热平衡状态
EFp EV EC EFn p NV exp n NC exp kT kT EC E Fn E Fn E F E Fn Ei n N C exp( ) n0 exp( ) ni exp( ) kT kT kT EFp EV EF EFp Ei EFp p NV exp( ) p0 exp( ) ni exp( ) kT kT kT 相应的准费米能级分别为 n n EFn EC kT ln EF kT ln NC n0
2015/5/7 Prof.LEI 5
半导体的非热平衡状态
3、小注入和大注入 小注入是指注入的额外载流子密度比热平衡条件下的 多数载流子密度低得多,以n型半导体为例,即
p0 n p n0
半 导 体 物 理 学 在非热平衡状态,导带和价带的载流子密度分别为:
n n0 n n0 ;
2015/5/7 Prof.LEI 8
半 导 体 物 理 学
根据U=G,知 半 导 体 物 理 学
p G
三、额外载流子密度随时间衰减的规律
设在t=0时刻突然去除光照,∆p将随时间而减少。
dp (t ) p (t ) dt
半 导 体 物 理 学
二、非热平衡状态下的载流子统计
对非简并半导体,即有
EFp E E EFn f n ( E ) exp , f p ( E ) exp . kT kT
2015/5/7 Prof.LEI 17
半导体的非热平衡状态
EFp EV EC EFn p NV exp n NC exp kT kT EC E Fn E Fn E F E Fn Ei n N C exp( ) n0 exp( ) ni exp( ) kT kT kT EFp EV EF EFp Ei EFp p NV exp( ) p0 exp( ) ni exp( ) kT kT kT 相应的准费米能级分别为 n n EFn EC kT ln EF kT ln NC n0
2015/5/7 Prof.LEI 5
半导体的非热平衡状态
3、小注入和大注入 小注入是指注入的额外载流子密度比热平衡条件下的 多数载流子密度低得多,以n型半导体为例,即
p0 n p n0
半 导 体 物 理 学 在非热平衡状态,导带和价带的载流子密度分别为:
n n0 n n0 ;
2015/5/7 Prof.LEI 8
半 导 体 物 理 学
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半导体中的导电电子浓度和空穴浓度都保持 一个稳定的数值,这种处于热平衡状态下的 导电电子和空穴称为热平衡载流子。
当温度改变时,破坏了原来的平衡状态,又 重新建立起新的平衡状态,热平衡载流子的 浓度也将发生变化,达到另一稳定数值。
计算载流子浓度须掌握以下两方面的知识
允许的量子态按能量如何分布 电子在允许的量子态中如何分布
(c) 费米分布函数
(d) 载流子浓度
本征半导体
室温下三种半导体材料的禁带宽度和本征载流子浓度
Si
Ge
GaAs
ni(cm-3) Eg(eV)
1.5 ×1010
1.12
2.4 ×1013
0.67
1.1×107
1.43
把载流子浓度的乘积n0p0用本征载流子浓度ni表示出来,得
n0 p0 = ni2
在热平衡情况下,若已知ni和一种载流子浓度,则可以利用上 式求出另一种载流子浓度.
3.2.3导带中的电子浓度和价带中的空穴浓度
导出导带电子浓度的基本思路是:和计算状态密度是 一样
认为能带中的能级是连续分布的,将能带分成一个个 很小的能量间隔来处理。
对导带分为无限多的无限小的能量间隔,则在能量E 到E+dE之间有 dZ 个量子态
而电子占据能量为E的量子态的几率是 f (E)
f (E) > 1;
2
f (E) < 1
2.
例: E − EF > 5kT时,f (E) < 0.007; E − EF < −5kT时,f (E) > 0.993.
EF标志电子填充能级的水平
3.2.2玻耳兹曼分布函数
(3). E-EF>>kT时,
f (E) ≈ exp⎜⎛ − E − EF ⎞⎟ = exp⎜⎛ EF ⎞⎟ exp⎜⎛ − E ⎟⎞
f
(E)
=
1
+
1 E exp(
−
EF
)
k 0T
k0玻尔兹曼常数,T绝对温度,EF费米能级
费米分布函数,它描述每个量子态被电子占据的几率随E的变化.
费米分布函数性质
⒈量子态:空着的,或被电子占据的
能量为E的量子态未被电子占据(空着)的几率是:
1−
f
(E)
=
exp⎜⎛
1 EF −
E
⎞⎟
+1
⎝ kT ⎠
⎝ kT ⎠ ⎝ kT ⎠ ⎝ kT ⎠
此时分布函数的形式同经典的波尔兹曼分布是一致的.对 于能级比EF高很多的量子态,被电子占据的几率非常小.
