高纯气体工艺与施工
制氮工艺流程
制氮工艺流程制氮是一种重要的化工工艺，用于生产高纯度的氮气。
氮气在工业生产中有着广泛的应用，例如用作保护气体、惰化气体、氧化反应的稀释气体等。
制氮工艺流程是通过分离空气中的氮气和氧气，从而得到高纯度的氮气。
下面将介绍制氮工艺的流程及其关键步骤。
1. 空气净化制氮工艺的第一步是对空气进行净化。
空气中含有大量的杂质和水汽，这些杂质和水汽会对制氮过程产生影响。
因此，需要通过过滤和干燥等方式对空气进行净化处理，去除其中的杂质和水汽。
2. 空气分离经过净化处理的空气进入空气分离装置，通过压缩和冷却等方式将空气中的氮气和氧气分离出来。
空气中的氮气和氧气分子大小不同，因此可以利用它们在不同温度和压力下的沸点差异进行分离。
通常采用的是制冷压缩空气分离工艺，通过多级压缩和冷却，将空气中的氮气和氧气分离出来。
3. 氮气纯化分离出来的氮气并不是高纯度的氮气，还需要进行进一步的纯化处理。
氮气纯化通常采用吸附法或膜分离法。
吸附法是利用吸附剂对氮气和氧气的吸附性能不同，通过循环吸附和脱附，将氮气中的氧气去除。
膜分离法则是利用特殊的分离膜对氮气和氧气进行分离，通过膜的选择性透气性，将氮气和氧气分离开来。
4. 氮气储存经过纯化处理的氮气可以直接用于工业生产，也可以进行储存。
氮气储存通常采用高压气体储罐或液氮储罐，将氮气压缩或液化储存起来，以备后续使用。
以上就是制氮工艺的主要流程及其关键步骤。
通过空气净化、空气分离、氮气纯化和氮气储存等步骤，可以得到高纯度的氮气，满足工业生产的需求。
制氮工艺在化工行业有着广泛的应用，为工业生产提供了重要的气体资源。
高纯气体管道施工工艺标准
洁净厂房高纯气体管道施工工艺标准目__录1、总那么222、高纯气体的三个主要参数223、管道材料选择234、施工程序255、图纸会审266、工程测定267、绘制管段图268、材料检查确认279、保护气体的供应和治理3010、管段预制3211、现场配管施工3412、压力试验3913、系统吹扫4114、系统测试42附录1露点、含湿量、绝对湿度换算表45附录2洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级48附录3 EP/BA管自动氩弧焊接鸨棒尺寸表491.总那么1.1本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工.1.2气体管道的干管,应敷设在上下技术夹层或技术夹道内,当与水、电管线共架时应设在其上部.1.3当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件,且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离.1.4高纯气体管道的设计应符合以下要求：a.按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径,气体管道最小管径不小于46X 1mm；b.管道系统应尽量短；c.不应出现不易吹除的盲管、死角；d.管道系统应设必要的吹除口和测试取样口.1.5气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝.管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封举措,并用装饰板封堵.1.6可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管.放散管引至室外应高出屋脊1米,并应有防雨、防杂物侵入的举措.可燃气体和氧气管道还应符合?洁净厂房设计标准?8.4平安技术举措的有关要求.1.7高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处.2.高纯气体的三个主要参数所谓高纯气体管道的洁净技术限制,主要是指气体纯度、枯燥度、洁净度的限制〔即三度限制〕.2.1气体纯度指气体中杂质气氛的含量,通常用气体纯度的百分数表示, 如99.9999% 〔俗称6个9〕,也可用杂质气氛含量的体积比ppm、ppb表示.洁净厂房高纯气体管道系统建成的各个环节必须做到上流的合格气体流经厂房管道系统到达用气点的气体纯度仍能满足工艺对用气纯度的要求.2.2枯燥度气体中微量水分的含量,通常以露点表示,如露点-70℃,或以含湿量ppm表示,如含湿量2.584ppm.〔两者的转换见附录1〕2.3洁净度指气体中含有污染物粒子的数量,粒径为口m的粒子的个数, pc/m3.高纯气体管道通常使用在洁净的生产环境当中,对应的洁净环境等级,在?洁净厂房设计标准GB50073-2001?中,直接采用国际标准ISO14644-1 〔详见附录2〕对高纯气体洁净度的限制,当设计未加特别注明时,施工中对洁净度的限制应与使用空间的洁净度等级保持一致,严防气体中的污染物粒子超过规定值,而造成管路系统或洁净生产空间的污染.洁净厂房高纯气体管道的设计、施工治理,不同于一般工业气体管道, 任何一个环节稍有失控,就可能影响输送气体的质量,从而导至无法生产出合格的产品.3.管道材料选择将高纯洁净气体输送到各用气点而不被污染,在很大程度上受管路诸多因素的影响,其中管材的选择显得十分重要.3.1用于输送高纯气体的管道应具备以下性能a.管材的透气性要小；b.管材内外表吸附解吸气体的作用要小；c.内壁光滑、耐磨损；d.有良好的抗腐蚀性能；压力管道施工工艺e.性能稳定,含碳量低.3.2管道材料选择管道材料由设计选定,自行设计时应遵守?洁净厂房设计标准?的有关规定.a.能满足上述3.1要求的管材,对于气体纯度在99.999%以上或在空气洁净度等级中1〜6级洁净室内时,以316L内壁经电抛光的不锈钢管〔EP〕为最正确选择,由于施工现场条件限制,管材应在制造厂脱脂、清洗、枯燥, 并有双重膜包装,对于气体纯度为99.99%的洁净管道和枯燥空气管道可选用内壁经机械抛光的304不锈钢管〔BA〕.注：316L的国内对应牌号为00Cr17Ni14Mo2304的国内对应牌号为0Cr18Ni9b.阀门及其它附件的选择阀门及其它附件的材质应与管材选用原那么一致,在采用不锈钢管材的管路系统中,不得采用铜材质的阀门,为保证阀门及管道系统的严密性和介质不受污染,应采用两端为焊接连接的无填料波纹管阀或隔膜阀.对于系统终端采用螺纹连接时,应采用VCR卡套连接；非焊接连接的垫片,对于氢、氧管道应采用金属垫片,其它高纯介质管道可采用聚四氟乙烯垫片, 三通、弯头应采用与管材同材质的成品,为适应公司现有自动焊头的施焊条件,订货应注明对颈长L的要求〔见下表〕4.施工程序压力管道施工工艺5.图纸会审图纸会审应着重解决以下问题,为绘制管段图做好准备.a.图纸是否出自注册设计单位；b.设计选材能否满足介质纯度、枯燥度、洁净度要求；c.用气工艺设备位置是否最终确定；d.管道走向应排除与其他管线打架现象,并最终确定走向；e.各支管三通位置确实定；f.管道支吊型式及支吊架材质的选定；g.检测口、吹扫口和放散管〔氢气〕位置的选定；h.氢、氧管道防静电接地的型式.6.工程测定将土建专业提供的基准标高和基准轴线,用测量仪器移值到安装场所墙柱的适当位置,并作出标识,以此确定管道所处位置.如与建筑结构发生矛盾时,再与有关方面协商调整,但最终应反映〔应〕到竣工图上.7.绘制管段图7.1凡施工图已提供透视图的,可利用透视图作为管段图,无透视图时应在施工前绘制管段图.7.2不可将几个管道系统绘制在一张图上,一个小系统,可绘制在一张图纸上,大系统可分段绘制在几张图上,但应标出连接符号.7.3无论是利用透视图还是自绘管段图均应标注各管段直径、长度、标高和阀门、三通、法兰等的位置,还应分别标出预制组件的焊口〔即死口〕和现场焊接的焊口〔即活口〕位置,并在图中顺序标出焊口号.7.4图中标注的各项尺寸应是现场实测的尺寸.压力管道施工工艺7.5对一个系统分段予制的原那么是：a.尽可能减少现场〔安装场所〕焊接的焊口数,大量的焊接工作尽可能在预制间完成；b.现场焊接的焊口应设在便于操作的位置；c.予制组件的大小应尽可能大一些,但不可无限制的大,既要考虑预制房面积的限制,也要考虑搬运安装所经通道和门洞的限制.7.6洁净厂房内高纯气体管道的预制场所,其洁净要求应与管道安装场所的洁净度要求一致,否那么将很难限制所预制的管道不受污染,因此预制房的搭建是不容无视的.管道可能安装在不同洁净等级的房间,应按安装场所的最高洁净等级的要求来搭建预制房.7.7预制房应尽可能在厂房暂不使用的房间内搭设,当不具备这种条件时, 可就近先搭设符合挡风挡雨要求的临时建筑,再在其内搭设临时预制洁净室〔房〕.预制房的长、宽、高应能满足预制工作的要求.一般宜采用长X 宽X 高=7.2米X3.6米X2.2米的规格,用防静电厚塑料膜围护,采用FFU 或高效过滤器及低压风机用风管连通〔要有调节阀,以获得必要的室内正压〕,完成上送风、下侧四周排风的空调系统.室内要有充足的照明.8.材料检查确认本检查为在现场接收管材、零部件时,验证是否满足订货书要求而进行的外观检查和确认.8.1供检查的环境到货的材料应是有双层薄膜包装的洁净材料.材料从接收开始,不得受到污染.a.外包装完好情况的检查,在非洁净区进行,但在折除外包装后应立压力管道施工工艺即搬入洁净厂房或预制加工洁净房内；b.内包装的开封必须在洁净室或预制加工洁净房内进行,以保证材料不受污染.检查完成后,对暂不用的材料应立即重新用薄膜袋包装密封并置于洁净区妥善保管.8.2检查对象a.管材b.管子附件〔三通、弯头、变径管等〕c.阀类〔阀门、减压阀等〕d.计器类〔压力计、压力传感器、压力线圈等〕e.设备类制成品〔筒、箱、阀盒等〕8.3检查工程O：全数检查△:抽查5%X：不检查8.4外观检查和质量要求8.4.1管路系统的管材、阀门和所有附件,必须严格按设计要求选购,不得随意更改或代换.压力管道施工工艺8.4.2管材到货后应置于室内精心保管,杜绝露天堆放、日晒雨淋.8.4.3到货的管材,两端应有塑料密封帽密封严密,无破损和脱落；有双层塑料薄膜密封包装,不得有破损.8.4.4阀门、管件应有塑料袋密封包装,无破损.8.4.5管子、阀门、管件等,使用前按10.1、10.2、10.3的要求切实进行下列外观检查：a.管子直径、壁厚符合订货要求,且壁厚均匀；b.管子应平直、圆滑、无局部凹陷、无压入物、无刮伤、碰伤和挤压等缺陷；c.无裂纹、缩孔、折叠、重皮和凸筋等缺陷；d.无锈蚀、锈斑等痕迹；e.内外表的粗糙度是否符合设计要求,螺纹是否有损、保护是否良好；f.内外表是否有尘埃、油脂,确认管子是否已经净化处理；g.内面电抛光薄壁不锈钢管的进货要有出厂合格证书和相关材质证明.当进货的管材受到质疑时,应抽取各种规格的管材,在管子的任何部位,随机切下60mm长的管段,并沿轴向剖开,在显微镜下对照样板验证内外表的相对粗糙度Rmax是否符合设计要求,是否与出厂文件中所标注的内容与精度相符,净化处理是否符合要求；h.查看管子外包装和管端密封帽是否有效；1.法兰的密封面应平整、光滑,不得有毛刺及径向沟槽,凹凸法兰应嵌合准确,凸面的高度不得小于凹槽的深度；j.非金属垫片应质地柔软、无老化及分层现象,外表不得有折损及皱纹等缺陷；金属垫片外表不得有裂纹、凹槽、毛刺、径向划痕及锈斑等缺压力管道施工工艺陷.8.5 不合格品的处置经检查假设不能符合质量要求时,应予退货或经商定留作降级使用.8.6 验收后的保管经检查验收后,在规定的仓库或现场妥善保管,材料库应是专用库房, 不得和其它物资混放,管子、管件、阀门要分类保管. 9 .保护气体的供应和治理9.1 气体供应装置保护气体为高纯氩气,其纯度指标不得低于管道系统要求的纯度,氩 气的供应采用低温液化气容器或高压瓶装氩气.系统装置见以下图〔其中虚 线框内的装置,在采用液氩时才配置〕：9.2 供应治理9.2.1 在供应联箱上安装水分计,以确认、记录气体的供应纯度 9.2.2 保护气体供应开始后,保持连续通气,以保证配管内的纯度. 9.2.3 流量限制a.焊前吹除可参照以下图选择流量和吹除时间流量计*保护气体罐 水分计1MXXTAIA5AT压力管道施工工艺b.焊接时的气体流量参照以下图选用:按焊接通气量的1/4通气.