(4). EF-E>>kT时,
1− f (E) ≈ exp⎜⎛ − EF − E ⎞⎟ = exp⎜⎛ − EF ⎞⎟ exp⎜⎛ E ⎟⎞
⎝ kT ⎠ ⎝ kT ⎠ ⎝ kT ⎠
极限工作温度
半导体材料制成的器件都有一定的极限工作温度 这个工作温度受本征载流子浓度制约 一般半导体器件中,载流子主要来源于杂质电离,而将本
征激发忽略不计。 在本征载流子浓度没有超过杂质电离所提供的载流子浓度
的温度范围,如果杂质全部电离,载流子浓度是一定的, 器件就能稳定工作。
但是随着温度的升高,本征载流子浓度迅速地增加。
第3章 半导体中载流子的统计分布
本章重点
计算一定温度下本征和杂质半导体中热平衡载 流子浓度;
探讨半导体中载流子浓度随温度变化的规律。
热平衡状态
一定的温度下,两种相反的过程(产生和复合)建 立起动态平衡
电子从价带跃迁到导带(这就是本征激发),形成 导电电子和价带空穴。
与此同时,还存在着相反的过程,即电子也可以从 高能量的量子态跃迁到低能量的量子态,并向晶格 放出一定能量,从而使导带中的电子和价带中的空 穴不断减少,这一过程称为载流子的复合。
上式表明: •本征载流子浓度只与半导体本身的能带结构和温度T 有关。 •在一定温度下,禁带宽度越窄的半导体,本征载流子浓度越大。 •对于一定的半导体,本征载流子浓度随着温度的升高而迅速增加
E
导带
EC Eg
EV
价带
(a) 能带图
E
E
E
EC
EF
EF
EV
N(E)
(b) 态密度
0 0.5 1.0
F(E)
n(E)和p(E)
k空间状态分布
在k 空间量子态的分布是均匀的 量子态的密度为V/8π3(V立方晶体的体积)。
如果计入自旋,每个量子态可以允许两个自旋相反的电 子占据一个量子态。 换言之,k空间每个量子态实际上代表自旋方向相反的 两个量子态 所以,在k空间,电子允许的量子态密度为2V/8π3。 注意:这时每个量子态最多容纳一个电子。
Ev′
V
p0
=
2
(2πm
* p
k
0T
)
3
2
h3
exp( Ev − EF k0T
)
=
Nv
f
(Ev )
Nv
=
2
(2π
m
* p
k 0T
)
3
2
h3
价带的有效状态密度
3.2.4载流子浓度乘积n0p0
n0
p0
=
Nc Nv
exp(−
Ec − E k0T
v
)
=
Nc Nv
exp(−
Eg k0T
)
=
4(
2π k0
h2
)3 (mn*m*p
3
) 2T
3
exp(−
Eg k0T
)
Eg = EC − EV 半导体材料的禁带宽度
热平衡状态下,对于一定的半导体材料,浓度积只 由温度决定,而与所含杂质无关。
3.3 本征半导体的载流子浓度
所谓本征半导体,就是完全没有杂质和缺陷的半导体。
导带中的电子都是由价带激发得到的,(只有导带和价带, 禁带中没有杂质能级)。
例如在室温附近,纯硅的温度每升高8K左右,本征载流子 的浓度就增加约一倍。
而纯锗的温度每升高12K左右,本征载流子的浓度就增加 约一倍。
当温度足够高时,本征激发占主要地位,器件将不能正常 工作。
因此,每一种半导体材料制成的器件都有一定的极限工作 温度,超过这一温度后,器件就失效了。
例如,一般硅平面管采用室温电阻率为1·cm左右的原材 料,它是由掺入5×1015cm-3的施主杂质锑而制成的。
3.1.2 状态密度
根据能量E和波矢k之间的函数关系, 由k空间的状态密度,求出导带和价带中的状态密度
导带底E(k)与k的关系
E(k)
=
Ec
+
2k 2 2mn*
3.1.2 状态密度
k空间的状态密度
2V
8π 3
能量E~(E+dE)间的量子态数
dZ
=
2V
8π 3
× 4π k 2dk
可得
(−e)n0 + (+e) p0 = 0
通常称这种关系为电中性条件或电中性方程.
二、本征费米能级
由电子和空穴浓度的表达式和电中性条件,得
NC
exp
⎛ ⎜
−
⎝
EC − EF k0T
⎞ ⎟ ⎠
=
NV
exp
⎛ ⎜
−
⎝
EF − EV k0T
⎞ ⎟ ⎠
两端取对数后,得
Ec
Ei
=
EF
=
1 2
(
EC
+
EV
)+
1 2 k0T
k
=
(2mn*
)1 2(EFra bibliotek−1
Ec ) 2
,
kdk = mn*dE 2
代入可得
dZ
=
V
2π 2
(2mn* )32
3
(E −
1
Ec ) 2 dE
导带底附近状态密度
gc (E)
=
dZ dE
=
V
2π 2
(2mn* )32
3
(E
−
1
Ec ) 2
注意:状态密度与有效质量有关,有效质量大的能带,状态密度也大.
3.1状态密度
状态密度
g(E) = dZ dE
计算步骤
单位能量间隔内的量子态数
计算单位k空间中的量子态数; k空间的状态密度
计算能量间隔所对应的k空间体积;
计算能量间隔内的量子态数;
求得状态密度。
3.1.1 k空间中量子态的分布
对于边长为L的立方晶体
kx = 2πnx/L (nx = 0, ±1, ±2, …) ky = 2πny/L (ny = 0, ±1, ±2, …) kz = 2πnz/L (nz = 0, ±1, ±2, …)
费米分布函数的性质:
⑴随着能量E的增加,每个量子态被电子占据的几率 f (E)
逐渐减小,而空着的几率 (1− f (E))则逐渐增大.即电子优
先占据能量较低的能级.
当E等于EF时,有
f
(EF
)
=1−
f
(EF
)
=
1 2
EF实际上是一个参考能级,低于EF的能级被电子占据的 几率大于空着的几率;高于EF的量子态,被电子占据的几率 则小于空着的几率.
例: 室温时硅的Ei就位于禁带中央之下约为0.01eV的地方. 也有少数半导体,Ei相对于禁带中央的偏离较明显.如锑化铟 m*p mn* ≈ 32 Eg ≈ 0.17eV , 在室温下,本征费米能级移向导带.
三、本征载流子浓度