压力管道施工工艺9.3气体供应治理记录定期检查气体供应情况：a.供应联箱：气体纯度〔水分〕、供应压力,并记下记录时间；b.气瓶：剩余量、压力、使用情况,并记下记录时间.10.管段预制10.1预制环境及其治理10.1.1为保持预制件的洁净度,管段预制应在预制洁净室内进行10.1.2为保持预制环境的洁净度,以下各条规定应每日进行一次检查,并保持记录.a.按拟定的必须的室内洁净等级,保持FFU运转正常,工作有效；b.作业人员应着洁净服、洁净鞋、洁净帽、洁净手套进行作业；c.洁净服、洁净鞋、洁净帽要经常保持清洁；d.洁净室内由专人进行作业,作业人员最多为6人；e.洁净室内设专用吸尘器,作业中如产生尘埃,应彻底清扫,作业完后必须全面清扫一次；f.洁净室内必须设置灭火装置,至少应设置手轮式二氧化碳灭火器二个；g.洁净室内不得堆放与预制加工无关的物资；h.下班时必须进行检查,并切断电源.10.2管子切断10.2.1切断机具a.小管径〔力6〜12.7mm〕不锈钢管用管子割刀；b.大管径〔大于412.7mm〕不锈钢管用GF锯.压力管道施工工艺10.2.2切断要求a.使用专用固定夹具实施切断作业；b.进行管子切断作业.要有不低于系统输送介质纯度的氮气或氩气经过滤器通过管内,保证管内洁净度；c.使用管子前,不得过早提前开启端部封帽；d.切割好的管子要放置在货架或管子专用搁架上.10.3管子剖口加工：见以下图10.3.1剖口机具：管子剖口加工使用专用端面平口机10.3.2剖口形状：1型10.3.3剖口要求：a.剖口加工时,要通过过滤器向管内输送精N2,保持管内洁净度；b.管端应与轴线垂直,加工面光滑、无毛刺；c.管内口有毛刺时,应用倒角器除去,并保持洁净；d.剖口完成后,迅速用无水酒精(污染严重时可用丙酮)清洗加工部位,并用洁净密封帽保护；e、加工好的管子要放置在不锈钢货架上或搁架上.1型坡口尸早」C仃/L/不-/\ । . 一. . . ■/10.4弯头加工10.4.1小管径配管(46〜12.7mm)使用专门的弯管器弯制,但对现场上升、下降管道弯曲困难的地方仍应采用成品弯头.口径大于412.7mm的配管,压力管道施工工艺采用成品弯头.10.4.2加工要求a.小管径弯头的弯曲半径R应等于或大于管外径的5倍；b.弯头加工,要在管端用密封帽保护的状态下进行.10.5焊接10.5.1焊接采用整套全自动鸨极氩弧焊接设备,无焊丝自熔焊接,其工艺详见企标?电抛光薄壁不锈钢管焊接工艺标准?10.5.2焊接工作应由经过培训合格的人员担任10.5.3焊接参数的设定,应执行“作业指导书〞经试焊,其焊口经焊接指导者和检验员确认符合质量要求时,才能从事该规格管子的正式焊接,中途不得任意改变参数.10.5.4每天上班施焊作业前都要进行试焊,直至合格才能从事当天的焊接工作,并保存合格的试件.10.5.5每焊完一个焊口,应用细不锈钢丝刷〔“0.25mm不锈钢丝,刷丝整体高度15mm〕趁热时去除外表痕迹.10.5.6焊接用的鸨棒规格应与焊头、管子外径相匹配,鸨棒起弧端与管外壁间距离应在0.75mm〜1.75mm范围内〔见附录3〕.10.5.7焊前应用氩气彻底吹除,调整到焊接通氩量后,在施焊过程中要始终保持氩气流通.10.5.8管段焊接完成后,立即加盖密封管帽.11.现场配管施工支吊架安装无误后,将预制好的管段及当日需用的直管搬入安装现场, 上架、调整、组对、通氩、点焊、自动焊接.11.1配管施工顺序确认作业环境确认作业场所的环境状态配管安装调整预制的管段和直管上架、调整、组对通保护Ar 按各焊口的焊接顺序,自上流端通入保护Ar对大于412.7的管道对接实施点焊焊接条件确认制成焊口样品,以确认焊接参数自动焊接自上流端开始实施自动焊接检验确认进行焊口外观检查11.2确认作业环境11.2.1场所以下气候场所,原那么上不能进行配管施工作业.气温：-10℃以下湿度：90%以上风速：对风速超过1m/s的环境要有防风对策11.2.2保持作业环境的对策a.设置局部洁净单元在现场配管施工环境很差的场合,为保证焊接部位的洁净度而设置局部洁净单元〔如焊接套筒〕b.防风对策为挡风和维持周围环境而设置挡风板.强风场所,由现场监督人判断,中止施工.现场配管施工用的脚手架,不平安时,要进行加固.支吊架安装完成后,将预制好的管段和当日用的直管搬入现场,顺序 上管架安装、调整好标高,注意在焊接前不要取下两端的密封帽.1.4 4通保护氩气1.4.1 1取下调整好的管子的上流端部的管帽,同时安上带小孔的管帽〔或在原管帽上划一小孔〕,通入保护氩气.压力管道施工工艺c.检查脚手架 11.3配管安装调整保护气体入口 —|11.4.2 取掉下流端管帽保护气体入口X―二 E11.4.3 管与管的对接保护气体入口1><|-—1保护气体出口/」1[ k管子对接二—11.4.4 4管与管用胶带缠好固定以上配管顺序可在现场根据情况进行调整 使用的管帽、密封胶带等应是洁净品.1.5 5点焊1.5.1 1从上流端开始顺序撕下胶带,用手动氩弧焊机实施点焊.保护气体入口撕下胶带1.5.2 2点焊要领a.管子、管件在点焊前确认其内外外表未受污染〔无异物、油脂等〕;b.点焊采用手动氩弧焊；c.点焊使用固定夹具,管管应同心,管口不得错位；d.点焊时为预防管内氧化,和正式焊接〔自动氩弧焊〕一样,通入保护氩气；e.每点焊完一个焊口后,待外表温度降低,重新贴一密封带,正式焊按时再撕下胶带,直接用自动焊头固定实施焊接；1.6 6自动焊接条件确实认 1.6.1 1焊接试件的作成压力管道施工工艺为获得自动氩弧焊接的良好效果,在正式焊接前作成合格的试件,获得保护气体入口胶带密封最正确焊接参数.1.6.22试件作成要领a.每逢以下情况应焊出合格试件,才能正式焊接.•作业日的上午、下午开始作业前〔一日二次〕•配管口径、壁厚、材质、管件改变时•作业中产生缺陷时•焊机本身的条件、状态改变时b.作业者必须经本专业BA、EP管配管自动氩弧焊接的培训,持证上山冈.c.质量检验人应是经培训合格的本专业技术、检验人员或外国专家.1.6.33记录根据焊机的特性,编制出各种管径、壁厚的根本焊接参数表,以该参数为根底,设定试件的焊接参数,在焊接试件的过程中,可根据焊口存在的缺陷,调整焊接参数,直至焊接出合格的焊口,此时得出的参数,作为正式施焊的参数.a.配管焊接施工治理记录将配管焊接参数记入施工治理记录〔含根本焊接参数、试件〕.b. 试件检验表作成每件试件的检验记录和试件一并保存.1.77自动氩弧焊接1.7.11焊接条件确认后,自系统上流端逐个焊口进行焊接.自动焊接11保护气体入口I I向下流侧移动施工1.7.22焊接结束后仍要有保护气体流过.每个焊口焊完后,应趁热用不锈钢丝刷除尽外表的氧化膜.1.88焊口检查焊口实施外观全检,合格标准是：a.无未焊透；b.直线性好；c.整个园周焊口成形均匀一致；d.焊口内侧平直、光洁,外侧环状波纹均匀美观〔允许有细微的凹状或凸状〕；e.无可见的瑕疵、疵点、裂纹、气孔、夹渣等现象；f.无斑渍、氧化.12.压力试验压力管道施工工艺12.1洁净厂房内的高纯气体管道不允许采用水压试验,只能采用气压试验. 气压试验压力应为设计压力的1.15倍〔真空管道的试验压力应为0.2MPa〕. 但当管道的设计压力大于0.6MPa时,必须有设计文件规定或拟定试验方案经建设单位同意,方可进行气压试验.12.2试验介质除危险、易燃气体管道〔如氧气、氢气〕采用高纯氮气外, 其它介质管道〔如氮气、氩气、枯燥空气等〕可用本底气体或高纯氮气进行试验.12.3压力试验时,应逐步缓慢增压,当压力升至0.2MPa时,暂停升压, 进行一次全面检查,如无压降和泄漏现象,再将压力升至试验压力的50%, 如未发现异样情况或泄漏,继续按试验压力的10%逐级升压,每级稳压3min,直至试验压力.稳压10min,将压力降至设计压力,停压时间应根据查漏工作需要而定,以设计规定的发泡剂检验,无规定时,用中性皂液检验,无泄漏为合格. 12.4气密性试验气密性试验介质,与压力试验相同.试验工作可在压力试验结束后连续进行,试验压力为设计压力,试验时间为24小时,实行24小时连续监视,试验开始就要记录起始压力值和起始环境温度及有关情况,然后每隔1小时检查记录一次.检查重点是焊口、阀门填料函、法兰、丝扣连接处等,用发泡剂检查,最终考虑环境温度变化等因素.无压力降、无泄漏为合格.12.5泄漏性试验a.高纯气体管道中属于危险、易燃气体的管道必须在上述试验结束后,进行泄漏性试验,但上述试验结束后未经拆卸的该类管道系统可不进行泄压力管道施工工艺漏性试验;b.试验介质宜用氮气；c.试验压力应为设计压力；d.泄漏试验可结合调试工作一并进行；e.检验重点为阀门填料函、法兰或螺纹连接处等,以发泡剂检验不泄漏为合格.13.系统吹扫压力试验结束后,投运之前,应用上述试压用的同种高纯气体对输配管路系统进行彻底吹扫,到达不但吹除系统内的遗留粒子,而且起到对管路系统的枯燥作用,去除管壁和管材所吸留的局部含湿气体.常用的吹扫方式为连续吹扫式和间断吹扫式,依系统的不同情况,采用一种方式或两种方式并用吹扫流速应在20m/s以上,吹扫气体的用量参见以下图.管路福统吹除统吹扫气体I用量图13.1连续吹扫方式这种方式适用于简单系统,基于系统中的杂质处于相对均匀的分布状态,系统吹除气中的杂质浓度,被认为是系统中杂质的浓度.然而,洁净的吹扫用本底气体在系统中,所到之处,由于紊流产生压力管道施工工艺扰动,从而使系统中的杂质重新分布,又由于系统中存在着滞区,滞区中的滞气不易甚至不能被吹扫气流所扰动,只有完全依靠浓度差为动力,以极缓慢的速度向洁净的本底气体扩散,逐步降低杂技的浓度,经过较长时间的吹扫,从而将杂质逐步裹带出系统.这种方式对于不锈钢材质的高纯气体管道效果尤为明显.13.2间断吹扫方式这种方式适用于大系统,由于阀门多、连接件多,管路系统分枝复杂,所以整个系统的滞区也多,对这类系统仅采用连续吹扫方式,既费气又费时,效果也不太好,而采用间断吹扫方式,即“加压一泄压〞的方式,效果要明显得多,即将本底气体自系统起始端导入,使整个吹扫系统到达允许承受的较高压力,以较高速度冲刷系统各处,造成较强烈的扰动,滞区的滞气得以重新分布,然后快速泄压,使系统压力接近大气压.再重新“加压一泄压〞,返复进行6〜8次,即可取得显著的效果. 13.3以上吹扫的真实效果只能由“纯度测试〞得出,因此,该吹扫工序可视为“纯度测试〞前期工作,亦可在“纯度测试〞时进行.14.系统测试系统测试工程主要有尘埃颗粒检测、水分〔露点〕检测、氧分检测、油分检测等,需要做哪些工程的检测、要求到达的指标,应以设计文件为依据,或由建设单位根据工艺要求在施工合同中提出.常做的检测工程的检测要求如下.14.1露点检测14.1.1可采用目视露点仪或其它类型的精确度不低于土3℃的电子数字露点仪.14.1.2假设采用目视露点仪,必须严格遵守?电子级气体中痕量水分子测定压力管道施工工艺法一目视露点法?SJ2799-87；采用其它类型的露点仪,必须严格遵守相关的操作手册.14.1.3应检测在大气压下,气体中的水蒸汽到达饱时的温度,假设仪器测量值为非大气压下的压力露点,那么应换算成大气压下的露点温度.14.1.4采样管应用小口径电抛光不锈钢管或厚壁聚四氟乙烯管,用焊接或VCR接头连接,保证严密不漏.14.1.5调节流量应使用死空间小的不锈钢阀门.14.1.6检测前,系统应经过充分吹扫.14.1.7采用目视露点仪时,至少应取三次测定值的算术平均值作为分析结果；采用其它类型露点仪时,应待显示数稳定3min后,读取测定值.露点、含湿量、绝对温度换算表见附录114.2颗粒检测14.2.1采用采样量大于0.1CFM的高压激光粒子计数器或配有专用高压扩散器的激光粒子计数器检测,粒子计数器的最小粒径及粒子通道须满足检测要求.14.2.2采样管采用小口径电抛光不锈钢管〔预防使用易吸附气体、尘埃的非金属管〕,用焊接或VCR接头连接,保证严密不漏.14.2.3采样管越短越好,检测0.1〜1u m粒径时,采样管长不应超过15m；检测2- 5 H m粒径时,采样管长不应超过3m.14.2.4采样管、高压扩散器,使用前应经充分吹扫.14.2.5对于使用前需要预热的粒子计数器,应经一定时间的预热.14.2.6每个用气点采样一次,最小采样量由下试计算：最小采样量=20/级别浓度上限压力管道施工工艺例：某系统设计要求三0.3 H m,颗粒度＜3个/L。
高纯气体管道焊接质量要求
高纯气体管道焊接施工质量要求
1、焊接质量要求 采用微处理控制 TIG 电源和全封闭式焊头进行的全自动焊，焊接质量要求如下： 1.1 焊接两管端必须垂直于管中心轴线；端面平整光滑、无毛刺；对口不得有间隙；应无错边。即使有错边：直径等 于和小于 2 英寸的 EP 管， 错边量不得超过管壁厚度的 10%； 直径大于 2 英寸的 EP 管， 错边量不得超过管壁厚度的 15%。 1.2 焊接质量为自熔全焊透焊缝，管内外焊缝平整光滑，焊波整齐美观。焊缝如有凹凸部分，最多不准超过管壁厚度 的 10%。 1.3 焊缝应焊趾整齐，焊波均匀，焊缝宽度基本一致，焊缝如有宽窄，应不超过±0.008 英寸（即：±0.2mm） 。管内焊 缝表面宽度为外缝表面宽度的 60%左右。 1.4 管内焊缝及热影响区不应有氧化变色。 1.5 管内、外焊缝表面不准有气孔、裂纹等任何焊接缺陷。 2、预制 2.1 为了减少安装现场的焊接工作量，确保洁净度，预制工作应在洁净室内进行作业。进入预制洁净室的人员必须穿 戴洁净服、洁净帽、洁净鞋、洁净手套。凡必须进入预制洁净室的用具必须擦洗干净。用于管加工的工具（与管材相 同材质的不锈钢锉、锯、锤等）为专用，不准用于碳钢，以防污染。 2.2 工程技术人员按管道总图画出分段预制（每段长度 6-8m）加工图。 2.3 有关人员按管的质量要求进行开箱检查验收。开箱时要特别注意严防损坏管。开箱检查项目见下： ж管的质量证明资料齐全，与实物标记完全符合。 ж外观质量全检，外层塑料保护袋完好，内层塑料袋真空包装或氮封包装完好，达到质量要求。 ж管内壁质量为抽检，抽检时轻慢地脱开管端的塑料密封套（防止脱套时管内真空吸进空气中的灰尘） ，管内壁光亮度 和洁净度应达到质量要求。 ж如发现管内有尘埃，应用割管器从管中间轻轻割断，并两端充气，如中间仍有尘埃为不合格。 ж验收合格后，按规定办理手续，由施工人员抬入预制洁净室，放置在管架上，要轻抬轻放，严禁碰撞、抛扔和脚踩。 2.4 施工人员要熟练掌握预制加工图，管子规格长度、阀门、部件规格及方向。 2.5 预制人员必须戴好洁净手套，任何时候及任何情况下，不准触摸 EP 管内壁。从各个环节严防碳氢化合物污染。 2.6 管子开封前应预先做好管内充高纯氩的准备工作。管子在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封 套，并立即充高纯氩，防止空气污染。 2.7 按预制加工图标明的管径规格和尺寸进行切断。凡切断后要进行端面加工的要适当放长加工余量，凡切断时要产 生钢屑的，切的时候必须采用管两端同时充高纯氮气（或高纯氩气） ，防止钢屑进入管内。切断后，气体吹扫的 同时，将切口放低轻轻敲击，使钢屑受震动而被吹干净。然后用刮刀将管切口内外的毛刺刮掉，刮时特别要严格防止 刮刀碰伤管子内壁。检查确认管口及管内洁净质量合格后，即可关掉吹扫气体同时将管两端密封。最后，贴上该管长 度及编号的标签。同一图纸的管子、附件捆粘在一起，以便组装焊接。 2.8 管下料尺寸的正确度掌握在±1mm 以内，但不能都是负公差或正公差，以使每一根预制完的管子尺寸偏差在±2mm 以内。 2.9 按图组装、点固、焊接。
高纯气体制备技术及电子特种气体的应用
高纯气体制备技术及电子特种气体的应用引言：高纯气体在电子工业中起着重要作用，而制备高纯气体的技术也越发成熟和关键。
本文将探讨高纯气体制备技术及其在电子特种气体应用方面的重要性，从工艺流程、优化方案以及电子特种气体的应用等方面进行论述。
第一部分：高纯气体制备技术概述1.1 高纯气体概述高纯气体是指在空气中除去杂质、杂质含量达到极低水平的气体。
高纯气体被广泛应用于电子工业中的半导体、光电子、面板显示、太阳能及涂层等领域。
常见的电子特种气体包括氮气、氧气、氢气、氩气、氦气等。
1.2 高纯气体制备技术高纯气体制备技术是指通过特定的工艺流程和设备，去除气体中的杂质，从而制备出高纯度的气体。
常用的制备技术包括压缩、冷却、吸附、吸附剂再生、膜分离、电解等。
不同的制备技术适用于不同的气体种类。
1.3 工艺流程与优化方案高纯气体制备的工艺流程包括气体采集、净化、纯度检测、包装等环节。
在每个环节中，都需要采取特定的优化方案来确保高纯气体的制备质量和稳定性。
第二部分：高纯气体制备技术的具体应用2.1 半导体工业在半导体工业中，高纯氮气、氢气、氧气等被广泛应用于制造过程中的清洗、退火、充氮等环节。
高纯气体可以确保半导体器件的质量和稳定性。
2.2 光电子行业在光电子行业中，高纯气体的重要性同样不可忽视。
例如，氩气作为激光工作气体，其高纯度要求极高；氮气可以用于光学薄膜沉积及光学玻璃加工中的保护气体，提供清洁的工作环境。
2.3 面板显示行业面板显示行业是高纯气体的重要应用领域之一。
例如，在液晶显示屏的生产中，高纯氧气用于驱动蓝色LED；氮气被用作背景气体，确保面板干燥无氧，防止积灰和腐蚀等现象。
2.4 太阳能工业太阳能工业中，高纯气氦气用作激光焊接的保护气体，以减少杂质对焊点质量的影响；高纯氩气用于激光切割和激光打标过程中的保护气体。
2.5 涂层领域在涂层领域，高纯气体如氮气、氧气等被用作溅射和热蒸发过程中的反应气体，用于薄膜形成和表面改性等。
高纯气体管道施工工法
高纯气体管道施工工法高纯气体管道施工工法是指在高纯气体制备、输送和使用过程中所需要的管道系统的施工工艺和技术方法。
高纯气体管道是一种专用管道系统，用于输送高纯度的气体，以满足各种工业领域的需求，包括半导体制造、光电子、医药等行业。
在这些领域，高纯气体的纯度要求非常高，常规的管道系统无法满足要求，因此需要采用专门设计和施工的高纯气体管道。
高纯气体管道施工的关键是确保管道系统的无菌和无尘污染。
因为高纯气体的纯度要求非常高，任何微小的杂质都可能对产品质量造成影响。
因此，在施工过程中需要采取一系列的防护措施，以确保管道系统的纯净度。
首先，在施工过程中需要使用高纯度的材料来制作管道系统。
常见的材料包括高纯度不锈钢、高纯度塑料等。
这些材料具有较低的挥发性和较小的含杂质量，可以有效地减少杂质的生成和控制。
其次，需要在施工现场采取严格的管道清洁措施。
施工人员需要在操作前对施工区域进行彻底的清洁，保持无尘、无菌的环境。
同时，在操作过程中要穿着无尘服和手套等防护用具，避免人为污染管道系统。
在管道焊接方面，需要选择合适的焊接工艺和焊接材料，以确保焊接的质量和无菌性。
常见的管道焊接方法包括氩弧焊、等离子焊等。
在焊接过程中，需要使用高纯度的惰性气体作为保护气体，以避免焊接区域的氧化和杂质的引入。
除了管道的材料和焊接技术外，高纯气体管道施工还需要考虑管道的密封性和泄漏性。
为了确保管道的密封性，需要对连接点进行严密的密封处理，常用的方法包括橡胶O型圈密封和焊接密封等。
在施工完成后，需要进行泄漏检测和压力测试，以确保管道系统的安全和可靠。
另外，高纯气体管道施工还需要考虑管道系统的布局和设计。
在设计管道系统时，需要考虑气体流动的平滑性和均匀性，以及管道的通风和散热等。
同时，在施工过程中要避免管道的弯曲、挤压和受力等情况，以确保管道的正常运行和使用。
总结起来，高纯气体管道施工工法是一项细致、复杂而又关键的工艺。
在施工过程中，需要采取一系列的防护措施，以确保管道系统的纯净度和无菌性。
高纯气体管道施工工法
高纯气体管道施工工法一、前言随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广泛，象半导体、电子、医药、食品等行业都不同程度的使用了高纯气体管道，因此高纯气体管道的施工对于我们来说也越来越重要。
1999年，我公司引进了美国生产的全自动轨道焊机及其相关的配管安装设备，这套设备自动化程度高，焊接过程实现了全自动控制，设备性能稳定，质量好且外形美观、体积小、重量轻、操作方便，非常适合电子厂房的洁净施工。
几年来通过我们的研究与实践，通过向国外专家请教，向外单位同行学习，形成了这套施工工艺，在吉林华星5寸芯片生产线、杭州立昂电子有限公司6寸芯片生产线、江苏吴江阿尔发光导纤维生产线的施工中应用了本工法，效果不错。
二、适用范围本工艺主要适用于电子、半导体厂房的气体管道安装、测试，焊接薄壁不锈钢气体管道，同时也适用于医药、食品等厂房的洁净管道施工。
三、工艺原理根据工程特点，工程的施工前后分为三个步骤，每一步都要经过严格的质量和洁净度检查，第一步是管道的预制，为保证洁净要求，管道的预制一般是在1000级的预制间内进行；第二步是现场安装；第三步是系统的测试，系统测试主要是对管道内的尘埃粒子、露点、含氧量、碳氢化合物的含量进行测试。
四、主要施工要点（一）施工前的准备1、组织劳动力，准备施工中使用的机具、设备。
2、搭建预制间，洁净度1000级。
3、施工图分析，根据工程特点及实际情况编制施工方案，做好技术交底。
（二）管道预制1、由于高纯气体管道要求的洁净度较高，为了减少安装现场的焊接工作量，确保洁净度，所以管道的施工先在1000级的预制间中预制，施工人员应穿洁净服，使用的工机具应保证洁净，另外施工人员应有较强的洁净意识，施工过程尽量减少对管子的污染。
2、管道的下料管道下料使用的是专用的切管工具，切出的端面绝对和管轴心线垂直，切管时应采取措施避免外界的灰尘、空气对管子内部的污染，下好的料应分组编号以便于组对焊接。
3、管道焊接，管道焊接前应先编制焊接程序输入到自动焊机，试焊样品，样品合格后，方能焊接，进行完一天的焊接后，再焊样品，如果样品合格，由于焊接参数一直储存在焊机里，自动焊机焊接时又非常稳定，所以焊缝质量也是合格的。
高纯气体管道施工工法(2024)
引言概述：高纯气体管道施工工法是指在高纯气体输送系统中进行管道的安装和连接的一系列工艺方法和操作规范。
高纯气体管道施工工法的有效实施对于保证高纯气体输送系统的安全运行和气体品质的稳定具有重要意义。
本文将从管道施工前期准备工作、管道材料选择、管道安装与焊接、泄漏检测与试验、施工质量控制等五个大点展开详细阐述，以帮助读者了解和掌握高纯气体管道施工工法。
正文内容：一、管道施工前期准备工作1.管道布局设计：在进行高纯气体管道施工工法前，需要进行管道布局设计，确定管道的走向、长度和支撑方式等。
该设计应考虑到气体输送的安全性和高效性，以降低气体泄漏和压力损失。
2.管道材料选型：选择合适的高纯气体管道材料非常重要，常见的材料有不锈钢、铜、PEEK等。
需要根据输送气体的性质选择耐腐蚀性能好、低渗透性、高耐压的材料，以保证气体的纯度和流通的稳定性。
3.施工方案编制：在管道施工前，需要制定详细的施工方案，包括施工程序、施工流程、施工队伍组织等。
施工方案应结合工程实际情况，确保施工过程安全可控，保证施工质量。
4.环境准备：在进行高纯气体管道施工前，需要对施工环境进行准备。
包括清洁施工区域、确保良好的通风和排气系统、清除可能产生火花的物品，以减少外界因素对高纯气体的污染。
二、管道材料选择1.不锈钢管道的选择：不锈钢管道是高纯气体管道中常用的材料之一，主要有304不锈钢和316L不锈钢。
不锈钢具有良好的耐腐蚀性和高强度特点，适用于多种气体输送场景。
2.铜管道的选择：铜管道具有良好的导热性和导电性能，适用于高温气体输送。
其抗氧化性强，可避免管道内部氧化对高纯气体的污染。
3.PEEK管道的选择：PEEK管道是一种高性能的聚合物管道，具有很好的热稳定性和化学稳定性，适用于高温、腐蚀性气体的输送。
但成本较高，一般应用于特殊领域。
三、管道安装与焊接1.管道安装过程：管道安装应按照设计要求进行，包括管道的定位、支撑、固定等。
需保证管道的平直度和垂直度，避免弯曲和扭曲现象。
高纯气体管道施工工法
高纯气体管道施工工法一、引言高纯气体管道是在工业和实验室等领域中广泛应用的重要设施。
它们用于输送氢气、氮气、氩气等高纯度的气体，因此对管道的施工要求非常严格。
本文将介绍高纯气体管道施工的关键工法和注意事项，希望能为相关从业人员提供帮助。
二、施工准备1. 设计方案：在施工前，需要制定详细的设计方案，包括管道的走向、尺寸和材质等。
设计方案应符合相关标准和规范要求，确保管道的安全性和稳定性。
2. 材料采购：根据设计方案，采购符合高纯度气体管道要求的材料，如不锈钢管道、法兰、阀门等。
在采购过程中，需要注意选择正规厂家生产的产品，以确保材料质量的可靠性。
3. 工具准备：准备必要的工具，如管道切割机、焊接设备、扳手等。
确保工具的完好性和适用性，以提高施工效率和质量。
三、施工工法1. 管道布线：根据设计方案，在施工现场进行管道的布线。
在布线过程中，要注意管道的走向、气体流向和坡度等因素，确保管道的畅通和排水。
2. 管道切割：根据设计方案，使用管道切割机对不锈钢管道进行切割。
切割时要保持切口的平整和垂直度，以便后续的焊接工作。
3. 焊接连接：使用焊接设备将管道进行连接。
在焊接过程中，要注意控制焊接温度和时间，以确保焊接接头的质量和密封性。
4. 安装法兰和阀门：根据设计方案，在管道上安装法兰和阀门。
在安装过程中，要注意法兰和阀门的紧固力度和密封性，以确保管道的安全运行。
5. 检查和测试：在施工完成后，对管道进行检查和测试。
检查包括对焊缝的质量和焊接接头的密封性进行检测，测试包括对管道的压力进行测试。
四、注意事项1. 安全防护：在施工过程中，要加强安全防护意识，佩戴必要的安全防护装备。
对于易燃易爆气体的施工，要采取相应的防火和防爆措施。
2. 质量控制：施工过程中要严格控制质量，确保管道的密封性和可靠性。
对关键环节的施工，如焊接和连接，要加强质量监督和验收。
3. 清洁环境：在施工现场保持清洁，防止杂物、灰尘和有害物质对管道的污染。
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高纯/特种气体工艺与施工概要北京分公司吴学刚前言近10年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。
因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。
由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。
对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。
”日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次：超高纯气体气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。
高纯气体气体中杂质总含量控制在5%ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内.洁净气体气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。
上述规定，都未涉及洁净度。
我们知道，集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。
所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验，我进行了一些归纳，希望能够给大家提供一些参考。
一、高纯/特种气体的概念1．半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：（1）普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2、N2 、O2 、Ar 、He等。
（2）特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。
2．半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：（1）可燃、助燃、易燃易爆气体：H2、CH4、H2S、NH3、SiH4、PH3、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等。
（2）有毒气体：AsH3、PH3、PH3、B2H6等（3）助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等（4）窒息性气体：N2 、He、CO2、Ar等（5）腐蚀性气体：HCL、PCL3、POCL3、HF、SiF4、CLF3、等特种气体的供应方式截至目前为止，几乎皆用钢瓶的方式进行，一般常用的为高压钢瓶，依其填充的气体特性有分为气态和液态两种，一般气体依液态储存于钢瓶内，瓶内压力较高，所以最佳方式是选用吸附式气态钢瓶，以气体分子与吸附剂间的范德瓦力将气体吸附于吸附剂孔隙中，其优点为供气压力低于一个大气压，无任何泄漏的危险，且供气量为普通高压钢瓶的10倍，低蒸汽压的气体以液态储存于钢瓶内；针对易燃易爆，有毒性腐蚀性的气体，常将钢瓶至于特气柜中，再通过管路将气体供应至现场附近的阀箱，经过一系列的控制而后进入用气点；一般惰性气体以开放式的气瓶架和阀盘供应；具体方式如下：1．现场制气、管道供气：这种供气方式时将制气设备建造在用气量较大或者用气品种较多的工厂内或按区域设置供应周边各单位用气示意图如下：1－中压贮气罐；2－调压阀组；3－气体过滤器；4－液态气体贮罐；5－汽化器；6－安全阀；7－自动控制阀；8－气体纯化装置；9－流量计；10－末端气体过滤器；11－末端气体纯化器12－用气点；13－高压气体压缩机；14－高压气体贮罐（P=15~20MPa）（1）a图为采用液态气体贮存气体，中压贮罐。
作为缓冲罐的供应系统。
气体纯化设备设在工厂内，实际上在各用气工厂还应设置各种过滤精度的气体过滤器、计量仪器、分析仪器等，有的工厂对高纯气体中杂质含量控制十分严格，此时还需安装末端提纯设备。
（2）b图为采用高压（P=15~20MPa）气体贮罐的供气系统，常用于氢气供应系统中，设高压气体压缩机从中压贮气罐中吸气经压缩到15~20MPa送入若干个高压贮气罐组储气，根据供气用气的平衡，高压贮气罐放气经二级调压阀组减压后由自动控制阀送入供气系统。
1477111210938213172564121211109321室外室内室内室外制气装置制气装置2．外购气体供气：由集中制气工厂制取的液态气体由低温液态气体贮罐槽车运送至用气工厂，再使用工厂设置低温液态气体贮罐，将液态气体槽车中的液态气体抽送入液态气体贮罐贮存，根据工厂用气量，液态气体由贮罐送出经汽化器化为气体后，经由调压器组调压并经气体过滤器送去使用车间，若气体纯度或杂质含量不能满足使用要求，则需要再在车间内设置末端提纯装置，对气体进行提纯并去除杂质，同时为满足不同需求，还应在工厂使用车间末端或在车间内集中设置不同过滤精度的气体过滤器，示意图如下：1－液态气体贮罐；2－汽化器；3－调压装置；4－气体纯化装置；5－末端气体纯化器；6－气体过滤器；7－用气点2431室外室内6753．外购气体钢瓶供气：外购气体钢瓶集中存放在工厂的气瓶间(库)中，气瓶中高压气体经气体总线，减压阀组汇集，减压至一定压力经气体纯化装置纯化后供气。
为确保连续供气，气体钢瓶一般分为两组，交替放气，根据产品工艺要求，选择满足供气品质的气体纯化装置或在用气点处设置末端气体纯化装置。
示意图如下：1－钢瓶及总线2－减压阀组；3－调压装置；4－气体纯化装置；5－末 气 体 纯 化 器；6－气 体 过 滤 器；7－用 气 点21576室内室外344．将高纯气体钢瓶设置在用气设备附近直接供气，常用于用气量很少的场所，《规范》规定，当日用气量不超过一瓶（指水容积不超过40L的钢瓶）时，气瓶可设置在洁净室内，但必须采取不积尘和易于清洁的措施，若工艺对高纯气体要求较为严格时，比如气体中总杂质含量≤1.0×10－6时，还需要在气瓶与用气设备之间设置末端气体提纯装置，包括高精度气体过滤器，以确保供气质量。
关于特气柜：（1）设置特气柜的原因：在集成电路生产中所需特种气体的供应采用将特种气体钢瓶设置在生产工艺设备附近或在临近处设专门的特种气体供应间供应特种气体，与高纯气钢瓶直接供气不同的是：由于特种气体种类较多，且特种气体中有的是易燃易爆气体，有的是有毒气体，为了确保生产安全和加强特种气体管理，通常将特种气体钢瓶放置在特气柜中。
（2）特气柜的构造：特气柜内除设置特种气体钢瓶调节阀、压力指示、流量计、和必要的操作阀门以外，还必须设有排气、氮气吹除装置和钢瓶倒换用的吹除配管和附件以及气体泄漏的报警装置、排风装置等。
（3）特气柜的功能：提供局部排气通风以保护气体钢瓶不会着火，防止气瓶柜外之火源着火，限制火源于气柜内部（4）特气柜流程示意如下：1－特气钢瓶；2－调节阀；3－压力表；4－流量计；5－真空产生器；6－末端气体过滤器（5）特气柜管路操作设计：①前置冲吹：主要是利用一般氮气的流动经过真空产生器造成管路内的负压，抽出气瓶盘面管内的特气，再利用通入PN2稀释管壁内残存的微量特气，反复执行此项冲吹与稀释的过程，并于过程中同时以负压检测真空产生器的功能，以保压测试管路是否泄漏。
②后置冲吹：通入PN2管路是否泄漏，确认钢瓶接头与管路的衔接良好，并进行PN2的反复冲吹，将更换钢瓶时渗入的杂质去除。
③上线冲吹：主要目的是利用制程气体反复冲吹将清洁用的PN2彻底清除。
④更换钢瓶：更换钢瓶的时机为气体残余量剩下约10％时，同时，因为部分特种气体可能会对钢瓶造成微量的腐蚀，所以一般特种气体钢瓶的使用年限为一年。
（6）某工程N2O、CF4特气柜布局实例：V E N T U R N N 2L P -P U R G EH P -P U R G EP R O C E S SP R O C E S SS Y S V E N T（7）特气柜阀盘组件：①气动控制阀：以N 2进行控制，不建议使用一般压缩空气源CDA ，因为N 2供应通常较CDA 稳定，不会因停电运转设备的故障中断，此阀主要用于自动或者半自动操作时的管路气体流向控制。
②手动控制阀：主要当作第二道防护，如管路的出口。
③逆止阀：防止特气倒灌入清洁用的PN 2和抽气用的N 2管路。
④调压阀：用于调整并控制供应的特气压力。
⑤压力传感器：是防护系统安全的重要组件，通过它才能判知管路是否泄漏，相关的阀门是否有安全的开启，同时也可以检知气体钢瓶的气体剩余量。
的快速流动产生吸引的负压，将管路中的气体带出，以达到抽⑥真空产生器：利用N2气的目的。
⑦流量侦测器：对管路异常大量的流量进行侦测，如实超过可能的设定值，即判定管路上有可能大量泄漏。
进而气动紧急关闭装置，中断供气。
⑧气体过滤器：装于供气的出口处，用以过滤掉特气柜阀盘组可能产生的污染粒子以确保供气质量。
⑨限流孔：一个简易而有效的过流量控制装置，用以限制大量的气流量通过，装设在排气管上。
（8）特气柜的基本型式：TypeⅠ：用于高压燃烧性气体，如：CH4、H2、AsH3、SiH4、PH3、B2H6。
因其具有燃烧性，所以需要加装相关的消防设备，如UV/IR火焰侦测器、洒水喷头、气体泄漏侦测器等。
又因为是高压压缩气体状态，所以可以使用侦测供应压力的方式计算钢瓶内剩余气量。
TypeⅡ：用于中压液态燃烧性气体，如：NH3、HBr 、HCL、CL2。
本型式除须安装消防设备外，并以电子重量磅秤来测量钢瓶剩余气体量，若对供气的流量有较大的需求时还需要考虑相关的加热设备。
TypeⅢ：用于低蒸气压气体，如：BCL3、DCS、CLF3、WF6。
除使用电子称与加热装置外，因其属于非高压钢瓶且供应流量小，不需使用高压测露和过流量保护装置。
TypeⅣ：用于液态惰性气体，如C4F8、CHF3、C2F6、N2、SF6。
不需要相关安全设计，但要使用电子称检知钢瓶剩余气体量。
TypeⅤ：用于惰性气体，如CF4、Ar、He。
三．高纯气体的配管及材质1．高纯气体管路的设计要点：（1）对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
（2）管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。
（3）根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
（4）管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。